JPH09159622A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】鋼板、アルミニウム板、紙などの表面に発生す
る、幅方向にしわ状に延びた表面欠陥を高精度に検出す
ることのできる表面欠陥検査装置を提供することを目的
とする。 【解決手段】Ａ方向に走行する被検査材１表面の幅方向
Ｂの一次元画像を表す一次元画像データを繰り返し生成
する一次元撮像器３と、複数の一次元画像データの集合
から成る被検査材表面の二次元画像を表す二次元画像デ
ータから、被検査材１表面の一部領域の画像データを切
り出す領域切出し手段８と、切り出した画像データを幅
方向に積分することにより積分データを生成するデータ
積分回路９と、その積分データを走行方向に移動平均す
ることにより平滑化データを生成する平滑化手段１０
と、上記積分データと上記平滑化データとの差分を求め
ることにより差分データを生成する差分演算手段１１
と、上記差分データに基づいて被検査材１表面の欠陥を
検出する欠陥検出手段１２とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、鋼板、アルミニウ
ム板、紙などの被検査材の表面に発生する欠陥を検出す
る表面欠陥検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】鋼板、アルミニウム板、紙などの製造工
程において、品質管理あるいは品質保証を行う上で、製
品の表面に発生する種々の欠陥を正確にしかも迅速に検
出する必要がある。特に、鋼板の場合、圧延加工によっ
て製造される鋼板の表面欠陥には、鋼板の幅方向に発生
する表面欠陥と鋼板の走行方向に発生する表面欠陥とが
あるが、そのうち、鋼板の幅方向に発生する表面欠陥に
は種々の形態のものがあり互いに判別しにくいという特
徴がある。例えば、畳じわ欠陥と呼ばれるスキンパス圧
延時の不具合によって発生する鋼板の幅方向に延びた多
数のしわ状の欠陥や、鋼板の走行が停止した時に鋼板と
ロールとの接触部で鋼板表面が僅かにロールに押し込ま
れて発生する腰折れ欠陥や、あるいは偶発的に発生する
横割れ欠陥などをオンラインの圧延工程で正確に検出す
るのは簡単なことではない。

【０００３】図４は、畳じわ欠陥と呼ばれる鋼板の表面
欠陥を示す図である。図４に示すように、この畳じわ欠
陥２１ａは、鋼板２１の走行方向Ａに交わる幅方向Ｂに
延びる僅かに凹凸変化のある多数のしわ状の欠陥として
現れる。図５は、腰折れ欠陥と呼ばれる鋼板の表面欠陥
を示す図である。図５に示すように、この腰折れ欠陥２
１ｂは鋼板２１の幅方向Ｂの全幅に延びた筋状の欠陥で
あり、畳じわ欠陥のように多数発生することは少なく、
鋼板２１の走行方向Ａの１個所のみに現れやすいという
特徴がある。

【０００４】これらの表面欠陥を検出するため、従来よ
り光学的手法を用いて鋼板表面の欠陥を自動的に検出す
る表面欠陥検査装置が実用に供されている。図６は、従
来の一般的な光学式の表面欠陥検査装置の概略構成を示
す模式図である。図６に示すように、この表面欠陥検査
装置２０には、矢印Ａ方向に走行する被検査材２１表面
に光２２ａを照射する投光器２２と、被検査材２１の走
行方向Ａに交わる幅方向Ｂに走査しながら被検査材２１
表面からの反射光強度による幅方向Ｂの一次元画像を表
す一次元画像データを繰り返し生成する一次元撮像器２
３と、被検査材２１の走行に応じて同期信号を発生する
同期信号発生部２４と、一次元撮像器２３からの一次元
画像データを同期信号発生部２４からの同期信号と同期
させるための同期化回路２５と、同期化回路２５により
被検査材２１の走行に応じて生成された二次元画像デー
タをしきい値処理して二次元画像データの中から欠陥部
データを抽出し、さらに、欠陥部データの中に含まれて
いるノイズ成分を除去して被検査材２１表面の欠陥を検
出する欠陥検出部２６とが備えられている。

【０００５】このように構成された表面欠陥検査装置２
０において、投光器２２から出射される光２２ａの強度
むら、被検査材２１表面の凹凸形状による地合の変化等
のために、一次元撮像器２３から出力された一次元画像
データの中に、幅方向のうねりの成分が重畳されている
ことが多い。図７は、うねりの成分が重畳された一次元
画像データのグラフ、及び後述のうねり補正処理を施し
た後の一次元画像データのグラフである。

【０００６】図７ａには、１個所だけ反射光強度がピー
ク状に突出した欠陥部データ２７を含む一次元画像デー
タに、幅方向Ｂ全幅に亘って中央部が上に膨らんだうね
りの成分が重畳されたグラフが示されている。このよう
にうねりの成分が重畳されたままの一次元画像データを
基に、しきい値処理を施して欠陥部データを抽出しよう
としても、このようなうねりの成分のために、欠陥部デ
ータ２７を正確に抽出することはできない。

【０００７】そこで、従来の表面欠陥検査装置では、抽
出すべき欠陥部データを損なわずにうねりの成分だけを
除去するうねり補正を施してから、しきい値処理による
欠陥部データ抽出を行うようにしているものが多い。な
お、このうねり補正は、オンライン方式の表面欠陥検査
装置の高速性を確保するため、一次元撮像器２３から出
力された一次元画像データの段階で施されるのが一般的
である。

【０００８】これに対し、うねり補正処理を施すと、図
７ｂに示すように、抽出されるべき欠陥部データ２７が
損なわれることなくうねりの成分だけが除去され、全体
として平坦なレベルに補正される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の表面欠
陥検査装置を用い、前述のうねり補正処理（図７参照）
を施した場合、スリ疵やカキ疵のような被検査材の走行
方向に延びた異常部の情報、及び押し疵のように円形の
形状を有する異常部の情報はうねり補正によっても損な
われることはないが、図４に示す畳じわ欠陥のような被
検査材の幅方向に発生する僅かに凹凸状に変化する長さ
の比較的短いしわ状欠陥がうねり補正によって消滅して
しまうことがあり、その結果、本来検出されるべき異常
部が抽出できなくなるという問題があった。

【００１０】ところで、被検査材の幅方向に発生する横
割れ欠陥を検出する方法として、特公昭６３−４９１８
０号公報には、一次元撮像器により得られた一次元画像
データを２走査分蓄積するようにし、その２走査分のデ
ータの差分を取り、その差分を被検査材の幅方向に積分
し、積分したデータが所定のしきい値を越えたとき横割
れ欠陥であると判定する方法が開示されている。

【００１１】このように被検査材の幅方向への積分処理
により健全部の反射光強度のＳ／Ｎ比を向上させること
ができ、欠陥部を検出が容易になり、また、この積分処
理により、ランダムに発生するノイズ成分を抑制する効
果も生じる。しかし、この公報に開示されている方法
は、腰折れ欠陥あるいは横割れ欠陥のように被検査材の
全幅に亘って発生する欠陥の検出にとっては有効である
が、畳じわ欠陥のように幅方向の長さが比較的短い多数
のしわ状の欠陥の場合は、幅方向全幅に亘る積分処理に
よって各積分値の中に畳じわ欠陥の成分が埋没してしま
い、その積分データをしきい値処理してももはや畳じわ
欠陥を抽出することはできない。

【００１２】図８は、畳じわ欠陥のある被検査材の平面
図と、従来法によりその平面図に対応する二次元画像デ
ータを幅方向に積分した積分データのグラフである。図
８（ａ）には、畳じわ欠陥２１ａのある被検査材２１の
平面図が示されており、図８（ｂ）には、図８（ａ）に
示された平面図に対応する二次元画像データを被検査材
２１の全幅に亘って積分した後の積分データのグラフ
が、平面図に隣接して表示されている。

【００１３】従来法では、このように、被検査材２１の
全幅に亘って一次元画像データを積分するため、図８
（ａ）に示す畳じわ欠陥の成分は、図８（ｂ）に、畳じ
わ欠陥の存在する領域２１ｃとして示したように、それ
ぞれの積分値の中に畳じわ欠陥の成分が埋没してしま
い、このような積分データをしきい値処理しても畳じわ
欠陥は検出できない。

【００１４】以上、説明したように、従来の表面欠陥検
査装置は、被検査材の走行方向に発生する縦じわ欠陥
や、被検査材の幅方向に発生する欠陥のうちの全幅に亘
って発生腰折れ欠陥あるいは偶発的に発生する横じわ欠
陥などを検出することはできても、畳じわ欠陥のような
幅方向の長さの短い多数のしわ上の欠陥を検出すること
はできなかった。

【００１５】本発明は、上記の事情に鑑み、鋼板、アル
ミニウム板、紙などの表面に発生する、幅方向にしわ状
に延びた表面欠陥を高精度に検出することのできる表面
欠陥検査装置を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明の表面欠陥検査装置は、所定の走行方向に走行する
被検査材表面の、走行方向に交わる幅方向の一次元画像
を表す一次元画像データを繰り返し生成する一次元撮像
器と、複数の一次元画像データの集合から成る被検査材
表面の二次元画像を表す二次元画像データから、被検査
材表面の一部領域の画像データを切り出す領域切出し手
段と、切り出した一部領域の画像データを幅方向に積分
することにより積分データを生成するデータ積分回路
と、その積分データを、走行方向に移動平均することに
より平滑化データを生成する平滑化手段と、上記積分デ
ータと上記平滑化データとの差分を求めることにより差
分データを生成する差分演算手段と、上差分データに基
づいて被検査材表面の欠陥を検出する欠陥検出手段とを
備えたことを特徴とする。

【００１７】ここで、上記欠陥検出手段が、上記差分デ
ータをしきい値処理することにより二値データを生成す
るしきい値処理手段と、上記二値データに表れた変化の
個数を計数する計数手段とを備え、上記計数手段により
求められた変化の個数に基づいて上記被検査材表面の欠
陥を検出するものであることが好ましい態様である。ま
た、上記欠陥検出手段が、上記差分データを微分するこ
とにより微分データを生成する微分手段と、上記微分デ
ータをしきい値処理することにより二値データを生成す
るしきい値処理手段と、上記二値データに表れた変化の
個数を計数する計数手段とを備え、上記計数手段により
求められた変化の個数に基づいて上記被検査材表面の欠
陥を検出するものであることも好ましい態様である。

【００１８】なお、上記領域切出し手段により、順次、
異なる一部領域の画像データが切り出される。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。図１は、本発明の表面欠陥検査装置の一実施
形態を示す図である。図１に示すように、この表面欠陥
検査装置１００には、矢印Ａ方向に走行する被検査材１
表面に光２ａを照射する投光器２と、幅方向Ｂに走査し
ながら被検査材１表面からの反射光を受光し幅方向Ｂの
一次元画像を表す一次元画像データを繰り返し生成する
一次元撮像器３と、被検査材１の矢印Ａ方向への走行に
応じた同期信号を発生する同期信号発生部４と、一次元
撮像器３からの一次元画像データと被検査材１の走行と
を同期させるための同期化回路５と、一次元撮像器３及
び同期化回路５から得られる情報に基づき被検査材１表
面の欠陥を検出する欠陥検出部６とが備えられている。

【００２０】欠陥検出部６には、一次元撮像器３から出
力された複数の一次元画像データを蓄積するメモリ７
と、メモリ７に記憶された複数の一次元画像データの集
合から成る被検査材１表面の二次元画像を表す二次元画
像データから、被検査材１表面の一部領域の画像データ
を切り出す領域切出し手段８と、領域切出し手段８によ
り切り出された領域の画像データを幅方向Ｂに積分する
積分回路９と、積分回路９により積分されたデータを走
行方向Ａに移動平均して平滑化データを生成する平滑化
手段１０と、積分回路９から出力される積分データと平
滑化手段１０から出力される平滑化データとの差分を求
める差分演算手段１１と、差分演算手段１１から出力さ
れる差分データに基づいて被検査材２１表面の欠陥を検
出する欠陥検出部１２と、領域切出し手段８により切り
出された領域の画像データについての一連の処理を順次
実行させる走査回路１３とが備えられている。

【００２１】また、欠陥検出部１２には、差分演算手段
１１から出力される差分データをしきい値処理すること
により二値データを生成するしきい値処理手段１２ａ
と、二値データに表れた変化の個数を計数する計数手段
１２ｂとが備えられている。次に、このように構成され
た表面欠陥検査装置１００による表面欠陥の検査の過程
について、処理の流れを示すフローチャート及び画像デ
ータの処理過程を示す模式図とを参照しながら説明す
る。

【００２２】以下の説明においては、従来の表面欠陥検
査装置では検出することのできなかった畳じわ欠陥の検
出に焦点を絞って説明を進める。図２は、本実施形態の
表面欠陥検査装置１００の処理の流れを示すフローチャ
ートであり、図３は、本実施形態における画像データの
処理過程を示す模式図である。

【００２３】先ず、一次元撮像器３（図１参照）によ
り、Ａ方向に走行する被検査板１の幅方向Ｂに走査され
た被検査板１表面からの反射光強度に基づくビデオ信号
が検出される（図２：ステップＳ０１）。次に、同期化
回路５により、同期信号発生部４からの同期信号に基づ
き上記ビデオ信号が被検査材１の走行と同期化され、所
定の走査回数分のビデオ信号から成る二次元画像データ
としてメモリ７に記憶される（図２：ステップＳ０
２）。

【００２４】図３（ａ）には、このようにしてメモリ７
に記憶された二次元画像データが模式的に示されている
が、本実施形態において１回の処理でメモリ７に記憶さ
れるデータ量は、幅方向Ｂに４０００列、走行方向Ａに
約３２行の大きさであり、このデータ量は、幅方向２０
００ｍｍ、走行方向２８ｍｍの被検査材の面積に相当す
る。

【００２５】図３（ａ）には、メモリ７（図１参照）に
蓄積されたデータである、幅方向の長さが比較的短い多
数のしわ状の欠陥として現れる典型的な畳じわのパター
ンが示されている。図３（ａ）に示された個々のしわは
実際の被検査材上では約数十ｍｍ程度の長さに相当す
る。次に、領域切出し手段８により、図３（ａ）に太線
で示された１００列３２行のデータから成る一部領域３
１の画像データが切り出される（図２：ステップＳ０
３）。なお、切り出される一部領域３１の大きさは、走
行方向Ａの長さについては、畳じわの欠陥が少なくとも
４個以上現れる長さであり、かつ、幅方向Ｂの長さにつ
いては、個々のしわの幅方向の長さに相当する程度の長
さに設定することが望ましい。

【００２６】次に、積分回路９により、図３（ｂ）に示
す一部領域３１の画像データを幅方向Ｂに積分すること
により、走行方向Ａに沿った一次元積分データが得られ
る（図２：ステップＳ０４）。図３（ｃ）には、走行方
向Ａを縦軸とし、各積分値を横軸に示した１次元積分デ
ータＸ（ｉ）のグラフが示されている。このように幅方
向に積分することにより、一部領域３１内の二次元画像
データの中に反射光の強度変化の大きい局所的なノイズ
成分が含まれていても、そのような局所的なノイズ成分
を一次元積分データ３２の中に埋没させることができる
ので、二次元画像データのＳ／Ｎ比を改善することがで
きる。

【００２７】さらに、上記一部領域３１内の二次元画像
データの中に畳じわ欠陥あるいは腰折れ欠陥等の、全幅
に亘って延びた表面欠陥が含まれていても、上記幅方向
への積分処理により、欠陥部からの反射光強度変化が強
調されるため、健全部からの反射光強度に対する欠陥部
からの反射光強度のＳ／Ｎ比が改善される。次に、平滑
化手段１０により、上記１次元積分データＸ（ｉ）を平
滑化し平滑化データを生成する（図２：ステップＳ０
５）。この平滑化データ（ＸＭ）は、例えば、次の計算
式による移動平均処理により求めることができる。

【００２８】ＸＭ（ｉ）＝（Ｘ（ｉ−１）＋Ｘ（ｉ）＋
Ｘ（ｉ＋１））／３ 図３（ｄ）には、走行方向Ａを縦軸とし、平滑化データ
ＸＭ（ｉ）を横軸としたグラフが示されている。次に、
差分演算手段１１により、１次元積分データＸ（ｉ）と
平滑化データＸＭ（ｉ）との差分を求める（図２：ステ
ップＳ０６）。

【００２９】この差分演算により、一次元積分データＸ
（ｉ）から低周波成分が取り除かれ、走行方向のうね
り、即ち、光源の強度むらや被検査材表面のうねりのよ
うな被検査材自体の形状変化に基づくノイズ成分が除去
される。図３（ｅ）には、走行方向Ａを縦軸とし、上記
のようにして得られた差分データＸ（ｉ）−ＸＭ（ｉ）
を横軸としたグラフが示されている。

【００３０】次に、しきい値処理手段１２ａにより、差
分演算手段１１から出力された差分データＸ（ｉ）−Ｘ
Ｍ（ｉ）をしきい値処理することにより二値データを生
成する（図２：ステップＳ０７）。即ち、上記差分デー
タＸ（ｉ）−ＸＭ（ｉ）が所定のしきい値３３によりし
きい値処理され、図３（ｆ）に示すように、しきい値３
３以上のデータは’０’の値に、しきい値３３未満のデ
ータは’１’の値に二値化される。

【００３１】このしきい値処理により、局所的な欠陥
部、即ち、畳じわ欠陥あるいは腰折れ欠陥などの幅方向
に延びた欠陥部を、健全部から明確に抽出することがで
きるようになる。なお、前述の幅方向への積分処理によ
り１次元画像データにはうねり補正が施されているた
め、例えば、上記差分データを微分することにより微分
データを生成し、その微分データをしきい値とする方法
や、あるいはフィルターを介した動的なしきい値による
しきい値処理を行うことができる。このようなしきい値
処理を行うことにより、被検査材表面からの反射光の局
所的な強度変化部がさらに容易に抽出され、畳じわ欠陥
あるいは腰折れ欠陥等の幅方向の欠陥として容易に検出
できるようになる。

【００３２】次に、計数手段１２ｂにより、二値データ
に表れた変化の個数を計数し、その個数があらかじめ設
定された変化の個数以上である場合に、畳じわ欠陥が存
在するものと判定する（図２：ステップＳ０８）。あら
かじめ設定される変化の個数は、上記一部領域３１の領
域の大きさに応じて決定されるが、通常、３個程度に設
定するのが適当である。図３（ｆ）に示すように、この
二値データに表れた変化の個数は５個であることから、
この一部領域３１内に畳じわ欠陥が存在すると判定され
る。

【００３３】このように、ステップＳ０３で切り出され
た一部領域３１についての一連の処理が終了すると、ス
テップＳ０９において、メモリ７に読み込まれた二次元
画像データ全体の処理が終了したか否かが判定される。
ステップＳ０９における判定の結果、メモリ７に読み込
まれた二次元画像データ全体の処理が終了していなけれ
ば、走査回路（図１参照）により、一部領域３１の切り
出し位置を、所定のシフト量だけ幅方向Ｂ及び走行方向
Ａにシフトさせて新たな一部領域の切り出し位置が設定
され（図２：ステップＳ１０）、次いで、ステップＳ０
３に戻り一連の処理が繰り返される。このシフト量は、
本実施形態においては、幅方向Ｂには５０列、走行方向
Ａには３２行である。

【００３４】ステップＳ０９における判定の結果、メモ
リ７に読み込まれた二次元画像データ全体の処理が終了
していればこのフローチャートに示された処理は一旦終
了する。さらに、被検査材の他の領域の検査が続けられ
る場合は、再び、図２のフローチャートの先頭から始ま
る一連の処理が繰り返し実行される。このようにして、
被検査材の全表面に亘る検査が行われ、幅方向に延びた
欠陥のうち畳じわ欠陥が腰折れ欠陥と混同されることな
く検出される。

【００３５】なお、上記実施形態では、領域切出し手段
８が、順次、異なる一部領域の画像データを切り出すも
のとして構成されている。これにより、畳じわ欠陥がど
の位置に発生しても検出することができる。なお、以上
の説明において、鋼板を被検査材とした場合のみ説明し
たが、本発明の表面欠陥検査装置は鋼板を対象とするも
ののみに限定されるものではなく、アルミニウム板その
他の金属板あるいは紙等を対象とするものにも適用する
ことができる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の表面欠陥
検査装置によれば、領域切出し手段によって、被検査材
表面の一部領域の画像データが切り出された後、データ
処理されることにより、幅方向の長さの短い畳じわ欠陥
の有する情報が失われることが防止され、さらに、切り
出された画像データが幅方向に積分され、積分されたデ
ータが平滑化され、さらに積分データと平滑化データと
の差分がとられることにより、被検査材表面の反射むら
や反射率の変化によるノイズ成分が取り除かれるので、
被検査材表面に発生する各種の表面欠陥、例えば、被検
査材の走行方向に延びる縦割れ欠陥や、被検査材の幅方
向に延びる、畳じわ欠陥、腰折れ欠陥、あるいは単発的
な横割れ欠陥などをそれぞれ分離して検出することがで
きる。また、欠陥検出手段が上記の査分データに基づい
て表面欠陥を検出するものであるため、従来技術では検
出が困難であった畳じわ欠陥を、他の表面欠陥と明確に
分離して検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の表面欠陥検査装置の一実施形態を示す
図である。

【図２】本実施形態の表面欠陥検査装置の処理の流れを
示すフローチャートである。

【図３】本実施形態における画像データの処理過程を示
す模式図である。

【図４】畳じわ欠陥と呼ばれる鋼板の表面欠陥を示す図
である。

【図５】腰折れ欠陥と呼ばれる鋼板の表面欠陥を示す図
である。

【図６】従来の光学的手法による表面欠陥検査装置の一
例を示す模式図である。

【図７】うねりの成分が重畳された一次元画像データの
グラフ、及びうねり補正処理を施した後の一次元画像デ
ータのグラフである。

【図８】畳じわ欠陥のある被検査材の平面図と、従来法
によりその平面図に対応する二次元画像データを幅方向
に積分した積分データのグラフである。

【符号の説明】

１ 被検査材 ２ 投光器 ２ａ 光 ３ 一次元撮像器 ４ 同期信号発生部 ５ 同期化回路 ６ 欠陥検出部 ７ メモリ ８ 領域切出し手段 ９ 積分回路 １０ 平滑化手段 １１ 差分演算手段 １２ 欠陥検出部 １２ａ しきい値処理手段 １２ｂ 計数手段 １３ 走査回路 ２０ 表面欠陥検査装置 ２１ 鋼板（被検査材） ２１ａ 畳じわ欠陥 ２１ｂ 腰折れ欠陥 ２１ｃ しわ状欠陥の存在する領域 ２２ 投光器 ２２ａ 光 ２３ 一次元撮像器 ２４ 同期信号発生部 ２５ 同期化回路 ２６ 欠陥検出部 ２７ 欠陥部データ ３０ａ 欠陥のあるデータ ３０ｂ 欠陥のないデータ ３１ 一部領域 ３２ 一次元積分データ ３３ しきい値 １００ 表面欠陥検査装置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の走行方向に走行する被検査材表面
   の、該走行方向に交わる幅方向の一次元画像を表す一次
   元画像データを繰り返し生成する一次元撮像器と、 複数の一次元画像データの集合から成る前記被検査材表
   面の二次元画像を表す二次元画像データから、該被検査
   材表面の一部領域の画像データを切り出す領域切出し手
   段と、 切り出した一部領域の画像データを前記幅方向に積分す
   ることにより積分データを生成するデータ積分回路と、 前記積分データを、前記走行方向に移動平均することに
   より平滑化データを生成する平滑化手段と、 前記積分データと前記平滑化データとの差分を求めるこ
   とにより差分データを生成する差分演算手段と、 前記差分データに基づいて前記被検査材表面の欠陥を検
   出する欠陥検出手段とを備えたことを特徴とする表面欠
   陥検査装置。
2. 【請求項２】 前記欠陥検出手段が、前記差分データを
   しきい値処理することにより二値データを生成するしき
   い値処理手段と、前記二値データに表れた変化の個数を
   計数する計数手段とを備え、前記計数手段により求めら
   れた変化の個数に基づいて前記被検査材表面の欠陥を検
   出するものであることを特徴とする請求項１記載の表面
   欠陥検査装置。
3. 【請求項３】 前記欠陥検出手段が、前記差分データを
   微分することにより微分データを生成する微分手段と、
   前記微分データをしきい値処理することにより二値デー
   タを生成するしきい値処理手段と、前記二値データに表
   れた変化の個数を計数する計数手段とを備え、前記計数
   手段により求められた変化の個数に基づいて前記被検査
   材表面の欠陥を検出するものであることを特徴とする請
   求項１記載の表面欠陥検査装置。
4. 【請求項４】 前記領域切出し手段が、順次、異なる一
   部領域の画像データを切り出すものであることを特徴と
   する請求項１から３のうちのいずれか１項記載の表面欠
   陥検査装置。