JP2008249413A - 欠陥検出方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検体ステージ101と、被検体ステージ101上の被検体に光を照射する照明光学部102と、被検体からの反射光を撮像する撮像カメラ103と、撮像された画像データを格納するフレームメモリ110と、画像データに画像処理を施すコンピュータ111を備えている。コンピュータ111は、被検体画像データに対し、輪郭強調処理を施して第1画像処理データを得るとともにローパスフィルタ処理を施して第2画像処理データを得る画像処理データ取得部と、第1画像処理データと第2画像処理データの差分画像データを得る差分画像データ算出部と、差分画像データにハイパスフィルタ処理を施すハイパスフィルタ処理部と、動的しきい値比較部と、欠陥有無判定部とを備えている。
【選択図】図1
Description
このような要求に応じて、例えば、透明な被検体の表面欠陥等を自動的に検出できるように工夫された種々の欠陥検出手法が知られている。
被検体を撮像して得た原画像データに所定の画像処理を施して既処理画像データを得、該既処理画像データの各画像領域についての輝度レベルを判定し、その判定結果に基づき該被検体の欠陥を検出する方法であって、
前記所定の画像処理は、まず、前記原画像データに輪郭強調処理を施して第1の画像処理データを得るとともに、該原画像データにローパスフィルタ処理を施して第2の画像処理データを得、
次に、前記第1の画像処理データと前記第2の画像処理データとの間で、対応する画像領域毎に差分処理を行って差分画像データを得、
この後、前記差分画像データにハイパスフィルタ処理を施して、前記既処理画像データを得ることを特徴とするものである。
被検体を撮像して原画像データを得る撮像手段と、
該撮像手段により得られた原画像データに画像処理を施して、各画像領域についての輝度レベル判定用の既処理画像データを得る画像処理手段と、
該画像処理手段から出力された該既処理画像データに対し、各画像領域毎の輝度レベルを所定の動的しきい値と比較し、その比較結果に基づいて各画像領域毎に欠陥の有無を判定する欠陥有無判定手段と、を備えた欠陥検出装置において、
前記画像処理手段は、
前記原画像データに輪郭強調処理を施して第1の画像処理データを得るとともに、該原画像データにローパスフィルタ処理を施して第2の画像処理データを得る画像処理データ取得部と、
該画像処理データ取得部により得られた、前記第1の画像処理データと前記第2の画像処理データの差分処理を行って差分画像データを得る差分画像データ算出部と、
該差分画像データ算出部によって得られた差分画像データにハイパスフィルタ処理を施して、前記既処理画像データを得るハイパスフィルタ処理部と、
を備えたことを特徴とするものである。
まず、被検体を被検体ステージ101上に配設保持せしめ、この被検体上に、照明用光源102Aからの照明光を照射する。このとき、コンピュータ111からの指示に基づき、照明光学部コントローラ112によって、照明用光源102Aの出力が適切に調整されるとともに、コンピュータ111からの指示に基づき、被検体ステージコントローラ113によって、被検体ステージ101が適切な位置に設定されるように移動せしめられる。
次に、フレームメモリ110に格納された被検体画像データはコンピュータ111において画像処理および演算処理に供せられる。
このような動的しきい値法を用いることによって、輝度むら(濃度むら)等がある被検体画像データについても検出精度を良好なものとすることができる。
すなわち、図5は、被検体画像データの1水平ラインに亘る輝度レベルを示すものであって、CCD撮像素子から出力されフレームメモリ110に格納された原画像データの1水平ライン分の輝度レベルを示すものである。図5に示されるように、この輝度レベルは、第50ピクセル付近で立ち上がり、立ち上がった後は緩やかに増加し、第320ピクセル付近で段階的に立ち下がっている。ここで、第160ピクセル付近に存在する不自然な凹凸状態が表す被検体の欠陥に注目し、また、この第160ピクセルの前後、例えば、第100ピクセル付近から第200ピクセル付近までの輝度レベルについて注目して検証する。
102 照明光学部
102A 照明用光源
102B 集光レンズ系
103 撮像カメラ
110 フレームメモリ
111 コンピュータ
111A 画像処理データ取得部
111B 差分画像データ算出部
111C ハイパスフィルタ処理部
111D 動的しきい値比較部
111E 欠陥有無判定部
112 照明光学部コントローラ
113 被検体ステージコントローラ
Claims (3)
- 被検体を撮像して得た原画像データに所定の画像処理を施して既処理画像データを得、該既処理画像データの各画像領域についての輝度レベルを判定し、その判定結果に基づき該被検体の欠陥を検出する方法であって、
前記所定の画像処理は、まず、前記原画像データに輪郭強調処理を施して第1の画像処理データを得るとともに、該原画像データにローパスフィルタ処理を施して第2の画像処理データを得、
次に、前記第1の画像処理データと前記第2の画像処理データとの間で、対応する画像領域毎に差分処理を行って差分画像データを得、
この後、前記差分画像データにハイパスフィルタ処理を施して、前記既処理画像データを得ることを特徴とする欠陥検出方法。 - 前記輝度レベルの判定は、前記既処理画像データに対し、各画像領域毎の輝度レベルを所定のしきい値と比較することにより行われるものであって、該所定のしきい値は動的しきい値であることを特徴とする請求項1記載の欠陥検出方法。
- 被検体を撮像して原画像データを得る撮像手段と、
該撮像手段により得られた原画像データに画像処理を施して、各画像領域についての輝度レベル判定用の既処理画像データを得る画像処理手段と、
該画像処理手段から出力された該既処理画像データに対し、各画像領域毎の輝度レベルを所定の動的しきい値と比較し、その比較結果に基づいて各画像領域毎に欠陥の有無を判定する欠陥有無判定手段と、を備えた欠陥検出装置において、
前記画像処理手段は、
前記原画像データに輪郭強調処理を施して第1の画像処理データを得るとともに、該原画像データにローパスフィルタ処理を施して第2の画像処理データを得る画像処理データ取得部と、
該画像処理データ取得部により得られた、前記第1の画像処理データと前記第2の画像処理データの差分処理を行って差分画像データを得る差分画像データ算出部と、
該差分画像データ算出部によって得られた差分画像データにハイパスフィルタ処理を施して、前記既処理画像データを得るハイパスフィルタ処理部と、
を備えたことを特徴とする欠陥検出装置。
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