JPH0835080A - アルミニウム含有廃液の再生方法 - Google Patents
アルミニウム含有廃液の再生方法Info
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- JPH0835080A JPH0835080A JP6171148A JP17114894A JPH0835080A JP H0835080 A JPH0835080 A JP H0835080A JP 6171148 A JP6171148 A JP 6171148A JP 17114894 A JP17114894 A JP 17114894A JP H0835080 A JPH0835080 A JP H0835080A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 無機酸とアルミニウムを含有するアルミニウ
ムの処理廃液を効率よくかつ簡単に無機酸成分とアルミ
ニウム成分とに分離し、廃液を有効利用する方法を提供
する。 【構成】 無機酸とアルミニウムを含有する廃液を電気
透析法によって、選択的に脱酸して遊離酸濃度を１規定
以下とした脱酸液と濃縮液とに分離する工程と、得られ
た脱酸液から有機溶媒を用いてアルミニウムを抽出する
工程と、前記電気透析工程の濃縮液と、前記溶媒抽出工
程の残液を合体させて再生処理液を得る工程とを有する
処理法である。さらに前記溶媒抽出工程の抽出液に、塩
酸または硫酸を添加してアルミニウムを逆抽出し、この
逆抽出工程で得られた逆抽出液を、電気透析、蒸留等に
よって濃縮すれば、純度の高いアルミニウム塩として、
アルミニウムを回収でき、凝集剤などとして有効利用で
きる。
ムの処理廃液を効率よくかつ簡単に無機酸成分とアルミ
ニウム成分とに分離し、廃液を有効利用する方法を提供
する。 【構成】 無機酸とアルミニウムを含有する廃液を電気
透析法によって、選択的に脱酸して遊離酸濃度を１規定
以下とした脱酸液と濃縮液とに分離する工程と、得られ
た脱酸液から有機溶媒を用いてアルミニウムを抽出する
工程と、前記電気透析工程の濃縮液と、前記溶媒抽出工
程の残液を合体させて再生処理液を得る工程とを有する
処理法である。さらに前記溶媒抽出工程の抽出液に、塩
酸または硫酸を添加してアルミニウムを逆抽出し、この
逆抽出工程で得られた逆抽出液を、電気透析、蒸留等に
よって濃縮すれば、純度の高いアルミニウム塩として、
アルミニウムを回収でき、凝集剤などとして有効利用で
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アルミニウムを含有す
る廃液の再生方法に関するものである。詳しく述べると
本発明は、例えば電解コンデンサの電極形成や半導体デ
バイスの電極形成におけるアルミニウムのエッチング廃
液、さらに印刷版（ＰＳ版）、アルミニウムサッシ製造
などにおける電解粗面化処理廃液、陽極酸化処理廃液等
の無機酸とアルミニウムを含有する廃液の再生方法に関
するものである。
る廃液の再生方法に関するものである。詳しく述べると
本発明は、例えば電解コンデンサの電極形成や半導体デ
バイスの電極形成におけるアルミニウムのエッチング廃
液、さらに印刷版（ＰＳ版）、アルミニウムサッシ製造
などにおける電解粗面化処理廃液、陽極酸化処理廃液等
の無機酸とアルミニウムを含有する廃液の再生方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】アルミニウムは電解コンデンサ、半導体
デバイス等の電極材料として、また印刷版、アルミニウ
ムサッシ等各種の分野において多用されている。例え
ば、アルミニウム箔を用いる電解コンデンサーの製造に
おいてキャパシティー増大のために酸溶液中でアルミニ
ウムの表面を電気化学的にエッチングすることが広く行
なわれている。また半導体デバイスにおける電極形成
は、フォトリソグラフィー法を用いて行なわれており、
金属蒸着などにより基板表面に形成されたアルミニウム
層上に、フォトレジスト層を形成し、所定のパターンを
有するマスクを用いて、前記フォトレジスト層を露光
し、現像した後、基板をエッチング液中に浸漬して、前
記フォトレジスト層に覆われていない部位のアルミニウ
ムをエッチング除去するというものである。
デバイス等の電極材料として、また印刷版、アルミニウ
ムサッシ等各種の分野において多用されている。例え
ば、アルミニウム箔を用いる電解コンデンサーの製造に
おいてキャパシティー増大のために酸溶液中でアルミニ
ウムの表面を電気化学的にエッチングすることが広く行
なわれている。また半導体デバイスにおける電極形成
は、フォトリソグラフィー法を用いて行なわれており、
金属蒸着などにより基板表面に形成されたアルミニウム
層上に、フォトレジスト層を形成し、所定のパターンを
有するマスクを用いて、前記フォトレジスト層を露光
し、現像した後、基板をエッチング液中に浸漬して、前
記フォトレジスト層に覆われていない部位のアルミニウ
ムをエッチング除去するというものである。
【０００３】このようなアルミニウムのエッチング液と
しては、塩酸、リン酸、硫酸（および硝酸）を主要成分
として含有したものが使用されており、その廃液中には
アルミニウムが、これらの無機酸の塩という形で含まれ
ていることとなる。このような無機酸とアルミニウムを
含有する廃液は、資源の有効利用およびコスト削減、さ
らには環境保護の立場から、再生使用ないしは再資源化
することが望まれる。
しては、塩酸、リン酸、硫酸（および硝酸）を主要成分
として含有したものが使用されており、その廃液中には
アルミニウムが、これらの無機酸の塩という形で含まれ
ていることとなる。このような無機酸とアルミニウムを
含有する廃液は、資源の有効利用およびコスト削減、さ
らには環境保護の立場から、再生使用ないしは再資源化
することが望まれる。
【０００４】従来、このようなアルミニウム含有廃液の
再生方法としては、 アルミニウム表面技術便覧、第７
２７頁、昭和５５年、軽金属出版社発行などに記載され
るように、イオン交換膜による拡散透析によって、硫酸
のみを回収すること、 この廃液を蒸留することによっ
て、塩酸、硝酸などの揮発性酸のみを回収することは行
なわれていたものの、このような酸のみの分離回収は成
分回収としては十分なものではなかった。
再生方法としては、 アルミニウム表面技術便覧、第７
２７頁、昭和５５年、軽金属出版社発行などに記載され
るように、イオン交換膜による拡散透析によって、硫酸
のみを回収すること、 この廃液を蒸留することによっ
て、塩酸、硝酸などの揮発性酸のみを回収することは行
なわれていたものの、このような酸のみの分離回収は成
分回収としては十分なものではなかった。
【０００５】一方、酸性リン酸エステルによるアルミニ
ウムの抽出分離（例えば、特開昭６３−２５２１７号；
松井、恵羅、日本金属学会誌、１９８３，１９８５年；
N. T. Bailey, P. Mahai, ( ※Trans.Instu.Min.Metal
l.(Sec.C:Mineral Process.Extr.Metall.)C70〜C78
頁、１９８６）が報告されている。しかしながら、前記
と同様にアルミニウムの抽出分離のみでは成分回収とし
ては十分でない。
ウムの抽出分離（例えば、特開昭６３−２５２１７号；
松井、恵羅、日本金属学会誌、１９８３，１９８５年；
N. T. Bailey, P. Mahai, ( ※Trans.Instu.Min.Metal
l.(Sec.C:Mineral Process.Extr.Metall.)C70〜C78
頁、１９８６）が報告されている。しかしながら、前記
と同様にアルミニウムの抽出分離のみでは成分回収とし
ては十分でない。
【０００６】佐貫ら、日本金属学会誌、１０８０〜１０
８７頁、１９８８年，Versatic acid 10（脂肪族カルボ
ン酸）によるアルミニウムの抽出を報告している。しか
しながら、アルミニウムの分配係数を１以上とするため
には、アルカリを添加して、ｐＨを２．２〜２．５とす
ることが必要であり、またｐＨの上昇に伴ない相分離が
悪くなり、有機相が乳化状となるといった問題の残るも
のであった。
８７頁、１９８８年，Versatic acid 10（脂肪族カルボ
ン酸）によるアルミニウムの抽出を報告している。しか
しながら、アルミニウムの分配係数を１以上とするため
には、アルカリを添加して、ｐＨを２．２〜２．５とす
ることが必要であり、またｐＨの上昇に伴ない相分離が
悪くなり、有機相が乳化状となるといった問題の残るも
のであった。
【０００７】また、アルミニウムを難溶性塩として析出
させる方法として、 硫酸アルミニウム法（例えば、ア
ルミニウム表面技術便覧、第７２７頁、昭和５５年、軽
金属出版社発行、特開平１−１５３５１７号； アルミ
ニム明バン法（例えば、特開平２−８８４２１号）；
塩化アルミニウムの晶析法（D. Elsner et al., Light
Metal,411 〜429 頁、１９８４年）も知られている。
させる方法として、 硫酸アルミニウム法（例えば、ア
ルミニウム表面技術便覧、第７２７頁、昭和５５年、軽
金属出版社発行、特開平１−１５３５１７号； アルミ
ニム明バン法（例えば、特開平２−８８４２１号）；
塩化アルミニウムの晶析法（D. Elsner et al., Light
Metal,411 〜429 頁、１９８４年）も知られている。
【０００８】硫酸アルミニウム法は、Ａｌ−ＨＣｌ溶液
にＨ2 ＳＯ4 を加えてＳＯ4 ／Ａｌモル比を３／２〜９
／２とし、減圧濃縮、冷却を行ってＡｌ2 （ＳＯ4 ）3
・１６〜１８Ｈ2 Ｏを析出させるというものであり、操
作は単純であるが、晶析母液にＳＯ4 が残るため、その
循環使用に問題がある。アルミニウム明バン法は、エッ
チング廃液をアンモニアで中和したものにシュウ酸を加
えて溶解し、濃縮・冷却後、エタノールを添加してＡｌ
のシュウ酸錯体を析出させ、次いで晶析物をＨ 2 ＳＯ4
で分解してアルミニウム明バンを得ると共にシュウ酸を
回収するというものであるが、工程が複雑な上塩酸やリ
ン酸の回収・利用が困難であるという問題が残るもので
ある。さらに塩化アルミニウムの晶析法は、塩化アルミ
ニウムの溶解度が塩酸濃度の増大と温度の低下と共に著
しく減少することを利用して６水塩として析出させ、次
にこれをか焼して塩酸と酸化アルミニウムとし、ＨＣｌ
と母液をエッチング工程へ送るものであるが、廃液のア
ルミニウム濃度が低いと晶析率が悪く、また酸化アルミ
ニウムへのリン酸の混入といった問題も残るものであ
る。
にＨ2 ＳＯ4 を加えてＳＯ4 ／Ａｌモル比を３／２〜９
／２とし、減圧濃縮、冷却を行ってＡｌ2 （ＳＯ4 ）3
・１６〜１８Ｈ2 Ｏを析出させるというものであり、操
作は単純であるが、晶析母液にＳＯ4 が残るため、その
循環使用に問題がある。アルミニウム明バン法は、エッ
チング廃液をアンモニアで中和したものにシュウ酸を加
えて溶解し、濃縮・冷却後、エタノールを添加してＡｌ
のシュウ酸錯体を析出させ、次いで晶析物をＨ 2 ＳＯ4
で分解してアルミニウム明バンを得ると共にシュウ酸を
回収するというものであるが、工程が複雑な上塩酸やリ
ン酸の回収・利用が困難であるという問題が残るもので
ある。さらに塩化アルミニウムの晶析法は、塩化アルミ
ニウムの溶解度が塩酸濃度の増大と温度の低下と共に著
しく減少することを利用して６水塩として析出させ、次
にこれをか焼して塩酸と酸化アルミニウムとし、ＨＣｌ
と母液をエッチング工程へ送るものであるが、廃液のア
ルミニウム濃度が低いと晶析率が悪く、また酸化アルミ
ニウムへのリン酸の混入といった問題も残るものであ
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従って本発明は、アル
ミニウムのエッチング廃液等の無機酸とアルミニウムを
含有するアルミニウムの処理廃液を効率よくかつ簡単に
処理液（エッチング液）成分とアルミニウム成分とに分
離し、廃液を有効利用する方法を提供することを目的と
する。
ミニウムのエッチング廃液等の無機酸とアルミニウムを
含有するアルミニウムの処理廃液を効率よくかつ簡単に
処理液（エッチング液）成分とアルミニウム成分とに分
離し、廃液を有効利用する方法を提供することを目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明においては、無機酸とアルミニウムを含有す
る廃液を電気透析法によって、選択的に脱酸して遊離酸
濃度を１規定以下とした脱酸液と濃縮液とに分離する工
程と、得られた脱酸液から有機溶媒を用いてアルミニウ
ムを抽出する工程と、前記電気透析工程の濃縮液と、前
記溶媒抽出工程の残液を合体させて再生処理液を得る工
程とを有する。
め、本発明においては、無機酸とアルミニウムを含有す
る廃液を電気透析法によって、選択的に脱酸して遊離酸
濃度を１規定以下とした脱酸液と濃縮液とに分離する工
程と、得られた脱酸液から有機溶媒を用いてアルミニウ
ムを抽出する工程と、前記電気透析工程の濃縮液と、前
記溶媒抽出工程の残液を合体させて再生処理液を得る工
程とを有する。
【００１１】また本発明においては、溶媒抽出工程の残
液を前記電気透析工程の濃縮液と直接合体させることな
く、被透析液として前記電気透析工程にかけることも可
能である。本発明においては、さらに、前記溶媒抽出工
程の抽出液に、塩酸または硫酸を添加してアルミニウム
を逆抽出する工程と、この逆抽出工程で得られた逆抽出
液を電気透析法によって選択的に脱酸して脱酸液と濃縮
液とに分離する第二の電気透析工程とを有し、得られた
脱酸液を凝集剤製造工程における原料液として使用する
ことも可能である。この場合、前記逆抽出工程の残液を
前記溶媒抽出工程の有機溶媒として、また前記第二の電
気透析工程の濃縮液を前記逆抽出工程の逆抽出用酸液と
して循環使用することができる。
液を前記電気透析工程の濃縮液と直接合体させることな
く、被透析液として前記電気透析工程にかけることも可
能である。本発明においては、さらに、前記溶媒抽出工
程の抽出液に、塩酸または硫酸を添加してアルミニウム
を逆抽出する工程と、この逆抽出工程で得られた逆抽出
液を電気透析法によって選択的に脱酸して脱酸液と濃縮
液とに分離する第二の電気透析工程とを有し、得られた
脱酸液を凝集剤製造工程における原料液として使用する
ことも可能である。この場合、前記逆抽出工程の残液を
前記溶媒抽出工程の有機溶媒として、また前記第二の電
気透析工程の濃縮液を前記逆抽出工程の逆抽出用酸液と
して循環使用することができる。
【００１２】あるいは、前記溶媒抽出工程の抽出液に、
塩酸を添加してアルミニウム成分を逆抽出する工程と、
この逆抽出工程で得られた逆抽出液を蒸留によって蒸発
缶液と留出液とに分離する蒸留工程とをさらに有し、得
られた脱酸液を凝集剤製造工程における原料液として使
用することも可能である。この場合、前記逆抽出工程の
残液を前記溶媒抽出工程の有機溶媒として、また前記蒸
留工程の濃縮液を前記逆抽出工程の逆抽出用酸液として
循環使用することができる。
塩酸を添加してアルミニウム成分を逆抽出する工程と、
この逆抽出工程で得られた逆抽出液を蒸留によって蒸発
缶液と留出液とに分離する蒸留工程とをさらに有し、得
られた脱酸液を凝集剤製造工程における原料液として使
用することも可能である。この場合、前記逆抽出工程の
残液を前記溶媒抽出工程の有機溶媒として、また前記蒸
留工程の濃縮液を前記逆抽出工程の逆抽出用酸液として
循環使用することができる。
【００１３】
【作用】このように本発明においては、電気透析と溶媒
抽出とを組合せることにより、アルミニウム含有廃液か
ら、塩酸、硫酸成分のみならず、リン酸成分を実質的に
回収し、これらの酸成分をエッチング液等の処理液とし
て循環再生使用することができるものである。一方、こ
のようにして廃液中から酸成分を回収した後の脱酸液
は、その後、塩酸または硫酸を用いた逆抽出によりアル
ミニウム成分を有機溶媒と分離した後、さらに電気透析
あるいは蒸留によりアルミニウム塩を濃縮することで、
凝集剤原料等として有効利用することができるものであ
る。
抽出とを組合せることにより、アルミニウム含有廃液か
ら、塩酸、硫酸成分のみならず、リン酸成分を実質的に
回収し、これらの酸成分をエッチング液等の処理液とし
て循環再生使用することができるものである。一方、こ
のようにして廃液中から酸成分を回収した後の脱酸液
は、その後、塩酸または硫酸を用いた逆抽出によりアル
ミニウム成分を有機溶媒と分離した後、さらに電気透析
あるいは蒸留によりアルミニウム塩を濃縮することで、
凝集剤原料等として有効利用することができるものであ
る。
【００１４】
【実施例】以下、本発明を実施例によりさらに具体的に
説明する。図１は、本発明によるエッチング廃液の再生
方法の工程の一例を示すフロー図であり、図２はさらに
別の例のフロー図である。
説明する。図１は、本発明によるエッチング廃液の再生
方法の工程の一例を示すフロー図であり、図２はさらに
別の例のフロー図である。
【００１５】アルミニウムのエッチング液は、各種の組
成のものが知られているが、たとえば交流エッチングに
用いられる塩酸を主成分とするエッチング液は、全容量
当り、一般には、塩酸（ＨＣｌ）２〜１３容量％、硫酸
（Ｈ2 ＳＯ4 ）０〜０．５容量％、リン酸（Ｈ3 Ｐ
Ｏ4 ）０〜４容量％および硝酸（ＨＮＯ3 ）０〜３容量
％を含有するものである。
成のものが知られているが、たとえば交流エッチングに
用いられる塩酸を主成分とするエッチング液は、全容量
当り、一般には、塩酸（ＨＣｌ）２〜１３容量％、硫酸
（Ｈ2 ＳＯ4 ）０〜０．５容量％、リン酸（Ｈ3 Ｐ
Ｏ4 ）０〜４容量％および硝酸（ＨＮＯ3 ）０〜３容量
％を含有するものである。
【００１６】従って、エッチング廃液中には、塩化アル
ミニウム（ＡｌＣｌ3 ）およびリン酸アルミニウム（Ａ
ｌＰＯ4 ）といったアルミニウム塩の形態として、アル
ミニウムが含有されることとなる。アルミニウムの含有
量は、どのようなエッチング工程を行なうかによって左
右されるために、一概には規定できないが、金属重量と
して、エッチング廃液１リットル当り、例えば、２〜２
０ｇ程度のアルミニウムを含有している。
ミニウム（ＡｌＣｌ3 ）およびリン酸アルミニウム（Ａ
ｌＰＯ4 ）といったアルミニウム塩の形態として、アル
ミニウムが含有されることとなる。アルミニウムの含有
量は、どのようなエッチング工程を行なうかによって左
右されるために、一概には規定できないが、金属重量と
して、エッチング廃液１リットル当り、例えば、２〜２
０ｇ程度のアルミニウムを含有している。
【００１７】本発明においては、図１に示すように、ま
ずこのようなエッチング廃液１を電気透析にかけて選択
的に脱酸し、遊離酸濃度を１規定以下、より好ましくは
０．５規定以下とした脱酸液２と回収酸（濃縮液）３と
に分離する。この電気透析工程において用いられる電気
透析装置としては、陰、陽両極間に一価イオン選択透過
性の陽イオン交換膜と、通常の陰イオン交換膜、好まし
くは酸難透過性陰イオン交換膜を多数枚交互に配してな
るような構造のものを用いればよい。一価イオン選択透
過性の陽イオン交換膜として具体的には、例えば、ネオ
セプタＣＭＳ（（株）とくやま）などが、またＨ+ イオ
ンを透過し難しい陰イオン交換膜として具体的には、例
えば、ネオセプタＡＣＭ（（株）とくやま）、などが用
いられる。
ずこのようなエッチング廃液１を電気透析にかけて選択
的に脱酸し、遊離酸濃度を１規定以下、より好ましくは
０．５規定以下とした脱酸液２と回収酸（濃縮液）３と
に分離する。この電気透析工程において用いられる電気
透析装置としては、陰、陽両極間に一価イオン選択透過
性の陽イオン交換膜と、通常の陰イオン交換膜、好まし
くは酸難透過性陰イオン交換膜を多数枚交互に配してな
るような構造のものを用いればよい。一価イオン選択透
過性の陽イオン交換膜として具体的には、例えば、ネオ
セプタＣＭＳ（（株）とくやま）などが、またＨ+ イオ
ンを透過し難しい陰イオン交換膜として具体的には、例
えば、ネオセプタＡＣＭ（（株）とくやま）、などが用
いられる。
【００１８】次いで、脱酸液２から有機溶媒４を用いて
アルミニウムを抽出する。有機溶媒としては、酸性リン
酸エステル、特にノニルアルコールまたはデシルアルコ
ールの酸性リン酸エステルが望ましい。脱酸液２に対す
る有機溶媒の使用量は、脱酸液：有機溶媒が体積比で
０．５：１〜２：１程度である。有機溶媒４を脱酸液２
に添加し、１０〜６０分間程度かけて大部分のアルミニ
ウムを有機相へと移行させ、少量のアルミニウムとリン
酸成分を含む水相５と有機相６とに分離する。このよう
な操作は、連続プロセスとする場合、例えばミキサー・
セトラー，抽出塔などを用いて多段接触させることによ
り行なえばよい。このように、本発明においては、中和
剤の添加、水による希釈などを行うことなく、２以上の
分配係数をもって大部分のアルミニウムを除去すること
ができる。
アルミニウムを抽出する。有機溶媒としては、酸性リン
酸エステル、特にノニルアルコールまたはデシルアルコ
ールの酸性リン酸エステルが望ましい。脱酸液２に対す
る有機溶媒の使用量は、脱酸液：有機溶媒が体積比で
０．５：１〜２：１程度である。有機溶媒４を脱酸液２
に添加し、１０〜６０分間程度かけて大部分のアルミニ
ウムを有機相へと移行させ、少量のアルミニウムとリン
酸成分を含む水相５と有機相６とに分離する。このよう
な操作は、連続プロセスとする場合、例えばミキサー・
セトラー，抽出塔などを用いて多段接触させることによ
り行なえばよい。このように、本発明においては、中和
剤の添加、水による希釈などを行うことなく、２以上の
分配係数をもって大部分のアルミニウムを除去すること
ができる。
【００１９】次に、上記水相５を前記電気透析工程に濃
縮原液として循環使用する。この電気透析工程の濃縮液
３は、当初のエッチング液中の無機酸とほぼ同量の酸成
分と少量のアルミニウムを含む再生エッチング液として
再生される。なお、溶媒抽出工程の水相と前記電気透析
工程の濃縮液３を直接合体させて再生エッチング液とす
ることも可能である。
縮原液として循環使用する。この電気透析工程の濃縮液
３は、当初のエッチング液中の無機酸とほぼ同量の酸成
分と少量のアルミニウムを含む再生エッチング液として
再生される。なお、溶媒抽出工程の水相と前記電気透析
工程の濃縮液３を直接合体させて再生エッチング液とす
ることも可能である。
【００２０】一方、前記溶媒抽出工程において得られた
有機相６は、次いで、塩酸からなる抽出用酸液８で逆抽
出される。なお抽出用酸液としては硫酸を用いてもよ
い。アルミニウム成分を逆抽出する抽出用酸液の有機相
６に対する使用量は、有機相：抽出用酸液が体積比で
０．５：１〜２：１程度である。また、抽出用酸液とし
て使用する塩酸の濃度は７〜１５重量％、硫酸の濃度は
１０〜３０重量％程度が適当である。抽出用酸液を有機
相２に添加し、３０〜１２０分間程度かけて大部分のア
ルミニウムを水相へと移行させ、アルミニウム含む酸性
水相１０と有機相９とに分離する。連続プロセスとする
場合、上記抽出工程と同様に、多段接触させることによ
り行なえばよい。なお、この有機相９は前記抽出工程に
おける有機溶媒４として循環使用できる。
有機相６は、次いで、塩酸からなる抽出用酸液８で逆抽
出される。なお抽出用酸液としては硫酸を用いてもよ
い。アルミニウム成分を逆抽出する抽出用酸液の有機相
６に対する使用量は、有機相：抽出用酸液が体積比で
０．５：１〜２：１程度である。また、抽出用酸液とし
て使用する塩酸の濃度は７〜１５重量％、硫酸の濃度は
１０〜３０重量％程度が適当である。抽出用酸液を有機
相２に添加し、３０〜１２０分間程度かけて大部分のア
ルミニウムを水相へと移行させ、アルミニウム含む酸性
水相１０と有機相９とに分離する。連続プロセスとする
場合、上記抽出工程と同様に、多段接触させることによ
り行なえばよい。なお、この有機相９は前記抽出工程に
おける有機溶媒４として循環使用できる。
【００２１】この逆抽出工程において得られた水相１０
中には、アルミニウムと、逆抽出に使用された酸（アル
ミニウムとの結合酸および遊離酸）以外に、ほとんど不
純物（例えば、リン酸等）を含んでおらず、その後、該
水相に、濃縮、結晶化などの適当な操作を加えること
で、高純度のアルミニウムの塩類を得ることができる。
中には、アルミニウムと、逆抽出に使用された酸（アル
ミニウムとの結合酸および遊離酸）以外に、ほとんど不
純物（例えば、リン酸等）を含んでおらず、その後、該
水相に、濃縮、結晶化などの適当な操作を加えること
で、高純度のアルミニウムの塩類を得ることができる。
【００２２】この実施例においては、逆抽出工程で得ら
れた逆抽出液（水相１０）を蒸留によって蒸溜缶液（残
留液）１１と留出液１２とに分離する。この蒸留工程に
おいては、蒸留缶液の遊離酸濃度が１規定以下となるま
で、逆抽出液１０を加熱する。
れた逆抽出液（水相１０）を蒸留によって蒸溜缶液（残
留液）１１と留出液１２とに分離する。この蒸留工程に
おいては、蒸留缶液の遊離酸濃度が１規定以下となるま
で、逆抽出液１０を加熱する。
【００２３】そして、得られた蒸溜缶液１１を液状アル
ミニウム化合物系凝集剤（ＰＡＣ）製造工程における原
料液として使用する。製造するＰＡＣの性状としては、
その規格（外観：無色または淡黄褐色の透明な液体、Ｄ
4 20 ：１．９以上、ｐＨ：３．５〜５、化学的組成：一
般式｛Ａｌ2 （ＯＨ）n （Ｃｌ6 -n｝m （但し、１＜ｎ
＜％、ｍ＜１０）、Ａｌ2 Ｏ3 １０．０〜１１．０重量
％、ＳＯ4 2-＜３．５重量％）内ないしはこれにほぼ近
似するいずれのものとすることも可能であるが、例え
ば、Ａｌ2 Ｏ3 １０％、ＳＯ4 2- ３．４％、Ｃｌ／Ａ
ｌモル比２．４、比重１．２という組成を基準として、
水酸化アルミニウムおよび硫酸（ならびに水）を添加す
ることにより調製することができる。
ミニウム化合物系凝集剤（ＰＡＣ）製造工程における原
料液として使用する。製造するＰＡＣの性状としては、
その規格（外観：無色または淡黄褐色の透明な液体、Ｄ
4 20 ：１．９以上、ｐＨ：３．５〜５、化学的組成：一
般式｛Ａｌ2 （ＯＨ）n （Ｃｌ6 -n｝m （但し、１＜ｎ
＜％、ｍ＜１０）、Ａｌ2 Ｏ3 １０．０〜１１．０重量
％、ＳＯ4 2-＜３．５重量％）内ないしはこれにほぼ近
似するいずれのものとすることも可能であるが、例え
ば、Ａｌ2 Ｏ3 １０％、ＳＯ4 2- ３．４％、Ｃｌ／Ａ
ｌモル比２．４、比重１．２という組成を基準として、
水酸化アルミニウムおよび硫酸（ならびに水）を添加す
ることにより調製することができる。
【００２４】また留出液１２は、前記溶媒抽出工程に使
用される抽出用酸液８として循環使用される。この場
合、濃度低下を補うために必要に応じて補給酸液７を添
加する。 表１は、このような図１に示す実施例のエッ
チング廃液の再生プロセスにおけるアルミニウム含有廃
液１ｍ3 基準の物質収支の一例を示すものである。
用される抽出用酸液８として循環使用される。この場
合、濃度低下を補うために必要に応じて補給酸液７を添
加する。 表１は、このような図１に示す実施例のエッ
チング廃液の再生プロセスにおけるアルミニウム含有廃
液１ｍ3 基準の物質収支の一例を示すものである。
【００２５】
【表１】
【００２６】図２は、本発明の別の実施例のプロセスを
示すものである。この実施例においても、逆抽出工程ま
では図１に示す実施例と同様の処理操作を行なう。この
実施例においては、逆抽出工程で得られた逆抽出液（水
相１０）を再度電気透析にかけ、例えば、遊離酸濃度を
１．０規定以下、より好ましくは０．５規定以下とした
脱酸液１１と濃縮液１２とに分離する。この電気透析工
程において用いられる電気透析装置としては、前記第１
の電気透析におけるものと同様なものを用いることがで
きる。
示すものである。この実施例においても、逆抽出工程ま
では図１に示す実施例と同様の処理操作を行なう。この
実施例においては、逆抽出工程で得られた逆抽出液（水
相１０）を再度電気透析にかけ、例えば、遊離酸濃度を
１．０規定以下、より好ましくは０．５規定以下とした
脱酸液１１と濃縮液１２とに分離する。この電気透析工
程において用いられる電気透析装置としては、前記第１
の電気透析におけるものと同様なものを用いることがで
きる。
【００２７】そして、得られた脱酸液１１を前記と同様
に、液状アルミニウム化合物系凝集剤（ＰＡＣ）製造工
程における原料液として使用する。製造するＰＡＣの性
状としては、前記した規格内ないしはこれにほぼ近似す
るいずれのものとすることも可能であるが、例えば、Ａ
ｌ2 Ｏ3 １０％、ＳＯ4 2- ３．４％、Ｃｌ／Ａｌモル
比２．４、比重１．２という組成を基準として、水酸化
アルミニウムおよび硫酸を添加することにより調製する
ことができる。なおこの実施例の場合、脱酸液１１の水
含有量が多く、前記規格より外れる場合は、図示するよ
うに、蒸発濃縮を行ない、所望の組成とする。
に、液状アルミニウム化合物系凝集剤（ＰＡＣ）製造工
程における原料液として使用する。製造するＰＡＣの性
状としては、前記した規格内ないしはこれにほぼ近似す
るいずれのものとすることも可能であるが、例えば、Ａ
ｌ2 Ｏ3 １０％、ＳＯ4 2- ３．４％、Ｃｌ／Ａｌモル
比２．４、比重１．２という組成を基準として、水酸化
アルミニウムおよび硫酸を添加することにより調製する
ことができる。なおこの実施例の場合、脱酸液１１の水
含有量が多く、前記規格より外れる場合は、図示するよ
うに、蒸発濃縮を行ない、所望の組成とする。
【００２８】また留出液１２は、前記溶媒抽出工程に使
用される抽出用酸液８として循環使用される。この場
合、濃度低下を補うために必要により補給酸液７を添加
する。表２は、このような図１に示す実施例のエッチン
グ廃液の再生プロセスにおけるアルミニウム含有廃液１
ｍ3 基準の物質収支の一例示すものである。
用される抽出用酸液８として循環使用される。この場
合、濃度低下を補うために必要により補給酸液７を添加
する。表２は、このような図１に示す実施例のエッチン
グ廃液の再生プロセスにおけるアルミニウム含有廃液１
ｍ3 基準の物質収支の一例示すものである。
【００２９】
【表２】
【００３０】以上は、本発明を電解コンデンサ製造にお
けるエッチング廃液の処理を例として説明したが、本発
明は、無機酸およびアルミニウムを含有する各種廃液の
処理にも同様に適用できるものである。
けるエッチング廃液の処理を例として説明したが、本発
明は、無機酸およびアルミニウムを含有する各種廃液の
処理にも同様に適用できるものである。
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、比較
的簡単な操作により、アルミニウム含有廃液から、各種
無機酸成分を回収し、これらの酸成分をエッチング液等
の処理液として循環再生使用することができ、かつ、ア
ルミニウム成分も純度の高いアルミニウム塩として回収
できるために凝集剤原料等として有効利用することがで
きるものであり、資源の有効活用、環境保護といった面
から極めて有用な技術である。
的簡単な操作により、アルミニウム含有廃液から、各種
無機酸成分を回収し、これらの酸成分をエッチング液等
の処理液として循環再生使用することができ、かつ、ア
ルミニウム成分も純度の高いアルミニウム塩として回収
できるために凝集剤原料等として有効利用することがで
きるものであり、資源の有効活用、環境保護といった面
から極めて有用な技術である。
【図１】 本発明によるエッチング廃液の再生方法の工
程の一例を示すフロー図。
程の一例を示すフロー図。
【図２】 本発明によるエッチング廃液の再生方法の工
程の別の例を示すフロー図。
程の別の例を示すフロー図。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年１０月４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】あるいは、前記溶媒抽出工程の抽出液に、
塩酸を添加してアルミニウム成分を逆抽出する工程と、
この逆抽出工程で得られた逆抽出液を蒸留によって蒸発
缶液と留出液とに分離する蒸留工程とをさらに有し、得
られた脱酸液を凝集剤製造工程における原料液として使
用することも可能である。この場合、前記逆抽出工程の
残液を前記溶媒抽出工程の有機溶媒として、また前記蒸
留工程の留出液を前記逆抽出工程の逆抽出用酸液として
循環使用することができる。
塩酸を添加してアルミニウム成分を逆抽出する工程と、
この逆抽出工程で得られた逆抽出液を蒸留によって蒸発
缶液と留出液とに分離する蒸留工程とをさらに有し、得
られた脱酸液を凝集剤製造工程における原料液として使
用することも可能である。この場合、前記逆抽出工程の
残液を前記溶媒抽出工程の有機溶媒として、また前記蒸
留工程の留出液を前記逆抽出工程の逆抽出用酸液として
循環使用することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２２Ｂ 21/00 Ｃ２５Ｆ 7/02 (72)発明者 坂野 武 埼玉県大宮市北袋町１丁目297番地 三菱 マテリアル株式会社中央研究所内 (72)発明者 間瀬 徳美 茨城県高萩市大字安良川字下ノ内363番地 ケーデーケー株式会社内
Claims (8)
- 【請求項１】 無機酸とアルミニウムを含有する廃液を
電気透析法によって、選択的に脱酸して遊離酸濃度を１
規定以下とした脱酸液と濃縮液とに分離する工程と、 得られた脱酸液から有機溶媒を用いてアルミニウムを抽
出する工程と、 前記電気透析工程の濃縮液と、前記溶媒抽出工程の残液
を合体させて再生処理液を得る工程からなることを特徴
とするアルミニウム含有廃液の再生方法。 - 【請求項２】 有機溶媒として酸性リン酸エステルを用
いるものである請求項１に記載の方法。 - 【請求項３】 酸性リン酸エステルとしてノニルアルコ
ールまたはデシルアルコールの酸性リン酸エステルを用
いる請求項２に記載の方法。 - 【請求項４】 溶媒抽出工程の残液を前記電気透析工程
の濃縮液と直接合体させることなく、被透析液として前
記電気透析工程にかけるものである請求項１〜３のいず
れかに記載の方法。 - 【請求項５】 前記溶媒抽出工程の抽出液に、塩酸また
は硫酸を添加してアルミニウム成分を逆抽出する工程
と、この逆抽出工程で得られた逆抽出液を電気透析法に
よって選択的に脱酸して脱酸液と濃縮液とに分離する第
二の電気透析工程とをさらに有し、得られた脱酸液を凝
集剤製造工程における原料液として使用するものである
請求項１〜４のいずれかに記載の方法。 - 【請求項６】 前記逆抽出工程の残液を前記溶媒抽出工
程の有機溶媒として、また前記第二の電気透析工程の濃
縮液を前記逆抽出工程の逆抽出用酸液として循環使用す
るものである請求項５に記載の方法。 - 【請求項７】 前記溶媒抽出工程の抽出液に、塩酸を添
加してアルミニウム成分を逆抽出する工程と、この逆抽
出工程で得られた逆抽出液を蒸留によって蒸溜缶液と留
出液とに分離する蒸留工程とをさらに有し、得られた蒸
溜缶液を凝集剤製造工程における原料液として使用する
ものである請求項１〜４のいずれかに記載の方法。 - 【請求項８】 前記逆抽出工程の残液を前記溶媒抽出工
程の有機溶媒として、また前記蒸留工程の濃縮液を前記
逆抽出工程の逆抽出用酸液として循環使用するものであ
る請求項７に記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6171148A JPH0835080A (ja) | 1994-07-22 | 1994-07-22 | アルミニウム含有廃液の再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6171148A JPH0835080A (ja) | 1994-07-22 | 1994-07-22 | アルミニウム含有廃液の再生方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0835080A true JPH0835080A (ja) | 1996-02-06 |
Family
ID=15917885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6171148A Withdrawn JPH0835080A (ja) | 1994-07-22 | 1994-07-22 | アルミニウム含有廃液の再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0835080A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014508863A (ja) * | 2011-03-18 | 2014-04-10 | オーバイト アルミナ インコーポレイテッド | アルミニウム含有材料から希土類元素を回収する方法 |
| CN107022763A (zh) * | 2017-06-16 | 2017-08-08 | 深圳市新锐思环保科技有限公司 | 一种酸性蚀刻液资源回收利用方法及回收利用系统 |
| WO2021070235A1 (ja) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 | 日揮グローバル株式会社 | リチウム回収方法及びリチウム回収装置 |
-
1994
- 1994-07-22 JP JP6171148A patent/JPH0835080A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014508863A (ja) * | 2011-03-18 | 2014-04-10 | オーバイト アルミナ インコーポレイテッド | アルミニウム含有材料から希土類元素を回収する方法 |
| CN107022763A (zh) * | 2017-06-16 | 2017-08-08 | 深圳市新锐思环保科技有限公司 | 一种酸性蚀刻液资源回收利用方法及回收利用系统 |
| WO2021070235A1 (ja) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 | 日揮グローバル株式会社 | リチウム回収方法及びリチウム回収装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011002 |