JPH09167919A - 表面実装型水晶発振器 - Google Patents
表面実装型水晶発振器Info
- Publication number
- JPH09167919A JPH09167919A JP7347248A JP34724895A JPH09167919A JP H09167919 A JPH09167919 A JP H09167919A JP 7347248 A JP7347248 A JP 7347248A JP 34724895 A JP34724895 A JP 34724895A JP H09167919 A JPH09167919 A JP H09167919A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrodes
- wiring
- vibrating
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】配線電極のステップカバレッジ性を向上させて
微小領域で膜の欠落が生じ難くするとともに、配線抵抗
を抑えてその特性を安定させ、かつ、所望の励振特性を
確実に得ることができて信頼性を高める。 【解決手段】板状の水晶振動片１２の表裏両面の所定部
位にそれぞれ皮膜状の振動電極１３Ａ，１３Ｂが形成さ
れるとともに、それら表裏面の振動電極１３Ａ，１３Ｂ
をパッケージ電極に接続すべく前記水晶振動片１２の端
部に皮膜状の一対の配線電極１５Ａ，１５Ｂが形成さ
れ、前記配線電極１５Ａ，１５Ｂの厚みβ’が前記振動
電極１３Ａ，１３Ｂの厚みα’より厚くされてなる。
微小領域で膜の欠落が生じ難くするとともに、配線抵抗
を抑えてその特性を安定させ、かつ、所望の励振特性を
確実に得ることができて信頼性を高める。 【解決手段】板状の水晶振動片１２の表裏両面の所定部
位にそれぞれ皮膜状の振動電極１３Ａ，１３Ｂが形成さ
れるとともに、それら表裏面の振動電極１３Ａ，１３Ｂ
をパッケージ電極に接続すべく前記水晶振動片１２の端
部に皮膜状の一対の配線電極１５Ａ，１５Ｂが形成さ
れ、前記配線電極１５Ａ，１５Ｂの厚みβ’が前記振動
電極１３Ａ，１３Ｂの厚みα’より厚くされてなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、板状の水晶振動片
の表裏両面の所定部位にそれぞれ皮膜状の振動電極が形
成されるとともに、前記水晶振動片の端部にそれぞれ皮
膜状の一対の配線電極が形成されてなる表面実装型水晶
発振器に関する。
の表裏両面の所定部位にそれぞれ皮膜状の振動電極が形
成されるとともに、前記水晶振動片の端部にそれぞれ皮
膜状の一対の配線電極が形成されてなる表面実装型水晶
発振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の表面実装型水晶発振器の一例を
図３及び図４に示す。この表面実装型水晶発振器５０
は、所定厚みを有した矩形板状の水晶振動片１２におけ
る表裏（上下）両面の略中央部位にそれぞれ皮膜状の矩
形状の振動電極１４Ａ，１４Ｂが形成されるとともに、
それらの振動電極１４Ａ，１４Ｂを面実装用パッケージ
２０のパッケージ電極２２，２２に導電性接着剤２４，
２４を介して接続すべく前記水晶振動片１２の一端部の
左右にそれぞれ皮膜状の一対の配線電極１６Ａ，１６Ｂ
が形成されている。
図３及び図４に示す。この表面実装型水晶発振器５０
は、所定厚みを有した矩形板状の水晶振動片１２におけ
る表裏（上下）両面の略中央部位にそれぞれ皮膜状の矩
形状の振動電極１４Ａ，１４Ｂが形成されるとともに、
それらの振動電極１４Ａ，１４Ｂを面実装用パッケージ
２０のパッケージ電極２２，２２に導電性接着剤２４，
２４を介して接続すべく前記水晶振動片１２の一端部の
左右にそれぞれ皮膜状の一対の配線電極１６Ａ，１６Ｂ
が形成されている。
【０００３】それらの配線電極１６Ａ，１６Ｂは共に、
前記水晶振動片１２の表裏両面の端部に形成された接続
電極部１６ａ，１６ｂとそれらを橋絡するように前記水
晶振動片１２の一端部の左右の側端面（コーナー部）に
形成された引廻電極部１６ｃとからなっており、前記表
面の振動電極１４Ａと一方の配線電極１６Ａの表面側の
接続電極部１６ａとが前記表面の振動電極１４Ａに延設
された連結部１４ａにより接続され、同様に前記裏面の
振動電極１４Ｂと他方の配線電極１６Ｂの裏面側の接続
電極部１６ｂとが前記裏面の振動電極１４Ｂに延設され
た連結部１４ｂにより接続されている。
前記水晶振動片１２の表裏両面の端部に形成された接続
電極部１６ａ，１６ｂとそれらを橋絡するように前記水
晶振動片１２の一端部の左右の側端面（コーナー部）に
形成された引廻電極部１６ｃとからなっており、前記表
面の振動電極１４Ａと一方の配線電極１６Ａの表面側の
接続電極部１６ａとが前記表面の振動電極１４Ａに延設
された連結部１４ａにより接続され、同様に前記裏面の
振動電極１４Ｂと他方の配線電極１６Ｂの裏面側の接続
電極部１６ｂとが前記裏面の振動電極１４Ｂに延設され
た連結部１４ｂにより接続されている。
【０００４】ここでは、一対のパッケージ電極２２，２
２が前記水晶振動片１２の左端側下方に配置されている
ので、前記表面の振動電極１４Ａは、連結部１４ａから
配線電極１６Ａの表側の接続電極部１６ａ、引廻電極部
１６ｂ、裏側の接続電極部１６ｂ、導電性接着剤２４を
介して一方のパッケージ電極２２に接続され、前記裏面
の振動電極１４Ｂは、連結部１４ｂから配線電極１６Ｂ
の裏側の接続電極部１６ｂ、導電性接着剤２４を介して
他方のパッケージ電極２２に接続され、当該表面実装型
水晶発振器５０は配線電極１６Ａ，１６Ｂ側で片持ち支
持される。
２が前記水晶振動片１２の左端側下方に配置されている
ので、前記表面の振動電極１４Ａは、連結部１４ａから
配線電極１６Ａの表側の接続電極部１６ａ、引廻電極部
１６ｂ、裏側の接続電極部１６ｂ、導電性接着剤２４を
介して一方のパッケージ電極２２に接続され、前記裏面
の振動電極１４Ｂは、連結部１４ｂから配線電極１６Ｂ
の裏側の接続電極部１６ｂ、導電性接着剤２４を介して
他方のパッケージ電極２２に接続され、当該表面実装型
水晶発振器５０は配線電極１６Ａ，１６Ｂ側で片持ち支
持される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した如
くの従来の表面実装型水晶発振器５０においては、振動
電極１４Ａ，１４Ｂ及び配線電極１６Ａ，１６Ｂは、Ａ
ｕ等の金属を蒸着すること等によって形成されるが、配
線電極１６Ａ，１６Ｂの厚みは振動電極１４Ａ，１４Ｂ
のそれと等しくされている。
くの従来の表面実装型水晶発振器５０においては、振動
電極１４Ａ，１４Ｂ及び配線電極１６Ａ，１６Ｂは、Ａ
ｕ等の金属を蒸着すること等によって形成されるが、配
線電極１６Ａ，１６Ｂの厚みは振動電極１４Ａ，１４Ｂ
のそれと等しくされている。
【０００６】ここで、一般に、水晶振動片は特有のエッ
チング様表面（のこ刃状の凹凸）を有しているので、薄
膜で形成される配線電極の厚みが２００ｎｍ程度以下で
あると、いわゆるステップカバレッジ性（段差被覆性）
が悪くなり、微小領域で膜の欠落が生じやすく、配線抵
抗が大きくなって特性が不安定となる。これを改善すべ
く、配線電極、振動電極の厚みを共に増加させると、励
振特性が低下する。すなわち、振動電極の厚み（重み）
が増せば共振周波数が変化し、振動電極が厚いほどその
周波数が下がり、所望の特性が得られなくなる。
チング様表面（のこ刃状の凹凸）を有しているので、薄
膜で形成される配線電極の厚みが２００ｎｍ程度以下で
あると、いわゆるステップカバレッジ性（段差被覆性）
が悪くなり、微小領域で膜の欠落が生じやすく、配線抵
抗が大きくなって特性が不安定となる。これを改善すべ
く、配線電極、振動電極の厚みを共に増加させると、励
振特性が低下する。すなわち、振動電極の厚み（重み）
が増せば共振周波数が変化し、振動電極が厚いほどその
周波数が下がり、所望の特性が得られなくなる。
【０００７】本発明は、上述した如くの従来の表面実装
型水晶発振器に関する問題を解消すべくなされたもの
で、その目的とするところは、配線電極のステップカバ
レッジ性を向上させて微小領域で膜の欠落が生じ難くす
るとともに、配線抵抗を抑えてその特性を安定させ、か
つ、所望の励振特性を確実に得ることができて信頼性を
高めることのできる表面実装型水晶発振器を提供するこ
とにある。
型水晶発振器に関する問題を解消すべくなされたもの
で、その目的とするところは、配線電極のステップカバ
レッジ性を向上させて微小領域で膜の欠落が生じ難くす
るとともに、配線抵抗を抑えてその特性を安定させ、か
つ、所望の励振特性を確実に得ることができて信頼性を
高めることのできる表面実装型水晶発振器を提供するこ
とにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成すべ
く、本発明に係る表面実装型水晶発振器は、基本的に
は、板状の水晶振動片の表裏両面の所定部位にそれぞれ
皮膜状の振動電極が形成されるとともに、それら表裏面
の振動電極をパッケージ電極に接続すべく前記水晶振動
片の端部に皮膜状の一対の配線電極が形成され、前記配
線電極が前記水晶振動片の表裏両面の端部に形成された
接続電極部とそれらを橋絡するように前記水晶振動片の
側端面に形成された引廻電極部とからなっている。そし
て、前記配線電極の厚みが前記振動電極のそれより厚く
されていることを特徴としている。
く、本発明に係る表面実装型水晶発振器は、基本的に
は、板状の水晶振動片の表裏両面の所定部位にそれぞれ
皮膜状の振動電極が形成されるとともに、それら表裏面
の振動電極をパッケージ電極に接続すべく前記水晶振動
片の端部に皮膜状の一対の配線電極が形成され、前記配
線電極が前記水晶振動片の表裏両面の端部に形成された
接続電極部とそれらを橋絡するように前記水晶振動片の
側端面に形成された引廻電極部とからなっている。そし
て、前記配線電極の厚みが前記振動電極のそれより厚く
されていることを特徴としている。
【０００９】本発明における配線電極は、同一チャンバ
ー内で蒸着量を振動電極より増加させることによりその
厚みを増大させてもよいし、何度かに分けて蒸着する
（経時蒸着により多層にする）ことによりその厚みを増
大させてもよい。また、配線電極を多層にする場合、同
一材料でなく、異種材料を順次積層するようにしてもよ
い。この場合、電極材料としては、Ａｕ（金）、Ａｇ
（銀）、Ｗ（タングステン）等の金属材料、Ａｌ2Ｏ3等
の各種酸化物、窒化物、有機物、無機物等を適宜使用で
きる。
ー内で蒸着量を振動電極より増加させることによりその
厚みを増大させてもよいし、何度かに分けて蒸着する
（経時蒸着により多層にする）ことによりその厚みを増
大させてもよい。また、配線電極を多層にする場合、同
一材料でなく、異種材料を順次積層するようにしてもよ
い。この場合、電極材料としては、Ａｕ（金）、Ａｇ
（銀）、Ｗ（タングステン）等の金属材料、Ａｌ2Ｏ3等
の各種酸化物、窒化物、有機物、無機物等を適宜使用で
きる。
【００１０】上述の如くの構成とされた本発明の表面実
装型水晶発振器においては、配線電極の厚みが振動電極
のそれより厚くされて充分な厚みが確保されるので、配
線電極のステップカバレッジ性が向上し、微小領域で膜
の欠落が生じ難くなるとともに、配線抵抗が抑えられて
その特性が安定し、さらに、振動電極の厚みは変えなく
てよいので所望の励振特性を確実に得ることができて信
頼性が高められる。
装型水晶発振器においては、配線電極の厚みが振動電極
のそれより厚くされて充分な厚みが確保されるので、配
線電極のステップカバレッジ性が向上し、微小領域で膜
の欠落が生じ難くなるとともに、配線抵抗が抑えられて
その特性が安定し、さらに、振動電極の厚みは変えなく
てよいので所望の励振特性を確実に得ることができて信
頼性が高められる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。図１及び図２は、本発明に係る
表面実装型水晶発振器の一実施形態を示しており、図示
例の表面実装型水晶発振器１０は、前述した図３及び図
４に示される従来のものと同様に、所定厚みを有した矩
形板状の水晶振動片１２における表裏（上下）両面の略
中央部位にそれぞれ皮膜状の矩形状の振動電極１３Ａ，
１３Ｂが形成されるとともに、それらの振動電極１３
Ａ，１３Ｂを面実装用パッケージ２０のパッケージ電極
２２，２２に導電性接着剤２４，２４を介して接続すべ
く前記水晶振動片１２の両端部の左右にそれぞれ、後述
するように前記振動電極１３Ａ，１３Ｂの約２倍の厚み
を有する皮膜状の対をなす配線電極１５Ａ，１５Ｂ，１
５Ｃ，１５Ｄが形成されている。
を参照しつつ説明する。図１及び図２は、本発明に係る
表面実装型水晶発振器の一実施形態を示しており、図示
例の表面実装型水晶発振器１０は、前述した図３及び図
４に示される従来のものと同様に、所定厚みを有した矩
形板状の水晶振動片１２における表裏（上下）両面の略
中央部位にそれぞれ皮膜状の矩形状の振動電極１３Ａ，
１３Ｂが形成されるとともに、それらの振動電極１３
Ａ，１３Ｂを面実装用パッケージ２０のパッケージ電極
２２，２２に導電性接着剤２４，２４を介して接続すべ
く前記水晶振動片１２の両端部の左右にそれぞれ、後述
するように前記振動電極１３Ａ，１３Ｂの約２倍の厚み
を有する皮膜状の対をなす配線電極１５Ａ，１５Ｂ，１
５Ｃ，１５Ｄが形成されている。
【００１２】それらの配線電極１５Ａ，１５Ｂ，１５
Ｃ，１５Ｄは共に、前記水晶振動片１２の表裏両面の端
部に形成された接続電極部１５ａ，１５ｂとそれらを橋
絡するように前記水晶振動片１２の両端部の左右の側端
面（コーナー部）に形成された引廻電極部１５ｃとから
なっており、前記表面の振動電極１３Ａと前記配線電極
のうちの対角線上に位置する、図１において左下と右上
の配線電極１５Ａ，１５Ｄの表面側の接続電極部１５ａ
とが前記表面の振動電極１３Ａに延設された連結部１３
ａ，１３ａにより接続され、同様に前記裏面の振動電極
１３Ｂと前記配線電極のうちの対角線上に位置する、図
１において左上と右下の配線電極１５Ｂ，１５Ｃの裏面
側の接続電極部１５ｂとが前記表面の振動電極１３Ｂに
延設された連結部１３ｂ，１３ｂにより接続されてい
る。
Ｃ，１５Ｄは共に、前記水晶振動片１２の表裏両面の端
部に形成された接続電極部１５ａ，１５ｂとそれらを橋
絡するように前記水晶振動片１２の両端部の左右の側端
面（コーナー部）に形成された引廻電極部１５ｃとから
なっており、前記表面の振動電極１３Ａと前記配線電極
のうちの対角線上に位置する、図１において左下と右上
の配線電極１５Ａ，１５Ｄの表面側の接続電極部１５ａ
とが前記表面の振動電極１３Ａに延設された連結部１３
ａ，１３ａにより接続され、同様に前記裏面の振動電極
１３Ｂと前記配線電極のうちの対角線上に位置する、図
１において左上と右下の配線電極１５Ｂ，１５Ｃの裏面
側の接続電極部１５ｂとが前記表面の振動電極１３Ｂに
延設された連結部１３ｂ，１３ｂにより接続されてい
る。
【００１３】ここでは、一対のパッケージ電極２２，２
２が前記水晶振動片１２の左端側下方に配置されている
ので、前記表面の振動電極１３Ａは、左手前側の連結部
１３ａから配線電極１５Ａの表側の接続電極部１５ａ、
引廻電極部１５ｃ、裏側の接続電極部１５ｂ、導電性接
着剤２４を介して一方のパッケージ電極２２に接続さ
れ、前記裏面の振動電極１３Ｂは、左後方側の連結部１
３ｂから配線電極１５Ｂの裏側の接続電極部１５ｂ、導
電性接着剤２４を介して他方のパッケージ電極２２に接
続され、当該表面実装型水晶発振器１０は配線電極１５
Ａ，１５Ｂ側で片持ち支持される。
２が前記水晶振動片１２の左端側下方に配置されている
ので、前記表面の振動電極１３Ａは、左手前側の連結部
１３ａから配線電極１５Ａの表側の接続電極部１５ａ、
引廻電極部１５ｃ、裏側の接続電極部１５ｂ、導電性接
着剤２４を介して一方のパッケージ電極２２に接続さ
れ、前記裏面の振動電極１３Ｂは、左後方側の連結部１
３ｂから配線電極１５Ｂの裏側の接続電極部１５ｂ、導
電性接着剤２４を介して他方のパッケージ電極２２に接
続され、当該表面実装型水晶発振器１０は配線電極１５
Ａ，１５Ｂ側で片持ち支持される。
【００１４】かかる本実施形態の表面実装型水晶発振器
１０においては、振動電極１３Ａ，１３Ｂ、及び配線電
極１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ（１５Ｃ，１５Ｄは
接続には使用していない）は、Ａｕ等の金属材料を用い
て蒸着により形成したものであるが、配線電極１５Ａ，
１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄは二度の両面蒸着によりその厚
み（接続電極部１５ａ，１５ｂ及び引廻電極部１５ｃの
厚み）β’は振動電極１３Ａ，１３Ｂの厚みα’の約２
倍程度とされ（配線電極β’＞振動電極α’）とされて
いて２００ｎｍを越えており、充分な厚さが確保されて
いるので、配線電極１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄの
ステップカバレッジ性が向上し、微小領域で膜の欠落が
生じ難くなるとともに、配線抵抗が抑えられてその特性
が安定し、さらに、振動電極１３Ａ，１３Ｂの厚みは変
えなくてよいので所望の励振特性を確実に得ることがで
きて信頼性が高められる。
１０においては、振動電極１３Ａ，１３Ｂ、及び配線電
極１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ（１５Ｃ，１５Ｄは
接続には使用していない）は、Ａｕ等の金属材料を用い
て蒸着により形成したものであるが、配線電極１５Ａ，
１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄは二度の両面蒸着によりその厚
み（接続電極部１５ａ，１５ｂ及び引廻電極部１５ｃの
厚み）β’は振動電極１３Ａ，１３Ｂの厚みα’の約２
倍程度とされ（配線電極β’＞振動電極α’）とされて
いて２００ｎｍを越えており、充分な厚さが確保されて
いるので、配線電極１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄの
ステップカバレッジ性が向上し、微小領域で膜の欠落が
生じ難くなるとともに、配線抵抗が抑えられてその特性
が安定し、さらに、振動電極１３Ａ，１３Ｂの厚みは変
えなくてよいので所望の励振特性を確実に得ることがで
きて信頼性が高められる。
【００１５】なお、上述の例では、一端側の配線電極１
５Ａ，１５Ｂがパッケージ電極２２，２２に接続されて
いるが、それに代えて、他端側の配線電極１５Ｃ，１５
Ｄをパッケージ電極２２，２２に接続してもよいし、さ
らに、両端部の電極の一方づつをパッケージ電極に接続
することもできる。また、上述の例では、配線電極が同
一材料（Ａｕ）を二度蒸着して積層することにより厚み
を増大させているが、異種材料を順次積層すること、例
えば下から順次Ｗ、Ａｕを積層して厚みを増大させるよ
うにしてもよい。
５Ａ，１５Ｂがパッケージ電極２２，２２に接続されて
いるが、それに代えて、他端側の配線電極１５Ｃ，１５
Ｄをパッケージ電極２２，２２に接続してもよいし、さ
らに、両端部の電極の一方づつをパッケージ電極に接続
することもできる。また、上述の例では、配線電極が同
一材料（Ａｕ）を二度蒸着して積層することにより厚み
を増大させているが、異種材料を順次積層すること、例
えば下から順次Ｗ、Ａｕを積層して厚みを増大させるよ
うにしてもよい。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、本発
明に係る表面実装型水晶発振器は、配線電極の厚みが前
記振動電極のそれより厚くされて充分な厚さが確保され
ているので、配線電極のステップカバレッジ性が向上
し、微小領域で膜の欠落が生じ難くなるとともに、配線
抵抗が抑えられてその特性が安定し、さらに、振動電極
の厚みは変えなくてよいので所望の励振特性を確実に得
ることができて信頼性が高められるという優れた効果を
奏する。
明に係る表面実装型水晶発振器は、配線電極の厚みが前
記振動電極のそれより厚くされて充分な厚さが確保され
ているので、配線電極のステップカバレッジ性が向上
し、微小領域で膜の欠落が生じ難くなるとともに、配線
抵抗が抑えられてその特性が安定し、さらに、振動電極
の厚みは変えなくてよいので所望の励振特性を確実に得
ることができて信頼性が高められるという優れた効果を
奏する。
【図１】本発明に係る表面実装型水晶発振器の一実施形
態を示す斜視図。
態を示す斜視図。
【図２】図１の表面実装型水晶発振器をパッケージに搭
載した状態を示す断面図。
載した状態を示す断面図。
【図３】従来の表面実装型水晶発振器の一例を示す斜視
図。
図。
【図４】図３の表面実装型水晶発振器をパッケージに搭
載した状態を示す断面図。
載した状態を示す断面図。
１０ 表面実装型水晶発振器 １２ 水晶振動片 １３ 振動電極 １５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ 配線電極 １５ａ，１５ｂ 接続電極部 １５ｃ 引廻電極部 ２２ パッケージ電極
Claims (1)
- 【請求項１】板状の水晶振動片の表裏両面の所定部位に
それぞれ皮膜状の振動電極が形成されるとともに、それ
ら表裏面の振動電極をパッケージ電極に接続すべく前記
水晶振動片の端部に皮膜状の一対の配線電極が形成さ
れ、前記配線電極が前記水晶振動片の表裏両面の端部に
形成された接続電極部とそれらを橋絡するように前記水
晶振動片の側端面に形成された引廻電極部とからなって
いる表面実装型水晶発振器において、 前記配線電極の厚みが前記振動電極のそれより厚くされ
ていることを特徴とする表面実装型水晶発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7347248A JPH09167919A (ja) | 1995-12-14 | 1995-12-14 | 表面実装型水晶発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7347248A JPH09167919A (ja) | 1995-12-14 | 1995-12-14 | 表面実装型水晶発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09167919A true JPH09167919A (ja) | 1997-06-24 |
Family
ID=18388933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7347248A Pending JPH09167919A (ja) | 1995-12-14 | 1995-12-14 | 表面実装型水晶発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09167919A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007096899A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片の接合構造、圧電デバイス |
| JP2007096945A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Daishinku Corp | 水晶振動デバイスおよび水晶振動デバイスの製造方法 |
| JP2007195138A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-08-02 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
| JP2014229912A (ja) * | 2013-05-17 | 2014-12-08 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶デバイス |
| KR20160067616A (ko) * | 2014-12-04 | 2016-06-14 | 삼성전기주식회사 | 수정 진동자 패키지 |
| CN107017863A (zh) * | 2015-10-06 | 2017-08-04 | 精工爱普生株式会社 | 振动器件、振荡器、电子设备以及移动体 |
-
1995
- 1995-12-14 JP JP7347248A patent/JPH09167919A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007096899A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片の接合構造、圧電デバイス |
| JP2007096945A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Daishinku Corp | 水晶振動デバイスおよび水晶振動デバイスの製造方法 |
| JP2007195138A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-08-02 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
| JP4552916B2 (ja) * | 2005-12-21 | 2010-09-29 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
| US7948156B2 (en) | 2005-12-21 | 2011-05-24 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator plate, and piezoelectric resonator device |
| JP2014229912A (ja) * | 2013-05-17 | 2014-12-08 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶デバイス |
| KR20160067616A (ko) * | 2014-12-04 | 2016-06-14 | 삼성전기주식회사 | 수정 진동자 패키지 |
| CN107017863A (zh) * | 2015-10-06 | 2017-08-04 | 精工爱普生株式会社 | 振动器件、振荡器、电子设备以及移动体 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10397708B2 (en) | Piezoelectric element, piezoelectric microphone, piezoelectric resonator and method for manufacturing piezoelectric element | |
| US5621263A (en) | Piezoelectric resonance component | |
| JPH09167919A (ja) | 表面実装型水晶発振器 | |
| JPH0221711A (ja) | 圧電振動部品 | |
| JP2000138554A (ja) | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 | |
| JP4111139B2 (ja) | エネルギー閉じ込め型圧電共振部品 | |
| JPH11168343A (ja) | 厚み縦圧電共振子 | |
| JPH0158890B2 (ja) | ||
| JP3498568B2 (ja) | 圧電振動子ユニットおよび圧電発振器 | |
| JPH098592A (ja) | 発振子 | |
| JP2001144577A (ja) | 圧電共振子 | |
| US4697116A (en) | Piezoelectric vibrator | |
| JP3296264B2 (ja) | 圧電部品 | |
| CN109417371B (zh) | 弹性波装置 | |
| JPH088677A (ja) | 圧電部品 | |
| JP3642432B2 (ja) | 圧電部品 | |
| JP2001102893A (ja) | チップ型電子部品及びチップ型電子部品の実装構造 | |
| JP3256953B2 (ja) | モノリシック圧電フィルタ | |
| JPS59128813A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH08298425A (ja) | 水晶振動子 | |
| US20020011763A1 (en) | Piezoelectric resonant component | |
| JPH11112279A (ja) | 圧電部品 | |
| JP2001044785A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2003087077A (ja) | 圧電共振子およびこの圧電共振子を用いた圧電部品 | |
| JPH0878995A (ja) | 圧電部品 |