JPH08334314A - 画像寸法計測装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 コストを増大させることなく、多数の同じ被
検物を長時間に亘って計測する場合でも精度の高い計測
が可能な画像寸法計測装置を提供する。 【構成】 ＸＹステージ上の被検物の像を受けて画像信
号を出力するカメラ３と、ステージの座標及び画像信号
に基づき被検物の位置及び寸法を演算する演算部８１と
を備えた画像寸法計測装置において、ステージに固定さ
れた基準被検物と、運転開始時に演算部８１で演算され
た基準被検物の位置及び寸法を記憶するメモリ８２と、
運転開始時から所定時間経過時に演算部で演算された基
準被検物の位置及び寸法を記憶するメモリ８３と、所定
時間経過時に演算部で演算された被検物の位置及び寸法
を記憶するメモリ８４と、メモリ８２、８３に記憶され
た演算値に基づき補正値を算出する補正値算出部８５
と、メモリ８４に記憶された演算値を補正値で補正する
演算値補正部８７とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、被検物の像をカメラ
で受け、カメラからの画像信号に基づいて被検物の位置
や寸法を計測する画像寸法計測装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、このような画像寸法計測装置とし
ては、例えば、Ｘ軸及びＹ軸方向に移動可能なＸＹステ
ージと、このステージ上に載置された被検物の像をイメ
ージセンサで受け、このイメージセンサ上での被検物の
位置及び形状に応じた画像信号を出力するカメラと、被
検物の像をイメージセンサ上に結像させる結像光学系
と、被検物に焦点を合わせるために、被検物に対するカ
メラ及び結像光学系のＺ軸方向の位置を調節するＺ軸方
向の直進機構とを備えたものが知られている。ＸＹステ
ージのＸ軸直進機構及びＹ軸直進機構と、Ｚ軸方向の直
進機構はそれぞれモータで駆動される。各モータは、コ
ンピュータのメモリに記憶された駆動データに従ってＣ
ＮＣ（Computerized Numerical Control）で駆動される
ようになっている。

【０００３】ここで、ＸＹステージ上の座標（Ｘ１、Ｙ
１）に直径Ｄ１の円形の被検物がある場合に、上記従来
の画像寸法計測装置により被検物のある一点の座標（被
検物の位置）とその直径とを計測する場合について説明
する。

【０００４】まず、被検物の測定すべきある一点がカメ
ラの視野（イメージセンサ）内に入るような位置にＸＹ
ステージを移動する。このとき、ＸＹステージの座標
が、そのＸ軸及びＹ軸方向の移動量をそれぞれ読み取る
Ｘ軸及びＹ軸エンコーダの読み値から得られると共に、
カメラのイメージセンサから、このイメージセンサ上で
の被検物の位置及び形状に応じた画像信号が得られる。
この画像信号を演算して（イメージセンサの各画素のう
ち、前記一点を受光した画素のアドレスから）得られる
イメージセンサ上での被検物の位置と、ＸＹステージの
座標とを足し合わせて被検物のある一点の座標（Ｘ１、
Ｙ１）が求められる。また、画像信号を演算して（被検
物の直径部を受光した前記画素の数と各画素のピッチと
の積により）被検物の直径が求められる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では、電源が投入されて運転が開始されると、カ
メラ内部の電気回路やイメージセンサに熱が発生するた
めに、カメラの金属部分等が変形したり膨張したりする
ことがある。これによって、ＸＹステージに対する（結
像光学系の光軸に対する）イメージセンサの位置がずれ
ると共に、前記光軸方向におけるイメージセンサの位置
が変化してしまう。その結果、同じ被検物を長時間に亘
って多数計測する場合、被検物の位置や形状（例えば直
径）が変化しなくても、計測値すなわち計測した被検物
の位置や寸法が電源を投入してからの時間によって変化
してしまうという問題がある。

【０００６】また、カメラの金属部分等に熱による変形
や膨張が発生しないようにするために、前記金属部分に
熱変形等が起こりにくい材料を使用すると、材料コスト
が増大して装置全体のコストが増大してしまうという問
題がある。

【０００７】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題はコストを増大させることなく、多
数の同じ被検物を長時間に亘って計測する場合でも精度
の高い計測が可能な画像寸法計測装置を提供することで
ある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明の表面検査装置は、Ｘ軸及びＹ軸
方向に移動可能なＸＹステージと、前記ステージ上に載
置された被検物の像を受光してその位置及び形状に応じ
た画像信号を出力するカメラと、前記被検物の像が前記
カメラで受光されるように前記ステージを移動させた時
の前記ステージの座標及び前記画像信号に基づいて前記
被検物の位置又は寸法の少なくとも一方を演算してその
演算値を出力する演算手段とを備えた画像寸法計測装置
において、前記ステージに固定された基準被検物と、前
記基準被検物の位置又は寸法の少なくとも一方を前記演
算手段により演算してその第１演算値を記憶する第１記
憶手段と、前記第１演算値を演算してから所定時間経過
時に前記基準被検物の位置又は寸法の少なくとも一方を
前記演算手段により演算してその第２演算値を記憶する
第２記憶手段と、前記第１演算値と前記第２演算値とに
基づき補正値を算出する補正値算出手段と、前記所定時
間経過時に前記演算手段により演算された前記被検物の
位置又は寸法の少なくとも一方の演算値を前記補正値で
補正する補正手段とを備えている。

【０００９】

【作用】請求項１記載の画像寸法計測装置では、補正値
算出手段が、第１記憶手段に記憶された第１演算値と第
２記憶手段に記憶された第２演算値とに基づき補正値を
算出する。この補正値がカメラ等の金属部分の熱による
変形や膨張による計測値の変化量である。また、第１演
算値を演算してから所定時間経過時に演算された被検物
の位置又は寸法の少なくとも一方の演算値が補正手段に
より前記補正値で補正される。これによって、補正手段
から前記変化量のない正しい被検物の位置又は寸法の少
なくとも一方の計測値が得られる。

【００１０】

【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。

【００１１】図１はこの発明の一実施例に係る画像寸法
計測装置を示すブロック図、図２は同装置を示す構成図
である。

【００１２】画像寸法計測装置は、図２に示すように、
Ｘ軸及びＹ軸方向に移動可能なＸＹステージ１と、この
ステージ１上に載置された被検物２の像をイメージセン
サ（図示略）で受け、このイメージセンサ上での被検物
２の位置又は形状の少なくとも一方に応じた画像信号を
出力するカメラ３と、被検物２の像をイメージセンサ上
に結像させる結像光学系４と、被検物２に焦点を合わせ
るために、被検物２に対するカメラ３及び結像光学系４
のＺ軸方向の位置を調節するＺ軸方向の直進機構５とを
備えている。

【００１３】ＸＹステージ１は架台６上に配置されてい
る。結像光学系４及びカメラ３は、架台６上に固定され
た支柱７にＺ軸方向の直進機構５を介して支持されてい
る。図２において、符号１ｘはＸＹステージ１用のＸ軸
モータ、符号１ｙはＸＹステージ１用のＹ軸モータ、符
号５ｚはＺ軸方向の直進機構５用のＺ軸モータである。

【００１４】さらに、画像寸法計測装置は、図１及び図
２に示すように、カメラ３から出力される画像信号を画
像処理するための画像処理用コンピュータ（以下、単に
コンピュータという）８と、Ｘ軸モータ１Ｘ、Ｙ軸モー
タ１Ｙ及びＺ軸モータ５Ｚを制御する制御部９とを備え
ている。コンピュータ８には、計測値（被検物２の位置
又は寸法の少なくとも一方）を表示するためのＣＲＴ
（表示装置）１０と、キーボード１１とが接続されてい
る。制御部９は、コンピュータ８のメモリ（後述する駆
動データメモリ８８）に記憶された駆動データに従って
各モータ１Ｘ、１Ｙ及び５ＺをＣＮＣ（Computerized N
umerical Control）で駆動させるようになっている。

【００１５】ＸＹステージ１上の左下隅には、図３に示
すように、基準被検物１２が固定されている。この基準
被検物１２は、直径がＤｒｅｆの円形部を有しており、
熱変形が起こりにくい材料で作られている。

【００１６】前記コンピュータ８は、図１に示すよう
に、被検物２又は基準被検物１２の位置又は寸法を演算
してその演算値を出力する演算部８１を備えている。こ
の演算部８１には、被検物２又は基準被検物１２の像が
カメラ３で受光されるようにＸＹステージ１を移動させ
た時のＸＹステージ１の座標（ＸＹステージ１のＸ軸及
びＹ軸方向の移動量をそれぞれ読み取る不図示のＸ軸及
びＹ軸エンコーダの読み値）と、被検物２に焦点を合わ
せた時の直進機構５のＺ軸方向の移動量を読み取るＺ軸
エンコーダの読み値と、カメラ３のイメージセンサから
出力される、このイメージセンサ上での被検物２又は基
準被検物１２の位置又は形状の少なくとも一方に応じた
画像信号とが入力される。そして、この演算部８１は、
前記画像信号を演算して（イメージセンサの各画素のう
ち、被検物２又は基準被検物１２のある一点を受光した
画素のアドレスから）得られるイメージセンサ上での前
記一点の位置と、ＸＹステージ１の前記座標及び前記Ｚ
軸エンコーダの読み値とを足し合わせて前記一点の座標
（Ｘ、Ｙ、Ｚ）が求められる。また、前記画像信号を演
算して（被検物２の円形孔２ａ〜２ｃ又は基準被検物１
２の円形部を受光した前記画素の数と各画素のピッチと
の積により）被検物２又は基準被検物１２の直径が求め
られる。

【００１７】また、前記コンピュータ８は、運転開始時
に演算部８１により演算された基準被検物１２の中心点
１２ａ（図３参照）の位置及びその円形部の直径（以
下、単に位置及び直径という）の演算値（Ｘｒｅｆ、Ｙ
ｒｅｆ、Ｚｒｅｆ及びＤｒｅｆ）を記憶するメモリ８２
と、運転開始時から所定時間（ｔ時間）経過時に演算部
８１により演算された基準被検物１２の位置及び直径の
演算値（Ｘｒｅｆｔ、Ｙｒｅｆｔ、Ｚｒｅｆｔ及びＤｒ
ｅｆｔ）を記憶するメモリ８３と、前記所定時間経過時
に演算部８１により演算された被検物２の位置及び寸法
の演算値（Ｘｔ、Ｙｔ、Ｚｔ及びＤｔ）を記憶するメモ
リ８４とを備えている。さらに、コンピュータ８は、メ
モリ８２に記憶された前記演算値とメモリ８３に記憶さ
れた前記演算値とに基づき補正値（ΔＸｔ、ΔＹｔ、Δ
Ｚｔ及びδＤｔ）を算出する補正値算出部８５と、その
補正値を記憶するメモリ８６と、メモリ８４に記憶され
た前記演算値をメモリ８６に記憶された前記補正値で補
正する演算値補正部８７と、キーボード１１により入力
されたデータを記憶する駆動データメモリ８８とを備え
ている。

【００１８】前記メモリ８３に記憶された基準被検物１
２の位置及び直径の前記演算値（Ｘｒｅｆｔ、Ｙｒｅｆ
ｔ、Ｚｒｅｆｔ及びＤｒｅｆｔ）は、次のように示され
る。

【００１９】Ｘｒｅｆｔ＝Ｘｒｅｆ＋ΔＸｔ Ｙｒｅｆｔ＝Ｙｒｅｆ＋ΔＹｔ Ｚｒｅｆｔ＝Ｚｒｅｆ＋ΔＺｔ Ｄｒｅｆｔ＝Ｄｒｅｆ×δＺｔ すなわち、運転開始時から所定時間経過時には、カメラ
３の金属部分の熱変形等によってカメラ３内部のイメー
ジセンサの位置が（ΔＸｔ、ΔＹｔ、ΔＺｔ）のだけ運
転開始時から変化していることを示している。また、基
準被検物１２の直径Ｄｒｅｆについては、前記熱変形等
によって結像光学系４の倍率がδＺｔだけ運転開始時か
ら変化していることを示している。

【００２０】従って、補正値算出部８５は、メモリ８２
に記憶された前記演算値とメモリ８３に記憶された前記
演算値とに基づき補正値（ΔＸｔ、ΔＹｔ、ΔＺｔ及び
δＤｔ）を次のように算出するように構成されている。

【００２１】ΔＸｔ＝ＸｒｅｆｔーＸｒｅｆ ΔＹｔ＝ＹｒｅｆｔーＹｒｅｆ ΔＺｔ＝ＺｒｅｆｔーＺｒｅｆ δＤｔ＝Ｄｒｅｆｔ／Ｄｒｅｆ 次に、上記実施例の動作を図４及び図５を参照しながら
説明する。

【００２２】ここで、図３に示すように、ＸＹステージ
１上に載置された被検物２は直径がＤ０の３つの円形孔
２ａ〜２ｃを有しており、各円形孔２ａ〜２ｃの中心点
（ある一点Ｃ１〜Ｃ３の座標（被検物の位置）と各円形
孔２ａ〜２ｃの直径とを計測する場合について説明す
る。

【００２３】まず、電源が投入されて運転が開始される
と、図４のステップ４１で、運転開始時における基準被
検物１２の位置及び直径（Ｘｒｅｆ、Ｙｒｅｆ、Ｚｒｅ
ｆ及びＤｒｅｆ）を計測する。この計測時には、基準被
検物１２の中心点１２ａ及び円形部がカメラ３の視野
（イメージセンサ）内に入るような位置にＸＹステージ
１を移動する。この時、演算部８１は、運転開始時にお
ける基準被検物１２の位置及び直径（Ｘｒｅｆ、Ｙｒｅ
ｆ、Ｚｒｅｆ及びＤｒｅｆ）を演算する。

【００２４】ステップ４２で、演算部８１により演算さ
れた運転開始時における基準被検物１２の位置及び直径
（Ｘｒｅｆ、Ｙｒｅｆ、Ｚｒｅｆ及びＤｒｅｆ）の演算
値をメモリ８２に記憶する。

【００２５】次に、ステップ４３で、運転開始時から所
定時間ｔが経過するごとに基準被検物１２の位置及び直
径を計測する。この計測処理は、図５に示す手順で実行
される。

【００２６】すなわち、図５のステップ５１で、運転開
始時から所定時間ｔが経過した時（ｔ１時）に、基準被
検物１２の位置及び直径（Ｘｒｅｆｔ、Ｙｒｅｆｔ、Ｚ
ｒｅｆｔ及びＤｒｅｆｔ）を計測する。この時、演算部
８１は、前記ｔ１時における基準被検物１２の位置及び
直径（Ｘｒｅｆｔ、Ｙｒｅｆｔ、Ｚｒｅｆ及びＤｒｅｆ
ｔ）を演算する。

【００２７】次に、ステップ５２で、演算部８１により
演算された前記ｔ１時における基準被検物１２の位置及
び直径（Ｘｒｅｆｔ、Ｙｒｅｆｔ、Ｚｒｅｆ及びＤｒｅ
ｆｔ）の演算値をメモリ８３に記憶する。

【００２８】次に、ステップ５３で、前記ｔ１時におけ
る基準被検物１２の位置及び直径の変化量すなわち補正
値（ΔＸｔ、ΔＹｔ、ΔＺｔ、δＤｔ）を補正値算出部
８５で次のように算出する。

【００２９】ΔＸｔ＝ＸｒｅｆｔーＸｒｅｆ ΔＹｔ＝ＹｒｅｆｔーＹｒｅｆ ΔＺｔ＝ＺｒｅｆｔーＺｒｅｆ δＤｔ＝Ｄｒｅｆｔ／Ｄｒｅｆ 次に、ステップ５４で、補正値算出部８５で算出された
補正値（ΔＸｔ、ΔＹｔ、ΔＺｔ及びδＤｔ）をメモリ
８６に記憶する。

【００３０】次に、図４のステップ４４に進み、被検物
２の位置及び寸法を計測する。この計測時には、被検物
２の位置（中心点Ｃ１）及び円形孔２ａが図３に示すよ
うにカメラ３の視野（イメージセンサ）内に入るような
位置にＸＹステージ１を移動する。この時、演算部８１
は、運転開始時から所定時間ｔが経過した時（ｔ１時）
における被検物２の中心点Ｃ１の位置及び円形孔２ａの
直径（Ｘｔ、Ｙｔ、Ｚｔ及びＤｔ）を演算する。

【００３１】次に、ステップ４５で、演算部８１により
演算された前記ｔ１時における被検物２の中心点Ｃ１の
位置及び円形孔２ａの直径（Ｘｔ、Ｙｔ、Ｚｔ及びＤ
ｔ）をメモリ８４に記憶する。

【００３２】次に、ステップ４６で、演算値補正部８７
によって、メモリ８４に記憶された前記ｔ１時における
被検物２の計測値すなわち被検物２の中心点Ｃ１の位置
及び円形孔２ａの直径（Ｘｔ、Ｙｔ、Ｚｔ及びＤｔ）を
メモリ８６に記憶された補正値（ΔＸｔ、ΔＹｔ、ΔＺ
ｔ及びδＤｔ）で補正する。

【００３３】次に、ステップ４７で、ステップ４６で補
正された被検物２の中心点Ｃ１及び円形孔２ａの直径の
真の計測値（前記変化量が補正された正しい計測値であ
るＸ０、Ｙ０、Ｚ０、Ｄ０）をＣＲＴ１０へ出力する。

【００３４】次に、ステップ４３に戻り、前記ｔ１時か
らさらに所定時間ｔが経過した時（ｔ２時）に基準被検
物１２の位置及び直径を再び計測する。この計測処理
は、図５に示す手順で再び実行される。

【００３５】すなわち、図５のステップ５１で、前記ｔ
２時に、基準被検物１２の位置及び直径（Ｘｒｅｆｔ、
Ｙｒｅｆｔ、Ｚｒｅｆｔ及びＤｒｅｆｔ）を計測する。

【００３６】次に、ステップ５２で、演算部８１により
演算された前記ｔ２時における基準被検物１２の位置及
び直径（Ｘｒｅｆｔ、Ｙｒｅｆｔ、Ｚｒｅｆ及びＤｒｅ
ｆｔ）の演算値をメモリ８３に記憶する。

【００３７】次に、ステップ５３で、前記ｔ２時におけ
る基準被検物１２の位置及び直径の変化量すなわち補正
値（ΔＸｔ、ΔＹｔ、ΔＺｔ、δＤｔ）を補正値算出部
８５で算出する。

【００３８】次に、ステップ５４で、補正値算出部８５
で算出された補正値（ΔＸｔ、ΔＹｔ、ΔＺｔ及びδＤ
ｔ）をメモリ８６に記憶する。

【００３９】次に、図４のステップ４４に進み、被検物
２の位置及び寸法を計測する。この計測時には、被検物
２の中心点Ｃ２及び円形孔２ｂがカメラ３の視野（イメ
ージセンサ）内に入るような位置にＸＹステージ１を移
動する。この時、演算部８１は、前記ｔ２時における被
検物２の中心点Ｃ２の位置及び円形孔２ｂの直径（Ｘ
ｔ、Ｙｔ、Ｚｔ及びＤｔ）を演算する。

【００４０】次に、ステップ４５で、演算部８１により
演算された前記ｔ２時における被検物２の中心点Ｃ２の
位置及び円形孔２ｂの直径（Ｘｔ、Ｙｔ、Ｚｔ及びＤ
ｔ）をメモリ８４に記憶する。

【００４１】次に、ステップ４６で、演算値補正部８７
によって、メモリ８４に記憶された前記ｔ２時における
被検物２の計測値すなわち被検物２の中心点Ｃ２の位置
及び円形孔２ｂの直径（Ｘｔ、Ｙｔ、Ｚｔ及びＤｔ）を
メモリ８６に記憶された補正値（ΔＸｔ、ΔＹｔ、ΔＺ
ｔ及びδＤｔ）で補正する。

【００４２】次に、ステップ４７で、ステップ４６で補
正された被検物２の中心点Ｃ２及び円形孔２ｂの直径の
真の計測値（Ｘ０、Ｙ０、Ｚ０、Ｄ０）をＣＲＴ１０へ
出力する。

【００４３】次に、ステップ４３に戻り、前記ｔ２時か
らさらに所定時間ｔが経過した時（ｔ３時）に基準被検
物１２の位置及び直径を再び計測する。この計測処理
は、図５に示す手順で再び実行される。

【００４４】この実行後、前記ステップ４４に進み、被
検物２の位置及び寸法を計測する。この計測時には、被
検物２の位置（中心点Ｃ３）及び円形孔２ｃがカメラ３
の視野（イメージセンサ）内に入るような位置にＸＹス
テージ１を移動する。

【００４５】この後、前記ステップ４５及び４６を実行
してステップ４７へ進み、ステップ４６で補正された被
検物２の中心点Ｃ３及び円形孔２ｃの直径の真の計測値
（Ｘ０、Ｙ０、Ｚ０、Ｄ０）をＣＲＴ１０へ出力する。

【００４６】これによって、図４の測定が終了する。

【００４７】このように、上記実施例によれば、補正値
算出部８５が、メモリ８２に記憶された運転開始時にお
ける基準被検物１２の位置及び直径（Ｘｒｅｆ、Ｙｒｅ
ｆ、Ｚｒｅｆ及びＤｒｅｆ）の演算値と、メモリ８３に
記憶された運転開始時から所定時間ｔが経過するごとに
計測された前記ｔ１時、ｔ２時及びｔ３時の各時点にお
ける基準被検物１２の位置及び直径（Ｘｒｅｆｔ、Ｙｒ
ｅｆｔ、Ｚｒｅｆｔ及びＤｒｅｆｔ）の演算値とに基づ
き補正値（ΔＸｔ、ΔＹｔ、ΔＺｔ及びδＤｔ）を算出
する。この補正値がカメラ等の金属部分の熱による変形
や膨張による計測値の変化量である。また、メモリ８４
に記憶された被検物２の各中心点Ｃ１〜２３の位置及び
円形孔２ａ〜２ｃの直径の演算値（Ｘｔ、Ｙｔ、Ｚｔ及
びＤｔ）が演算値補正部８７により前記補正値で補正さ
れる。これによって、演算値補正部８７から前記変化量
のない正しい被検物２の各中心点Ｃ１〜２３の位置及び
円形孔２ａ〜２ｃの直径の計測値（Ｘ０、Ｙ０、Ｚ０、
Ｄ０）が得られる。したがって、熱変形の起こりにくい
高価な材料をカメラ３の金属部分等に使用してコストを
増大させることなく、多数の同じ被検物を長時間に亘っ
て計測する場合でも精度の高い計測を行なうことができ
る。

【００４８】なお、計測する被検物として図６に示すよ
うな複数の（例えば４つの）リードフレーム２０ａ〜２
０ｄが一体に形成された被検物２０についても、図３に
示す上述した被検物２の場合と同様に、各リードフレー
ム２０ａ〜２０ｄの位置及び寸法を正確に計測すること
ができる。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明に係る画像寸法計測装置によれば、補正値算出手段
が、第１記憶手段に記憶された第１演算値と第２記憶手
段に記憶された第２演算値とに基づき補正値を算出す
る。この補正値がカメラ等の金属部分の熱による変形や
膨張による計測値の変化量である。また、第１演算値を
演算してから所定時間経過時に演算された被検物の位置
又は寸法の少なくとも一方の演算値が補正手段により前
記補正値で補正される。これによって、補正手段から前
記変化量のない正しい被検物の位置又は寸法の少なくと
も一方の計測値が得られる。したがって、熱変形の起こ
りにくい高価な材料を使用してコストを増大させること
なく、多数の同じ被検物を長時間に亘って計測する場合
でも精度の高い計測を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの発明の一実施例に係る画像寸法計測
装置を示すブロック図である。

【図２】図２は一実施例に係る画像寸法計測装置を示す
概略構成図である。

【図３】図３は図２に示すＸＹステージを上方から見た
平面図である。

【図４】図４は測定の手順を示すフローチャートであ
る。

【図５】図５は図４のフローチャートのサブルーチンを
示すフローチャートである。

【図６】図６は図３とは異なる被検物を測定する場合に
おけるＸＹステージを上方から見た平面図である。

【符号の説明】 １ ＸＹステージ ２、２０ 被検物 ３ カメラ １２ 基準被検物 ８１ 演算部（演算手段） ８２ メモリ（第１記憶手段） ８３ メモリ（第２記憶手段） ８４ メモリ（第３記憶手段） ８５ 補正値算出部（補正値算出手段） ８７ 演算値補正部（補正手段）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ軸及びＹ軸方向に移動可能なＸＹステ
   ージと、前記ステージ上に載置された被検物の像を受光
   してその位置及び形状に応じた画像信号を出力するカメ
   ラと、前記被検物の像が前記カメラで受光されるように
   前記ステージを移動させた時の前記ステージの座標及び
   前記画像信号に基づいて前記被検物の位置又は寸法の少
   なくとも一方を演算してその演算値を出力する演算手段
   とを備えた画像寸法計測装置において、 前記ステージに固定された基準被検物と、 前記基準被検物の位置又は寸法の少なくとも一方を前記
   演算手段により演算して、その第１演算値を記憶する第
   １記憶手段と、 前記第１演算値を演算してから所定時間経過時に前記基
   準被検物の位置又は寸法の少なくとも一方を前記演算手
   段により演算してその第２演算値を記憶する第２記憶手
   段と、 前記第１演算値と前記第２演算値とに基づき補正値を算
   出する補正値算出手段と、 前記所定時間経過時に前記演算手段により演算された前
   記被検物の位置又は寸法の少なくとも一方の演算値を前
   記補正値で補正する補正手段とを備えていることを特徴
   とする画像寸法計測装置。