JPH08116176A - 電子部品搭載用装置の製造方法 - Google Patents

電子部品搭載用装置の製造方法

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JPH08116176A
JPH08116176A JP6251706A JP25170694A JPH08116176A JP H08116176 A JPH08116176 A JP H08116176A JP 6251706 A JP6251706 A JP 6251706A JP 25170694 A JP25170694 A JP 25170694A JP H08116176 A JPH08116176 A JP H08116176A
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copper foil
hole
lid
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insulating substrate
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JP6251706A
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English (en)
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Naohito Fukuya
直仁 福家
Masaharu Ishikawa
正治 石川
Junji Kaneko
醇治 兼子
Toru Higuchi
徹 樋口
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Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子部品搭載用装置のトータル厚みを薄く
し、開口部形成時の樹脂屑の発生を防止し、容易に加工
ができ、放熱板の取り付けが容易で、工程の簡略化がで
きる電子部品搭載用装置の製造方法を提供する。 【構成】 最上部絶縁基板1uと最下部絶縁基板1dと
内層回路基板1nの所定枚数とを、それぞれ接着シート
7を介して加圧接着し、さらに、最上部絶縁基板1uの
上及び最下部絶縁基板1dの下に銅箔8を前記加圧接着
と同時に又はその後に接着して収納穴2の開口部6が銅
箔8を含む蓋9で覆われた積層体10とし、この積層体
10にスルーホール3を形成し、このスルーホール3に
メッキを施した後、収納穴2の開口部6に対応する部分
の蓋9を機械的加工により除去して収納穴2を開口し、
最下部絶縁基板1dの下に電子部品搭載部5を有する放
熱板1hを下部開口部6dを塞ぐように取り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、電子機器、電
気機器、コンピュータ及び通信機器等に用いられるPG
A、BGA、チップキャリアのような、半導体チップや
チップ部品を搭載するために用いられる電子部品搭載用
装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体チップやチップ部品等の電
子部品は軽薄短小化が進み、それに伴い電子部品の搭載
基板も高密度化の要求が強くなってきている。また、半
導体パッケージは放熱性の良いものを使用する必要があ
るため、従来はセラミック素材のものが用いられていた
が、セラミック素材は高価なことから、高密度化が可能
で低価格化を実現できる多層プリント配線板型の電子部
品搭載用装置が用いられるようになってきた。このよう
な電子部品搭載用装置の製造方法は、例えば、特公平2
−5014号公報や特開平4−369252号公報等で
開示されている。
【0003】特公平2−5014号公報では、積層され
た複数枚の板体に半導体素子収納穴、スルーホールなら
びに配線パターンが形成され、スルーホールにはメッキ
が施されているプリント基板型PGAパッケージの製造
方法において、前記積層された複数枚の板体は、両外側
の板体には半導体素子収納穴を形成するための開口が形
成されておらず、両外側の板体の外面を除く配線パター
ンは、両外側の板体によって密閉されるように積層され
ており、該積層された複数枚の板体にスルーホールを形
成するとともにスルーホールにメッキを施し、その後両
外側の板体の少なくとも一方に半導体素子収納穴を形成
するための開口を形成するようにしたことを特徴とする
プリント基板型PGAパッケージの製造方法が開示され
ている。以上が特公平2−5014号公報に開示された
プリント基板型PGAパッケージの製造方法である。し
かしながら、この製造方法では以下に示すようないくつ
かの欠点を有してる。すなわち、開口部を覆う蓋が板体
であるため、蓋の厚みが厚くなってしまう。さらに、最
外層の開口部に前記板体の加工時の屑が回路パターンの
上やスルーホール内部に付着するという問題があった。
【0004】一方、特開平4−369252号公報で
は、配線を形成した複数枚の有機系基板を、中央部に底
面が平坦な凹部を形成しながら積層して段付部を有する
多層配線板を形成し、かつ、凹部以外の任意の個所にス
ルーホールを形成し、スルーホールにメッキを施して半
導体素子搭載用装置を製造する方法において、有機系基
板を積層後、最外側に銅箔を接着し、ついでスルーホー
ルを形成し、表面及びスルーホールにメッキ被膜を形成
した後、前記凹部に対応する部分のメッキ被膜及び銅箔
をエッチングにより取り除いて開口状態にすることを特
徴とする半導体素子搭載用装置の製造法が開示されてい
る。以上が特開平4−369252号公報に開示された
電子部品搭載用装置の製造方法である。しかしながら、
この製造方法でも以下に示すような欠点を有している。
すなわち、凹部の蓋となっている銅箔を除去し開口状態
とするエッチングの際に、開口部内部の回路まで侵され
る。これを防止するため、実施例に示されているよう
に、回路層各層にはんだメッキとオーバーコート樹脂の
印刷、硬化を行うプロセスが必要であり、非常に手間が
かかり、はんだメッキ部の除去工程も手間がかかるとい
う問題があった。
【0005】また、半導体チップ等の電子部品の発生す
る熱を放散させるために電子部品搭載部を有する放熱板
の上に電子部品を搭載するということが知られている。
ところが、電子部品搭載用装置に放熱板を取り付けるた
めには、最下部絶縁基板を加工して、最下部絶縁基板に
収納穴に対応する開口部を設けなければならず、非常に
手間が掛かっていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記の事情に
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、電子
部品搭載用装置のトータル厚みを薄くし、さらには、開
口部形成時の樹脂屑の発生を防止し、容易に加工がで
き、工程の簡略化ができる放熱板が取り付けられた電子
部品搭載用装置の製造方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
電子部品搭載用装置の製造方法は、積層された複数枚の
絶縁基板1に電子部品収納用の収納穴2、スルーホール
3及び導体回路4が形成され、スルーホール3にはメッ
キが施され、前記複数枚の絶縁基板1の中で最下部に位
置する最下部絶縁基板1dの前記収納穴2に対応する下
部開口部6dの下に、電子部品搭載部5を有する放熱板
1hが前記下部開口部6dを塞ぐように取り付けられて
いる電子部品搭載用装置の製造方法において、前記最下
部絶縁基板1dと、この最下部絶縁基板1dの上方に配
置される前記収納穴2に対応する上部開口部6uを備え
る最上部絶縁基板1uと、この最上部絶縁基板1uと前
記最下部絶縁基板1dとの間に配置される、前記収納穴
2に対応する中間開口部6n及び導体回路4を有する内
層回路基板1nの所定枚数とを、それぞれ接着シート7
を介して加圧接着し、さらに、最上部絶縁基板1uの上
に上部銅箔8uを、及び最下部絶縁基板1dの下に下部
銅箔8dを前記加圧接着と同時に又はその後に接着し
て、前記上部開口部6uが上部銅箔8uを含む上部蓋9
uで覆われ、前記下部開口部6dが下部銅箔8dを含む
下部蓋9dで覆われた積層体10とし、この積層体10
にスルーホール3を形成し、このスルーホール3にメッ
キを施した後、前記上部蓋9u及び下部蓋9dを機械的
加工により除去して前記収納穴2を開口することを特徴
とする。
【0008】本発明の請求項2に係る電子部品搭載用装
置の製造方法は、前記上部銅箔8uと下部銅箔8dと
が、プリプレグ11を介して、それぞれ、前記最上部絶
縁基板1uの上と最下部絶縁基板1dの下とに接着され
ていることを特徴とする。
【0009】本発明の請求項3に係る電子部品搭載用装
置の製造方法は、前記上部蓋9u及び/又は下部蓋9d
が銅箔8のみで構成されていることを特徴とする。
【0010】本発明の請求項4に係る電子部品搭載用装
置の製造方法は、前記銅箔8の厚みが9〜70μmであ
ることを特徴とする。
【0011】本発明の請求項5に係る電子部品搭載用装
置の製造方法は、前記上部蓋9u及び/又は下部蓋9d
が銅箔8及びプリプレグ11で構成されていることを特
徴とする。
【0012】本発明の請求項6に係る電子部品搭載用装
置の製造方法は、前記プリプレグ11の厚みが0.02
〜0.2mmであることを特徴とする。
【0013】本発明の請求項7に係る電子部品搭載用装
置の製造方法は、前記上部蓋9u及び下部蓋9dを除去
する機械的加工が、刃物切断、圧切又は高圧水流切断で
あることを特徴とする。
【0014】
【作用】本発明の請求項1乃至請求項4に係る電子部品
搭載用装置の製造方法では、最上部絶縁基板1uの上に
上部銅箔8uを、及び最下部絶縁基板1dの下に下部銅
箔8dを接着して、上部開口部6uが上部銅箔8uを含
む上部蓋9uで覆われ、下部開口部6dが下部銅箔8d
を含む下部蓋9dで覆われた積層体10とする。したが
って、蓋9すなわち、上部蓋9u及び下部蓋9dは、銅
箔8単独又は銅箔8と接着材料とから成り、基板を含ま
ないため、積層体10の厚みを薄くすることができ、さ
らに、収納穴2を開口するための前記蓋9の除去がカッ
ター等の機械加工により容易にできる。特に、本発明の
請求項3に係る電子部品搭載用装置の製造方法では、収
納穴2の開口部6に対応する部分の蓋9が銅箔8のみで
構成されているため、さらに、積層体10の厚みを薄く
することができ、収納穴2を開口するための前記蓋9の
除去がカッター等の機械加工により容易にでき、かつ、
樹脂屑の発生がない。
【0015】本発明の請求項5に係る電子部品搭載用装
置の製造方法では、蓋9が銅箔8及びプリプレグ11で
構成されているので、蓋9の強度が向上する。
【0016】本発明の請求項6に係る電子部品搭載用装
置の製造方法では、プリプレグ11の厚みが0.02〜
0.2mmであるので、厚みが薄いにもかかわらず、メ
ッキ工程及びエッチング工程で破損し難く、蓋9の除去
が容易にできる。
【0017】本発明の請求項7に係る電子部品搭載用装
置の製造方法では、収納穴2の開口部6に対応する部分
の前記蓋9を除去する機械的加工が、刃物切断、圧切又
は高圧水流切断であるので、銅箔8を化学的にエッチン
グして除去する場合と比べて、半田メッキ、半田エッチ
ング、オーバーコート樹脂の印刷、硬化等が不要となり
工程が簡略になる。
【0018】
【実施例】以下本発明を一実施例によって説明する。
【0019】図1(a)に示すように、複数枚の絶縁基
板1の中で最下部に位置する電子部品収納用の収納穴2
に対応する下部開口部6d及び導体回路4を有する最下
部絶縁基板1dの上に、電子部品収納用の収納穴2に対
応する中間開口部6n及び導体回路4を有する内層回路
基板1nの所定枚数、例えば、2枚をそれぞれ、プリプ
レグ等の接着シート7を介して載置する。この内層回路
基板1nの上に、上部開口部6uを備える最上部絶縁基
板1uをプリプレグ等の接着シート7を介して載置し、
被圧体14とする。この被圧体14を加圧接着した後、
図1(b−1)及び図1(b−2)に示すように、最上
部絶縁基板1uの上に上部銅箔8uを、及び最下部絶縁
基板1dの下に下部銅箔8dを前記加圧接着と同時に又
はその後に接着して、前記上部開口部6uが上部銅箔8
uを含む上部蓋9uで覆われ、前記下部開口部6dが下
部銅箔8dを含む下部蓋9dで覆われた積層体10とす
る。この積層体10にスルーホール3を形成し、このス
ルーホール3にメッキを施した後、前記上部蓋9u及び
下部蓋9dを機械的加工により除去して前記収納穴2を
開口し、前記最下部絶縁基板1dの下に電子部品搭載部
5を有する放熱板1hを例えば、エポキシ樹脂等の接着
剤を用いて接着し、次いで放熱板1hの端部をハンダ付
けして、前記下部開口部6dを塞ぐように取り付ける。
前記放熱板1hは、例えば、銅、鉄若しくはニッケル又
はこれらの合金等の金属等で構成されている。
【0020】ここで、絶縁基板1への銅箔8の接着につ
いては、最上部絶縁基板1uの上及び最下部絶縁基板1
dの下にプリプレグ11を介して銅箔8を接着するのが
好ましく、前記収納穴2の開口部6が蓋9で覆われた積
層体10を得る。前記開口部6は、上部開口部6uが最
も大きく、中間開口部6n、下部開口部6dの順に、上
から下に行くにしたがって小さくなる。前記蓋9が、図
1(b−1)に示すように、上部開口部6uに対応する
部分のプリプレグ11が削除されており、銅箔8のみか
ら成るものであってもよく、図1(b−2)に示すよう
に、銅箔8及びプリプレグ11から成るものであっても
よい。もちろん、一方の蓋9が銅箔8のみから成るもの
で、他方の蓋9が、銅箔8及びプリプレグ11から成る
ものであってもよい。ここで、最上部絶縁基板1uの上
及び最下部絶縁基板1dの下のプリプレグ11及び銅箔
8を含めて、被圧体14とし、一括成形を行い積層体1
0を得ることもできる。上記銅箔8の厚みは9〜70μ
mが好ましく、プリプレグ11の厚みは0.02〜0.
2mmが好ましい。すなわち、銅箔8の厚みが9μm未
満の場合には、スルーホールメッキ工程や外層回路形成
のエッチング工程中に破損し易く、収納穴2の内部の導
体回路4が侵される危険がある。プリプレグ11の厚み
が0.02mm未満の場合には、プリプレグ11の製造
が困難である。銅箔8の厚みが70μmを越える場合に
は、この銅箔8の回路形成が困難で、精度が悪くなる。
また、プリプレグ11の厚みが0.2mmを越える場合
には、電子部品搭載用装置自体の厚みが厚くなり、不都
合な上に、蓋9の除去が困難になる。
【0021】図1(c)に示すように、この積層体10
の上下に連通するスルーホール3を形成し、核付けを行
い、このスルーホール3の内面及び最外層に化学メッキ
及び電気メッキ等のメッキを施す。
【0022】図1(d)に示すように、前記スルーホー
ル3の上下面の孔と、前記収納穴2を覆う銅箔8の必要
部分とをエッチングレジストで覆い、露光、現像エッチ
ングを行うことにより最外層部の回路形成を行い、導体
回路4を得る。
【0023】次に、図1(e)に示すように、蓋9を除
去して収納穴2を開口する。最外層の銅箔8からなる蓋
9の除去方法としてはスリッティングカッター、ルータ
ーが好ましいが、その他の刃物切断、圧切、高圧水流切
断等の機械的加工により行う。この機械的加工では刃の
入れ方により、図2(a)に示すように、垂直に刃を入
れる方法、図2(b)に示すように、斜めに刃を入れ樹
脂部を横断させる方法、図2(c)に示すように、銅箔
のエッジを取り除き樹脂部を露出させる方法等がある。
【0024】図1(f)に示すように、前記最下部絶縁
基板1dの下に電子部品搭載部5を有する放熱板1hを
前記下部開口部6dを塞ぐように取り付け、積層体10
の両外面及び収納穴2の内部を必要に応じてソルダーレ
ジスト17で覆った後、ニッケルメッキ(図示せず)及
び金メッキ18を施すことにより、配線パターン上に金
層を形成する。
【0025】このように、プリント基板型PGAパッケ
ージ等の電子部品搭載用装置の製造方法では、積層体1
0の最上部絶縁基板1uの上及び最下部絶縁基板1dの
下に銅箔8を接着して前記収納穴2の開口部6が銅箔8
を含む蓋9で覆われた積層体10とし、この積層体10
にスルーホール3を形成し、このスルーホール3にメッ
キを施した後、前記収納穴2の開口部6に対応する部分
の前記蓋9を機械的加工により除去して前記収納穴2を
開口するのでスルーホール3にメッキを施す際に、収納
穴2内の導体回路4にメッキが被着するのを防ぐことが
できる。
【0026】
【発明の効果】本発明の請求項1乃至請求項4に係るの
電子部品搭載用装置の製造方法によると、電子部品搭載
用装置のトータル厚みが薄くなり、さらに、収納穴を開
口するための蓋の除去がカッター等の機械加工により容
易にできる。その上、放熱板を取り付ける最下部絶縁基
板の下部開口部の開口が容易にできるので、最下部絶縁
基板の下に電子部品搭載部を有する放熱板を下部開口部
を塞ぐように取り付けることができ、放熱性に優れた電
子部品搭載用装置が容易に得られる。特に、本発明の請
求項3に係る電子部品搭載用装置の製造方法によると、
さらに、電子部品搭載用装置の厚みを薄くすることがで
き、収納穴を開口するための蓋の除去がカッター等の機
械加工により容易にでき、かつ、樹脂屑の発生がない。
【0027】本発明の請求項5及び請求項6に係る電子
部品搭載用装置の製造方法によると、電子部品搭載用装
置のトータル厚みを薄くでき、さらに、蓋の強度が向上
し、メッキ工程及びエッチング工程で破損し難い。
【0028】本発明の請求項7に係る電子部品搭載用装
置の製造方法によると、生産効率の向上が図れ、省工程
になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に係る電子部品搭載用装置の製
造方法の断面図であり、(a)は被圧体の断面図、(b
−1)は蓋が銅箔のみから成る場合の断面図、(b−
2)は蓋が銅箔及びプリプレグから成る場合の断面図、
(c)はスルーホールを形成した積層体の断面図、
(d)は積層体の外層部の回路形成を行った断面図、
(e)は最外層の蓋を除去して収納穴を開口した状態の
断面図、(f)は最下部絶縁基板の開口部の下に放熱板
を取り付け、ニッケルメッキ及び金メッキを施すことに
より、配線パターン上に金層を形成した電子部品搭載用
装置の断面図である。
【図2】本発明の実施例に係る電子部品搭載用装置の製
造方法の最外層の蓋の除去方法を示す断面図であり、
(a)は垂直に刃を入れる方法の要部断面図、(b)は
斜めに刃を入れ、樹脂部を横断させる方法の要部断面
図、(c)は銅箔のエッジを取り除き、樹脂部を露出さ
せる方法の要部断面図である。
【符号の説明】
1 絶縁基板 1d 最下部絶縁基板 1h 放熱板 1n 内層回路基板 1u 最上部絶縁基板 2 収納穴 3 スルーホール 4 導体回路 5 電子部品搭載部 6d 下部開口部 6n 中間開口部 6u 上部開口部 7 接着シート 8 銅箔 8d 下部銅箔 8u 上部銅箔 9d 下部蓋 9u 上部蓋 10 積層体 11 プリプレグ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 樋口 徹 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 積層された複数枚の絶縁基板(1)に電
    子部品収納用の収納穴(2)、スルーホール(3)及び
    導体回路(4)が形成され、スルーホール(3)にはメ
    ッキが施され、前記複数枚の絶縁基板(1)の中で最下
    部に位置する最下部絶縁基板(1d)の前記収納穴
    (2)に対応する下部開口部(6d)の下に、電子部品
    搭載部(5)を有する放熱板(1h)が前記下部開口部
    (6d)を塞ぐように取り付けられている電子部品搭載
    用装置の製造方法において、前記最下部絶縁基板(1
    d)と、この最下部絶縁基板(1d)の上方に配置され
    る前記収納穴(2)に対応する上部開口部(6u)を備
    える最上部絶縁基板(1u)と、この最上部絶縁基板
    (1u)と前記最下部絶縁基板(1d)との間に配置さ
    れる、前記収納穴(2)に対応する中間開口部(6n)
    及び導体回路(4)を有する内層回路基板(1n)の所
    定枚数とを、それぞれ接着シート(7)を介して加圧接
    着し、さらに、最上部絶縁基板(1u)の上に上部銅箔
    (8u)を、及び最下部絶縁基板(1d)の下に下部銅
    箔(8d)を前記加圧接着と同時に又はその後に接着し
    て、前記上部開口部(6u)が上部銅箔(8u)を含む
    上部蓋(9u)で覆われ、前記下部開口部(6d)が下
    部銅箔(8d)を含む下部蓋(9d)で覆われた積層体
    (10)とし、この積層体(10)にスルーホール
    (3)を形成し、このスルーホール(3)にメッキを施
    した後、前記上部蓋(9u)及び下部蓋(9d)を機械
    的加工により除去して前記収納穴(2)を開口すること
    を特徴とする電子部品搭載用装置の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記上部銅箔(8u)と下部銅箔(8
    d)とが、プリプレグ(11)を介して、それぞれ、前
    記最上部絶縁基板(1u)の上と最下部絶縁基板(1
    d)の下とに接着されていることを特徴とする請求項1
    記載の電子部品搭載用装置の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記上部蓋(9u)及び/又は下部蓋
    (9d)が銅箔(8)のみで構成されていることを特徴
    とする請求項1又は請求項2記載の電子部品搭載用装置
    の製造方法。
  4. 【請求項4】 前記銅箔(8)の厚みが9〜70μmで
    あることを特徴とする請求項1から請求項3までのいず
    れかに記載の電子部品搭載用装置の製造方法。
  5. 【請求項5】 前記上部蓋(9u)及び/又は下部蓋
    (9d)が銅箔(8)及びプリプレグ(11)で構成さ
    れていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の
    電子部品搭載用装置の製造方法。
  6. 【請求項6】 前記プリプレグ(11)の厚みが0.0
    2〜0.2mmであることを特徴とする請求項1から請
    求項5までのいずれかに記載の電子部品搭載用装置の製
    造方法。
  7. 【請求項7】 前記上部蓋(9u)及び下部蓋(9d)
    を除去する機械的加工が、刃物切断、圧切又は高圧水流
    切断であることを特徴とする請求項1から請求項6まで
    のいずれかに記載の電子部品搭載用装置の製造方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8633393B2 (en) 2007-12-14 2014-01-21 Huawei Technologies Co., Ltd. Printed circuit board, manufacturing method thereof and radio-frequency device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US8633393B2 (en) 2007-12-14 2014-01-21 Huawei Technologies Co., Ltd. Printed circuit board, manufacturing method thereof and radio-frequency device

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