JPH0834869A

JPH0834869A - ポリイミドフィルムの接着性改善方法及び接着性を改善したポリイミドフィルム

Info

Publication number: JPH0834869A
Application number: JP19201994A
Authority: JP
Inventors: Masao Nakada; 雅郎中田; Kosuke Kataoka; 孝介片岡; Yoshihide Onari; 義秀大成; Kosaku Nagano; 広作永野
Original assignee: Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Current assignee: Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Priority date: 1994-07-23
Filing date: 1994-07-23
Publication date: 1996-02-06
Anticipated expiration: 2017-10-15
Also published as: JP3333640B2

Abstract

(57)【要約】【目的】フィルム表面を安定的に親水化し、優れた接
着性改善効果を得ることのできるポリイミドフィルムの
接着性改善方法及び接着性を改善したポリイミドフィル
ムを提供することを目的とする。【構成】表面処理装置１０においてポリイミドフィル
ム２０を一定のラインスピードで走行させ、カップリン
グ剤槽２６にその一部を浸漬させたバーコーター２４に
よりカップリング剤溶液を塗布した後、フィルム表面に
付着した溶液を乾燥炉１４において乾燥させ、その後、
プラズマ処理装置１６に導入してプラズマ処理を施すこ
とにより、安定的に優れたポリイミドフィルムの接着性
改善効果が得られた。かかる方法により表面処理された
ポリイミドフィルムは、フィルム表面にカップリング剤
の皮膜が形成されて表面性状が均一化され、該表面にプ
ラズマ処理が施されているため、フィルム表面に接着剤
と親和性を示す親和性基と共に親水基を有し、優れた接
着性を示すものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ポリイミドフィルムの
接着性改善方法及び接着性を改善したポリイミドフィル
ムに関し、更に詳しくは接着剤に影響を与えず、安定的
に優れた接着性改善効果が得られるポリイミドフィルム
の接着性改善方法及びかかる接着性改善方法により接着
性を改善したポリイミドフィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】通常、ポリイミドフィルムは、接着剤を
用いて金属箔（主に銅箔）と張り合わせたり、蒸着法、
メッキ法、又はスパッタ法によりフィルム層と金属層か
らなる積層板に加工したりして、ＦＰＣ（フレキシブル
プリント配線板）のベースフィルムとして使用される。
ところが、従来のポリイミドフィルムは表面の接着性に
乏しいことが問題になっており、そのままでは製品の不
良を生じる原因となる。このため、ポリイミドフィルム
の表面の接着性を改善することを目的に、プラズマ処理
を施して使用することが一般的になっている。

【０００３】すなわち、ポリイミドフィルムの表面の接
着性が乏しいのは、フィルム表面の溌水性が高いためで
あると考えられることから、フィルム表面にプラズマ処
理を施すことにより、表面に親水性を付与し接着性を改
善するのである。プラズマ処理によって表面の親水性が
上がる理由は、フィルム表面に水酸基、カルボン酸基、
カルボニル基等の親水性を示す官能基が新たに生じるた
めとされている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ポリイミド
フィルムは溶液キャスト法で縮合重合により得られる
が、その表面は安定剤、添加剤等を混入した場合には、
これらが優先的にブリードし、表面脆弱層（ＷＢＬ；We
ak Boundary Layer ）を形成することや、この他にもＷ
ＢＬ形成物としてオリゴマー等の低分子重合体の表面へ
の移行が加速される場合があることが学術的に知られて
いる。また、製膜工程中の設備から発生したり、大気中
に存在する油分等の汚染物質がフィルムに付着し、汚染
層を形成する場合も考えられる。

【０００５】これらの層の形成がポリイミドフィルムの
表面特性を決定し、その接着性を阻害する要因となるケ
ースが考えられる。また、このようにポリイミドフィル
ムの表面にＷＢＬや汚染層が形成されていると、かかる
層の上からプラズマ処理を施したところで、プラズマ処
理により親水性の付与された表面は脆く剥離しやすいた
め、本質的に接着力を向上させることはできない。

【０００６】特に、ポリイミドフィルムの表面は製膜時
の条件によって表面特性が著しく変化するものであり、
例えば、同時に製造した同じ特性のフィルムであって
も、製膜時の条件によってＷＢＬや汚染層の形成が著し
くなる場合とそうでない場合がある。すなわち、ポリイ
ミドフィルムの表面性状は不均一となり、ポリイミドフ
ィルムの表面にプラズマ処理を施しても、充分な処理効
果が得られない場合があり、安定した表面改質を達成す
ることは難しいという問題がある。

【０００７】そこで、本発明者らは、上記問題点を解決
し、安定して優れた接着性改善効果を得ることのできる
ポリイミドフィルムの接着性改善方法及び接着性を改善
したポリイミドフィルムを提供することを目的に鋭意研
究を重ねた結果、本発明に至ったのである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明に係るポリイミド
フィルムの接着性改善方法の要旨とするところは、ポリ
イミドフィルムの表面にカップリング剤溶液を付着させ
た後、該溶液を乾燥させ、該乾燥させられたフィルムに
プラズマ処理を行うことにある。

【０００９】また、かかるポリイミドフィルムの接着性
改善方法において、前記カップリング剤溶液の濃度が、
０．００５〜３０wt％、更に好ましくは０．０１〜５wt
％であることにある。

【００１０】次に、本発明に係る接着性を改善したポリ
イミドフィルムの要旨とするところは、上記のいずれか
に記載するポリイミドフィルムの接着性改善方法により
表面処理して得られることにある。

【００１１】

【作用】本発明に係るポリイミドフィルムの接着性改善
方法は、ポリイミドフィルムの表面にカップリング剤溶
液を付着させた後、該溶液を乾燥させてからプラズマ処
理を行うことを特徴とし、この方法による接着強度向上
の機構は明らかではないが、カップリング剤を付着させ
ることにより表面性状が均一化され、該均一化されたフ
ィルム表面にプラズマ処理を行うことにより親水基の導
入が安定し、接着強度が向上するものと考えられる。

【００１２】詳しくは、カップリング剤溶液を付着させ
る方法として、例えばフィルム表面にカップリング剤溶
液を塗布する、フィルム表面をカップリング剤溶液でラ
ビングする、フィルム表面にカップリング剤溶液を吹き
付ける、フィルムをカップリング剤溶液に浸漬させるな
どの方法を挙げることができる。また、本発明でいうカ
ップリング剤としては、例えば、シラン系、チタネート
系、アルミニウム系、又はジルコアルミニウム系のカッ
プリング剤が挙げられる。これらカップリング剤は、分
子中にフィルムと反応性を持つ官能基と接着剤と反応性
を持つ官能基を合わせ持っており、フィルムと接着剤と
の親和性を高めるための仲介を努めるものである。従っ
て、フィルム表面にカップリング剤溶液を付着させるこ
とによりカップリング剤はフィルムの表面成分と反応
し、接着剤と反応性を持つ官能基を有するカップリング
剤の皮膜がフィルム表面に均一に形成され、表面性状を
均一化させることができる。

【００１３】その後、該溶液を乾燥させてから、このよ
うに表面性状が均一化されたポリイミドフィルムの表面
にプラズマ処理を行うことにより、フィルム表面に安定
して親水基を導入することができ、優れた接着性改善効
果を得ることができる。

【００１４】なお、前記カップリング剤溶液の濃度を、
０．００５〜３０wt％、更に好ましくは０．０１〜５wt
％とすることにより、フィルム表面にむらなく均一にカ
ップリング剤を付着させることができ、カップリング剤
の効果も充分に発現させることができる。

【００１５】

【実施例】以下に、本発明に係るポリイミドフィルムの
接着性改善方法を、図面に基づいて詳細に説明する。こ
こでいうポリイミドフィルムは、厚み数μｍの薄膜か
ら、厚み数百μｍのシート状物も含めて広義のフィルム
を意味し、ポリイミドフィルムの分子構造は問わない。

【００１６】かかるポリイミドフィルムの接着性改善方
法は、ポリイミドフィルム表面にカップリング剤溶液を
付着させた後、該溶液を乾燥させてからプラズマ処理を
行うことを特徴とし、例えば、図１に示す表面処理装置
１０を用いて実施することができる。この表面処理装置
１０は、カップリング剤溶液を塗布するための装置１
２、乾燥炉１４、及びプラズマ処理装置１６を備えて構
成されている。そして、繰り出し装置１８から送り出さ
れたポリイミドフィルム２０は、カップリング剤溶液を
塗布するための装置１２においてカップリング剤溶液が
塗布され、その後乾燥炉１４においてフィルム表面に付
着した該溶液を乾燥させてから、引き続いてプラズマ処
理装置１６内に導入されてプラズマ処理が行われ、表面
処理の施されたポリイミドフィルム２０が巻取り装置２
２に巻き取られるように構成されている。

【００１７】詳しくは、カップリング剤溶液を塗布する
ための装置１２は、カップリング剤溶液を塗布するバー
コーター２４、カップリング剤溶液を入れておくカップ
リング剤槽２６、押さえロール２８を備え、バーコータ
ー２４はカップリング剤槽２６内の溶液にその一部が浸
漬されている。また、乾燥炉１４及びプラズマ処理装置
１６は従来公知の装置が用いられ、プラズマ処理装置１
６は、装置１６内にガスを導入するためのガス導入部３
０、装置１６内に電流を流して放電を開始させるための
電源３２を備えており、装置１６内のガス雰囲気を一定
組成・一定圧力に保ってプラズマ処理を行うことができ
るように構成されている。なお、符号３４は搬送ロール
であり、該装置１０においてポリイミドフィルム２０を
良好に走行させるものである。

【００１８】さらに詳しくは、カップリング剤溶液を塗
布するための装置１２において、ポリイミドフィルム２
０は押さえロール２８によりバーコーター２４に接触す
るように調整されており、従って、ポリイミドフィルム
２０を繰り出し装置１８から巻取り装置２２へ一定張力
で走行させ、バーコーター２４を回転させると、フィル
ム表面にカップリング剤溶液を塗布することができる。
このとき、バーコーター２４を回転させる方向はフィル
ムの進行方向であっても、フィルムの進行方向とは逆向
きに回転させてもよい。また、バーコーター２４の基材
は特に制限されず、不織布等の基材で作製したロール
や、ゴムロール、網目ロールなどを用いることができる
が、フィルム表面に実用上有害な傷を付けないものが好
ましい。

【００１９】なお、かかる表面処理装置１０において
は、カップリング剤溶液を付着させる手段としてバーコ
ーター２４により塗布する方法を用いているが、その
他、例えば、図２に示す表面処理装置３６のように、ポ
リイミドフィルム２０を２本のロール３８、４０で挟む
ようにし、ロール３８に沿わせてポリイミドフィルム２
０を走行させ、ロール４０を回転させてカップリング剤
溶液を塗布させる方法を用いてもよい。また、塗布方式
にはこのようなロールを用いるロールコータ方式の他に
もドクタナイフを用いるスプレッダ方式をはじめ、マイ
ヤーバーコティンググラビアロールコーティング、リバ
ースロールコーティング、ブラッシコータ方式、エアブ
レート方式、スプレーコータ方式、カーテンコータ方
式、浸漬コータ方式などその他種々の方式を挙げること
ができ、いかなる塗布方式により塗布してもよい。

【００２０】また、本発明でいうカップリング剤として
は、例えば、シラン系、チタネート系、アルミニウム
系、又はジルコアルミニウム系のカップリング剤が挙げ
られ、これらカップリング剤は単独で用いても、また数
種を混合して用いても良く、経験的に設定することがで
きるが、特にはシラン系のカップリング剤を用いること
が好ましい。中でも、アミノシラン系のカップリング剤
が更に好ましい。これらは、分子中にポリイミドフィル
ムの表面成分と結合性を持つ反応性基（メトキシ基、エ
トキシ基など）と接着剤成分と結合性を持つ反応性基
（アクリル基、アミノ基、エポキシ基など）を合わせも
っており、フィルムと接着剤の結合を仲介（カップリン
グ）し、両者間の親和性を高めることができる。

【００２１】かかるカップリング剤を具体的に列挙する
と、シラン系カップリング剤においては、アクリルシラ
ン系では、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシ
ラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラ
ン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラ
ン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラ
ン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ
−アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン等を挙
げることができる。

【００２２】また、アミノシラン系では、γ−アミノプ
ロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエ
トキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシ
ラン、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、Ｎ
−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、
Ｎ−（フェニルメチル）−γ−アミノプロピルトリメト
キシシラン、Ｎ−メチル−γ−アミノプロピルトリメト
キシシラン、Ｎ，Ｎ，Ｎ−トリメチル−γ−アミノプロ
ピルトリメトキシシラン、Ｎ，Ｎ，Ｎ−トリブチル−γ
−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノ
エチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−
β（アミノエチル）γ−アミノプロピルメチルジメトキ
シシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピル
トリエトキシシラン、Ｎ−ω（アミノヘキシル）γ−ア
ミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ｛Ｎ’−β（アミ
ノエチル）｝−β（アミノエチル）γ−アミノプロピル
トリメトキシシラン等を挙げることができる。

【００２３】エポキシシラン系では、β−（３，４−エ
ポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ
−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリ
シドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキ
シプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシ
プロピルメチルジメトキシシラン等を挙げることができ
る。

【００２４】又、チタネート系カップリング剤において
は、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イ
ソプロピルトリドデシルベンゼンスルホニルチタネー
ト、イソプロピルトリス（ジオクチルパイロホスフェー
ト）チタネート、テトラオクチルビス（ジトリデシルホ
スファイト）チタネート、テトライソプロピルビス（ジ
オクチルホスファイト）チタネート、テトラ（2,2-ジア
リルオキシメチル-1- ブチル）ビス（ジ- トリデシル）
ホスファイトチタネート、ビス（ジオクチルパイロホ
スフェート）オキシアセテートチタネート、ビス（ジオ
クチルパイロホスフェート）エチレンチタネート、イ
ソプロピルトリオクタノイルチタネート、イソプロピル
ジメタクリルイソステアロイルチタネート、イソプロピ
ルイソステアロイルジアクリルチタネート、イソプロピ
ルトリ（ジオクチルホスフェート）チタネート、イソプ
ロピルトリクミルフェニルチタネート、イソプロピルト
リ（N-アミノエチル- アミノエチル）チタネート、ジク
ミフェニルオキシアセテートチタネート、ジイソステア
ロイルエチレンチタネート等を挙げることができる。

【００２５】その他、アルミニウム系カップリング剤に
おいては、アルキルアセトアセテート- アルミニウム-
ジイソプロピレートを、ジルコアルミニウム系カップリ
ング剤においては、メタクリラトジルコアルミネートを
挙げることができる。

【００２６】なお、上記カップリング剤は溶媒に溶解さ
せて溶液として用いるが、該溶媒としてはメタノール、
エタノール、プロパノール、イソプロパノール又はこれ
らの混合溶媒であるソルミクッス等のアルコール系溶
媒、アセトン、ＭＥＫ、２−ペンタノン、３−ペンタノ
ン等のケトン系溶媒、トルエン、キシレン等の芳香族炭
化水素系溶媒等が挙げられる。これらは単独で用いて
も、数種を混合させて用いてもよく、また水と混合して
用いてもよい。特にはメタノールが好ましく用いられ
る。

【００２７】また、カップリング剤溶液の濃度は、０．
００５wt％〜３０wt％であることが好ましく、更には
０．０１wt％〜５wt％であることが好ましい。カップリ
ング剤の濃度が高過ぎるとポリイミドフィルム表面にむ
らが観られ外観上好ましくなくなり、逆にカップリング
剤の濃度が低過ぎると充分な効果が発現されなくなるか
らである。

【００２８】このようにしてカップリング剤溶液をフィ
ルム表面に均一に付着させることにより、フィルムの表
面成分とカップリング剤とが反応し、フィルム表面にカ
ップリング剤の皮膜が形成され、フィルムの表面性状を
均一化させることができるのである。

【００２９】次いで、上記処理工程によりカップリング
剤溶液が塗布されて表面性状が均一化されたポリイミド
フィルム２０は乾燥炉１４に導かれ、乾燥炉１４におい
てフィルム表面に付着した溶液を乾燥させる工程が行わ
れる。乾燥条件としては特に制限はなく、経験的に適宜
設定して行われる。そして乾燥工程を経たポリイミドフ
ィルム２０は、プラズマ処理装置１６に導入され、該プ
ラズマ処理装置１６内でプラズマ処理が施される。プラ
ズマ処理装置１６はフィルムの導入口及び導出口がシー
ルされていて、ガス導入部３０から適当な組成のガスが
導入され、所定のガス圧力に保持される。そして電源３
２のスイッチを入れると、放電が開始し、装置１６内に
プラズマが発生するように構成されている。このときグ
ロー放電が得られるよう、ガス組成、ガス圧力を適宜選
択する。

【００３０】ここで、プラズマ処理を行う雰囲気のガス
圧力は特に限定されないが、１００〜１０００Torrの範
囲の圧力下で行うことが好ましい。１００Torr以下では
真空装置などが必要となるし、１０００Torr以上では放
電がしにくくなるためである。特には、大気圧下で行う
ことによりプラズマ処理の作業性が良くなり、本発明に
係る接着性改善方法により表面処理して得られる、優れ
た接着性を有するポリイミドフィルムを生産性良く得ら
れるので好ましい。また、プラズマ処理のガス組成は特
に限定されないが、１００〜１０００Torr中での放電も
グロー放電（火花放電ではない）するよう、希ガス元素
の単独ガス又は混合ガス雰囲気下で行うのが好ましい。
なお、装置内の空気を該希ガス元素で置換した状態が特
に好ましいが、グロー放電を阻害しない程度の空気が混
入していても構わない。

【００３１】かかる処理工程により、フィルム表面を化
学修飾して親水性官能基（水酸基、カルボン酸基、カル
ボニル基等）を導入することができ、フィルム表面の親
水性が向上される。

【００３２】このようにして、カップリング剤溶液を付
着させた後、連続してプラズマ処理を行うことにより、
フィルム表面にカップリング剤の皮膜が形成されて表面
性状が均一化されたフィルム表面にプラズマ処理を行う
ことができ、フィルム表面に親水基（水酸基、カルボン
酸基、カルボニル基等）を安定して導入することができ
る。すなわち、フィルム表面にはカップリング剤の分子
中の接着剤と親和性を示すアミノ基、アクリル基、エポ
キシ基などと共に、親水基（水酸基、カルボン酸基、カ
ルボニル基等）も安定して導入され、更に優れた接着性
改善効果を安定して得ることができるのである。

【００３３】以上、本発明に係るポリイミドフィルムの
接着性改善方法の実施例を説明したが、上述のようにし
てカップリング剤溶液を付着させる前に、有機溶剤存在
下でフィルム表面に物理的機械力を加えたり、フィルム
表面をアルカリ処理することにより、予めＷＢＬや汚染
層を除去する工程を設けてもよい。予めＷＢＬや汚染層
を除去しておくことにより、フィルムの表面性状を更に
均一化させることができる。

【００３４】また、カップリング剤溶液を付着させる手
段として、上述したように塗布する方法、浸漬させる方
法、吹き付ける方法などを用いてもよく、またカップリ
ング剤溶液でラビングする方法を用いてもよい。なお、
カップリング剤溶液でラビングするとは、カップリング
剤溶液存在下でフィルム表面に物理的機械力を加えるこ
とをいい、具体的にはカップリング剤溶液を含浸させた
布等でフィルム表面を擦る（又は拭く）ことや、カップ
リング剤溶液中でフィルム表面を擦ること、またカップ
リング剤溶液を付着させたフィルム表面を擦ることなど
が挙げられる。

【００３５】例えば、図３に示す表面処理装置４２は、
搬送ロール３４によってカップリング剤槽２６内にフィ
ルム２０を導入して浸漬させ、フィルム２０を不織布等
の基材で作製されたラビング用ロール４４でニップし、
ラビング用ロール４４を回転させてフィルム表面を擦る
ように構成されており、フィルム表面をカップリング剤
溶液でラビングすることができる。なお、図３において
はスキーズロール４６を設けて塗布面に均一性を出すこ
とができるように構成されており、このようにフィルム
をカップリング剤溶液に浸漬して処理する場合は、スキ
ーズロール４６を設けた方が好ましい。このようにフィ
ルム表面をカップリング剤溶液でラビングしてカップリ
ング剤溶液を付着させることにより、カップリング剤を
フィルム表面に導入すると同時にフィルム表面のＷＢＬ
や汚染槽を除去することができ、表面性状をより均一化
させることができる。

【００３６】また、上述のようにカップリング剤溶液を
付着させる処理とプラズマ処理を連続的に行わずに、別
工程で実施するようにしてもよい。その他、本発明はこ
れらの実施例のみに限定されるものではなく、本発明は
その趣旨を逸脱しない範囲内で当業者の知識に基づき、
種々なる改良、変更、修正を加えた態様で実施しうるも
のである。

【００３７】なお、かかるポリイミドフィルムの接着性
改善方法により表面処理されたポリイミドフィルムは、
フィルム表面にカップリング剤の皮膜が形成されて表面
性状が均一化され、カップリング剤の分子中の接着剤と
親和性を示すアミノ基、アクリル基、エポキシ基などを
有するとともに、更にプラズマ処理によって安定的に親
水化されたフィルム表面を有しており、従来のプラズマ
処理のみによって表面処理されたポリイミドフィルムに
比べて優れた接着性を示し、接着剤を用いてフィルムと
金属箔（銅箔等）と強固に張り合わせることができる。
また、蒸着法、メッキ法、又はスパッタ法によってもフ
ィルム表面に均一に金属層を形成することができる。す
なわち、本発明に係る接着性を改善したポリイミドフィ
ルムは、ＦＰＣ（フレキシブルプリント配線板）のベー
スフィルムとして好適に使用することができるものであ
る。

【００３８】以下に実施例により本発明をより具体的に
説明するが、本発明はこれら実施例によって限定される
ものではない。

【００３９】実施例１図１に示す装置を用い、４，４’−ジアミノジフェニル
エーテルに代表される芳香族ジアミンとピロメリット酸
二無水物に代表される芳香族テトラカルボン酸二無水物
とから公知の方法で得られた２５μｍ厚のポリイミドフ
ィルムを用いて、カップリング剤溶液を塗布した後、連
続的にプラズマ処理を行い、ポリイミドフィルムの表面
処理を行った。処理条件はラインスピードを２ｍ／min
とし、カップリング剤溶液としてγ−アミノプロピルト
リエトキシシラン（シランカップリング剤ＫＢＥ９０
３；信越化学工業（株）製）の０．１wt％メタノール溶
液をフィルムの進行方向と逆方向に２５０rpm で回転す
るバーコーターで塗布し、８０℃で１分間乾燥させた。
そしてプラズマ処理条件を、装置内のガス組成がＡr／
Ｈe ＝６／４となるように置換し、圧力を７６０Torrと
し、電力密度を１５００ｗ・min ／ｍ²としてフィルム
の表面処理を行った。

【００４０】このように処理したポリイミドフィルムに
ついて、以下の方法で接着強度の評価を行った。アクリ
ル系接着剤（デュポン（株）製 "パイララックス”）を
用いて上記処理フィルムと銅箔（三井金属鉱業（株）製
電解銅箔 "３ＥＣ”３５μｍ厚）とをラミネートし、１
８５℃×１時間で接着剤の硬化反応を行い、ＦＣＣＬ
（フィルム・銅箔積層板）を作製した。得られたＦＣＣ
Ｌの銅パターン幅が３mmとなるようサンプルを切り出
し、引張試験器（島津製作所（株）製 "Ｓ−１００−
Ｃ”）によりピールテストスピード５０mm／min で９０
°剥離の引張試験を行った。ｎ＝５の平均値による測定
結果を表１に示す。なお、引き剥がし後の破壊面は、す
べてフィルム／接着剤界面で発生した。

【００４１】

【表１】

【００４２】実施例２カップリング剤溶液として、チタネート系のイソプロピ
ルトリイソステアロイルチタネートの０．１wt％メタノ
ール溶液を用いた以外は、実施例１と同様の処理を行
い、その接着強度を評価した。ｎ＝５の平均値による測
定結果を表１に示す。なお、引き剥がし後の破壊面は、
すべてフィルム／接着剤界面で発生した。

【００４３】比較例１比較のために、実施例１で使用した２５μｍ厚のポリイ
ミドフィルムについて、表面処理を施さずに用い、実施
例１と同様にして接着強度を評価した。ｎ＝５の平均値
による測定結果を表１に示す。なお、引き剥がし後の破
壊面は、すべてフィルム／接着剤界面で発生した。

【００４４】比較例２比較のために、実施例１で使用した２５μｍ厚のポリイ
ミドフィルムについて、プラズマ処理のみを施して用
い、実施例１と同様にして接着強度を評価した。プラズ
マ処理は実施例１と同様の条件（ガス組成；Ａr ／Ｈe
＝６／４、圧力；７６０Torr、電力密度；１５００ｗ・
min ／ｍ²）で行った。ｎ＝５の平均値による測定結果
を表１に示す。なお、引き剥がし後の破壊面は、すべて
フィルム／接着剤界面で発生した。

【００４５】

【発明の効果】本発明に係るポリイミドフィルムの接着
性改善方法は、カップリング剤溶液を付着させた後、プ
ラズマ処理を行うことを特徴とし、かかる方法によりフ
ィルム表面にカップリング剤の皮膜が形成されて表面性
状が均一化されたフィルム表面にプラズマ処理を行うこ
とができる。その結果、フィルム表面には、接着剤と親
和性を示す親和性基とともに親水基が安定して導入され
ており、優れた接着性改善効果を得ることができる。

【００４６】また、かかるポリイミドフィルムの接着性
改善方法により接着性を改善したポリイミドフィルム
は、フィルム表面に接着剤と親和性を示す親和性基を有
すると同時にフィルム表面が安定的に親水化されている
ため、優れた接着性を示し、ＦＰＣのベースフィルムと
して好適に使用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るポリイミドフィルムの接着性改善
方法を実施するための表面処理装置を示した説明図であ
る。

【図２】本発明に係るポリイミドフィルムの接着性改善
方法を実施するための他の表面処理装置を示した説明図
である。

【図３】本発明に係るポリイミドフィルムの接着性改善
方法を実施するための他の表面処理装置を示した説明図
である。

【符号の説明】

１０、３６、４２；表面処理装置１２；カップリング剤溶液を塗布するための装置１４；乾燥炉１６；プラズマ処理装置１８；繰り出し装置２０；ポリイミドフィルム２２；巻取り装置２４；バーコーター２６；カップリング剤槽２８；押さえロール３０；ガス導入部３２；電源３４；搬送ロール

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ポリイミドフィルムの表面にカップリン
グ剤溶液を付着させた後、該溶液を乾燥させ、該乾燥さ
せられたフィルムにプラズマ処理を行うことを特徴とす
るポリイミドフィルムの接着性改善方法。
【請求項２】前記カップリング剤溶液の濃度が、０．
００５〜３０wt％、更に好ましくは０．０１〜５wt％で
あることを特徴とする請求項１に記載するポリイミドフ
ィルムの接着性改善方法。
【請求項３】請求項１又は請求項２に記載するポリイ
ミドフィルムの接着性改善方法により表面処理して得ら
れることを特徴とする接着性を改善したポリイミドフィ
ルム。