JPH09119945A - コンタクトプローブピン用接触端子 - Google Patents
コンタクトプローブピン用接触端子Info
- Publication number
- JPH09119945A JPH09119945A JP27603495A JP27603495A JPH09119945A JP H09119945 A JPH09119945 A JP H09119945A JP 27603495 A JP27603495 A JP 27603495A JP 27603495 A JP27603495 A JP 27603495A JP H09119945 A JPH09119945 A JP H09119945A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 機械的強度や剛性が高いため曲がらず、靭性
に優れているために破損せず、耐磨耗性に優れ、耐食性
に優れ、良導電性と安定した接触電気抵抗を有してい
る、狭ピッチプローブテスト用細径コンタクトプローブ
ピンの接触端子を提供する。 【解決手段】 加工硬化び時効硬化型Ｃｏ−Ｎｉ基合
金、特許第１３７４５６４号のＣｏ−Ｎｉ基合金、ある
いは主成分がＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏから成り、組成は
重量比でＣｒ＋Ｍｏ２０〜４０％、Ｎｉ２０〜５０％、
Ｃｏ２５〜４５％、Ｍｎ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｆｅ各０．１〜
５％、Ｎｂ０．１〜３％、Ｃｅ、Ｙ、ミッシュメタルか
ら選択される希土類元素１種または２種以上０．０１〜
１％、Ｖ０．１〜１％、Ｃ０．０５〜０．２％から成る
Ｃｏ−Ｎｉ基合金を、加工度５０％以上で冷間線引加工
した線材を用いて接触端子の形状に加工し、４００〜６
００℃で時効処理し、表面に導電性が良く、高硬度で耐
磨耗性に優れた、例えば、Ｎｉ−Ｐ系あるいはＮｉ−Ｂ
系の複合めっき層を形成させたことを特徴とする。
に優れているために破損せず、耐磨耗性に優れ、耐食性
に優れ、良導電性と安定した接触電気抵抗を有してい
る、狭ピッチプローブテスト用細径コンタクトプローブ
ピンの接触端子を提供する。 【解決手段】 加工硬化び時効硬化型Ｃｏ−Ｎｉ基合
金、特許第１３７４５６４号のＣｏ−Ｎｉ基合金、ある
いは主成分がＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏから成り、組成は
重量比でＣｒ＋Ｍｏ２０〜４０％、Ｎｉ２０〜５０％、
Ｃｏ２５〜４５％、Ｍｎ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｆｅ各０．１〜
５％、Ｎｂ０．１〜３％、Ｃｅ、Ｙ、ミッシュメタルか
ら選択される希土類元素１種または２種以上０．０１〜
１％、Ｖ０．１〜１％、Ｃ０．０５〜０．２％から成る
Ｃｏ−Ｎｉ基合金を、加工度５０％以上で冷間線引加工
した線材を用いて接触端子の形状に加工し、４００〜６
００℃で時効処理し、表面に導電性が良く、高硬度で耐
磨耗性に優れた、例えば、Ｎｉ−Ｐ系あるいはＮｉ−Ｂ
系の複合めっき層を形成させたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はコンタクトプローブピン
の部材である接触端子に関し、細径コンタクトプローブ
ピン、例えば液晶パネルのプローブテスト用のコンタク
トプローブピンの接触端子として使用する。
の部材である接触端子に関し、細径コンタクトプローブ
ピン、例えば液晶パネルのプローブテスト用のコンタク
トプローブピンの接触端子として使用する。
【０００２】
【従来の技術】コンタクトプローブピンの接触端子には
良導電性、安定した接触電気抵抗性、耐磨耗性等が求め
られる。従来、Ｂｅ−ＣｕやＳＫ材が使用されており、
表面は導電性の良いＡｕ、Ｒｈ、Ｎｉ等がめっきされて
いる。図１にコンタクトプローブピンの構造断面図を示
す。１が接触端子である。
良導電性、安定した接触電気抵抗性、耐磨耗性等が求め
られる。従来、Ｂｅ−ＣｕやＳＫ材が使用されており、
表面は導電性の良いＡｕ、Ｒｈ、Ｎｉ等がめっきされて
いる。図１にコンタクトプローブピンの構造断面図を示
す。１が接触端子である。
【０００３】
【本発明が解決しようとする課題】プローブテストに使
用するコンタクトプローブピンは、プローブテストする
対象端子のピッチ間隔が０．５ｍｍ、０．３ｍｍ、０．
２５ｍｍと狭くなるに従い、コンタクトプローブピン自
体も細くならざるを得ず、コンタクトプローブピンの接
触端子は更に細くなる。
用するコンタクトプローブピンは、プローブテストする
対象端子のピッチ間隔が０．５ｍｍ、０．３ｍｍ、０．
２５ｍｍと狭くなるに従い、コンタクトプローブピン自
体も細くならざるを得ず、コンタクトプローブピンの接
触端子は更に細くなる。
【０００４】プローブテストする対象端子のピッチ間隔
は益々狭くなってきており、ピッチ０．２５ｍｍ未満に
対応するコンタクトプローブピンの要求も出てきてい
る。このような細径コンタクトプローブピンの接触端子
は、従来使用している接触端子材料では強度が不足して
曲がったり、先端がすぐ磨耗してしまうとか、あるいは
材料が靭性に乏しくすぐ破損してしまう等の課題を有し
ているため、機械的強度や剛性が高くて曲がり難く、硬
度が高いために磨耗し難く、靭性に優れているために容
易に破損せず、耐食性に優れているために錆び難く、良
導電性と安定した接触電気抵抗を有する接触端子が求め
られていた。
は益々狭くなってきており、ピッチ０．２５ｍｍ未満に
対応するコンタクトプローブピンの要求も出てきてい
る。このような細径コンタクトプローブピンの接触端子
は、従来使用している接触端子材料では強度が不足して
曲がったり、先端がすぐ磨耗してしまうとか、あるいは
材料が靭性に乏しくすぐ破損してしまう等の課題を有し
ているため、機械的強度や剛性が高くて曲がり難く、硬
度が高いために磨耗し難く、靭性に優れているために容
易に破損せず、耐食性に優れているために錆び難く、良
導電性と安定した接触電気抵抗を有する接触端子が求め
られていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明において接触端子の材質を、機械的強度が高
く、高剛性で、靭性に優れ、耐食性にも優れている、加
工硬化及び時効硬化型Ｃｏ−Ｎｉ基合金とした。このＣ
ｏ−Ｎｉ基合金とは、例えば次の合金を示すものであ
る。
に、本発明において接触端子の材質を、機械的強度が高
く、高剛性で、靭性に優れ、耐食性にも優れている、加
工硬化及び時効硬化型Ｃｏ−Ｎｉ基合金とした。このＣ
ｏ−Ｎｉ基合金とは、例えば次の合金を示すものであ
る。
【０００６】（１）主成分がＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏか
ら成り、組成は重量比でＣｒ＋Ｍｏ２０〜４０％、Ｎｉ
２０〜５０％、Ｃｏ２５〜４５％、Ｍｎ、Ｔｉ、Ａｌ、
Ｆｅ各０．１〜５％、Ｎｂ０．１〜３％、Ｃｅ、Ｙ、ミ
ッシュメタルから選択される希土類元素１種または２種
以上０．０１〜１％から成る特許第１３７４５６４号の
Ｃｏ−Ｎｉ基合金。
ら成り、組成は重量比でＣｒ＋Ｍｏ２０〜４０％、Ｎｉ
２０〜５０％、Ｃｏ２５〜４５％、Ｍｎ、Ｔｉ、Ａｌ、
Ｆｅ各０．１〜５％、Ｎｂ０．１〜３％、Ｃｅ、Ｙ、ミ
ッシュメタルから選択される希土類元素１種または２種
以上０．０１〜１％から成る特許第１３７４５６４号の
Ｃｏ−Ｎｉ基合金。
【０００７】（２）主成分がＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏか
ら成り、組成は重量比でＣｒ＋Ｍｏ２０〜４０％、Ｎｉ
２０〜５０％、Ｃｏ２５〜４５％、Ｍｎ、Ｔｉ、Ａｌ、
Ｆｅ各０．１〜５％、Ｎｂ０．１〜３％、Ｃｅ、Ｙ、ミ
ッシュメタルから選択される希土類元素１種または２種
以上０．０１〜１％、Ｖ０．１〜１％、Ｃ０．０５〜
０．２％から成るＣｏ−Ｎｉ基合金。
ら成り、組成は重量比でＣｒ＋Ｍｏ２０〜４０％、Ｎｉ
２０〜５０％、Ｃｏ２５〜４５％、Ｍｎ、Ｔｉ、Ａｌ、
Ｆｅ各０．１〜５％、Ｎｂ０．１〜３％、Ｃｅ、Ｙ、ミ
ッシュメタルから選択される希土類元素１種または２種
以上０．０１〜１％、Ｖ０．１〜１％、Ｃ０．０５〜
０．２％から成るＣｏ−Ｎｉ基合金。
【０００８】これらの合金を用いて、断面減少率で表わ
される加工度５０％以上で冷間線引加工を行う。ここで
加工度を５０％以上としたのは、加工度がこれより低く
なると接触端子に必要な機械的強度が得られないからで
ある。線引加工後、線材を接触端子の形状に加工する。
４００〜６００℃で時効処理することにより、機械的強
度を更に高めることができる。その後めっき処理によ
り、例えばＮｉ−Ｐ系あるいはＮｉ−Ｂ系の複合めっき
のような導電性と耐磨耗性に優れためっき層を接触端子
の表面に形成させる。
される加工度５０％以上で冷間線引加工を行う。ここで
加工度を５０％以上としたのは、加工度がこれより低く
なると接触端子に必要な機械的強度が得られないからで
ある。線引加工後、線材を接触端子の形状に加工する。
４００〜６００℃で時効処理することにより、機械的強
度を更に高めることができる。その後めっき処理によ
り、例えばＮｉ−Ｐ系あるいはＮｉ−Ｂ系の複合めっき
のような導電性と耐磨耗性に優れためっき層を接触端子
の表面に形成させる。
【０００９】図２に本発明コンタクトプローブピン用接
触端子の断面図を示す。
触端子の断面図を示す。
【００１０】
【作用】前記のような構成により、曲がり難く、破損し
難く、錆び難く、耐磨耗性に優れ、良導電性と安定した
接触電気抵抗を備えた、狭ピッチ対応の細径コンタクト
プローブピン用接触端子を得ることができる。
難く、錆び難く、耐磨耗性に優れ、良導電性と安定した
接触電気抵抗を備えた、狭ピッチ対応の細径コンタクト
プローブピン用接触端子を得ることができる。
【００１１】
【実施例】以下実施例に基づいて詳細に説明する。組成
が重量比でＣｒ２０．５％、Ｍｏ８．９％、Ｎｉ３１．
３％、Ｃｏ３６．４％、Ｍｎ０．４％、Ｔｉ０．６％、
Ａｌ０．１％、Ｆｅ０．７％、Ｎｂ１．１％、ミッシュ
メタル０．０１％から成る合金Ａと、Ｃｒ２０．５％、
Ｍｏ８．９％、Ｎｉ３１．３％、Ｃｏ３６．１％、Ｍｎ
０．４％、Ｔｉ０．６％、Ａｌ０．１％、Ｆｅ０．７
％、Ｎｂ１．１％、ミッシュメタル０．０１％、Ｖ０．
５％、Ｃ０．１％から成る合金Ｂとを用い、ダイヤモン
ドダイスを使用して常温で最終加工度９０％の線引加工
を行い、線径０．２ｍｍの線材にした。
が重量比でＣｒ２０．５％、Ｍｏ８．９％、Ｎｉ３１．
３％、Ｃｏ３６．４％、Ｍｎ０．４％、Ｔｉ０．６％、
Ａｌ０．１％、Ｆｅ０．７％、Ｎｂ１．１％、ミッシュ
メタル０．０１％から成る合金Ａと、Ｃｒ２０．５％、
Ｍｏ８．９％、Ｎｉ３１．３％、Ｃｏ３６．１％、Ｍｎ
０．４％、Ｔｉ０．６％、Ａｌ０．１％、Ｆｅ０．７
％、Ｎｂ１．１％、ミッシュメタル０．０１％、Ｖ０．
５％、Ｃ０．１％から成る合金Ｂとを用い、ダイヤモン
ドダイスを使用して常温で最終加工度９０％の線引加工
を行い、線径０．２ｍｍの線材にした。
【００１２】この線材を一般的な機械的矯正方法にて直
線状に加工し、２００ｍｍ長さに切断した。その線材を
５５０℃で２時間真空熱処理炉で時効処理した。その
後、研削加工により全長１．５ｍｍ、元径０．１２ｍ
ｍ、本体径０．０９ｍｍ、先端テーパーの段付き形状に
仕上げた。最後に一般的な方法によりＮｉ−Ｐ複合めっ
きとＮｉ−Ｂ複合めっき処理を施した。尚、比較材とし
てＢｅ−Ｃｕ、ＳＫ５でも同一寸法の接触端子を作成し
た。このようにして作成した接触端子をコンタクトプロ
ーブピンに組み込み、接触端子の特性を調べた。表１に
その結果を示す。耐久性は針圧１０ｇ、ストローク１ｍ
ｍでプローブテストを１万回繰り返し問題が生じないか
を調べた。
線状に加工し、２００ｍｍ長さに切断した。その線材を
５５０℃で２時間真空熱処理炉で時効処理した。その
後、研削加工により全長１．５ｍｍ、元径０．１２ｍ
ｍ、本体径０．０９ｍｍ、先端テーパーの段付き形状に
仕上げた。最後に一般的な方法によりＮｉ−Ｐ複合めっ
きとＮｉ−Ｂ複合めっき処理を施した。尚、比較材とし
てＢｅ−Ｃｕ、ＳＫ５でも同一寸法の接触端子を作成し
た。このようにして作成した接触端子をコンタクトプロ
ーブピンに組み込み、接触端子の特性を調べた。表１に
その結果を示す。耐久性は針圧１０ｇ、ストローク１ｍ
ｍでプローブテストを１万回繰り返し問題が生じないか
を調べた。
【００１３】本発明接触端子は曲がりや破損を生じず、
接触電気抵抗も安定しており、優れた特性を有している
ことがわかる。
接触電気抵抗も安定しており、優れた特性を有している
ことがわかる。
【００１４】
【表１】
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明コンタクト
プローブピン用接触端子は、機械的強度や剛性が高いた
めに曲がり難く、靭性に優れているために破損し難く、
耐磨耗性に優れ、錆び難く、良導電性と安定した接触電
気抵抗をゆうしているため、例えばピッチ間隔が０．２
５ｍｍ未満の狭ピッチプローブテスト用の細径コンタク
トプローブピンの接触端子として最適であるという効果
がある。
プローブピン用接触端子は、機械的強度や剛性が高いた
めに曲がり難く、靭性に優れているために破損し難く、
耐磨耗性に優れ、錆び難く、良導電性と安定した接触電
気抵抗をゆうしているため、例えばピッチ間隔が０．２
５ｍｍ未満の狭ピッチプローブテスト用の細径コンタク
トプローブピンの接触端子として最適であるという効果
がある。
【図１】コンタクトプローブピンの構造断面図を示す。
【図２】本発明接触端子の構造断面図を示す。
１ 接触端子 ２ コイルばね ３ パイプ ４ Ｃｏ−Ｎｉ基合金 ５ めっき層
Claims (6)
- 【請求項１】 加工硬化及び時効硬化型Ｃｏ−Ｎｉ基合
金を冷間線引加工した線材を用いて時効処理することを
特徴とするコンタクトプローブピン用接触端子。 - 【請求項２】 主成分がＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏから成
り、組成は重量比でＣｒ＋Ｍｏ２０〜４０％、Ｎｉ２０
〜５０％、Ｃｏ２５〜４５％、Ｍｎ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｆｅ
各０．１〜５％、Ｎｂ０．１〜３％、Ｃｅ、Ｙ、ミッシ
ュメタルから選択される希土類元素１種または２種以上
０．０１〜１％から成るＣｏ−Ｎｉ基合金を、加工度５
０％以上で冷間線引加工した線材を用いることを特徴と
するコンタクトプローブピン用接触端子。 - 【請求項３】 主成分がＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏから成
り、組成は重量比でＣｒ＋Ｍｏ２０〜４０％、Ｎｉ２０
〜５０％、Ｃｏ２５〜４５％、Ｍｎ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｆｅ
各０．１〜５％、Ｎｂ０．１〜３％、Ｃｅ、Ｙ、ミッシ
ュメタルから選択される希土類元素１種または２種以上
０．０１〜１％、Ｖ０．１〜１％、Ｃ０．０５〜０．２
％から成るＣｏ−Ｎｉ基合金を、加工度５０％以上で冷
間線引加工した線材を用いることを特徴とするコンタク
トプローブピン用接触端子。 - 【請求項４】 請求項２または請求項３に記載のコンタ
クトプローブピン用接触端子において、４００〜６００
℃で時効処理されることを特徴とするコンタクトプロー
ブピン用接触端子。 - 【請求項５】 請求項２、３、４のいずれか一項に記載
のコンタクトプローブピン用接触端子において、表面に
導電性が良く、高硬度で耐磨耗性に優れた金属めっき層
が形成されていることを特徴とするコンタクトプローブ
ピン用接触端子 - 【請求項６】 請求項５に記載のコンタクトプローブピ
ン用接触端子において、めっき層はＮｉ−Ｐ系複合めっ
き層、またはＮｉ−Ｂ系複合めっき層であることを特徴
とするコンタクトプローブピン用接触端子
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27603495A JPH09119945A (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | コンタクトプローブピン用接触端子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27603495A JPH09119945A (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | コンタクトプローブピン用接触端子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09119945A true JPH09119945A (ja) | 1997-05-06 |
Family
ID=17563869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27603495A Pending JPH09119945A (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | コンタクトプローブピン用接触端子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09119945A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003005042A1 (fr) * | 2001-07-02 | 2003-01-16 | Nhk Spring Co., Ltd. | Contact conducteur |
| US6573738B1 (en) | 1999-03-25 | 2003-06-03 | Tokyo Cathode Laboratory Co., Ltd. | Multi-layered probe for a probecard |
| EP1387174A1 (en) * | 2001-04-13 | 2004-02-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Contact probe |
| JP2006037206A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-09 | Sii Micro Parts Ltd | 刃物及びその製造方法 |
| JP2006084450A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | コンタクトプローブおよびプローブカード |
| JPWO2004092749A1 (ja) * | 2003-04-15 | 2006-08-17 | 日本電気株式会社 | 検査プローブ |
| CN103205607A (zh) * | 2012-01-17 | 2013-07-17 | 中航商用航空发动机有限责任公司 | 抗气蚀涂层材料及具有抗气蚀涂层的高速燃油离心泵 |
| JP2018054594A (ja) * | 2016-09-26 | 2018-04-05 | セイコーインスツル株式会社 | 接触式プローブ |
-
1995
- 1995-10-24 JP JP27603495A patent/JPH09119945A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6573738B1 (en) | 1999-03-25 | 2003-06-03 | Tokyo Cathode Laboratory Co., Ltd. | Multi-layered probe for a probecard |
| US7190179B2 (en) | 2001-04-13 | 2007-03-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Contact probe |
| EP1387174A1 (en) * | 2001-04-13 | 2004-02-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Contact probe |
| EP1387174A4 (en) * | 2001-04-13 | 2005-09-28 | Sumitomo Electric Industries | CONTACT PROBE |
| US7081767B2 (en) | 2001-07-02 | 2006-07-25 | Nhk Spring Co., Ltd. | Electroconductive contact unit |
| WO2003005042A1 (fr) * | 2001-07-02 | 2003-01-16 | Nhk Spring Co., Ltd. | Contact conducteur |
| JPWO2004092749A1 (ja) * | 2003-04-15 | 2006-08-17 | 日本電気株式会社 | 検査プローブ |
| JP4741949B2 (ja) * | 2003-04-15 | 2011-08-10 | 日本電気株式会社 | 検査プローブ |
| JP2006037206A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-09 | Sii Micro Parts Ltd | 刃物及びその製造方法 |
| JP4510542B2 (ja) * | 2004-07-30 | 2010-07-28 | セイコーインスツル株式会社 | 刃物及びその製造方法 |
| JP2006084450A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Sumitomo Electric Ind Ltd | コンタクトプローブおよびプローブカード |
| CN103205607A (zh) * | 2012-01-17 | 2013-07-17 | 中航商用航空发动机有限责任公司 | 抗气蚀涂层材料及具有抗气蚀涂层的高速燃油离心泵 |
| JP2018054594A (ja) * | 2016-09-26 | 2018-04-05 | セイコーインスツル株式会社 | 接触式プローブ |
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