JPH1038543A - 形状検査方法 - Google Patents

形状検査方法

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JPH1038543A
JPH1038543A JP8195949A JP19594996A JPH1038543A JP H1038543 A JPH1038543 A JP H1038543A JP 8195949 A JP8195949 A JP 8195949A JP 19594996 A JP19594996 A JP 19594996A JP H1038543 A JPH1038543 A JP H1038543A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 被検査物の形状が既知の時、基準画像の登録
を必要とすることなく良否を判定する。 【解決手段】 形状が既知である被検査物の形状検査方
法である。画像入力手段によって得た被検査物の画像か
ら輪郭線を抽出し、該輪郭線上の複数ポイントの座標を
求めて該座標から既知形状を表すとともに輪郭線に合致
すべき式を導く。該式を元に既知形状と相似で且つ輪郭
線と大きさの異なる検査基準線を求め、この検査基準線
と輪郭線との隙間の面積を基に被検査物の形状の良否を
判定する。形状が既知であることを利用してパターンマ
ッチングを行うことなく形状の良否を判定することがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は画像入力手段を用い
た形状検査方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】画像入力手段を用いた形状検査方法とし
ては、パターンマッチングによる形状検査が一般的であ
る。この場合、予め登録しておいた基準画像と被検査物
の画像とを比較して良否を判定する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この場合、基準画像を
予め登録しておかなくてはならない上に、パターンマッ
チングはその良否の判定段階に至るまでに時間がかか
る。本発明はこのような点に鑑み為されたものであり、
その目的とするところは被検査物の形状が既知であれば
基準画像の登録を必要とすることなく良否を判定するこ
とができる形状検査方法を提供するにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】しかして本発明の請求項
1記載の発明は、形状が既知である被検査物の形状検査
方法であって、画像入力手段によって得た被検査物の画
像から輪郭線を抽出し、該輪郭線上の複数ポイントの座
標を求めて該座標から既知形状を表すとともに輪郭線に
合致すべき式を導き、該式を元に既知形状と相似で且つ
輪郭線と大きさの異なる検査基準線を求めて、この検査
基準線と輪郭線との隙間の面積を基に被検査物の形状の
良否を判定することに特徴を有している。
【0005】また請求項2に記載の発明は、形状が既知
である被検査物の形状検査方法であって、画像入力手段
によって得た被検査物の画像から輪郭線を抽出し、該輪
郭線上の複数ポイントの座標を求めて該座標から既知形
状を表すとともに輪郭線に合致すべき式を導き、該式を
元に既知形状と相似で且つ輪郭線と大きさがわずかに異
なる検査基準線を求めて、この検査基準線上の画像の濃
淡を基に被検査物の形状の良否を判定することに特徴を
有している。
【0006】また請求項3に記載の発明は、形状が既知
である被検査物の形状検査方法であって、画像入力手段
によって得た被検査物の画像から輪郭線を抽出し、該輪
郭線上の複数ポイントの座標を求めて該座標から既知形
状を表すとともに輪郭線に合致すべき式を導き、該式を
元に既知形状と相似で且つ輪郭線と大きさの異なる検査
基準線を求めて、この検査基準線の複数点から輪郭線に
向けてエッジ検索を行って各点から輪郭線までの距離を
夫々求め、該距離を基に被検査物の形状の良否を判定す
ることに特徴を有している。
【0007】さらに請求項4記載の発明は、形状及び大
きさが既知である被検査物の形状検査方法であって、画
像入力手段によって得た被検査物の画像から輪郭線を抽
出し、該輪郭線上の複数ポイントの座標を求めて該座標
から既知形状を表すとともに輪郭線に合致すべき式を導
き、該式と、既知形状及び既知の大きさとから被検査物
の形状の良否を判定することに特徴を有している。
【0008】上記の各発明において、既知形状が矩形で
ある場合は、得られた画像に対して上下から2点ずつ、
左右から2点ずつの総計8点のエッジ検索を行って輪郭
線上の8ポイントの座標を求め、既知形状を表すととも
に輪郭線に合致すべき式として、上記8ポイントの座標
から4つの辺の直線方程式とこれら直線が交わる4点の
座標を求めるとよく、また既知形状が真円である場合
は、得られた画像に対して3点のエッジ検索を行って輪
郭線上の3ポイントの座標を求め、既知形状を表すとと
もに輪郭線に合致すべき式として、上記3ポイントの座
標を通る仮想円の式を求めるとよい。
【0009】被検査物を複数画像に分割し、各画像に対
して輪郭線を抽出するようにしてもよい。いずれにして
も、本発明においては、形状や大きさが既知であること
を利用してパターンマッチングを行うことなく形状の良
否を判定することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】まず被検査物1が4つのコーナー
部がいずれも直角となっている矩形であることがわかっ
ている場合について説明すると、図2に示すように、C
CDカメラのような撮像手段10によって照明11で照
らされた被検査物1の撮像を行う。図3(a)は得られた
画像を示しており、図中21は検査領域、22は被検査
物像である。
【0011】こうして得られた画像に対して、まずは図
3(b)に示すように検査領域21の上辺部2点と下辺部
2点とから上下方向中央に向かって被検査物像22のエ
ッジを検索する。この時、4点のエッジを検索できなか
った場合は、上記各2点の間隔乃至左右位置を変えて検
索を行う。検索走査は濃度の変化率に相当する微分絶対
値をしきい値処理したエッジ画像を利用し、検索ライン
上を走査してエッジフラグを見つけ、その微分値が所定
の値を越えていればそのアドレスをポイントとする。
【0012】こうして被検査物像22の輪郭線の上辺の
2ポイントa,bと下辺の2ポイントc,dを検索した
ならば、次にこれら4ポイントの座標をもとに図3(c)
に示すように検査領域21の左右辺における検索開始点
を決定し、左右の各辺2点から左右方向中央に向けて被
検査物像22のエッジを検索して、被検査物像22の輪
郭線の左辺の2ポイントe,fと右片の2ポイントg,
hの座標を求める。
【0013】このようにして一辺について2ポイントの
総計8ポイントの座標を求めたならば、被検査物像22
の輪郭線の各辺の直線方程式を上記ポイントの座標から
求め、更に4つの直線方程式より各直線の交点、つまり
4つのコーナーの座標を求める。既知形状を表すととも
に輪郭線に合致すべき式を導くわけである。次いで、該
式を元に、図3(d)に示すように、既知形状と相似で且
つ輪郭線と大きさの異なる検査基準線Sを設定する。図
示例のものでは矩形であることがわかっていることか
ら、4つの直線方程式に夫々所定の値のオフセットを加
えることで、上記の4つの直線方程式で表される線と平
行な線で構成される矩形の検査基準線Sを設定するわけ
である。
【0014】こうして検査基準線Sを設定すれば、検査
基準線Sと被検査物像22の輪郭線との間の隙間の面積
を求める。この時、輪郭線が正確な矩形を描いておれ
ば、こうして求めた値は、検査基準線Sの既知の大きさ
と上記オフセットの値とから演算される面積の値に一致
するが、正確な矩形でなければ異なった値になることか
ら、被検査物1の良否を面積値より判定することができ
る。なお、図3(d)に示すものでは検査基準線Sを輪郭
線の外側にとっているが、輪郭線の内側にとってもよ
い。この場合は輪郭線の内側で且つ検査基準線Sの外側
となる部分の面積を求める。
【0015】検査基準線Sの設定に際して、オフセット
の値を小さくとった時には、すなわち、検査基準線Sの
設定のための上記オフセットの値が被検査物1の良品範
囲となるようにした場合には、図4に示すように、検査
基準線S上の画素の濃淡を判別することで良否を判別す
ることができる。検査基準線S上に輪郭線の凹凸による
画素の濃淡があれば、良品範囲外の凹凸が被検査物1に
あるということになるからである。もちろん、検査基準
線Sを輪郭線の外側に設定して凸不良を、輪郭線の内側
に設定して凹不良を検出する。もっともノイズによる像
の濃淡の影響を排除するために、図4(b)に示すよう
に、複数画素の平均濃度を1画素乃至数画素シフトさせ
たアドレス毎に求め、隣接する部分の平均濃度の差の累
積値がしきい値を越えたならば欠陥ありと判定するのが
好ましい。
【0016】図5に示すように、輪郭線が矩形となって
いない時には、前記4本の直線方程式で表される4本の
直線が2つずつの平行な線ではないことから、対となる
2本の線のうちの一方の他方に対する傾きの度合いから
良否を判定することができる。また各辺の長さも既知で
あるならば、4つのコーナーの座標間の直線距離、つま
り各辺の長さを求めて、該長さが予め設定した限度値を
越えるか否かで良否を判定してもよい。
【0017】次に被検査物1が真円である場合について
の例を示す。この場合も図6に示すようにCCDカメラ
のような撮像手段10によって照明11で照らされた被
検査物1の撮像を行う。図7(a)に得られた画像を示
す。図中21は検査領域、22は被検査物像である。こ
うして得られた画像に対して、3点のエッジ検索を行っ
て輪郭線上の3ポイントの座標を求める。図示例におい
ては、まず検査領域21の上下辺における左右方向の中
点から上下方向中央に向かって被検査物像22のエッジ
を検索し、図7(b)に示すように2点a,bのエッジの
座標を求める。この場合の検索走査も、濃度の変化率に
相当する微分絶対値をしきい値処理したエッジ画像を利
用すればよい。
【0018】次に上記2ポイントa,bの中点を計算し
て、検査領域21の左右片から中点上に存在するエッジ
の検索を行って図7(c)に示す2ポイントc,dの座標
を得る。こうして得た4ポイントa,b,c,dのうち
の3ポイントの座標を基に被検査物1の画像の真円であ
るはずの輪郭線の中心座標と半径rとを求める。既知形
状を表すとともに輪郭線に合致すべき式を求めるわけで
ある。
【0019】次いで、該式を元に既知形状と相似で且つ
輪郭線と大きさの異なる検査基準線Sを設定する。ここ
では既知形状が真円であることから、図7(d)に示すよ
うに、中心座標が同一で半径値rにオフセット値を加え
た真円を検査基準線Sとする。こうして検査基準線Sを
設定すれば、検査基準線Sと被検査物像22の輪郭線と
の間の隙間の面積を求める。この時、輪郭線が正確な真
円を描いておれば、こうして求めた値は、検査基準線S
の既知の大きさと上記オフセットの値とから演算される
面積の値に一致するが、正確な真円でなければ異なった
値になることから、被検査物1の良否を面積値より判定
することができる。ここでも図7に示すものでは検査基
準線Sを輪郭線の外側にとっているが、輪郭線の内側に
とってもよい。
【0020】検査基準線Sの設定に際して、オフセット
の値を小さくとった時には、すなわち、検査基準線Sの
設定のための上記オフセットの値が被検査物1の良品範
囲となるようにした場合には、図8に示すように、検査
基準線S上の画素の濃淡を判別することで良否を判別す
ることができる。検査基準線S上に輪郭線の凹凸による
画素の濃淡があれば、良品範囲外の凹凸が被検査物1に
あるということになるからである。もちろん、検査基準
線Sを輪郭線の外側に設定して凸不良を、輪郭線の内側
に設定して凹不良を検出する。ノイズによる像の濃淡の
影響を排除するために、図8(b)に示すように、複数画
素の平均濃度を1画素乃至数画素シフトさせたアドレス
毎に求め、隣接する部分の平均濃度の差の累積値がしき
い値を越えたならば欠陥ありと判定するのが好ましいの
は前述の場合と同じである。
【0021】被検査物1の半径の値Rも既知であるなら
ば、被検査物像22から求めた中心点を中心とする既知
半径Rの真円を検査基準線Sとするとよい。被検査物像
22から求めた半径rが既知半径Rから良品の範囲内に
あれば、つまり良品の範囲がR±dであれば、R−d<
r<R+dの時に良品と判定するのである。半径rと中
心座標とを求めるための前記3ポイントが図9に示すよ
うに変形点を含んでおれば、半径rの値が本来の半径R
とは異なった値となるからである。
【0022】もっとも、上記3ポイントが変形点を含ん
でいても、求めた半径rの値が良品範囲に入ることもあ
るために、図10に示すように、半径rにオフセット値
を加えた半径の検査基準円S上に等間隔で複数点、図示
例では8点のエッジ検索開始点を設けて、夫々の点から
円の中心へ向かって微分値によるエッジ検索を行い、被
検査物像22の輪郭線までの各距離を求めるとともにこ
れらの8箇所の各距離と検査基準円Sの半径のオフセッ
ト値との差の総和DFを求めて該総和DFの値としきい
値との比較で良品判定を行うものとする。各距離をd
1,d2…d8とすれば、
【0023】
【式1】
【0024】を求めて、該総和DFを変形度を示す値と
して用いるわけである。被検査物1が環状のものである
場合には外周側輪郭線と内周側輪郭線とについて上記の
ような良品判定を夫々行えばよい。被検査物1が大きく
且つ検査に要求される分解能が高い場合など、図11に
示すように、一つの被検査物1について複数の撮像手段
で撮像して、被検査物1の異なる部分を示す複数の被検
査物像22,22を生成し、各被検査物像22について
夫々検査基準線Sを設定して上述のような形状検査を行
うとよい。
【0025】図1は図11に示したものと図12に示し
たものと図10に示したものをこの順で行って良否の判
定を行った場合のフローチャートを示している。図1に
おけるエッジ検索にあたってのノイズ成分の除去は次の
ようにして行っている。すなわち、図12に示すよう
に、被検査物像22に濃度の異なる部分があったり、被
検査物像22の外側に汚れやごみによるノイズ像27が
ある場合、エッジ検索ライン上の画素の濃度分布を求め
て頻度が最大である濃度値(通常は背景の濃度)を基準
の濃度L0とし、この基準の濃度L0に予め定めたオフ
セットを加えたしきい値Lでもって二値化処理すること
で黒画素のラベリングを行う。たとえば基準の濃度値が
200、オフセットが30であれば、二値化のしきい値
Lを170として、被検査物像22における濃度の異な
る部分を吸収する。
【0026】得られたラベリング結果LLが図12(a)
に示すように一つであれば、エッジ検索ラインの外側か
ら内部に向かって白から黒に変わる座標を第一次エッジ
として検出する。エッジの検出点の精度を更に向上させ
るには、第一次エッジの近傍で局所的に微分絶対値を求
め、微分絶対値のしきい値処理を行って濃度変化の境界
線を示すエッジ画像を用いて第2次エッジとして求める
とよい。
【0027】得られたラベリング結果LLが図12(b)
に示すようにノイズ像27のために2つあるような時に
は、幅の大きいラベリング結果LLを採用することで、
ノイズ像27を除去することができる。
【0028】
【発明の効果】以上のように本発明においては、画像入
力手段によって得た被検査物の画像から輪郭線を抽出
し、該輪郭線上の複数ポイントの座標を求めて該座標か
ら既知形状を表すとともに輪郭線に合致すべき式を導
き、該式を元に既知形状と相似で且つ輪郭線と大きさの
異なる検査基準線を求めて、この検査基準線と輪郭線と
の隙間の面積を基に被検査物の形状の良否を判定した
り、上記式を元に既知形状と相似で且つ輪郭線と大きさ
がわずかに異なる検査基準線を求めて、この検査基準線
上の画像の濃淡を基に被検査物の形状の良否を判定した
り、上記式を元に既知形状と相似で且つ輪郭線と大きさ
の異なる検査基準線を求めて、この検査基準線の複数点
から輪郭線に向けてエッジ検索を行って各点から輪郭線
までの距離を夫々求め、該距離を基に被検査物の形状の
良否するものであり、さらに形状及び大きさが既知であ
る被検査物に対しては、画像入力手段によって得た被検
査物の画像から輪郭線を抽出し、該輪郭線上の複数ポイ
ントの座標を求めて該座標から既知形状を表すとともに
輪郭線に合致すべき式を導き、該式と、既知形状及び既
知の大きさとから被検査物の形状の良否を判定すること
から、パターンマッチング処理を必要とせず、また基準
画像を予め取り込んでおく必要もなく、良否の判定を精
度よく且つ迅速に行うことができるものである。
【0029】そして、既知形状が矩形である場合は、得
られた画像に対して上下から2点ずつ、左右から2点ず
つの総計8点のエッジ検索を行って輪郭線上の8ポイン
トの座標を求め、これら8ポイントの座標から4つの辺
の直線方程式とこれら直線が交わる4点の座標を求める
と既知形状を表すとともに輪郭線に合致すべき式を簡便
に求めることができる。また既知形状が真円である場合
は、得られた画像に対して3点のエッジ検索を行って輪
郭線上の3ポイントの座標を求め、上記3ポイントの座
標を通る仮想円の式を既知形状を表すとともに輪郭線に
合致すべき式とすると、やはり輪郭線に合致すべき式を
簡便に求めることができる。
【0030】被検査物を複数画像に分割し、各画像に対
して輪郭線を抽出する時には、被検査物の大きさや要求
精度に対して満足する結果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明における動作のフローチャートである。
【図2】実施の形態の一例を示す斜視図である。
【図3】同上の動作を示すもので、(a)〜(d)は説明図で
ある。
【図4】他の動作を示すもので、(a)(b)は説明図であ
る。
【図5】他の動作の説明図である。
【図6】別の形態の一例を示す斜視図である。
【図7】同上の動作を示すもので、(a)〜(d)は説明図で
ある。
【図8】他の動作を示すもので、(a)(b)は説明図であ
る。
【図9】別の動作の説明図である。
【図10】更に他の動作の説明図である。
【図11】異なる動作の説明図である。
【図12】ノイズの除去動作を示すもので、(a)(b)は説
明図である。
【符号の説明】
1 被検査物 22 被検査物像 S 検査基準線

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 形状が既知である被検査物の形状検査方
    法であって、画像入力手段によって得た被検査物の画像
    から輪郭線を抽出し、該輪郭線上の複数ポイントの座標
    を求めて該座標から既知形状を表すとともに輪郭線に合
    致すべき式を導き、該式を元に既知形状と相似で且つ輪
    郭線と大きさの異なる検査基準線を求めて、この検査基
    準線と輪郭線との隙間の面積を基に被検査物の形状の良
    否を判定することを特徴とする形状検査方法。
  2. 【請求項2】 形状が既知である被検査物の形状検査方
    法であって、画像入力手段によって得た被検査物の画像
    から輪郭線を抽出し、該輪郭線上の複数ポイントの座標
    を求めて該座標から既知形状を表すとともに輪郭線に合
    致すべき式を導き、該式を元に既知形状と相似で且つ輪
    郭線と大きさがわずかに異なる検査基準線を求めて、こ
    の検査基準線上の画像の濃淡を基に被検査物の形状の良
    否を判定することを特徴とする形状検査方法。
  3. 【請求項3】 形状が既知である被検査物の形状検査方
    法であって、画像入力手段によって得た被検査物の画像
    から輪郭線を抽出し、該輪郭線上の複数ポイントの座標
    を求めて該座標から既知形状を表すとともに輪郭線に合
    致すべき式を導き、該式を元に既知形状と相似で且つ輪
    郭線と大きさの異なる検査基準線を求めて、この検査基
    準線の複数点から輪郭線に向けてエッジ検索を行って各
    点から輪郭線までの距離を夫々求め、該距離を基に被検
    査物の形状の良否を判定することを特徴とする形状検査
    方法。
  4. 【請求項4】 形状及び大きさが既知である被検査物の
    形状検査方法であって、画像入力手段によって得た被検
    査物の画像から輪郭線を抽出し、該輪郭線上の複数ポイ
    ントの座標を求めて該座標から既知形状を表すとともに
    輪郭線に合致すべき式を導き、該式と、既知形状及び既
    知の大きさとから被検査物の形状の良否を判定すること
    を特徴とする形状検査方法。
  5. 【請求項5】 既知形状が矩形である場合、得られた画
    像に対して上下から2点ずつ、左右から2点ずつの総計
    8点のエッジ検索を行って輪郭線上の8ポイントの座標
    を求め、既知形状を表すとともに輪郭線に合致すべき式
    として、上記8ポイントの座標から4つの辺の直線方程
    式とこれら直線が交わる4点の座標を求めることを特徴
    とする請求項1〜4のいずれかの項に記載の形状検査方
    法。
  6. 【請求項6】 既知形状が真円である場合、得られた画
    像に対して3点のエッジ検索を行って輪郭線上の3ポイ
    ントの座標を求め、既知形状を表すとともに輪郭線に合
    致すべき式として、上記3ポイントの座標を通る仮想円
    の式を求めることを特徴とする請求項1〜4のいずれか
    の項に記載の形状検査方法。
  7. 【請求項7】 被検査物を複数画像に分割し、各画像に
    対して輪郭線を抽出することを特徴とする請求項1〜6
    のいずれかの項に記載の形状検査方法。
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