JPH09161332A - 情報記録原盤用基板及びそれを用いた情報記録原盤作製装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、安定した再生信号が得られ、取り
扱の簡単な情報記録原盤用基板及びそれを用いた情報記
録原盤作製装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明は、情報記録原盤用基板におい
て、厚さが０．４〜４．０ｍｍで、直径が７０ｍｍ以上
かつ４００ｍｍ以内であることを特徴とし、さらに、基
板のフォトレジストが塗布される表面側は中心穴のない
平面であることを特徴とする。また、その基板が、ガラ
ス板又は単結晶シリコン基板からなることを特徴とす
る。さらには、情報記録原盤作製装置において、これら
の基板を用いたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００２】

【０００１】

【０００３】

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク製造用の情
報記録原盤用基板及びそれを用いた情報記録原盤作製装
置に関する。

【０００４】

【０００２】

【０００５】

【従来の技術】従来、ビデオディスク、コンパクトディ
スク等の光ディスクは以下に述べるようにして製造され
る。

【０００６】まず厚さ６〜８ｍｍのガラス基板を原盤と
して用い、研磨、洗浄し、例えばヘキサメチルジシラザ
ンを主成分とする材料により表面を活性化する。その上
にフォトレジスト等の感光性樹脂をスピンコーティング
装置で塗布し、プリベークした後冷却する。次に露光装
置において、記録すべき信号により変調されたレーザ光
を感光性樹脂に照射し、露光する。露光された感光性樹
脂は、現像装置により現像、洗浄され、さらにポストベ
ークした後冷却する。これにより、感光性樹脂の表面に
銀、ニッケル等の導電膜がスパッタにより形成され、情
報記録原盤が作成される。

【０００７】そして、情報記録原盤上にニッケル電鋳し
て剥離し、ピットが転写されたニッケルスタンパが得ら
れ、このスタンパを用いて射出成形等によって合成樹脂
の基板を得て、信号転写面上に反射膜、保護膜を順に形
成して光ディスクが作製される。

【０００８】

【０００３】

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、記録される
べき信号の高密度化に伴いトラックピッチ、ジッタ等の
バラツキの許容範囲を小さくする必要が生じる。その場
合、従来研磨が容易又は機械的強度が必要との理由で用
いられていた厚さ６〜８ｍｍのガラス基板では露光装置
等の情報記録原盤作製装置における回転系の不つり合い
質量が大きく、トラックピッチ、ジッタの変動を許容範
囲に収めることが困難となる。これらを作製装置側で対
応しようとすればきわめて高精度に心合わせを行う必要
があり、装置が複雑で高価なものとなる。

【００１０】本発明は上述の事情に鑑みてなされたもの
であり、安定した再生信号が得られ、取り扱の簡単な情
報記録原盤用基板及びそれを用いた情報記録原盤作製装
置を提供することを目的とする。

【００１１】

【０００４】

【００１２】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明に依る情
報記録原盤用基板は、厚さが０．４〜４．０ｍｍで、直
径が７０ｍｍ以上かつ４００ｍｍ以内である。請求項２
の発明に依る情報記録原盤用基板は、基板のフォトレジ
ストが塗布される表面側は中心穴のない平面である。

【００１３】請求項３の発明に依る情報記録原盤用基板
は、ガラス板又は単結晶シリコン基板からなる。

【００１４】請求項４の発明に依る情報記録原盤用基板
は、請求項１乃至３の情報記録原盤用基板を用いたこと
を特徴とする。

【００１５】

【０００５】

【００１６】

【作用】情報記録原盤用基板として薄型軽量基板を用い
ることにより、情報記録原盤作製装置において回転系に
対する心合わせ精度が軽減され、取り扱いも簡単にな
る。また、熱容量が小さくなるので加熱冷却が速やかに
行われる。

【００１７】

【０００６】

【００１８】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。

【００１９】情報記録原盤用基板は、厚さが０．４〜
４．０ｍｍ、好ましくは０．６〜１．２ｍｍで、その直
径が７０ｍｍ〜４００ｍｍ、好ましくは７０〜２５０ｍ
ｍである。ガラス基板又はシリコン単結晶基板からな
る。

【００２０】基板の厚さが０．４ｍｍ未満であると、機
械的強度が脆くその取り扱いに問題が生じることがあ
る。一方、この厚さが４．０ｍｍを越えると、回転系の
不つり合い質量としての基板の質量が大きくなり、情報
記録原盤の作製工程における工程余裕が少なくなること
がある。

【００２１】基板のフォトレジストが塗布される表面は
中心穴等の凹凸のない、研磨された平面であり、裏面側
も同様に平面となっている。尚、基板の裏面側に貫通し
ない中心凹部を設けるようにしても良い。

【００２２】

【０００７】以上の情報記録原盤用基板を用いた情報記
録原盤の作製工程の一例を示す。基板として、直径２０
０ｍｍで厚さが１．１ｍｍ、又は０．７ｍｍのガラス基
板、０．７ｍｍのシリコン単結晶基板を用いる。尚、基
板は平面平板状であり、フォトレジストの塗布される表
面は中心穴のない平面となっている。

【００２３】表面が研磨、洗浄された基板をスピンコー
ティング装置のターンテーブル上に位置決めし、真空吸
着する。基板を所定の回転数で回転させつつ、フォトレ
ジストを滴下し、厚さ８００〜１３００オングストロー
ムのフォトレジスト層を基板上に形成する。ここで基板
のフォトレジストが塗布される表面が中心穴のない平面
になっているため、内外周での膜厚差が小さく塗布ムラ
も抑制されている。フォトレジスト層は、プリベークし
た後冷却され、露光装置のターンテーブル上にフォトレ
ジストが塗布された基板が位置決めされ、真空吸着によ
り固定される。露光装置において、所定の回転速度で基
板を回転させつつ、記録信号に応じて変調されたビーム
でフォトレジスト層を露光する。ここで、基板が薄型軽
量なので、熱容量が小さく、プリベーク時の加熱冷却が
速やかに達成され、また、露光装置における回転系の不
つり合い質量が小さくなるのでトラックピッチ、ジッタ
等のバラツキを軽減することができる。露光されたフォ
トレジスト層は、現像され、ポストベークした後、冷却
される。このようにして、記録信号に応じたピット又は
グルーブがフォトレジスト層に形成された情報記録原盤
が作製される。

【００２４】

【０００８】

【００２５】

【発明の効果】本発明の情報記録原盤用基板は、軽量基
板なのでトラックピッチ、ジッタ等の変動のない情報記
録原盤が得られ、又、加熱冷却が速やかに達成される。

【００２６】また、本発明の情報記録原盤作製装置は、
軽量基板を用いているので心合わせ精度が軽減され、搬
送手段もより簡略化できる。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成８年１２月１６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】発明の詳細な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク製造用の情
報記録原盤用基板及びそれを用いた情報記録原盤作製装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ビデオディスク、コンパクトディ
スク等の光ディスクは以下に述べるようにして製造され
る。まず厚さ６〜８ｍｍのガラス基板を原盤として用
い、研磨、洗浄し、例えばヘキサメチルジシラザンを主
成分とする材料により表面を活性化する。その上にフォ
トレジスト等の感光性樹脂をスピンコーティング装置で
塗布し、プリベークした後冷却する。次に露光装置にお
いて、記録すべき信号により変調されたレーザ光を感光
性樹脂に照射し、露光する。露光された感光性樹脂は、
現像装置により現像、洗浄され、さらにポストベークし
た後冷却する。これにより、感光性樹脂の表面に銀、ニ
ッケル等の導電膜がスパッタにより形成され、情報記録
原盤が作成される。そして、情報記録原盤上にニッケル
電鋳して剥離し、ピットが転写されたニッケルスタンパ
が得られ、このスタンパを用いて射出成形等によって合
成樹脂の基板を得て、信号転写面上に反射膜、保護膜を
順に形成して光ディスクが作製される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、記録される
べき信号の高密度化に伴いトラックピッチ、ジッタ等の
バラツキの許容範囲を小さくする必要が生じる。その場
合、従来研磨が容易又は機械的強度が必要との理由で用
いられていた厚さ６〜８ｍｍのガラス基板では露光装置
等の情報記録原盤作製装置における回転系の不つり合い
質量が大きく、トラックピッチ、ジッタの変動を許容範
囲に収めることが困難となる。これらを作製装置側で対
応しようとすればきわめて高精度に心合わせを行う必要
があり、装置が複雑で高価なものとなる。本発明は上述
の事情に鑑みてなされたものであり、安定した再生信号
が得られ、取り扱の簡単な情報記録原盤用基板及びそれ
を用いた情報記録原盤作製装置を提供することを目的と
する。

【０００４】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明に依る情
報記録原盤用基板は、厚さが０．４〜４．０ｍｍで、直
径が７０ｍｍ以上かつ４００ｍｍ以内である。請求項２
の発明に依る情報記録原盤用基板は、基板のフォトレジ
ストが塗布される表面側は中心穴のない平面である。請
求項３の発明に依る情報記録原盤用基板は、ガラス板又
は単結晶シリコン基板からなる。請求項４の発明に依る
情報記録原盤用基板は、請求項１乃至３の情報記録原盤
用基板を用いたことを特徴とする。

【０００５】

【作用】情報記録原盤用基板として薄型軽量基板を用い
ることにより、情報記録原盤作製装置において回転系に
対する心合わせ精度が軽減され、取り扱いも簡単にな
る。また、熱容量が小さくなるので加熱冷却が速やかに
行われる。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。情
報記録原盤用基板は、厚さが０．４〜４．０ｍｍ、好ま
しくは０．６〜１．２ｍｍで、その直径が７０ｍｍ〜４
００ｍｍ、好ましくは７０〜２５０ｍｍである。ガラス
基板又はシリコン単結晶基板からなる。基板の厚さが
０．４ｍｍ未満であると、機械的強度が脆くその取り扱
いに問題が生じることがある。一方、この厚さが４．０
ｍｍを越えると、回転系の不つり合い質量としての基板
の質量が大きくなり、情報記録原盤の作製工程における
工程余裕が少なくなることがある。基板のフォトレジス
トが塗布される表面は中心穴等の凹凸のない、研磨され
た平面であり、裏面側も同様に平面となっている。尚、
基板の裏面側に貫通しない中心凹部を設けるようにして
も良い。

【０００７】以上の情報記録原盤用基板を用いた情報記
録原盤の作製工程の一例を示す。基板として、直径２０
０ｍｍで厚さが１．１ｍｍ、又は０．７ｍｍのガラス基
板、０．７ｍｍのシリコン単結晶基板を用いる。尚、基
板は平面平板状であり、フォトレジストの塗布される表
面は中心穴のない平面となっている。表面が研磨、洗浄
された基板をスピンコーティング装置のターンテーブル
上に位置決めし、真空吸着する。基板を所定の回転数で
回転させつつ、フォトレジストを滴下し、厚さ８００〜
１３００オングストロームのフォトレジスト層を基板上
に形成する。ここで基板のフォトレジストが塗布される
表面が中心穴のない平面になっているため、内外周での
膜厚差が小さく塗布ムラも抑制されている。フォトレジ
スト層は、プリベークした後冷却され、露光装置のター
ンテーブル上にフォトレジストが塗布された基板が位置
決めされ、真空吸着により固定される。露光装置におい
て、所定の回転速度で基板を回転させつつ、記録信号に
応じて変調されたビームでフォトレジスト層を露光す
る。ここで、基板が薄型軽量なので、熱容量が小さく、
プリベーク時の加熱冷却が速やかに達成され、また、露
光装置における回転系の不つり合い質量が小さくなるの
でトラックピッチ、ジッタ等のバラツキを軽減すること
ができる。露光されたフォトレジスト層は、現像され、
ポストベークした後、冷却される。このようにして、記
録信号に応じたピット又はグルーブがフォトレジスト層
に形成された情報記録原盤が作製される。

【０００８】

【発明の効果】本発明の情報記録原盤用基板は、軽量基
板なのでトラックピッチ、ジッタ等の変動のない情報記
録原盤が得られ、又、加熱冷却が速やかに達成される。
また、本発明の情報記録原盤作製装置は、軽量基板を用
いているので心合わせ精度が軽減され、搬送手段もより
簡略化できる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 橘田 五六 山梨県中巨摩群田富町西花輪2680番地 パ イオニアビデオ株式会社内 (72)発明者 大森 一則 山梨県中巨摩群田富町西花輪2680番地 パ イオニアビデオ株式会社内 (72)発明者 小坂 浩之 山梨県中巨摩群田富町西花輪2680番地 パ イオニアビデオ株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 厚さが０．４〜４．０ｍｍで、直径が７
   ０ｍｍ以上かつ４００ｍｍ以内である基板からなること
   を特徴とする情報記録原盤用基板。
2. 【請求項２】 前記基板のフォトレジストが塗布される
   表面側は中心穴のない平面であることを特徴とする請求
   項１記載の情報記録原盤用基板。
3. 【請求項３】 前記基板は、ガラス板又は単結晶シリコ
   ン基板からなることを特徴とする請求項１又は２記載の
   情報記録原盤用基板。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれかに記載の情報
   記録原盤用基板を用いた情報記録原盤作製装置。 【０００１】