JPH09133806A - 感光性黒色樹脂組成物及びカラーフイルター - Google Patents

感光性黒色樹脂組成物及びカラーフイルター

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JPH09133806A
JPH09133806A JP7313698A JP31369895A JPH09133806A JP H09133806 A JPH09133806 A JP H09133806A JP 7313698 A JP7313698 A JP 7313698A JP 31369895 A JP31369895 A JP 31369895A JP H09133806 A JPH09133806 A JP H09133806A
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black
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meth
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JP7313698A
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Yoichi Higuchi
洋一 日口
Eiki Arao
栄樹 新尾
Hiroyuki Mori
宏之 森
Tatsuya Kageyama
達哉 影山
Shuichi Mihashi
修一 三橋
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Inctec Inc
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Inctec Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高信頼性、高感度、高アルカリ水系溶解性で
且つ低コストの感光性黒色樹脂組成物、及び該樹脂組成
物を用いて作製したカラーフイルターを提供すること。 【解決手段】 異なる平均粒径を有する少なくとも2種
のカーボンブラック顔料と感光性樹脂とからなることを
特徴とする感光性黒色樹脂組成物、及び該樹脂組成物を
用いて作製したカラーフイルター。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、感光性黒色樹脂組
成物(以下樹脂BMという)に関し、特にカラーフイル
ターのブラックマトリックスの形成に有用な樹脂BM
と、該樹脂BMを用いて形成されたカラーフイルターに
関する。
【0002】
【従来の技術】従来、液晶駆動のディスプレーにおい
て、特にカラー表示をするためには、液晶セル構成中の
カラーフイルターが最も重要な部材であることはいうま
でもない。その構成はTFT、STN、TNタイプとに
よって若干異なるが、ガラス表面上に(1)遮光用のブ
ラック部、(2)カラー表示用のRed(R)、Gre
en(G)及びBlue(B)のマトリックス、(3)
カラーマトリックスを保持する透明な膜、(4)更に液
晶を駆動するための透明電極膜の4つの部材の層からな
っている。これらの層を構成するために種々の方法が提
案されている。
【0003】従来、カラーフイルターを作製するにあた
り、R、G、Bの各画素の間には表示コントラストを向
上させる目的でブラックマトリックスが形成されてい
る。その形成方法としては、クロム等の金属膜を用いる
方法や、遮光性顔料等を分散させた感光性樹脂を用いる
方法が知られている。
【0004】クロム等の金属膜を用いたブラックマトリ
ックスは、金属膜を蒸着等の方法で基板上に形成し、次
にフォトレジストを使用したフォトリソ法とエッチング
工程により金属膜をパターニングして形成する。一方、
遮光性顔料等を分散した感光性樹脂を用いる方法では、
遮光性顔料等を分散した感光性樹脂層を塗布や印刷等の
方法で基板上に形成し、パターン露光及び現像してブラ
ックマトリックスが形成される。
【0005】一方で、例えば、特開昭62−9301号
公報に開示されているように、上記遮光性顔料等を分散
させた感光性樹脂を用いてセルフアライメント方式でブ
ラックマトリックスを形成する方式がコスト及び製造工
程の面から注目されている。その方式では、R、G、B
の各画素が形成された基板に、カーボンブラック等の黒
色遮光性顔料等を分散させた感光性樹脂層を設け、R、
G、Bの各画素がフォトマスクとして作用するように裏
面から露光し、画素の間隙にブラックマトリックスを形
成する。この場合、従来必要であった位置合わせの手間
が省け、尚、且つ白ヌケは原理上発生しないという利点
がある。
【0006】このセルフアライメント方式において、裏
面からの露光時に遮光性感光性樹脂層が十分に硬化しな
い、つまり遮光性感光性樹脂層の感光波長域におけるカ
ーボンブラック等の黒色遮光性顔料の光吸収性が大きい
ため、裏面からの露光が遮光膜表面まで十分達せずに膜
の光硬化不足を生じ、結果的には得られた遮光膜の光学
濃度が低くなってしまうという問題を有していた。
【0007】遮光膜の膜深部まで光硬化する遮光性感光
性材料として、特開平3−274503号公報には、紫
外線透過性且つ可視光不透過性のフォトレジストが開示
されている。このフォトレジストは特定の黒色金属酸化
物と感光性樹脂からなり、可視光よりも紫外線の方が透
過率が大きいが、これらの金属酸化物は感光性樹脂液等
への分散性に問題があった。
【0008】遮光性を考慮したカラーフイルター材料と
して黒鉛を塗料化したものが最近工業的に開発されてい
る。しかしながら、この塗料を用いて形成した膜のパタ
ーン加工には、黒鉛が酸やアルカリに溶けないため、通
常のエッチング加工法が使えない。そこで別のポジ型レ
ジストパターンを下層に設けた後に、上記塗料によって
黒色層を形成し、この黒色層を下層のレジストごと剥離
するリフト・オフ法が採用されているが、この方法では
先ずポジ型レジストを塗布し、ブラックマトリックスと
逆のパターンを形成し、更にその上に黒鉛塗料を塗布し
て剥離するという工程上の手間に問題がある。
【0009】遮光性材料として特開平4−13105号
公報には、互いに補色関係にある二色の顔料を混合した
遮光膜が開示されているが、これは導電性の観点から検
討されたものであり、色相は黒となるものの、紫外線領
域の透過性が改善されてはいない。特開昭63−309
916号公報には、複数の色相の顔料を組合せた遮光性
感光材料が開示されている。しかしながら、この場合は
単純に遮光性を得るために複数の顔料を組合せているも
ので、その遮光膜を深部まで硬化させ得るものではなか
った。
【0010】更に特開平4−40420号公報や特開平
4−190362号公報には、複数の有機顔料とカーボ
ンブラックとの混合や、複数の有機顔料と有機黒色顔料
との混合による遮光性材料が開示されている。これらは
何れも遮光性材料の導電性の観点から検討されたもの
で、赤色と青色の組合せ等の、互いに補色関係にある顔
料の混合による疑似黒色材にカーボンブラック等の遮光
材を更に組合せることにより、導電性の小さな遮光性の
高いブラックマトリックスを形成するもので、導電率が
制御されたものによる遮光性画像形成については未だ不
十分であった。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上述の如く、着色感光
性組成物を使用してカラーフイルターを作製する場合に
は、カラーフイルターの製造及び加工における工程の長
短、並びに使用材料の収率が問題点となる。黒色顔料を
感光性レジストに分散させた組成物(樹脂BM)の場
合、スピンコーティング法を使用することができるため
に、装置コストは低く、膜に感光性を持たせているため
にパターン形成の工程数が少ないという利点がある。
【0012】しかしながら、上記樹脂BMの場合、感光
する樹脂と遮光するカーボンブラックという互いに相反
する材料を同一膜内に共存させるため、カーボンブラッ
クの含有率が30重量%以下と低くなり、十分な遮光性
が得られないという問題を有する。更に遮光性を上げる
ためには、膜厚を1.5μm程度に厚くするしかなく、
光漏れがないように着色層と重ねると段差が大きくな
る。この段差は液晶配向を乱すことから、樹脂BMはカ
ラーフイルターには殆ど採用されていなかった。
【0013】但し、この場合には、露光後の現像工程に
おけるアルカリ現像液に対する溶解性が重要な問題とし
て挙げられる。つまり、ラインからの問題として現像時
における現像・剥離されたレジスト残が製品に対して再
付着しては、その後の工程においてもカラーフイルター
が欠損・欠陥製品となってくる。又、剥離されたレジス
トが現像タンク内で沈殿或いは付着し、タンク内に蓄積
された場合には、タンク内の洗浄並びに整備が頻繁に必
要となり、手間が多くかかってしまい生産量において問
題となる。
【0014】以上より、樹脂BMはその構成材料におい
てアルカリ水系現像剤に対して均一に、しかもパターン
細りがなく正確に解像されるものを必要とする。更にレ
ジスト側に問われてくる問題点としては、ライン使用の
光源波長にレジスト硬化感度波長が一致してくる必要が
ある。すなわち、表裏面いずれの露光工程においても、
光硬化の効率の面からも、より長い波長の光で顔料の多
い膜の内部まで硬化させることが必要となる。従って、
本発明の目的は、高信頼性、高感度、アルカリ水系現像
剤に対する高溶解性で且つ低コストの樹脂BM、及び該
樹脂BMを用いて作製したカラーフイルターを提供する
ことである。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記目的は以下の本発明
によって達成される。すなわち、本発明は、異なる平均
粒径を有する少なくとも2種のカーボンブラックと感光
性樹脂とからなることを特徴とする樹脂BM、及び該樹
脂BMを用いて作製したカラーフイルターである。
【0016】本発明によれば、ブラックマトリックスを
形成する際、工程が簡略で経済性に優れ、解像性が良好
で、しかもカーボンブラックを含有する高感度な樹脂B
Mが提供される。更に感光性樹脂によるカラーフイルタ
ー作製工程において、上記特定の樹脂BMを用いること
によって、フォトファブリケーション法を応用すること
が可能となり、高精度で且つ表面平滑性が良好な複数の
パターンを容易に形成させることができ、顔料を使用す
ることからも耐熱性及び耐環境性の良好なカラーフイル
ターを得ることができる。
【0017】
【発明の実施の形態】次に発明の実施の形態を挙げて本
発明を更に詳細に説明する。本発明において使用するカ
ーボンブラックは、少なくとも2種の異なる粒径を有す
る混合物であることを特徴とする。粒径0.1μm以上
の大きなカーボンブラックを単独で使用してブラックマ
トリックスを構成した場合、単位体積あたりに含有され
るカーボンブラックの粒子数は少数となる。そのため、
感光性樹脂成分にとっては光硬化の面で有利となるが、
ブラックマトリックスとしての遮光力は低下する。一
方、粒径0.1μm未満の小さなカーボンブラックを単
独で使用してブラックマトリックスを構成した場合、単
位体積あたりに含有されるカーボンブラックの粒子数は
多数となる。そのため、ブラックマトリックスの遮光力
は満足しても、感光性樹脂の成分にとっては内部硬化に
支障をきたし、露光及び現像過程において画像剥れ等の
不具合が生じる。又、ガラス基板に対する密着性も低下
する。
【0018】又、本発明で使用するカーボンブラックは
好ましくは、その表面が酸性のカーボンブラックであ
る。その具体例として、Degussa社のPrintex 3、2
5、30、35、40、45、200、300、A、
G、Special Black 100、250、350、CABOT社
製のMONARCK 120、280、430、460、REGAL
99、250、330、415、BLACKPEARLS 13
0、480、Columbian Carbon社製のRaven 410、
420、430、450、500、760、790、8
50、890、890H、1000、1020、103
5、1040、1060、三菱化学社製のMA−7、M
A−8、MA−11、MA−100、MA−100R、
MA−220等が挙げられる。
【0019】本発明では、上記のカーボンブラックにお
いて、一方のカーボンブラックの平均粒径が40〜13
0nmであり、他方のカーボンブラックの平均粒径が1
35〜500nmであるように少なくとも2種を混合し
て使用する。又、一方のカーボンブラックのBET法に
よる比表面積が100〜200m2/gであり、他方の
カーボンブラックの比表面積が30〜50m2/gであ
るように少なくとも2種を混合して使用することが好ま
しい。
【0020】そして平均粒径の大きい方のカーボンブラ
ックと平均粒径が小さい方のカーボンブラックとを混合
した場合、ブラックマトリックス内において両者が最密
充填構造を採るように、両者の混合比を決定する。使用
するカーボンブラックの種類や平均粒径によって種々変
化するが、平均粒径の大きい方のカーボンブラックと、
平均粒径が小さい方のカーボンブラックとの混合比は、
前者/後者=25/75〜45/55の重量比が好まし
い。更に本発明において、これらの顔料は乾燥した微粉
末状の他、水性ろ過ケーキ或いは水性懸濁液の状態でも
使用することができる。尚、使用する顔料は、後述の分
散剤及び/又はアルカリ現像液に可溶性の有機重合体に
よって予め分散処理しておくことが顔料の均一分散の点
で好ましい。
【0021】本発明の樹脂BMは、更に必要に応じて顔
料の分散剤を含有することができる。顔料の分散剤とし
ては、広範囲のものから適宣選択して使用することがで
き、例えば、界面活性剤、顔料の中間体、染料の中間
体、ソルスパース等が使用される。分散剤の使用割合
は、特に限定されるものではないが、分散剤の使用量は
一般的に顔料100重量部あたり1〜10重量部程度で
ある。但しこの分散剤は、カーボンブラックの凝集を防
ぎ且つ樹脂BM中に使用するカーボンブラックを均一に
分散させる働きがなければならない。従って、分散剤自
身も製造するカラーフイルターの諸物性を阻害するよう
なことがあってはならず、更には耐熱性並びに耐黄変性
も考慮して選択する必要がある。更に本発明では、カー
ボンブラックの処理に、分散剤と感光性樹脂中の有機重
合体とを併用することができる。その使用量は、カーボ
ンブラックによる遮光効果も考慮した上で最適添加量を
決定する必要があり、一般的にはカーボンブラック10
0重量部あたり約0〜40重量部、好ましくは約5〜3
0重量部の範囲である。
【0022】本発明で使用する感光性樹脂は、従来公知
のいずれの感光性樹脂でもよく特に限定されない。好ま
しい1例は、多官能(メタ)アクリレートモノマーとア
ルカリ現像液に可溶性の有機重合体を含む。該多官能
(メタ)アクリレートモノマーは、本発明の樹脂BMの
感光成分の主剤をなすものであり、例えば、エチレング
リコール(メタ)アクリレート、ジエチレングリコール
ジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)
アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アク
リレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリ
レート、ヘキサンジ(メタ)アクリレート、ネオペンチ
ルグリコールジ(メタ)アクリレート、グリセリンジ
(メタ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリ
レート、グリセリンテトラ(メタ)アクリレート、テト
ラトリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、
ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等
が挙げられ、これらの成分は、単独又は混合物として使
用される。
【0023】これらの多官能(メタ)アクリレートモノ
マーを使用する際には、少なくとも1種の3官能以上の
モノマーを含むことが好ましく、その含有量は多官能
(メタ)アクリレートモノマー中において約30〜95
重量%を占める割合である。又、これらの多官能(メ
タ)アクリレートモノマーには、反応希釈剤としてメチ
ル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレー
ト、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)ア
クリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、エチルヘ
キシル(メタ)アクリレート、スチレン、メチルスチレ
ン、Nービニルピロリドン等の単官能性モノマーを添加
することができる。
【0024】感光性樹脂に添加することが好ましいアル
カリ現像液に可溶性の有機重合体は、ブラックマトリッ
クスを形成する黒色被膜のアルカリ現像液に対する現像
性、被膜形成材、樹脂BMの粘度調整剤及びカーボンブ
ラックの分散安定剤としての作用を有する。具体的に
は、例えば、(メタ)アクリル樹脂、ポリエステル樹
脂、不飽和ポリエステル樹脂、(メタ)アクリロイル基
を持つ感光性モノマー、及びオリゴマー等が挙げられ
る。更には、ポリ(メタ)アクリル酸エステル又はその
部分加水分解物、ポリ酢酸ビニル又はその加水分解物、
ポリビニルフェノール、フェノールノボラック、ポリス
チレン、ポリビニルブチラール、ポリクロロプレン、ポ
リ塩化ビニル、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピ
レン、ポリビニルピロリドン、スチレンと無水マレイン
酸の共重合体又はそのハーフエステル、(メタ)アクリ
ル酸、(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリル
アミド、(メタ)アクリロニトリル等の共重合可能なモ
ノマー群から選ばれた、ガラス転移点が35℃以上であ
る共重合体等が挙げられる。
【0025】これらの中で特に好ましい重合体は(メ
タ)アクリル酸、スチレン及びベンジル(メタ)アクリ
レートの3系共重合体である。これらの共重合体の共重
合比は任意であるが、好ましい範囲は全体を100モル
とした場合、(メタ)アクリル酸約20〜40モル、ス
チレン約25〜45モル、及びベンジル(メタ)アクリ
レート約10〜50モルの共重合体である。該共重合体
は前述の分散剤とともに樹脂BM中の顔料の安定化を図
る目的をも有し、その分子量は約1万〜7万の範囲が好
ましい。又、適度なアルカリ現像性を付与するために
は、その酸価が約60〜160mgKOH/gの範囲で
あることが好ましい。
【0026】上記感光樹脂の硬化には光重合開始剤の使
用が必要である。好ましい光重合開始剤は分光吸収スペ
クトルで300nmから400nmに最大吸収波長を有
するものが好ましく、これらの光重合開始剤は、紫外線
のエネルギーによりフリーラジカルを発生する化合物で
ある。特に使用するカーボンブラックの光吸収波長並び
に遮光効率を考慮したうえで、光重合開始剤の添加量並
びに最適化学種を決定するのが好ましい。光開始剤とし
ては、ベンゾイン、アセトフェノン等のベンゾフェノン
誘導体、又はそれらのエステル等の誘導体、キサントン
並びにチオキサントン誘導体、含ハロゲン化合物として
クロロスルフォニル化及びクロロメチル化多核芳香族化
合物、クロロメチル化複素環式化合物、クロロメチルベ
ンゾフェノン類、フルオレノン類、ハロアルカン類、光
還元性色素と還元剤とのレドックスカップル類、有機硫
黄化合物、過酸化物類等があり、これら1種又は2種以
上の組合せによっても使用できる。
【0027】上記光重合開始剤の具体例としては、例え
ば、2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2
−メチル−{4−(メチルチオ)フェニル}−2−モル
ホリノ−1−プロパノン、ベンゾインブチルエーテル、
ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾフェノン、ミ
ヒラーケトン、4,4−ジエチルアミノベンゾフェノ
ン、クロロメチルベンゾフェノン、9,10−アンスラ
キノン、2−メチル−9,10−アンスラキノン、クロ
ロスルホニルアンスラキノン、クロロメチルアンスラキ
ノン、9,10−フェナンスレンキノン、キサントン、
クロロキサントン、チオキサントン、クロロチオキサン
トン、2,4−ジエチルチオキサントン、クロロスルホ
ニルチオキサントン、クロロメチルベンゾチアゾール等
が挙げられる。
【0028】本発明において樹脂BMの調製に用いられ
る溶剤としては、具体的には、メチルアルコール、エチ
ルアルコール、N−プロピルアルコール、i−プロピル
アルコール等のアルコール系溶媒、メトキシアルコー
ル、エトキシアルコール等のセロソルブ系溶媒、メトキ
シエトキシエタノール、エトキシエトキシエタノール等
のカルビトール系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、メト
キシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチ
ル、乳酸エチル等のエステル系溶媒、アセトン、メチル
イソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶
媒、メトキシエチルアセテート、エトキシエチルアセテ
ート、エチルセロソルブアセテート等のセロソルブアセ
テート系溶媒、メトキシエトキシエチルアセテート、エ
トキシエトキシエチルアセテート等のカルビトールアセ
テート系溶媒、ジエチルエーテル、エチレングリコール
ジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエー
テル、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒、N,N
−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミ
ド、N−メチルピロリドン等の非プロトン性アミド溶
媒、γ−ブチロラクトン等のラクトン系溶媒、ベンゼ
ン、トルエン、キシレン、ナフタレン等の不飽和炭化水
素系溶媒、N−ヘプタン、N−ヘキサン、N−オクタン
等の飽和炭化水素系溶媒等の有機溶媒が挙げられる。
【0029】これらの溶媒の内、メトキシエチルアセテ
ート、エトキシエチルアセテート、エチルセロソルブア
セテート等のセロソルブアセテート系溶媒、メトキシエ
トキシエチルアセテート、エトキシエトキシエチルアセ
テート等のカルビトールアセテート系溶媒、エチレング
リコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメ
チルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル
等のエーテル系溶媒、メトキシプロピオン酸メチル、エ
トキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル等のエステル系
溶媒が好ましい。
【0030】上記樹脂BMの組成において、組成物中に
占める全カーボンブラックの割合は、約40〜75重量
%であり、好ましくは約45〜70重量%である。顔料
が約40重量%未満であると、ブラックマトリックスの
遮光力が不十分であり、ブラックマトリックスとしての
特性を発揮できず、鮮明なR、G、B画像の表示が困難
である。一方、カーボンブラックが約75重量%を超え
ると、ブラックマトリックスのパターン形成における光
透過率が不十分となるため、樹脂BM中の感光性成分の
光硬化作用が低下し、内部硬化にまでなかなか達しな
い。カーボンブラックはその種類、粒径、分散の状態等
によって、着色力、遮光性等の各種光学的性質が変化す
るので、選択した特定のカーボンブラックの物性に従っ
て使用量を決定する。使用量の決定基準は形成されるブ
ラックマトリックスの遮光率が膜厚1μmあたりO.D
値3.0、好ましくは3.15を十分満足する量であ
る。ブラックマトリックスの遮光力に関してはブラック
マトリックス試料の膜厚を約1.0μmにしたものにつ
いてマイクロデンシトメータによってO.D値として測
定した。
【0031】又、本発明の樹脂BMを構成する多官能
(メタ)アクリレートモノマーの量は、顔料以外の被膜
形成成分中において約20〜60重量%を占める割合で
あり、好ましくは約30〜50重量%を占める割合であ
る。多官能(メタ)アクリレートモノマーが約20%重
量未満であると、形成されるブラックマトリックスの接
着強度、耐熱性等の各種物理的強度が不十分であり、一
方、多官能(メタ)アクリレートモノマーが約60重量
%を超えると、樹脂BMの安定性が低下するとともに、
形成されるブラックマトリックス膜の可撓性が不十分と
なる。
【0032】又、本発明の樹脂BMを構成するアルカリ
現像液に可溶性の有機重合体の量は、カーボンブラック
以外の被膜形成成分中において約5〜80重量%を占め
る割合であり、好ましくは約10〜60重量%を占める
割合である。感光性樹脂中の上記有機重合体の量が、約
5重量%未満であると樹脂BMの基板に対する塗布適性
が低下するとともに、形成されたブラックマトリックス
膜のアルカリ現像液に対する現像性、接着強度、可撓性
が不十分である。一方、上記有機重合体の量が約80重
量%を超えると、ポストベーク後の膜減率の増加、光硬
化膜内部の未硬化量の増加によるブラックマトリックス
の被膜硬度の減少等の面で不十分になる場合がある。
【0033】又、本発明の樹脂BMを構成する光重合開
始剤の量は、カーボンブラック以外の被膜形成成分中に
おいて約5〜35重量%を占める割合であり、好ましく
は約10〜30重量%を占める割合である。光重合開始
剤の量が、約5重量%未満であると、樹脂BMの感度が
低下すると共に、形成されるブラックマトリックス膜の
接着性、可撓性の面で不十分になる場合がある。
【0034】尚、光重合開始剤は、顔料を十分に分散さ
せた前記の多官能(メタ)アクリレートモノマー及びア
ルカリ現像液に可溶性の有機重合体からなる樹脂組成物
に最初から添加しておいてもよいが、比較的長期間保存
する場合には、使用直前に樹脂組成物中に分散或いは溶
解することが好ましい。尚、本発明の樹脂BMは、樹脂
BMの塗布適性、感度、被膜の架橋密度調整等の目的
で、各種有機溶剤、各種ポリマー、増感剤、連鎖移動剤
等、当該技術分野で公知の添加剤を必要に応じて添加す
ることができる。
【0035】本発明の樹脂BMは、前記各成分及び適当
な有機溶剤を配合し、例えば、ペイントシェーカー、ビ
ーズミル、サンドグラインドミル、ボールミル、アトラ
イターミル、2本ロールミル等の分散機を用いて分散す
ることによって得られる。得られる樹脂BMは、有機溶
剤が媒体となっている塗工液又はインキ状態であって、
必要に応じて使用直前に有機溶剤を加えて希釈して使用
してもよい。
【0036】上記の樹脂BMを用いてカラーフイルター
のパターンを形成する方法は、従来公知の方法でよく、
例えば、適当な順序でR、G、B及び上記樹脂BMを透
明基板上にスピンコート、低速回転コーターやロールコ
ーターやナイフコーター等を用いて全面コーティングを
行うか、或いは各種の印刷方法による全面印刷又はパタ
ーンよりやや大きな部分印刷を行い、予備乾燥後フォト
マスクを密着させ、超高圧水銀灯を使用して露光を行っ
てパターンを焼付けする。次いで現像及び水洗を行い、
必要に応じポストベークを行うことによりカラーフイル
ターのパターンを形成させることができる。
【0037】
【実施例】次に参考例、実施例及び比較例を挙げて本発
明を更に具体的に説明する。尚、文中部又は%とあるの
は特に断わりのない限り重量基準である。 参考例1 透明基板としては、低膨張ガラス(コーニング社製)を
中性洗剤による洗浄、水洗、脱脂、オゾン処理及び光洗
浄をしたものを使用した。着色顔料組成物として以下に
示すものを用いた。下記アルカリ可溶性樹脂中に、顔料
を加えてこれらを混合し、2本ロール等で混練分散し、
更にPGMEA希釈溶剤を加え、ペイントシェーカー、
ビーズミル等で分散して顔料分散液Aとした。分散後の
カーボンブラックの粒径(d50)は0.05μmであ
った。顔料分散液A組成 ・顔料(カーボンブラック、三菱化学製MA−8) 10.0部 ・ベンジルメタクリレート−スチレン−アクリル酸共重合体物 3.0部 (共重合比率1:1:1、分子量約3万、分子量分布Mw/Mn=1.7) ・分散剤:Disperbyk161(ビックケミー社製) 1.0 部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA) 70.0部
【0038】参考例2 下記アルカリ可溶性樹脂中に、顔料を加えてこれらを混
合し、2本ロール等で混練分散し、更にPGMEA希釈
溶剤を加え、ペイントシェーカー、ビーズミル等で分散
して顔料分散液Bとした。分散後のカーボンブラックの
粒径(d50)は0.13μmであった。顔料分散液B組成 ・顔料(カーボンブラック、Degussa製、Special Black250) 10.0部 ・ベンジルメタクリレート−スチレン−アクリル酸共重合体物 3.0部 (共重合比率1:1:1、分子量約3万、分子量分布Mw/Mn=1.7) ・分散剤:Disperbyk 161(ビックケミー社製) 1.0 部 ・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA) 70.0 部
【0039】更に上記と同様にして下記表1に記載の組
成の顔料分散液C〜Fを調製した。尚、顔料分散液A及
びBも同時に表1中に記載した。 表1
【0040】実施例1 下記感光性樹脂中に、顔料分散液A及びBを下記配合に
従って混合し、それにエチルセルソルブアセテート等の
希釈溶剤を加え、それぞれをペイントシェーカー、ビー
ズミル等で分散して本発明の樹脂BMを調製した。下記
樹脂BM中の分散顔料の平均粒子径はd50で0.2μ
m以下になるように、それぞれ顔料分散液A及びBをそ
れらの配合比率を変化させて分散した。粒子径並びに粒
度分布の確認は日機装(株)社製マイクロトラックUP
A粒度分析計で行った。
【0041】樹脂BMの組成 ・顔料分散液A及びB 84.0部 (内、分散液Aが30〜90%、分散液Bが10〜70%) ・ベンジルメタクリレート−スチレン−アクリル酸共重合体物 5.0部 (共重合比率1:1:1、分子量約3万、分子量分布Mw/Mn=1.7) 固形分40%(3ーメトキシブチルアセテート溶液) ・トリメチロールプロパントリアクリレート(日本化薬製) 9.0部 ・イルガキュアー369(チバガイギー社製) 3.0部 ・エチルセロソルブアセテート 40.0部 上記樹脂BMをガラス基板上にスピンコーティング法に
よって1.0μmになるように塗布した。膜厚は触針式
法によるデックタック装置で計測した。塗布後、CR乾
燥機にて120℃で3分間プリベークを行い、続けて細
線パターンを施したマスクを介して、アライナーによっ
て400から2000mJ/cm2まで露光量を変化さ
せてそれぞれパターンを焼き付けた。
【0042】現像は、自動現像装置を使用してアルカリ
水溶液によって未硬化の樹脂BMを溶解させた後水洗し
た。パターン細線を顕微鏡により確認後、ポストベーク
200℃で60分間行った。パターン細線は2.5μm
以下でラインアンドスペースのパターンが解像されてい
た。更にポストベーク後の膜減率は10%以下であるこ
とを確認した。得られたブラックマトリックスのパター
ン(膜厚1μm、P/V=0.6)によるO.D値の変
化を図1に示した。この結果より、顔料分散液A及びB
をそれぞれ単独で用いるよりも、配合して用いた方が遮
光効果は高く、A液対B液の配合比35:65でのブラ
ックマトリックスのパターン(膜厚1μm、PV=0.
6)によるO.D値は3.22であった。
【0043】比較例1 顔料分散液として分散液Aのみを用い、他は実施例1と
同様にして得られたブラックマトリックスのパターン
(膜厚1μm、P/V=0.6)によるO.D値は3.
02であった。又、顔料分散液として分散液Bのみを用
い、他は実施例1と同様にして得られたブラックマトリ
ックスのパターン(膜厚1μm、P/V=0.6)によ
るO.D値は3.12であった。
【0044】実施例2〜8 その他、分散液A〜Fを組み合わせて使用し、他は実施
例1と同様にしてブラックマトリックスを形成し、その
O.D値を求めて下記表2の結果を得た。分散液A〜F
の%は全体を100とした場合である。尚、各分散液単
独使用の場合のO.D値は表1に示した。表2
【0045】比較例2 樹脂BMのカーボンブラックをSeast S(東海カーボン
製、pH値7.8、BET比表面積27m2/g)10
部とした他は、実施例1と同様にして樹脂BMを調製し
た。樹脂BMを調製した後にブラックマトリックス部の
パターン作製を行ったが、現像特性は膨潤剥離性を示し
た。又、ガラス基板に対する密着性が低く、画線パター
ン泳ぎが発生し、更には遮光性は著しく劣るものであっ
た(1μm膜厚でのO.D値は2.68)。
【0046】比較例3 樹脂BMのカーボンブラックをRaven5000(Degussa
製、pH値2.8、BET表面積430m2/g)10
部とした他は、実施例1と同様にして樹脂BMを調製し
た。樹脂BMを調製した後にブラックマトリックス部の
パターン作製を行った。パターン形成に必要な露光エネ
ルギー量(感度)は800mJ/cm2以上であった。
現像特性は膨潤剥離性を示した。又、ガラス基板に対す
る密着性が低く完全なパターンが得られなかった。
【0047】比較例4 樹脂BMのカーボンブラックをMA−600(三菱化成
製、pH値7.5、BET比表面積153m2/g)1
0部とした他は、実施例1と同様にして樹脂BMを調製
した。樹脂BMの室温保存適性はなく、約1ヶ月経過し
たものは凝集・沈殿してしまった。樹脂BMを調製した
後にブラックマトリックス部のパターン作製を行った
が、現像特性は膨潤剥離性を示した。又、ガラス基板に
対する密着性が低く画線パターンができなかった。更に
は遮光性は著しく劣るものであった(1μm膜厚での
O.D値は2.51)。
【0048】比較例5 樹脂BMを黒色有機顔料(R+G+B混合顔料)10部
のみとした他は、実施例1と同様にして樹脂BMを調製
し、ブラックマトリックス部のパターン作製を行った。
しかし溶解性、高解像度は確保されるものの、画線パタ
ーン泳ぎが発生し、更には遮光性は著しく劣るものであ
った(1μm膜厚でのO.D値は2.3)。
【0049】
【発明の効果】本発明によれば、カーボンブラックを用
い、低コストで反射率の低い、更に解像性の高いカラー
フイルター用樹脂BMを得ることができた。更にはフォ
トリソ法を応用しカラーフイルター製造が可能で更に高
品位で且つ高耐久性の液晶カラー表示体を得ることがで
きる。更に本件の樹脂組成物は0.1%以下の低濃度ア
ルカリ水溶現像液に対しても、溶解速度が大きく、溶解
現像型でパターン形成される樹脂BMである。又、感光
性樹脂によりカラーフイルター作製工程をフォトファブ
リケーション法を応用できることが可能となり、高精度
で且つ表面平滑が良好なパターンを複数容易に同じ状態
で得ることができ、顔料を使用することからも耐熱性、
耐環境性の良好なカラーフイルターを得ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】2種のカーボンブラックの混合比とO.D値と
の関係を示す図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森 宏之 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 影山 達哉 神奈川県横浜市緑区青砥町450番地 ザ・ インクテック株式会社内 (72)発明者 三橋 修一 神奈川県横浜市緑区青砥町450番地 ザ・ インクテック株式会社内

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 異なる平均粒径を有する少なくとも2種
    のカーボンブラックと感光性樹脂とからなることを特徴
    とする感光性黒色樹脂組成物。
  2. 【請求項2】 一方のカーボンブラックの平均粒径が4
    0〜130nmであり、他方のカーボンブラックの平均
    粒径が135〜500nmである請求項1に記載の感光
    性黒色樹脂組成物。
  3. 【請求項3】 一方のカーボンブラックの比表面積が1
    00〜200m2/gであり、他方のカーボンブラック
    の比表面積が30〜50m2/gである請求項1に記載
    の感光性黒色樹脂組成物。
  4. 【請求項4】 カーボンブラックが、表面酸性のカーボ
    ンブラックである請求項1に記載の感光性黒色樹脂組成
    物。
  5. 【請求項5】 全カーボンブラックが、膜厚1.0μm
    において光学濃度3.0以上となる濃度である請求項1
    に記載の感光性黒色樹脂組成物。
  6. 【請求項6】 感光性樹脂が、アルカリ現像液に可溶性
    の有機重合体を含有する請求項1に記載の感光性黒色樹
    脂組成物。
  7. 【請求項7】 アルカリ現像液に可溶性の有機重合体
    が、カルボキシル基を有するアクリル系樹脂である請求
    項6に記載の感光性黒色樹脂組成物。
  8. 【請求項8】 カルボキシル基を有するアクリル系樹脂
    が、少なくとも(メタ)アクリル酸、スチレン及びベン
    ジル(メタ)アクリレートよりなる3系共重合体である
    請求項7に記載の感光性黒色樹脂組成物。
  9. 【請求項9】 3系共重合体の共重合比が、全体を10
    0モルとした場合、(メタ)アクリル酸20〜40モ
    ル、スチレン25〜45モル、及びベンジル(メタ)ア
    クリレート10〜50モルである請求項8に記載の感光
    性黒色樹脂組成物。
  10. 【請求項10】 アルカリ現像液に可溶性の有機重合体
    の酸価が、60〜160mgKOH/gである請求項6
    に記載の感光性黒色樹脂組成物。
  11. 【請求項11】 3系共重合体の分子量が、1万〜7万
    である請求項8に記載の感光性黒色樹脂組成物。
  12. 【請求項12】 感光性樹脂が、少なくとも1種の3官
    能以上の(メタ)アクリレートモノマーを含有する請求
    項1に記載の感光性黒色樹脂組成物。
  13. 【請求項13】 感光性樹脂が、光重合性化合物を60
    重量%以上含有する請求項1に記載の感光性黒色樹脂組
    成物。
  14. 【請求項14】 透明基板上に、赤、緑及び青の画素と
    ブラックマトリックスとを設け、更に表面に透明電極層
    を設けたカラーフイルターであって、前記ブラックマト
    リックスが請求項1〜13に記載の感光性黒色樹脂組成
    物から形成されていることを特徴とするカラーフイルタ
    ー。
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