JPH085782Y2 - セラミックグリーンシート吸着固定板 - Google Patents
セラミックグリーンシート吸着固定板Info
- Publication number
- JPH085782Y2 JPH085782Y2 JP1990008394U JP839490U JPH085782Y2 JP H085782 Y2 JPH085782 Y2 JP H085782Y2 JP 1990008394 U JP1990008394 U JP 1990008394U JP 839490 U JP839490 U JP 839490U JP H085782 Y2 JPH085782 Y2 JP H085782Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- green sheet
- ceramic green
- fixing plate
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
- Hooks, Suction Cups, And Attachment By Adhesive Means (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、セラミックグリーンシートを吸着面に吸着
し、固定する吸着固定板の改良に関する。
し、固定する吸着固定板の改良に関する。
［従来の技術］ 積層セラミックコンデンサや多層配線基板の製造工程
では、表面に所定のパターンで電極や回路配線を印刷し
たセラミックグリーンシートを所定の形状に切断し、こ
れらを積層することが行われる。
では、表面に所定のパターンで電極や回路配線を印刷し
たセラミックグリーンシートを所定の形状に切断し、こ
れらを積層することが行われる。
このセラミックグリーンシートの従来の切断方法及び
その装置を、添付の第４図により説明する。セラミック
グリーンシート２は、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム等からなるキャリアフィルム１の上に形成されて供
給ロール３に巻かれている。このセラミックグリーンシ
ート２は、前記供給ロール３から前記キャリアフィルム
１と共に繰り出され、その後、テンションロール４及び
分離ロール５を経て前記キャリアフィルム１から剥離さ
れ、キャリアベルト６によって切断装置のセラミックグ
リーンシート吸着固定板上に運ばれてカッター８で切断
される。
その装置を、添付の第４図により説明する。セラミック
グリーンシート２は、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム等からなるキャリアフィルム１の上に形成されて供
給ロール３に巻かれている。このセラミックグリーンシ
ート２は、前記供給ロール３から前記キャリアフィルム
１と共に繰り出され、その後、テンションロール４及び
分離ロール５を経て前記キャリアフィルム１から剥離さ
れ、キャリアベルト６によって切断装置のセラミックグ
リーンシート吸着固定板上に運ばれてカッター８で切断
される。
第５図にセラミックグリーンシート吸着固定板の構造
が示されている。このセラミックグリーンシート吸着固
定板は、複数の吸着孔71、71…が開設された吸着板７を
有し、その上面が吸着面72となっている。そして、前記
セラミックグリーンシート２を切断する際は、前記セラ
ミックグリーンシート吸着固定板７の下側に取り付けた
吸入孔73から、コンプレッサー等により空気を引き抜
き、前記吸着孔71、71…から吸引される空気の背圧によ
り、セラミックグリーンシート２を前記吸着面72の上に
吸着、固定する。
が示されている。このセラミックグリーンシート吸着固
定板は、複数の吸着孔71、71…が開設された吸着板７を
有し、その上面が吸着面72となっている。そして、前記
セラミックグリーンシート２を切断する際は、前記セラ
ミックグリーンシート吸着固定板７の下側に取り付けた
吸入孔73から、コンプレッサー等により空気を引き抜
き、前記吸着孔71、71…から吸引される空気の背圧によ
り、セラミックグリーンシート２を前記吸着面72の上に
吸着、固定する。
［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、前記従来のセラミックグリーンシート
吸着固定板では、切断されるセラミックグリーンシート
２に小さな孔が明いたりその表面に凹凸部が形成されて
しまうという問題点を有していた。
吸着固定板では、切断されるセラミックグリーンシート
２に小さな孔が明いたりその表面に凹凸部が形成されて
しまうという問題点を有していた。
これは第３図に示すように、吸着板７の吸着面72に形
成された複数の吸着孔71に前記セラミックグリーンシー
ト２を吸着固定するための負圧によって、前記吸着孔71
の部分のセラミックグリーンシート２が同孔71の中に引
き込まれて破損したり変形するためである。特に、近年
においては、電子部品の小形軽量化に伴い、前記セラミ
ックグリーンシート２の厚みが極端に薄くなっており、
そのため、前記のようにして容易に破損し、変形し易い
状況となっているる。
成された複数の吸着孔71に前記セラミックグリーンシー
ト２を吸着固定するための負圧によって、前記吸着孔71
の部分のセラミックグリーンシート２が同孔71の中に引
き込まれて破損したり変形するためである。特に、近年
においては、電子部品の小形軽量化に伴い、前記セラミ
ックグリーンシート２の厚みが極端に薄くなっており、
そのため、前記のようにして容易に破損し、変形し易い
状況となっているる。
このようなセラミックグリーンシートの破損や変形
は、そのセラミックグリーンシートを用いて製造された
製品の特性に悪影響を及ぼす。この対策として、前記セ
ラミックグリーンシート２を吸着固定するための負圧を
低くすることも考えられる。しかし、そうすると、前記
セラミックグリーンシート２の保定力が弱くなり、正確
な寸法の切断が出来なくなってしまう。
は、そのセラミックグリーンシートを用いて製造された
製品の特性に悪影響を及ぼす。この対策として、前記セ
ラミックグリーンシート２を吸着固定するための負圧を
低くすることも考えられる。しかし、そうすると、前記
セラミックグリーンシート２の保定力が弱くなり、正確
な寸法の切断が出来なくなってしまう。
さらに、前記従来のセラミックグリーンシート吸着固
定板では、切断されるセラミックグリーンシート２の辺
部の固定が不安定で、切断時に辺部がめくれあがり、セ
ラミックグリーンシート２が吸着板７上でずれて、切断
位置の精度が悪くなるという課題もあった。
定板では、切断されるセラミックグリーンシート２の辺
部の固定が不安定で、切断時に辺部がめくれあがり、セ
ラミックグリーンシート２が吸着板７上でずれて、切断
位置の精度が悪くなるという課題もあった。
そこで、本考案では、前記の従来技術における問題点
に鑑み、薄いセラミックグリーンシートでも、これを破
損し変形することなく吸着面にその全体を確実に吸着固
定し、且つ正確に切断できるセラミックグリーンシート
吸着固定板を提供することを目的とする。
に鑑み、薄いセラミックグリーンシートでも、これを破
損し変形することなく吸着面にその全体を確実に吸着固
定し、且つ正確に切断できるセラミックグリーンシート
吸着固定板を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 前記目的を達成するため、本考案によるセラミックグ
リーンシート吸着固定板の構成を図に示した符号を引用
して説明する。すなわち、本考案によるセラミックグリ
ーンシート吸着固定板は、吸着面72の裏面が負圧にされ
る吸着板７と、この吸着固定板７を貫通するよう開設さ
れた複数の吸着孔71とを有する。そして、この吸着孔71
が吸着板７の吸着面72の端部にいくに従って密な間隔で
開設され、この吸着板７の吸着面72がメッシュ板20で覆
われたことを特徴とする。
リーンシート吸着固定板の構成を図に示した符号を引用
して説明する。すなわち、本考案によるセラミックグリ
ーンシート吸着固定板は、吸着面72の裏面が負圧にされ
る吸着板７と、この吸着固定板７を貫通するよう開設さ
れた複数の吸着孔71とを有する。そして、この吸着孔71
が吸着板７の吸着面72の端部にいくに従って密な間隔で
開設され、この吸着板７の吸着面72がメッシュ板20で覆
われたことを特徴とする。
［作用］ このような構成を有する本考案によるセラミックグリ
ーンシート吸着固定板では、前記吸着面72に開設された
複数の吸着孔71の開口部が負圧となっても、吸着板７の
吸着面71の表面全面にメッシュ板20を取り付けたことに
より、吸着孔71の開口部に生じた負圧による吸引力が前
記吸着孔71の開口部のみに集中することなく、前記メッ
シュ板20を介して吸着面71の全体に分散される。これに
より、吸着面72上に吸着され、保持されたセラミックグ
リーンシート２が破損したり変形しにくく、その全面を
概ね均等な吸着力で確実に吸着固定することができる。
ーンシート吸着固定板では、前記吸着面72に開設された
複数の吸着孔71の開口部が負圧となっても、吸着板７の
吸着面71の表面全面にメッシュ板20を取り付けたことに
より、吸着孔71の開口部に生じた負圧による吸引力が前
記吸着孔71の開口部のみに集中することなく、前記メッ
シュ板20を介して吸着面71の全体に分散される。これに
より、吸着面72上に吸着され、保持されたセラミックグ
リーンシート２が破損したり変形しにくく、その全面を
概ね均等な吸着力で確実に吸着固定することができる。
さらに、このセラミックグリーンシート吸着固定板で
は、吸着板７に開設された通孔72が、吸着面72の端部に
いくに従って密な間隔で開設されているので、特にセラ
ミックグリーンシート２の辺に近い部分が確実に吸着、
保持される。そのため、セラミックグリーンシート２の
辺部のめくれ上がり等が起らず、セラミックグリーンシ
ート２の全体を確実に保持することができる。
は、吸着板７に開設された通孔72が、吸着面72の端部に
いくに従って密な間隔で開設されているので、特にセラ
ミックグリーンシート２の辺に近い部分が確実に吸着、
保持される。そのため、セラミックグリーンシート２の
辺部のめくれ上がり等が起らず、セラミックグリーンシ
ート２の全体を確実に保持することができる。
［実施例］ 以下、本考案の実施例について、添付の図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
第１図に本考案によるセラミックグリーンシート吸着
固定板の詳細が示されている。このセラミックグリーン
シート吸着固定板は、複数の吸着孔71、71…が貫通して
開設された吸着板７を有し、その上面が吸着面72となっ
ている。これらの吸着孔71、71…は、前記吸着面72の端
部にいくに従って密な間隔で形成されている。また、前
記吸着板７の裏側には真空室74が形成されている。この
真空室11は、前記吸着板７の下面に取り付けた吸入孔73
がコンプレッサー等の減圧手段に接続されており、セラ
ミックグリーンシート２を吸着する際は、このコンプレ
ッサーを駆動して前記吸入孔73から内部の空気を排出
し、前記真空室11を負圧に保ち、前記セラミックグリー
ンシート２を前記吸着面72の上に吸着する。
固定板の詳細が示されている。このセラミックグリーン
シート吸着固定板は、複数の吸着孔71、71…が貫通して
開設された吸着板７を有し、その上面が吸着面72となっ
ている。これらの吸着孔71、71…は、前記吸着面72の端
部にいくに従って密な間隔で形成されている。また、前
記吸着板７の裏側には真空室74が形成されている。この
真空室11は、前記吸着板７の下面に取り付けた吸入孔73
がコンプレッサー等の減圧手段に接続されており、セラ
ミックグリーンシート２を吸着する際は、このコンプレ
ッサーを駆動して前記吸入孔73から内部の空気を排出
し、前記真空室11を負圧に保ち、前記セラミックグリー
ンシート２を前記吸着面72の上に吸着する。
前記吸着面72の表面にメッシュ板20が取り付けられて
いる。この実施例では前記吸着面72の表面全体に前記メ
ッシュ板20を敷いている。しかし、吸着するセラミック
グリーンシート２が前記吸着面72に対して小さい場合に
は、その表面全体に前記メッシュ板20を設ける必要はな
く、前記セラミックグリーンシート２が吸着される部分
にだけ設けても良い。このメッシュ板20は、例えばステ
ンレス製の、線径が0.023mm線を400本／インチで編んだ
金属メッシュ板が用いられる。
いる。この実施例では前記吸着面72の表面全体に前記メ
ッシュ板20を敷いている。しかし、吸着するセラミック
グリーンシート２が前記吸着面72に対して小さい場合に
は、その表面全体に前記メッシュ板20を設ける必要はな
く、前記セラミックグリーンシート２が吸着される部分
にだけ設けても良い。このメッシュ板20は、例えばステ
ンレス製の、線径が0.023mm線を400本／インチで編んだ
金属メッシュ板が用いられる。
第２図に前記セラミックグリーンシート吸着固定板の
表面にセラミックグリーンシート２を吸着固定した状態
が示されている。前記吸着面72の表面に形成された複数
の吸着孔71、71…に負圧が発生しても、この負圧がメッ
シュ板20を介して吸着面72の全体に均等に分散される。
そのため、前記セラミックグリーンシート２は、その底
面全体が負圧によって均一な力で吸引される。特に、吸
引孔71、71…が吸着面72の端部にいくに従って密になっ
ているため、セラミックグリーンシート２の辺に近い部
分にも負圧を確実にいきわたらせ、セラミックグリーン
シート２を隅から隅まで確実に吸着、保持することがで
きる。
表面にセラミックグリーンシート２を吸着固定した状態
が示されている。前記吸着面72の表面に形成された複数
の吸着孔71、71…に負圧が発生しても、この負圧がメッ
シュ板20を介して吸着面72の全体に均等に分散される。
そのため、前記セラミックグリーンシート２は、その底
面全体が負圧によって均一な力で吸引される。特に、吸
引孔71、71…が吸着面72の端部にいくに従って密になっ
ているため、セラミックグリーンシート２の辺に近い部
分にも負圧を確実にいきわたらせ、セラミックグリーン
シート２を隅から隅まで確実に吸着、保持することがで
きる。
［考案の効果］ 以上の説明からも明らかなように、本考案によるセラ
ミックグリーンシート吸着固定板によれば、薄いセラミ
ックグリーンシート２であっても、これが破損したり変
形することなく、その全体を吸着面72に確実に吸着固定
出来る。これにより、セラミックグリーンシートを確実
且つ正確に吸着、保持することができる。
ミックグリーンシート吸着固定板によれば、薄いセラミ
ックグリーンシート２であっても、これが破損したり変
形することなく、その全体を吸着面72に確実に吸着固定
出来る。これにより、セラミックグリーンシートを確実
且つ正確に吸着、保持することができる。
第１図は、本考案によるセラミックグリーンシート吸着
固定板の構造を示す一部断面を含む斜視図、第２図は前
記セラミックグリーンシート吸着固定板の吸着固定動作
を説明するための一部拡大断面図、第３図は従来のセラ
ミックグリーンシート吸着固定板の吸着固定動作を説明
するための一部拡大断面、第４図はセラミックグリーン
シート製造装置を示す概略斜視図、第４図は従来のセラ
ミックグリーンシート吸着固定板を示す斜視図である。 ２……セラミックグリーンシート、７……吸着板、71…
…吸着孔、72……吸着面、73……吸入孔、74……真空
室、20……メッシュ板
固定板の構造を示す一部断面を含む斜視図、第２図は前
記セラミックグリーンシート吸着固定板の吸着固定動作
を説明するための一部拡大断面図、第３図は従来のセラ
ミックグリーンシート吸着固定板の吸着固定動作を説明
するための一部拡大断面、第４図はセラミックグリーン
シート製造装置を示す概略斜視図、第４図は従来のセラ
ミックグリーンシート吸着固定板を示す斜視図である。 ２……セラミックグリーンシート、７……吸着板、71…
…吸着孔、72……吸着面、73……吸入孔、74……真空
室、20……メッシュ板
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｆ１６Ｂ 47/00 Ｚ Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｂ Ｐ
Claims (1)
- 【請求項１】吸着面（72）の裏面が負圧にされる吸着板
（７）と、この吸着固定板（７）を貫通するよう開設さ
れた複数の吸着孔（71）とを有するセラミックグリーン
シート吸着固定板において、前記吸着孔（71）が吸着板
（７）の吸着面（72）の端部にいくに従って密な間隔で
開設され、この吸着板（７）の吸着面（72）がメッシュ
板（20）で覆われたことを特徴とするセラミックグリー
ンシート吸着固定板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990008394U JPH085782Y2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | セラミックグリーンシート吸着固定板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990008394U JPH085782Y2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | セラミックグリーンシート吸着固定板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04507U JPH04507U (ja) | 1992-01-06 |
| JPH085782Y2 true JPH085782Y2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=31512025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990008394U Expired - Lifetime JPH085782Y2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | セラミックグリーンシート吸着固定板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085782Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10525664B2 (en) | 2014-08-07 | 2020-01-07 | Japan Vilene Company, Ltd. | Air-permeable sheet |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5882088B2 (ja) * | 2012-03-08 | 2016-03-09 | 共立エレックス株式会社 | セラミックグリーンシート製造システムおよびセラミックグリーンシート製造方法 |
| JP6689718B2 (ja) * | 2016-09-22 | 2020-04-28 | 日本バイリーン株式会社 | 電子デバイスの製造方法及びこれに用いる通気性シート |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0194614U (ja) * | 1987-12-15 | 1989-06-22 |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP1990008394U patent/JPH085782Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10525664B2 (en) | 2014-08-07 | 2020-01-07 | Japan Vilene Company, Ltd. | Air-permeable sheet |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04507U (ja) | 1992-01-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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