JPH0897560A - 多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents

多層プリント配線板の製造方法

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JPH0897560A
JPH0897560A JP6231246A JP23124694A JPH0897560A JP H0897560 A JPH0897560 A JP H0897560A JP 6231246 A JP6231246 A JP 6231246A JP 23124694 A JP23124694 A JP 23124694A JP H0897560 A JPH0897560 A JP H0897560A
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Japan
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printed wiring
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JP6231246A
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Inventor
Naohito Fukuya
直仁 福家
Masaharu Ishikawa
正治 石川
Junji Kaneko
醇治 兼子
Toru Higuchi
徹 樋口
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Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 多層プリント配線板のトータル厚みを薄く
し、さらには、開口部形成時の樹脂屑の発生を防止し、
容易に加工ができ、工程の簡略化ができる多層プリント
配線板の製造方法を提供する。 【構成】 電子部品搭載部5及び導体回路4を有する最
下部絶縁基板1dと、この最下部絶縁基板1dの上方に
配置される開口部6を備える最上部絶縁基板1uと、こ
の最上部絶縁基板1uと前記最下部絶縁基板1dとの間
に配置される、前記開口部6及び導体回路4を有する内
層回路基板1nとを、それぞれ接着シート7を介して加
圧接着し、さらに、最上部絶縁基板1uの上に銅箔8を
接着して前記収納穴2の開口部6が銅箔8を含む蓋9で
覆われた積層体10とし、スルーホール3にメッキを施
した後、前記収納穴2の開口部6に対応する部分の前記
蓋9を機械的加工により除去して前記収納穴2を開口す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、電子機器、電
気機器、コンピュータ及び通信機器等に用いられるPG
A、BGA、チップキャリアのような半導体チップやチ
ップ部品を搭載するために用いられる多層プリント配線
板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体チップやチップ部品等の電
子部品は軽薄短小化が進み、それに伴い電子部品の搭載
基板も高密度化の要求が強くなってきている。また、半
導体パッケージは放熱性の良いものを使用する必要があ
るため、従来はセラミック素材のものが用いられていた
が、セラミック素材は高価なことから、高密度化が可能
で低価格化を実現できる多層プリント配線板が用いられ
るようになってきた。このような多層プリント配線板の
製造方法は、例えば、特公平5−5014号公報や特開
平4−369252号公報等で開示されている。
【0003】特公平5−5014号公報では、積層され
た複数枚の板体に半導体素子収納穴、スルーホールなら
びに配線パターンが形成され、スルーホールにはメッキ
が施されているプリント基板型PGAパッケージの製造
方法において、前記積層された複数枚の板体は、両外側
の板体には半導体素子収納穴を形成するための開口が形
成されておらず、両外側の板体の外面を除く配線パター
ンは、両外側の板体によって密閉されるように積層され
ており、該積層された複数枚の板体にスルーホールを形
成するとともにスルーホールにメッキを施し、その後両
外側の板体の少なくとも一方に半導体素子収納穴を形成
するための開口を形成するようにしたことを特徴とする
プリント基板型PGAパッケージの製造方法が開示され
ている。以上が特公平5−5014号公報に開示された
プリント基板型PGAパッケージの製造方法である。し
かしながら、この製造方法では以下に示すようないくつ
かの欠点を有してる。すなわち、開口部を覆う蓋が板体
であるため、蓋の厚みが厚くなってしまう。さらに、最
外層の開口部に前記板体の加工時の屑が回路パターンの
上やスルーホール内部に付着するという問題があった。
【0004】一方、特開平4−369252号公報で
は、配線を形成した複数枚の有機系基板を、中央部に底
面が平坦な凹部を形成しながら積層して段付部を有する
多層配線板を形成し、かつ、凹部以外の任意の個所にス
ルーホールを形成し、スルーホールにメッキを施して半
導体素子搭載用装置を製造する方法において、有機系基
板を積層後、最外側に銅箔を接着し、ついでスルーホー
ルを形成し、表面及びスルーホールにメッキ被膜を形成
した後、前記凹部に対応する部分のメッキ被膜及び銅箔
をエッチングにより取り除いて開口状態にすることを特
徴とする半導体素子搭載用装置の製造法が開示されてい
る。以上が特開平4−369252号公報に開示された
多層プリント配線板の製造方法である。しかしながら、
この製造方法でも以下に示すような欠点を有している。
すなわち、凹部の蓋となっている銅箔を除去し開口状態
とするエッチングの際に、開口部内部の回路まで侵され
る。これを防止するため、実施例に示されているよう
に、回路層各層にはんだメッキとオーバーコート樹脂の
印刷、硬化を行うプロセスが必要であり、非常に手間が
かかり、はんだメッキ部の除去工程も手間がかかるとい
う問題があった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記の事情に
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、多層
プリント配線板のトータル厚みを薄くし、さらには、開
口部形成時の樹脂屑の発生を防止し、容易に加工がで
き、工程の簡略化ができる多層プリント配線板の製造方
法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
多層プリント配線板の製造方法は、積層された複数枚の
絶縁基板1に電子部品搭載用の収納穴2、スルーホール
3及び導体回路4が形成され、スルーホール3にはメッ
キが施されている多層プリント配線板の製造方法におい
て、電子部品搭載部5及び導体回路4を有する最下部絶
縁基板1dと、この最下部絶縁基板1dの上方に配置さ
れる前記収納穴2に対応する開口部6を備える最上部絶
縁基板1uと、この最上部絶縁基板1uと前記最下部絶
縁基板1dとの間に配置される、前記開口部6及び導体
回路4を有する内層回路基板1nの所定枚数とを、それ
ぞれ接着シート7を介して加圧接着し、さらに、最上部
絶縁基板1uの上に銅箔8を前記加圧接着同時に又はそ
の後に接着して前記収納穴2の開口部6が銅箔8を含む
蓋9で覆われた積層体10とし、この積層体10にスル
ーホール3を形成し、このスルーホール3にメッキを施
した後、前記収納穴2の開口部6に対応する部分の前記
蓋9を機械的加工により除去して前記収納穴2を開口す
ることを特徴とする。
【0007】本発明の請求項2に係る多層プリント配線
板の製造方法は、前記銅箔8がプリプレグ11を介して
前記最上部絶縁基板1uの上に接着されていることを特
徴とする。
【0008】本発明の請求項3に係る多層プリント配線
板の製造方法は、前記収納穴2の開口部6に対応する部
分の前記蓋9が前記銅箔8のみで構成されていることを
特徴とする。
【0009】本発明の請求項4に係る多層プリント配線
板の製造方法は、前記銅箔8の厚みが9〜70μmであ
ることを特徴とする。
【0010】本発明の請求項5に係る多層プリント配線
板の製造方法は、前記収納穴2の開口部6を覆う蓋9が
前記銅箔8及びプリプレグ11で構成されていることを
特徴とする。
【0011】本発明の請求項6に係る多層プリント配線
板の製造方法は、前記プリプレグ11の厚みが0.02
〜0.2mmであることを特徴とする。
【0012】本発明の請求項7に係る多層プリント配線
板の製造方法は、前記収納穴2の開口部6に対応する部
分の前記蓋9を除去する機械的加工が、刃物切断、圧切
又は高圧水流切断であることを特徴とする。
【0013】
【作用】本発明の請求項1乃至請求項4に係る多層プリ
ント配線板の製造方法では、収納穴2の開口部6の蓋9
が銅箔8単独又は銅箔8と接着材料とから成り基板を含
まないため、厚みを薄くすることができ、さらに、収納
穴2を開口するための前記蓋9の除去がカッター等の機
械加工により容易にできる。特に、本発明の請求項3に
係る多層プリント配線板の製造方法では、収納穴2の開
口部6に対応する部分の蓋9が銅箔8のみで構成されて
いるため、さらに、厚みを薄くすることができ、収納穴
2を開口するための前記蓋9の除去がカッター等の機械
加工により容易にでき、かつ、樹脂屑の発生がない。
【0014】本発明の請求項5に係る多層プリント配線
板の製造方法では、蓋9が銅箔8及びプリプレグ11で
構成されているので、蓋9の強度が向上する。
【0015】本発明の請求項6に係る多層プリント配線
板の製造方法では、プリプレグ11の厚みが0.02〜
0.2mmであるので、厚みが薄いにもかかわらず、メ
ッキ工程及びエッチング工程で破損し難く、蓋9の除去
が容易にできる。
【0016】本発明の請求項7に係る多層プリント配線
板の製造方法では、収納穴2の開口部6に対応する部分
の前記蓋9を除去する機械的加工が、刃物切断、圧切又
は高圧水流切断であるので、銅箔を化学的にエッチング
して除去する場合と比べて、半田メッキ、半田エッチン
グ、オーバーコート樹脂の印刷、硬化等が不要となり工
程が簡略になる。
【0017】
【実施例】以下本発明を一実施例によって説明する。
【0018】図1(a)に示すように、電子部品搭載部
5及び導体回路4を有する最下部絶縁基板1dの上に、
電子部品搭載用の収納穴2に対応する開口部6及び導体
回路4を有する内層回路基板1nの所定枚数、例えば、
2枚をそれぞれ、プリプレグ等の接着シート7を介して
載置する。この内層回路基板1nの上に、開口部6を備
える最上部絶縁基板1uをプリプレグ等の接着シート7
を介して載置し、被圧体14とする。この被圧体14を
加熱加圧成形した後、図1(b−1)及び図1(b−
2)に示すように、最上部絶縁基板1uの上にプリプレ
グ11を介して銅箔8を接着して前記収納穴2の開口部
6が蓋9で覆われた積層体10を得る。前記蓋9が、図
1(b−1)に示すように、銅箔8のみから成るもので
あってもよく、図1(b−2)に示すように、銅箔8及
びプリプレグ11から成るものであってもよい。ここ
で、最上部絶縁基板1uの上のプリプレグ11及び銅箔
8を含めて、被圧体14とし、一括成形を行い積層体1
0を得ることもできる。上記銅箔8の厚みは9〜70μ
mが好ましく、プリプレグ11の厚みは0.02〜0.
2mmが好ましい。すなわち、銅箔8の厚みが9μm未
満の場合には、スルーホールメッキ工程や外層回路形成
のエッチング工程中に破損し易く、収納穴2の内部の導
体回路4が侵される危険がある。プリプレグ11の厚み
が0.02mm未満の場合には、プリプレグ11の製造
が困難である。銅箔8の厚みが70μmを越える場合に
は、この銅箔8の回路形成が困難で、精度が悪くなる。
また、プリプレグ11の厚みが0.2mmを越える場合
には、多層プリント配線板自体の厚みが厚くなり、不都
合な上に、蓋9の除去が困難になる。
【0019】図1(c)に示すように、この積層体10
の上下に連通するスルーホール3を形成し、核付けを行
い、このスルーホール3の内面及び最外層に化学メッキ
又は電気メッキ等のメッキを施す。
【0020】図1(d)に示すように、前記スルーホー
ル3の上下面と前記収納穴2を覆う銅箔8と積層体10
の下面の最外層の必要部分とをエッチングレジストで覆
い、露光、現像エッチングを行うことにより外層部の回
路形成を行い導体回路4を得る。
【0021】最外層の銅箔8からなる蓋9の除去方法と
してはスリッティングカッター、ルーターが好ましい
が、その他の刃物切断、圧切、高圧水流切断等の機械的
加工により行う。この機械的加工では刃の入れ方によ
り、図2(a)に示すように、垂直に刃を入れる方法、
図2(b)に示すように、斜めに刃を入れ樹脂部を横断
させる方法、図2(c)に示すように、銅箔のエッジを
取り除き樹脂部を露出させる方法等がある。これらの方
法により、図1(e)に示すように、蓋9を除去して収
納穴2を開口する。
【0022】図1(f)に示すように、積層体10の両
外面及び収納穴2の内部を必要に応じてソルダーレジス
ト17で覆った後、ニッケルメッキ(図示せず)及び金
メッキ18を施すことにより、配線パターンを形成す
る。
【0023】このように、プリント基板型PGAパッケ
ージ等の多層プリント配線板の製造方法では、積層体1
0の最上部絶縁基板1uの上に銅箔8を接着して前記収
納穴2の開口部6が銅箔8を含む蓋9で覆われた積層体
10とし、この積層体10にスルーホール3を形成し、
このスルーホール3にメッキを施した後、前記収納穴2
の開口部6に対応する部分の前記蓋9を機械的加工によ
り除去して前記収納穴2を開口するのでスルーホール3
にメッキを施す際に、収納穴2内の導体回路4にメッキ
が被着するのを防ぐことができる。
【0024】
【発明の効果】本発明の請求項1乃至請求項4に係る多
層プリント配線板の製造方法は、前記のように構成され
ているので、本発明の請求項1乃至請求項4に係るの多
層プリント配線板の製造方法によると、多層プリント配
線板のトータル厚みが薄くなり、さらに、収納穴2を開
口するための前記蓋9の除去がカッター等の機械加工に
より容易にできる。特に、本発明の請求項3に係る多層
プリント配線板の製造方法によると、さらに、厚みを薄
くすることができ、収納穴2を開口するための前記蓋9
の除去がカッター等の機械加工により容易にでき、か
つ、樹脂屑の発生がない。
【0025】本発明の請求項5及び請求項6に係る多層
プリント配線板の製造方法は、前記のように構成されて
いるので、本発明の請求項5及び請求項6に係る多層プ
リント配線板の製造方法によると、多層プリント配線板
のトータル厚みを薄くでき、さらに、蓋の強度が向上
し、メッキ工程及びエッチング工程で破損し難い。
【0026】本発明の請求項7に係る多層プリント配線
板の製造方法は、前記のように構成されているので、本
発明の請求項7に係る多層プリント配線板の製造方法に
よると、生産効率の向上が図れ、省工程になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に係る多層プリント配線板の製
造方法の断面図であり、(a)は被圧体の断面図、(b
−1)は蓋が銅箔のみから成る場合の断面図、(b−
2)は蓋が銅箔及びプリプレグから成る場合の断面図、
(c)はスルーホールを形成した積層体の断面図、
(d)は積層体の外層部の回路形成を行った断面図、
(e)は最外層の蓋を除去して収納穴を開口した状態の
断面図、(f)はニッケルメッキ及び金メッキを施すこ
とにより、配線パターンを形成した多層プリント配線板
の断面図である。
【図2】本発明の実施例に係る多層プリント配線板の製
造方法の最外層の蓋の除去方法を示す断面図であり、
(a)は垂直に刃を入れる方法の要部断面図、(b)は
斜めに刃を入れ、樹脂部を横断させる方法の要部断面
図、(c)は銅箔のエッジを取り除き、樹脂部を露出さ
せる方法の要部断面図である。
【符号の説明】
1 絶縁基板 1d 最下部絶縁基板 1n 内層回路基板 1u 最上部絶縁基板 2 収納穴 3 スルーホール 4 導体回路 5 電子部品搭載部 6 開口部 7 接着シート 8 銅箔 9 蓋 10 積層体 11 プリプレグ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成6年10月4日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0002
【補正方法】変更
【補正内容】
【0002】
【従来の技術】近年、半導体チップやチップ部品等の電
子部品は軽薄短小化が進み、それに伴い電子部品の搭載
基板も高密度化の要求が強くなってきている。また、半
導体パッケージは放熱性の良いものを使用する必要があ
るため、従来はセラミック素材のものが用いられていた
が、セラミック素材は高価なことから、高密度化が可能
で低価格化を実現できる多層プリント配線板が用いられ
るようになってきた。このような多層プリント配線板の
製造方法は、例えば、特公平−5014号公報や特開
平4−369252号公報等で開示されている。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0003
【補正方法】変更
【補正内容】
【0003】特公平−5014号公報では、積層され
た複数枚の板体に半導体素子収納穴、スルーホールなら
びに配線パターンが形成され、スルーホールにはメッキ
が施されているプリント基板型PGAパッケージの製造
方法において、前記積層された複数枚の板体は、両外側
の板体には半導体素子収納穴を形成するための開口が形
成されておらず、両外側の板体の外面を除く配線パター
ンは、両外側の板体によって密閉されるように積層され
ており、該積層された複数枚の板体にスルーホールを形
成するとともにスルーホールにメッキを施し、その後両
外側の板体の少なくとも一方に半導体素子収納穴を形成
するための開口を形成するようにしたことを特徴とする
プリント基板型PGAパッケージの製造方法が開示され
ている。以上が特公平−5014号公報に開示された
プリント基板型PGAパッケージの製造方法である。し
かしながら、この製造方法では以下に示すようないくつ
かの欠点を有してる。すなわち、開口部を覆う蓋が板体
であるため、蓋の厚みが厚くなってしまう。さらに、最
外層の開口部に前記板体の加工時の屑が回路パターンの
上やスルーホール内部に付着するという問題があった。
フロントページの続き (72)発明者 樋口 徹 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 積層された複数枚の絶縁基板(1)に電
    子部品搭載用の収納穴(2)、スルーホール(3)及び
    導体回路(4)が形成され、スルーホール(3)にはメ
    ッキが施されている多層プリント配線板の製造方法にお
    いて、電子部品搭載部(5)及び導体回路(4)を有す
    る最下部絶縁基板(1d)と、この最下部絶縁基板(1
    d)の上方に配置される前記収納穴(2)に対応する開
    口部(6)を備える最上部絶縁基板(1u)と、この最
    上部絶縁基板(1u)と前記最下部絶縁基板(1d)と
    の間に配置される、前記開口部(6)及び導体回路
    (4)を有する内層回路基板(1n)の所定枚数とを、
    それぞれ接着シート(7)を介して加圧接着し、さら
    に、最上部絶縁基板(1u)の上に銅箔(8)を前記加
    圧接着同時に又はその後に接着して前記収納穴(2)の
    開口部(6)が銅箔(8)を含む蓋(9)で覆われた積
    層体(10)とし、この積層体(10)にスルーホール
    (3)を形成し、このスルーホール(3)にメッキを施
    した後、前記収納穴(2)の開口部(6)に対応する部
    分の前記蓋(9)を機械的加工により除去して前記収納
    穴(2)を開口することを特徴とする多層プリント配線
    板の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記銅箔(8)がプリプレグ(11)を
    介して前記最上部絶縁基板(1u)の上に接着されてい
    ることを特徴とする請求項1記載の多層プリント配線板
    の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記収納穴(2)の開口部(6)に対応
    する部分の前記蓋(9)が前記銅箔(8)のみで構成さ
    れていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の
    多層プリント配線板の製造方法。
  4. 【請求項4】 前記銅箔(8)の厚みが9〜70μmで
    あることを特徴とする請求項1から請求項3までのいず
    れかに記載の多層プリント配線板の製造方法。
  5. 【請求項5】 前記収納穴(2)の開口部(6)を覆う
    蓋(9)が前記銅箔(8)及びプリプレグ(11)で構
    成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記
    載の多層プリント配線板の製造方法。
  6. 【請求項6】 前記プリプレグ(11)の厚みが0.0
    2〜0.2mmであることを特徴とする請求項1から請
    求項5までのいずれかに記載の多層プリント配線板の製
    造方法。
  7. 【請求項7】 前記収納穴(2)の開口部(6)に対応
    する部分の前記蓋(9)を除去する機械的加工が、刃物
    切断、圧切又は高圧水流切断であることを特徴とする請
    求項1から請求項6までのいずれかに記載の多層プリン
    ト配線板の製造方法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030010887A (ko) * 2001-07-27 2003-02-06 삼성전기주식회사 비지에이 기판의 제조방법
KR100385710B1 (ko) * 2001-07-12 2003-05-27 삼성전기주식회사 다층 인쇄회로기판의 제조방법
KR100430001B1 (ko) * 2001-12-18 2004-05-03 엘지전자 주식회사 다층기판의 제조방법, 그 다층기판의 패드 형성방법 및 그다층기판을 이용한 반도체 패키지의 제조방법
KR100438612B1 (ko) * 2001-12-07 2004-07-02 엘지전자 주식회사 유기물질 마스킹을 이용한 다층 인쇄회로기판의제조방법과 그 기판을 이용한 반도체 패키지의 제조방법
JPWO2020162473A1 (ja) * 2019-02-05 2021-12-02 株式会社村田製作所 樹脂多層基板および樹脂多層基板の製造方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100385710B1 (ko) * 2001-07-12 2003-05-27 삼성전기주식회사 다층 인쇄회로기판의 제조방법
KR20030010887A (ko) * 2001-07-27 2003-02-06 삼성전기주식회사 비지에이 기판의 제조방법
KR100438612B1 (ko) * 2001-12-07 2004-07-02 엘지전자 주식회사 유기물질 마스킹을 이용한 다층 인쇄회로기판의제조방법과 그 기판을 이용한 반도체 패키지의 제조방법
KR100430001B1 (ko) * 2001-12-18 2004-05-03 엘지전자 주식회사 다층기판의 제조방법, 그 다층기판의 패드 형성방법 및 그다층기판을 이용한 반도체 패키지의 제조방법
JPWO2020162473A1 (ja) * 2019-02-05 2021-12-02 株式会社村田製作所 樹脂多層基板および樹脂多層基板の製造方法

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