CN107022763A - 一种酸性蚀刻液资源回收利用方法及回收利用系统 - Google Patents

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查长虹
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/46Regeneration of etching compositions

Abstract

本发明公开一种酸性蚀刻液资源回收利用方法及回收利用系统,酸性蚀刻液经收集后进入扩散渗析槽,于扩散渗析槽分离得盐酸和低酸含铜溶液,盐酸经收集后返回蚀刻产线利用;低酸含铜溶液进入萃取槽进行铜的分离,富铜萃取剂经水洗后进行反萃,反萃变为贫铜萃取剂和含铜溶液;贫铜萃取剂经水洗后返回萃取槽利用,含铜溶液进入电解槽电解产生金属铜板和反萃剂。系统不产生氯气,环保效果好,具有较好的环境效益;分离出的金属铜板品质高,比膜法铜板质量分数提高0.1%左右,具有更好经济效益;直接回收盐酸再利用,不引入其它物质,不影响盐酸再利用产生的品质问题。

Description

一种酸性蚀刻液资源回收利用方法及回收利用系统
技术领域
本发明涉及酸性蚀刻液资源再生利用领域,特别涉及一种酸性蚀刻液资源回收利用方法及回收利用系统。
背景技术
在电子工业中,印制电路板的制造不仅消耗大量的水和能量,而且产生对环境和人类健康有害的化学物质。线路板制造工序中,需利用氯化铜和盐酸混合溶液蚀刻铜板形成导电线路,随着蚀刻的进行,溶液中铜离子浓度不断升高,从而需进行排放形成酸性蚀刻废液。酸性蚀刻废液的主要成分为氯化铜、氯化氢、氯化钠等,严重污染环境,影响水中微生物的生存,破坏土壤团粒结构,影响农作物生存。科研人员一直在致力于经济、高效的酸性蚀刻废液回收利用技术的开发与推广。
现有酸性蚀刻液再生循环利用工艺主要为膜电解法,回收其中的金属铜并产生可替代氧化剂的氯气,但氯气的利用率较低,经济价值不明显。也有有机溶剂萃取法,但强酸性条件下的有机溶剂萃取效果差且使用寿命短,极大制约其工业应用。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种酸性蚀刻液资源回收利用方法及回收利用系统,实现污染物转化为资源回收,环保效果好,处理效率高,能耗低,产生的金属铜板品质高,具有良好的经济效益和环境效益。
本发明提出一种酸性蚀刻液资源回收利用方法,包括以下步骤:
1)将待处理的酸性蚀刻废液收集至蚀刻液收集槽中;
2)将蚀刻液收集槽中的酸性蚀刻液加入扩散渗析槽内,在扩散渗析槽内用扩散渗析法将酸性蚀刻液分离,得盐酸和低酸含铜溶液;
3)将盐酸收集并返回至蚀刻产线进行再利用,将低酸含铜溶液收集进入萃取槽,在萃取槽中加入萃取剂进行铜的分离,分离出富铜萃取剂;
4)将富铜萃取剂经水洗后加入反萃槽中,加入反萃剂进行反萃,分离出贫铜萃取剂和含铜溶液;
5)贫铜萃取剂经水洗后返回萃取槽再利用,含铜溶液进入电解槽电解产生金属铜板和反萃剂,将反萃剂返回反萃槽中再利用。
本发明又提出一种酸性蚀刻液资源回收利用系统,包括用于收集蚀刻生产线的酸性蚀刻废液的蚀刻液收集槽、用于对酸性蚀刻废液进行扩散渗析的扩散渗析槽、用于对含铜溶液进行铜萃取的萃取槽、反萃槽和电解装置;
所述蚀刻液收集槽的酸性蚀刻液输出端与所述扩散渗析槽的入口连通,所述蚀刻液收集槽中的酸性蚀刻液输入所述扩散渗析槽中,经扩散渗析法将所述酸性蚀刻液分离,得盐酸和低酸含铜溶液;
所述扩散渗析槽的第一输出端与盐酸收集槽连通,将分离出的所述盐酸输出至所述盐酸收集槽中,所述盐酸收集槽的输出端与蚀刻生产线连通;
所述扩散渗析槽的第二输出端与所述萃取槽连通,将分离出的所述低酸含铜溶液输入所述萃取槽中,进行铜的分离,萃取出富铜萃取剂;
所述萃取槽内萃取出的富铜萃取剂输入所述反萃槽中,进行反萃,分离出贫铜萃取剂和含铜溶液;
所述反萃槽的第一输出端与所述电解装置连通,所述反萃槽的第一输出端将所述含铜溶液输入至所述电解装置内,电解产生金属铜板和反萃剂;所述反萃槽的第二输出端将所述贫铜萃取剂输出。
优选地,还包括第一水洗槽,所述萃取槽的输出端与所述第一水洗槽连通,所述第一水洗槽的输出端与所述反萃槽连通,所述萃取槽内萃取出的富铜萃取剂输入所述第一水洗槽中进行水洗,水洗后输入所述反萃槽中。
优选地,还包括第二水洗槽,所述反萃槽的第二输出端与所述第二水洗槽连通,所述第二水洗槽的输出端与所述萃取槽连通,所述反萃槽的第二输出端将所述贫铜萃取剂输入至所述第二水洗槽中进行水洗,水洗后输入所述萃取槽的萃取剂存储室中。
优选地,所述电解装置的用于输出电解产生的反萃剂的反萃剂输出端与所述反萃槽连通,电解产生的反萃剂通过所述反萃剂输出端输入所述反萃槽的反萃剂存储室中。
本发明先对酸性蚀刻废液通过扩散渗析法进行处理,分离出盐酸和低酸含铜溶液,然后再对低酸含铜溶液萃取分离铜,具有如下有益效果:
1.处理效率高,能耗低;
2.操作方便,自动化程度高;
3.系统不产生氯气,环保效果好,具有较好的环境效益;
4.分离出的金属铜板品质高,比膜法铜板质量分数提高0.1%左右,具有更好经济效益;
5.直接回收盐酸再利用,不引入其它物质,不影响盐酸再利用产生的品质问题。
附图说明
图1为本发明的酸性蚀刻液资源回收利用系统的结构框图;
图2为本发明的酸性蚀刻液资源回收利用方法的工艺流程图。
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
参照图1,提出本发明的一种酸性蚀刻液资源回收利用系统的实施例:
一种酸性蚀刻液资源回收利用系统,包括用于收集蚀刻生产线的酸性蚀刻废液的蚀刻液收集槽、用于对酸性蚀刻废液进行扩散渗析的扩散渗析槽、用于对含铜溶液进行铜萃取的萃取槽、反萃槽和电解装置。
蚀刻液收集槽的酸性蚀刻液输出端与扩散渗析槽的入口之间通过输液管连通,并安装水泵将蚀刻液收集槽中的酸性蚀刻液输入扩散渗析槽中,经扩散渗析法将酸性蚀刻液分离,得盐酸和低酸含铜溶液。
扩散渗析槽的第一输出端与盐酸收集槽连通,将分离出的盐酸输出至盐酸收集槽中,盐酸收集槽的输出端通过输液管与蚀刻生产线连通,并通过水泵将盐酸收集槽中的盐酸输入蚀刻生产线,进行再利用,处理过程中不引入其它物质,不影响盐酸再利用产生的品质问题。
扩散渗析槽的第二输出端与萃取槽通过输液管连通,并安装水泵将分离出的低酸含铜溶液输入萃取槽中,加入铜萃取剂,进行铜的分离,萃取出富铜萃取剂。
萃取槽的输出端与第一水洗槽连通,第一水洗槽的输出端与反萃槽连通,萃取槽内萃取出的富铜萃取剂输入第一水洗槽中进行水洗,水洗后输入反萃槽中,进行反萃,分离出贫铜萃取剂和含铜溶液。
反萃槽的第二输出端将贫铜萃取剂输出。反萃槽的第二输出端与第二水洗槽连通,第二水洗槽的输出端与萃取槽连通,反萃槽的第二输出端将贫铜萃取剂输入至第二水洗槽中进行水洗,水洗后输入萃取槽的萃取剂存储室中,进行循环利用。
反萃槽的第一输出端与电解装置连通,并通过水泵将含铜溶液输入至电解装置内,电解产生金属铜板和反萃剂。电解装置的用于输出电解产生的反萃剂的反萃剂输出端与反萃槽连通,电解产生的反萃剂通过反萃剂输出端输入反萃槽的反萃剂存储室中,循环利用。分离出的金属铜板品质高,比膜法铜板质量分数提高0.1%左右,具有更好经济效益。
本发明先对酸性蚀刻废液通过扩散渗析法进行处理,分离出盐酸和低酸含铜溶液,然后再对低酸含铜溶液萃取分离铜,处理效率高,能耗低;操作方便,自动化程度高;系统不产生氯气,环保效果好,具有较好的环境效益。
图2为本发明的酸性蚀刻液资源回收利用方法的工艺流程图,酸性蚀刻液资源回收利用方法包括以下步骤:
1)将待处理的酸性蚀刻废液收集至蚀刻液收集槽中;
2)将蚀刻液收集槽中的酸性蚀刻液加入扩散渗析槽内,在扩散渗析槽内用扩散渗析法将酸性蚀刻液分离,得盐酸和低酸含铜溶液;
3)将盐酸收集并返回至蚀刻产线进行再利用,将低酸含铜溶液收集进入萃取槽,在萃取槽中加入萃取剂进行铜的分离,分离出富铜萃取剂;
4)将富铜萃取剂经水洗后加入反萃槽中,加入反萃剂进行反萃,分离出贫铜萃取剂和含铜溶液;
5)贫铜萃取剂经水洗后返回萃取槽再利用,含铜溶液进入电解槽电解产生金属铜板和反萃剂,将反萃剂返回反萃槽中再利用。
酸性蚀刻液经收集后进入扩散渗析槽,于扩散渗析槽分离得盐酸和低酸含铜溶液,盐酸经收集后返回蚀刻产线利用;低酸含铜溶液进入萃取槽进行铜的分离,富铜萃取剂经水洗后进行反萃,反萃变为贫铜萃取剂和含铜溶液;贫铜萃取剂经水洗后返回萃取槽利用,含铜溶液进入电解槽电解产生金属铜板和反萃剂。
以上仅为本发明的优选实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (5)

1.一种酸性蚀刻液资源回收利用方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)将待处理的酸性蚀刻废液收集至蚀刻液收集槽中;
2)将蚀刻液收集槽中的酸性蚀刻液加入扩散渗析槽内,在扩散渗析槽内用扩散渗析法将酸性蚀刻液分离,得盐酸和低酸含铜溶液;
3)将盐酸收集并返回至蚀刻产线进行再利用,将低酸含铜溶液收集进入萃取槽,在萃取槽中加入萃取剂进行铜的分离,分离出富铜萃取剂;
4)将富铜萃取剂经水洗后加入反萃槽中,加入反萃剂进行反萃,分离出贫铜萃取剂和含铜溶液;
5)贫铜萃取剂经水洗后返回萃取槽再利用,含铜溶液进入电解槽电解产生金属铜板和反萃剂,将反萃剂返回反萃槽中再利用。
2.一种酸性蚀刻液资源回收利用系统,其特征在于,包括用于收集蚀刻生产线的酸性蚀刻废液的蚀刻液收集槽、用于对酸性蚀刻废液进行扩散渗析的扩散渗析槽、用于对含铜溶液进行铜萃取的萃取槽、反萃槽和电解装置;
所述蚀刻液收集槽的酸性蚀刻液输出端与所述扩散渗析槽的入口连通,所述蚀刻液收集槽中的酸性蚀刻液输入所述扩散渗析槽中,经扩散渗析法将所述酸性蚀刻液分离,得盐酸和低酸含铜溶液;
所述扩散渗析槽的第一输出端与盐酸收集槽连通,将分离出的所述盐酸输出至所述盐酸收集槽中,所述盐酸收集槽的输出端与蚀刻生产线连通;
所述扩散渗析槽的第二输出端与所述萃取槽连通,将分离出的所述低酸含铜溶液输入所述萃取槽中,进行铜的分离,萃取出富铜萃取剂;
所述萃取槽内萃取出的富铜萃取剂输入所述反萃槽中,进行反萃,分离出贫铜萃取剂和含铜溶液;
所述反萃槽的第一输出端与所述电解装置连通,所述反萃槽的第一输出端将所述含铜溶液输入至所述电解装置内,电解产生金属铜板和反萃剂;所述反萃槽的第二输出端将所述贫铜萃取剂输出。
3.根据权利要求2所述的酸性蚀刻液资源回收利用系统,其特征在于,还包括第一水洗槽,所述萃取槽的输出端与所述第一水洗槽连通,所述第一水洗槽的输出端与所述反萃槽连通,所述萃取槽内萃取出的富铜萃取剂输入所述第一水洗槽中进行水洗,水洗后输入所述反萃槽中。
4.根据权利要求2所述的酸性蚀刻液资源回收利用系统,其特征在于,还包括第二水洗槽,所述反萃槽的第二输出端与所述第二水洗槽连通,所述第二水洗槽的输出端与所述萃取槽连通,所述反萃槽的第二输出端将所述贫铜萃取剂输入至所述第二水洗槽中进行水洗,水洗后输入所述萃取槽的萃取剂存储室中。
5.根据权利要求2所述的酸性蚀刻液资源回收利用系统,其特征在于,所述电解装置的用于输出电解产生的反萃剂的反萃剂输出端与所述反萃槽连通,电解产生的反萃剂通过所述反萃剂输出端输入所述反萃槽的反萃剂存储室中。
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