JP2513278B2 - 校正用光ディスク - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は光ディスクを生産するために使用する校正用
ディスクに関するものである。

〈従来技術〉 従来より光学式ディスクを大量生産するには、マスタ
リング工程で原盤を作成し、該原盤に対し、メッキ処理
を行ないスタンパーを作成、該スタンパーをもとに、イ
ンジェクションで大量複製を行ない、アルミ蒸着などを
経て行われていた。

この際、完成された光学式ディスクに情報が正確に付
されているかどうかを確かめるため予め校正用ディスク
を数枚製作して、実際にプレーヤーにかけたり、検査装
置で調べたりして、異常なしということになれば、実際
の大量複製が行われる。該校正用ディスクに対しても、
その作成は同様にマスタリング工程で原盤を作成し、該
原盤に対し、メッキ処理を行ないスタンパーを作成、該
スタンパーを基に、インジェクションで大量複製を行な
い、アルミ蒸着などを経て行われている。

ところがわずか数枚の校正用ディスクをこのような手
段により得るとマスタリング、メッキ、成型のそれぞれ
の工程について、かなりの時間を要し、場合によっては
１〜２日かかってしまうことになる。

このようなわずか数枚のディスクのために大がかりな
成型装置を作動させることは、減価償却の点から考えて
も無理が生じることになる。

さらに近年CD−Ｉ、CD−ROMといったものが普及され
て来ているが、これらのものはどちらかというと多品種
少量生産型であり、そのために小ロットの種類ごとに上
述した如くの手段による校正ディスクを使用していたの
では生産効率がきわめて低下してしまう。

そこで規格に合う形状・厚さを有するガラス，プラス
チック等からなる基材の表面に、 信号の記録状態を示している凹凸が形成されたフォト
レジストが設けられ、 さらに該フォトレジスト上に金属反射層を設けること
で、短時間で、効率的，経済的に校正用光ディスクが得
られる校正用光ディスクが考えられている。

なお校正用ディスクは高い反射率が必要なため（CDで
は70％以上），反射膜にAlやAgを使用している。

〈本発明が解決しようとする課題〉 このような校正用ディスクは，校正後，それを基にス
タンパーを作製する工程に使用出来れば生産効率上極め
て有効である。

しかし反射層をAlとしたのではその上にスタンパーを
作るためのNiめっきが密着せず,Agは酸化や硫化による
表面の劣化が激しいので，データ校正に時間がかかると
使用出来なくなる可能性もある。（ライフ１カ月）また
Agは比較的高価である。Niメッキの場合，めっき特性や
保存性（表面劣化が少ない）は良いが，反射率が悪く
（60％以下）使用出来ない。

〈課題を解決するための手段〉 本発明は以上の如くの現況に鑑みて為されたものであ
り，規格に合う形状・厚さを有するガラス，プラスチッ
ク等からなる基材の表面に、 信号の記録状態を示している凹凸が形成されたフォト
レジストが設けられ、 さらに該フォトレジスト上に反射率の高い金属層が設
けられ，さらにNiメッキの密着性の良い金属層が順次積
層されてある構成とすることで，スタンパー作製用マス
ターとしても使用出来る校正用光ディスクを提供するも
のである。

〈実施例〉 以下本発明について、図面を参照しながら詳細に説明
する。なお、CD（コンパクトディスク）を作成する場合
について以下順次説明して行く。

まず第２図に示す如く、CDの規格に合うように、外径
120mmφ、内径15mmφ，厚さ1.2mmの表面が研磨されたガ
ラスよりなる基材１を用意する。

該基材については原則的にフォトレジストの溶剤，例
えばメチルイソブチルケトンに不溶の材料でなくてはな
らない。

ガラス及び耐溶剤性を有する注型法により得られる複
屈折率の少ない特別なアクリルを使用してもよいがどち
らもかなり高価なものであり，通常のディスク基板の材
料として使用されてある安価なポリカーボネート樹脂，
アクリル樹脂は使用出来ない。

そこでこのようなポリカーボネート樹脂，アクリル樹
脂の表面に酸化シリコン，酸化マグネシウムなどの無機
質の材料で表面コートすることにより利用出来る。

このようにして得られる基材１上に、フォトレジスト
２をスピンナにより厚さ0.11μｍにコートする。該フォ
トレジストは富士ハント社製HPR−204をメチルイソブチ
ルケトンに溶かして、適当な粘度にしたものを使用し、
レジストコートした後は80℃で30分程度のベーキングを
行なって乾燥した状態にしておく。該フォトレジスト２
の厚さ0.11μｍは、通常のCDのピットにおける凹凸の高
さの差に合せためである。

このようにして得られるレジストマスターを何枚か用
意しておくと、記録すべき信号のデータが入力されてあ
る3/4Uマチックテープが手に入り次第即座に、レーザー
ビーム露光が行えるものとなる。

実際にレーザービーム露光装置を用いて、露光をする
には、まず、レーザービームの対物レンズとがある程度
（5mm程度）離れているため、本発明によるフォトレジ
ストが塗布された厚さ1mm程度の基材１をのせただけで
は焦点が合わないため、高さを調整する必要がある。

そのために第３図に示す如く、ローテーションステー
ジにある程度（5mm）の厚さを有するガラス円盤３を載
置させ、該ガラス円盤３上に上述した如くのフォトレジ
スト２を有する基材１を載せて、ネジ５を有するローテ
ーションステージを備えたレーザービーム露光装置で、
フォトレジスト２上への露光を行なう。

露光後は、第４図に示す如く、NaOHの0.3％水溶液に
て現像を行なうことで、ピットに対応する凹凸が形成さ
れる。

そして、第１図に示す如く、該、現像されたフォトレ
ジストの凹凸前面に，蒸着機による蒸着，またはスパッ
タリングによりAlによる第１の金属層を50nm厚に形成
し，次にNiによる第２の金属層を50nm厚に順次形成す
る。

このようにして、校正用ディスクを作成、校正するこ
とで、CD−ROM、CD−Ｉのデータ作成者及びマスターテ
ープから3/4Uマチックテープへデータのフォーマッティ
ングを終えた後、その約２時間後には、市販のCDプレー
ヤに対応した規格に合ったCDが得られる。

そして即座にデータそのものの確認、フォーマッティ
ングの確認、アクセスタイムの確認が行える。

また従来稼働させなければならなかったプレーティン
グ装置、レプリカ成型機が校正ディスクを作製する時に
は不要となったため、これらに必要な原材料及び水、空
気等のユーティリティー関係またこれらの装置を稼働す
る人手がいらなくなる。

次に校正してOKとなれば第５図に示す如く,Niによる
第２の金属層７上にNiめっきを行い基材1,フォトレジス
ト２を剥離させて第６図に示すスタンパーが容易に得ら
れる。

この場合必要に応じてAlの第１金属層６は剥離しても
良い。

〈効果〉 本発明は以上の如くであり、信号を転写するための成
型などを必要としないため、きわめて短時間に校正用光
ディスクが得られ、また、大がかりな装置を必要としな
いため、手間、経費の低減が計られ、さらに反射率の高
い金属層，さらにNiメッキの密着性の良い金属層が順次
積層されてあることでスタンパー作製用として使用する
ことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による校正用光ディスクの断面を示す説
明図、第２図、第３図、第４図のそれぞれは、それぞれ
のディスクの状態を示す断面の説明図，第５図は本発明
によるスタンパー作製工程を示す説明図、第６図は本発
明によりえられるスタンパーの断面図。 １…基材、２…フォトレジスト ３…ガラス支持体、４…押さえ具 ５…ボルト、６…第１金属層 ７…第２金属層、８…スタンパー

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】規格に合う形状・厚さを有するガラス，プ
   ラスチック等からなる基材の表面に、 信号の記録状態を示している凹凸が形成されたフォトレ
   ジストが設けられ、 さらに該フォトレジスト上に反射率の高い金属層が設け
   られ，さらにNiメッキの密着性の良い金属層が順次積層
   されてあることを特徴とする校正用光ディスク。