JPH09178062A - 真空配管継手 - Google Patents
真空配管継手Info
- Publication number
- JPH09178062A JPH09178062A JP33218295A JP33218295A JPH09178062A JP H09178062 A JPH09178062 A JP H09178062A JP 33218295 A JP33218295 A JP 33218295A JP 33218295 A JP33218295 A JP 33218295A JP H09178062 A JPH09178062 A JP H09178062A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gasket
- pipe
- nut
- joint
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Joints With Pressure Members (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】従来の真空配管継手では、ガスケット１４の有
無にかかわらずナット１２とボディ１３との間に締め付
け代があり、外観上で簡単にガスケット１４の有無をチ
ェックできず、またガスケット１４が無い場合でも一時
的に真空シールができてしまい信頼性が悪かった。 【解決手段】ボディ１３の締め付け代がパイプ１４とボ
ディ１３との間にガスケット１４を一枚はさんだときに
ゼロとなるネジ長さにし、対向するパイプ１４端部とボ
ディ１３端部との間に隙間を設けたことにより達成され
る。
無にかかわらずナット１２とボディ１３との間に締め付
け代があり、外観上で簡単にガスケット１４の有無をチ
ェックできず、またガスケット１４が無い場合でも一時
的に真空シールができてしまい信頼性が悪かった。 【解決手段】ボディ１３の締め付け代がパイプ１４とボ
ディ１３との間にガスケット１４を一枚はさんだときに
ゼロとなるネジ長さにし、対向するパイプ１４端部とボ
ディ１３端部との間に隙間を設けたことにより達成され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空配管継手に係
り、特に真空シールにガスケットを用いる真空配管継手
に関する。
り、特に真空シールにガスケットを用いる真空配管継手
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空配管継手は図４に示すよう
に、パイプ１１にナット１２が抜けないように鍔を設け
て、ナット１２にボディ１３ａをねじ込み配管を接続し
ていた。継手雌側のナット１２のネジ深さと継手雄側の
ボディ１３ａの有効ネジ長さは、継手内部にガスケット
１４を取付けても締め付け代が残る余裕のある寸法とな
っていた。このような真空配管継手では、ガスケット１
４が取付けてあるか確認する手段は継手をばらして行っ
ていた。真空配管継手の真空度に対する信頼性試験の一
手段であるＨｅリークテストは、組み合わされた真空配
管継手のパイプ１１に接続した図示しない真空ポンプで
真空引きを行い、ナット１２に設けたリークテストポー
ト１５よりＨｅを挿入してパイプ１１に接続した真空計
測器１６でＨｅを計測して測定を行っていた。なお、こ
の種に関するものとしては、昭和57年11月２日，(株)フ
ジ・テクノシステム社発行，半導体工業におけるガス利
用技術と作業環境の安全衛生管理技術集成Ｐ170〜173に
記載のものが挙げられる。
に、パイプ１１にナット１２が抜けないように鍔を設け
て、ナット１２にボディ１３ａをねじ込み配管を接続し
ていた。継手雌側のナット１２のネジ深さと継手雄側の
ボディ１３ａの有効ネジ長さは、継手内部にガスケット
１４を取付けても締め付け代が残る余裕のある寸法とな
っていた。このような真空配管継手では、ガスケット１
４が取付けてあるか確認する手段は継手をばらして行っ
ていた。真空配管継手の真空度に対する信頼性試験の一
手段であるＨｅリークテストは、組み合わされた真空配
管継手のパイプ１１に接続した図示しない真空ポンプで
真空引きを行い、ナット１２に設けたリークテストポー
ト１５よりＨｅを挿入してパイプ１１に接続した真空計
測器１６でＨｅを計測して測定を行っていた。なお、こ
の種に関するものとしては、昭和57年11月２日，(株)フ
ジ・テクノシステム社発行，半導体工業におけるガス利
用技術と作業環境の安全衛生管理技術集成Ｐ170〜173に
記載のものが挙げられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の真空配管継
手では、ガスケットが二枚以上取付けられている場合
は、配管継手のＨｅリークテストで発見できていた。こ
れは、重なりあったガスケット間に隙間ができることで
配管継手の真空シールが不可能となるためである。しか
し、ガスケットを取付け忘れた場合は、ナットとボディ
を締め付けていけば、締め付け代が大きかったのでパイ
プとボディとのそれぞれの端部がメタルタッチになり一
時的に真空シールが可能となり、Ｈｅリークテストでは
合格となってしまうケースがあった。しかし、将来的に
はネジの緩み等によってリークが生じしてしまうという
問題があった。
手では、ガスケットが二枚以上取付けられている場合
は、配管継手のＨｅリークテストで発見できていた。こ
れは、重なりあったガスケット間に隙間ができることで
配管継手の真空シールが不可能となるためである。しか
し、ガスケットを取付け忘れた場合は、ナットとボディ
を締め付けていけば、締め付け代が大きかったのでパイ
プとボディとのそれぞれの端部がメタルタッチになり一
時的に真空シールが可能となり、Ｈｅリークテストでは
合格となってしまうケースがあった。しかし、将来的に
はネジの緩み等によってリークが生じしてしまうという
問題があった。
【０００４】本発明の目的は、ガスケットの有無を容易
に判断でき、配管接続後の信頼性を高くすることのでき
る真空配管継手を提供することにある。
に判断でき、配管接続後の信頼性を高くすることのでき
る真空配管継手を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】一端に鍔を有したパイプ
と、前記パイプの鍔部に回転可能に係止されるナット
と、前記ナットの雌ネジに捩じ込まれ一端を前記パイプ
の鍔側に対向させて締め付けられるボディとから成る真
空配管継手において、ボディ締め付け代がパイプとボデ
ィとの間にガスケットを一枚はさんだときにゼとなるネ
ジ長さにし、対向するパイプ端部とボディ端部との間に
隙間を設たことにより達成される。
と、前記パイプの鍔部に回転可能に係止されるナット
と、前記ナットの雌ネジに捩じ込まれ一端を前記パイプ
の鍔側に対向させて締め付けられるボディとから成る真
空配管継手において、ボディ締め付け代がパイプとボデ
ィとの間にガスケットを一枚はさんだときにゼとなるネ
ジ長さにし、対向するパイプ端部とボディ端部との間に
隙間を設たことにより達成される。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を図１ないし図
３により説明する。図１に本発明の真空配管継手の構成
を示す。本図において、従来構造を示した図４と同符号
は同一部材を示し説明を省略する。本図が図４と事なる
点は、ナット１２のネジ深さとボディ１３の有効ネジ長
さの寸法を、ガスケット１４を一枚はさんで取付けたと
きに締め付け代を考慮し締め切ったところでネジ山が終
わる寸法にし、そのときナット１２とボディ１３の六角
部分の対向端面間に隙間がなくなるようにした点であ
る。
３により説明する。図１に本発明の真空配管継手の構成
を示す。本図において、従来構造を示した図４と同符号
は同一部材を示し説明を省略する。本図が図４と事なる
点は、ナット１２のネジ深さとボディ１３の有効ネジ長
さの寸法を、ガスケット１４を一枚はさんで取付けたと
きに締め付け代を考慮し締め切ったところでネジ山が終
わる寸法にし、そのときナット１２とボディ１３の六角
部分の対向端面間に隙間がなくなるようにした点であ
る。
【０００７】なお、ボディ１３の締め付け代として、ガ
スケット１４の板厚の約半分を取り、ナット１２とボデ
ィ１３の六角部分の対向端面が接触した状態で、ガスケ
ット１４の板厚の約半分の寸法でガスケット１４を締め
付け、パイプ１１とボディ１３との端面をシールしてい
る。これにより、ガスケット１４をはさんでの締め付け
は、ナット１２とボディ１３がメタルタッチするまで締
め付ければ良く、従来のように締め付け代を考慮して締
め付け力が変わった点から注意して締め付ける必要がな
く、作業を容易にすることができる。
スケット１４の板厚の約半分を取り、ナット１２とボデ
ィ１３の六角部分の対向端面が接触した状態で、ガスケ
ット１４の板厚の約半分の寸法でガスケット１４を締め
付け、パイプ１１とボディ１３との端面をシールしてい
る。これにより、ガスケット１４をはさんでの締め付け
は、ナット１２とボディ１３がメタルタッチするまで締
め付ければ良く、従来のように締め付け代を考慮して締
め付け力が変わった点から注意して締め付ける必要がな
く、作業を容易にすることができる。
【０００８】図２に真空配管継手に誤ってガスケット１
４を二枚取付けた場合の実施例を示す。本発明の真空配
管継手はナット１２とボディ１３の六角部分の対向端面
間の寸法をガスケット１４一枚取付けたときメタルタッ
チになるようにしてあるため、ガスケット１４を二枚取
付けてしまった場合、ナット１２とボディ１３の対向端
面間には隙間ｓができてしまう。従来、Ｈｅリークテス
トでガスケット１４の過剰取付けを発見できたが、本実
施例ではナット１２とボディ１３を締め付けていき締め
切ったときにナット１２とボディ１３の六角部分に隙間
ｓがあればガスケット１４の過剰取付けと判断できる。
４を二枚取付けた場合の実施例を示す。本発明の真空配
管継手はナット１２とボディ１３の六角部分の対向端面
間の寸法をガスケット１４一枚取付けたときメタルタッ
チになるようにしてあるため、ガスケット１４を二枚取
付けてしまった場合、ナット１２とボディ１３の対向端
面間には隙間ｓができてしまう。従来、Ｈｅリークテス
トでガスケット１４の過剰取付けを発見できたが、本実
施例ではナット１２とボディ１３を締め付けていき締め
切ったときにナット１２とボディ１３の六角部分に隙間
ｓがあればガスケット１４の過剰取付けと判断できる。
【０００９】図３に真空配管継手にガスケット１４を取
付け忘れた場合の実施例を示す。ガスケット１４を一枚
取付けたときに、ナット１２とボディ１３の六角部分の
対向端面間の寸法がゼロとなり、ナット１２とボディ１
３との対向端面間がメタルタッチになるようにしてある
ので、それ以上の締め付けはできなくなっている。これ
により、従来Ｈｅリークテストでガスケット１４の取付
け忘れを発見できなかったが、本発明ではガスケット１
４を取付けずにナット１２とボディ１３を締め付けてい
き締め切ったときにパイプ１１とボディ１３に隙間ｔが
できるため、ナット１２のリークテストポート１５から
Ｈｅを挿入したときにパイプ１１の先端に取付けてある
真空計測器１６で真空が維持されないことがわかり、ガ
スケットが取付けてないことが判断できる。
付け忘れた場合の実施例を示す。ガスケット１４を一枚
取付けたときに、ナット１２とボディ１３の六角部分の
対向端面間の寸法がゼロとなり、ナット１２とボディ１
３との対向端面間がメタルタッチになるようにしてある
ので、それ以上の締め付けはできなくなっている。これ
により、従来Ｈｅリークテストでガスケット１４の取付
け忘れを発見できなかったが、本発明ではガスケット１
４を取付けずにナット１２とボディ１３を締め付けてい
き締め切ったときにパイプ１１とボディ１３に隙間ｔが
できるため、ナット１２のリークテストポート１５から
Ｈｅを挿入したときにパイプ１１の先端に取付けてある
真空計測器１６で真空が維持されないことがわかり、ガ
スケットが取付けてないことが判断できる。
【００１０】
【発明の効果】本発明により、配管継手内にガスケット
が二枚以上取付けてあれば、ナット部とボディの間に隙
間ができ、ガスケットが一枚もしくは、取付けてない場
合は隙間がなく外観で判断することができる。更に、ガ
スケットが取付けてない場合は継手内で隙間ができ、確
実にＨｅリークテストで発見でき、真空配管継手の信頼
性を向上させることができるという効果がある。
が二枚以上取付けてあれば、ナット部とボディの間に隙
間ができ、ガスケットが一枚もしくは、取付けてない場
合は隙間がなく外観で判断することができる。更に、ガ
スケットが取付けてない場合は継手内で隙間ができ、確
実にＨｅリークテストで発見でき、真空配管継手の信頼
性を向上させることができるという効果がある。
【図１】本発明の実施例であるガスケットを一枚取付け
た真空配管継手を示す縦断図である。
た真空配管継手を示す縦断図である。
【図２】本発明の実施例であるガスケットを二枚取付け
た真空配管継手を示す縦断図である。
た真空配管継手を示す縦断図である。
【図３】本発明の実施例であるガスケットを取付けてな
い真空配管継手を示す縦断図である。
い真空配管継手を示す縦断図である。
【図４】従来の真空配管継手を示す構成図である。
１１…パイプ、１２…ナット、１３，１３ａ…ボディ、
１４…ガスケット、１５…リークテストポート、１６…
真空計測器。
１４…ガスケット、１５…リークテストポート、１６…
真空計測器。
Claims (2)
- 【請求項１】一端に鍔を有したパイプと、前記パイプの
鍔部に回転可能に係止されるナットと、前記ナットの雌
ネジに捩じ込まれ一端を前記パイプの鍔側に対向させて
締め付けられるボディとから成る真空配管継手におい
て、前記ボディの締め付け代が前記パイプと前記ボディ
との間にガスケットを一枚はさんだときにゼロとなるネ
ジ長さとしたことを特徴とする真空配管継手。 - 【請求項２】一端に鍔を有したパイプと、前記パイプの
鍔部に回転可能に係止されるナットと、前記ナットの雌
ネジに捩じ込まれ一端を前記パイプの鍔側に対向させて
締め付けられるボディとから成る真空配管継手におい
て、前記ボディの締め付け代が前記ボディとの間にガス
ケットを一枚はさんだときにゼロとなるネジ長さとし、
対向する前記パイプ端部と前記ボディ端部との間に隙間
を設けたことを特徴とする真空配管継手。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33218295A JPH09178062A (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | 真空配管継手 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33218295A JPH09178062A (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | 真空配管継手 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09178062A true JPH09178062A (ja) | 1997-07-11 |
Family
ID=18252090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33218295A Pending JPH09178062A (ja) | 1995-12-20 | 1995-12-20 | 真空配管継手 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09178062A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016164459A (ja) * | 2009-02-20 | 2016-09-08 | スウエイジロク・カンパニー | 導管把持デバイスを事前設置するためのセンサを有する手動ツール |
| US9556981B2 (en) | 2008-06-02 | 2017-01-31 | Swagelok Company | Fitting assembly evaluating apparatus |
-
1995
- 1995-12-20 JP JP33218295A patent/JPH09178062A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9556981B2 (en) | 2008-06-02 | 2017-01-31 | Swagelok Company | Fitting assembly evaluating apparatus |
| JP2016164459A (ja) * | 2009-02-20 | 2016-09-08 | スウエイジロク・カンパニー | 導管把持デバイスを事前設置するためのセンサを有する手動ツール |
| US9556979B2 (en) | 2009-02-20 | 2017-01-31 | Swagelok Company | Fitting assembly evaluating apparatus |
| US10316997B2 (en) | 2009-02-20 | 2019-06-11 | Swagelok Company | Fitting assembly evaluating apparatus and methods |
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