JP2626268B2 - セラミック積層電子部品の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、セラミック積層電子
部品の製造方法に関するもので、特に、セラミック積層
電子部品の製造において含まれるセラミックグリーンシ
ートの積重ね方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】セラミック多層基板や積層セラミックコ
ンデンサのようなセラミック積層電子部品を製造する場
合、複数枚のセラミックグリーンシートを積重ねること
が行なわれる。このとき、積重ねられるべきセラミック
グリーンシートは、少なくとも２種類あり、これらの種
類のセラミックグリーンシートを所定の順序に従って積
重ねなければならない。たとえば、セラミック多層基板
の場合には、積重ねられるべきセラミックグリーンシー
トとしては、バイアホールの存否および形成態様、電極
の存否および形成態様、等に応じて、複数種類のものが
ある。

【０００３】図５には、セラミックグリーンシートの積
重ね工程で用いられるトレー１が斜視図で示されてい
る。トレー１は、平板状をなしており、その上には、同
じ種類のセラミックグリーンシート２が、１枚ずつ平面
的に並べられている。上述のように、複数種類のセラミ
ックグリーンシートを積重ねる場合には、図６に示すよ
うに、所望のセラミックグリーンシート２Ａ，…，２Ｅ
がそれぞれ並べられたトレー１Ａ，…，１Ｅが用意され
る。これらトレー１Ａ，…，１Ｅは、それぞれの上に置
かれたセラミックグリーンシート２Ａ，…，２Ｅを取上
げやすいようにするため、平面的に置かれる。そして、
図６において矢印で示すように、積重ねステーション３
まで、作業者の手によって、あるいは、真空吸引を行な
う吸着ヘッドによって、セラミックグリーンシート２
Ａ，…，２Ｅの各々が、所定の順序に従って、１枚ずつ
運ばれ、積重ねステーション３上において、積重ねが行
なわれる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような従来のセラミック積層電子部品の製造方法によれ
ば、次のような問題に遭遇することがある。

【０００５】すなわち、セラミック多層基板のように、
積重ねられるべきセラミックグリーンシートの種類が、
たとえば１０〜２０種類というように多い場合、このよ
うな種類の数と同じ数だけトレーが必要となるので、ト
レーが占有する面積が広くなり、面積生産性が低下す
る。

【０００６】また、各々のトレー上において、複数のセ
ラミックグリーンシートが平面的に並べられているの
で、積重ね工程を進めるにあたっては、このようなトレ
ーの各々上の異なる場所から特定のセラミックグリーン
シートを取上げる必要がある。したがって、このような
取り上げに用いられるたとえば吸着ヘッドの動きが複雑
となり、それゆえに、積重ね工程を自動化することが困
難である。

【０００７】それゆえに、この発明の目的は、面積生産
性が高められ、かつ、自動化が容易なセラミック積層電
子部品の製造方法を提供しようとすることである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、所定の順序に従って複数の種類のセラミックグリー
ンシートから１つのセラミックグリーンシートを選択
し、セラミックグリーンシートを積み重ねて行くセラミ
ック積層電子部品の製造方法である。本セラミック積層
電子部品の製造方法は、選択されたセラミックグリーン
シートのうち、１枚のセラミックグリーンシートを吸着
ヘッドにより吸着する第１のステップと、セラミックグ
リーンシートを吸着した吸着ヘッドを積み重ねステーシ
ョンへ移動させる第２のステップと、セラミックグリー
ンシートを積み重ねステーション上に置く第３のステッ
プとを含んでおり、第１のステップから第３のステップ
までを繰り返すことにより、セラミックグリーンシート
を積み重ねる。さらに、本セラミック積層電子部品の製
造方法では、複数の種類のセラミックグリーンシートの
各々は、積層方向と交わる面内でセラミックグリーンシ
ートを移動させることを防止するトレー内に積み重ねら
れた状態で収容され、積み重ねられた状態のセラミック
グリーンシートの最上の１枚のセラミックグリーンシー
トが吸着ヘッドによって吸着される。

【０００９】

【発明の効果】この発明によれば、積重ね工程に供され
る複数枚のセラミックグリーンシートが積重ねられた状
態で各トレーに収容されるので、従来のトレーに平面的
に複数枚のセラミックグリーンシートを並べる場合に比
べて、複数個のトレーが占有する面積を低減することが
でき、したがって、面積生産性を向上させることができ
る。このことは、特にセラミック多層基板のように、多
種類のセラミックグリーンシートを積重ねる場合におい
て、より有利である。

【００１０】また、トレー内に収容された複数枚のセラ
ミックグリーンシートは、水平方向に関してトレーの側
面壁によって位置決めされるので、１つのトレー内に収
容されている複数枚のセラミックグリーンシートは、水
平方向に関しては、すべて同じ位置にある。それゆえ
に、吸着ヘッドは、同じ位置にて同じ種類のセラミック
グリーンシートを吸着することができるので、吸着ヘッ
ドの動きがそれほど複雑にならず、したがって、積重ね
工程の自動化を容易に行なうことができる。このこと
は、セラミック積層電子部品のコストダウンにもつなが
る。

【００１１】

【実施例】図１は、この発明の一実施例を実施している
状態を示す断面図である。図１には、トレー１１、吸着
ヘッド１２、および積重ねステーション１３が示されて
いる。

【００１２】トレー１１は、図２において斜視図で示さ
れている。図１および図２を参照して、トレー１１は、
矩形の底面壁１４およびこの底面壁１４の周縁部から立
上がる４つの側面壁１５を備える。トレー１１内には、
同じ種類の複数枚のセラミックグリーンシート１６が積
重ねられた状態で収容されている。これらのセラミック
グリーンシート１６は、得ようとするセラミック積層電
子部品の種類または設計に応じて、バイアホールが形成
されたものであったり、電極が印刷されたものであった
り、あるいは、外層シートであったりする。

【００１３】吸着ヘッド１２の底面図が、図３に示され
ている。図１および図３を参照して、吸着ヘッド１２
は、複数個の吸引穴１７を備え、これら吸引穴１７に
は、真空経路１８を介して、真空吸引が選択的に与えら
れる。吸引穴１７は、吸着ヘッド１２の周縁部のみに分
布される。

【００１４】好ましくは、吸着ヘッド１２の下面であっ
て、吸引穴１７によって取り囲まれた領域に、段差部１
９が設けられる。この段差部１９の作用については、以
下の説明によって明らかにする。

【００１５】吸着ヘッド１２は、矢印２０で示すよう
に、トレー１１と積重ねステーション１３との間で移動
される。すなわち、図１の左側に示すように、吸着ヘッ
ド１２は、トレー１１の上方に位置されたとき、トレー
１１内のセラミックグリーンシート１６の最も上のもの
に接触するまで、下方へ変位される。このとき、吸引穴
１７を介して真空吸引が与えられているので、セラミッ
クグリーンシート１６の最も上のものが真空吸引により
吸着ヘッド１２に吸着される。次いで、吸着ヘッド１２
は、矢印２０で示すように、積重ねステーション１３の
上方に位置され、さらに下方へ変位される。そして、吸
引穴１４を介して与えられていた真空吸引が解除され、
吸着ヘッド１２によって吸着されていたセラミックグリ
ーンシート１６が積重ねステーション１３上に置かれ
る。積重ねステーション１３上には、すでに積重ねられ
たセラミックグリーンシート１６ａ，１６ｂ，１６ｃが
示されている。

【００１６】図１の右側において、吸着ヘッド１２に吸
着されているセラミックグリーンシート１６が図示され
ている。このセラミックグリーンシート１６は、段差部
１９の存在のために、全体として下方へ湾曲した状態と
なっており、その周縁部のみにおいて吸引穴１７を介し
て真空吸引されている。このようなセラミックグリーン
シート１６の吸着形態は、セラミックグリーンシート１
６自身が有する粘着力によってその下にあるセラミック
グリーンシート１６に付着することを防止する。すなわ
ち、吸着ヘッド１２によって吸着されるセラミックグリ
ーンシート１６は、真空吸引の初期の段階において、そ
の周縁部のみがまず上方へ反らされるため、空気がその
下にあるセラミックグリーンシート１６との間に素早く
入り、それらの付着を防止する。したがって、吸着ヘッ
ド１２は、２枚以上のセラミックグリーンシート１６を
吸着することがなく、確実に１枚のセラミックグリーン
シート１６のみを吸着する。そのため、このような吸着
ヘッド１２を用いれば、セラミックグリーンシート１６
の積重ねの信頼性が高められる。また、このことは、積
重ね工程の自動化をもより容易にする。

【００１７】なお、段差部１９によってあたえられる段
差ｘは、吸着されるべきセラミックグリーンシート１６
の主として厚みに応じて最適値が存在する。段差ｘは、
セラミックグリーンシートの厚みが薄い場合には、セラ
ミックグリーンシートが反りやすく、２枚以上吸着する
可能性が高められるため、段差ｘは大きいほうが好まし
い。逆に、セラミックグリーンシートの厚みが厚い場合
には、セラミックグリーンシート自身の強度があり、反
りにくいため、段差ｘは小さいほうがよい。

【００１８】なお、段差ｘの最適値は、その他、セラミ
ックグリーンシートの材質、すなわち、バインダおよび
可塑剤の種類および量などによっても影響されることが
ある。

【００１９】図１に示した積重ね工程は、実際には、図
４に示すように実施される。図４に示すように、複数個
のトレー１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ，…，１１Ｅ
が配置され、トレー１１Ａ〜１１Ｅの各々には、それぞ
れ同じ種類のセラミックグリーンシート１６Ａ，１６
Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄ，…，１６Ｅが積重ねられた状態で
収容される。そして、図１に示した吸着ヘッド１２によ
って、図４において矢印で示すように、複数個のトレー
１１Ａ〜１１Ｅ内から、所定の順序に従って、セラミッ
クグリーンシート１６Ａ〜１６Ｅが吸着され、積重ねス
テーション１３にまで移動され、積重ねステーション上
においてセラミックグリーンシート１６の積重ねが行な
われる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を実施している状態を示す
断面図である。

【図２】図１に示した複数枚のセラミックグリーンシー
ト１６を収容しているトレー１１を示す斜視図である。

【図３】図１に示した吸着ヘッド１２の底面図である。

【図４】図１に示した工程に従って、複数個のトレー１
１Ａ〜１１Ｅの各々に収容されているセラミックグリー
ンシート１６Ａ〜１６Ｅに対して積重ねステーション１
３上において積重ねを行なっている状態を図解的に示す
斜視図である。

【図５】従来の方法において用いられていたトレー１お
よびその上に並べられたセラミックグリーンシート２を
示す斜視図である。

【図６】図５に示した複数個のトレー１Ａ〜１Ｅを用い
てセラミックグリーンシート２Ａ〜２Ｅの積重ねを実施
している状態を図解的に示す斜視図である。

【符号の説明】

１１，１１Ａ〜１１Ｅ トレー １２ 吸着ヘッド １３ 積重ねステーション １４ 底面壁 １５ 側面壁 １６，１６ａ〜１６ｃ，１６Ａ〜１６Ｅ セラミックグ
リーンシート １７ 吸引穴 １９ 段差部

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の順序に従って、複数の種類のセラ
   ミックグリーンシートから１つのセラミックグリーンシ
   ートを選択し、セラミックグリーンシートを積み重ねて
   行くセラミック積層電子部品の製造方法であって、 前記選択されたセラミックグリーンシートのうち、１枚
   のセラミックグリーンシートを、吸着ヘッドにより吸着
   する第１のステップと、 前記セラミックグリーンシートを吸着した前記吸着ヘッ
   ドを、積み重ねステーションへ移動させる第２のステッ
   プと、 前記セラミックグリーンシートを前記積み重ねステーシ
   ョン上に置く第３のステップとを含み、 前記第１のステップから第３のステップまでを繰り返す
   ことにより、セラミックグリーンシートを積み重ね、 前記複数の種類のセラミックグリーンシートの各々は、
   積層方向と交わる面内で前記セラミックグリーンシート
   を移動させることを防止するトレー内に積み重ねられた
   状態で収容され、積み重ねられた状態のセラミックグリ
   ーンシートの最上の１枚のセラミックグリーンシートが
   前記吸着ヘッドによって吸着される、セラミック積層電
   子部品の製造方法。