JPH07260423A - 無接触距離計測方法 - Google Patents
無接触距離計測方法Info
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- JPH07260423A JPH07260423A JP4902194A JP4902194A JPH07260423A JP H07260423 A JPH07260423 A JP H07260423A JP 4902194 A JP4902194 A JP 4902194A JP 4902194 A JP4902194 A JP 4902194A JP H07260423 A JPH07260423 A JP H07260423A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 モデルの表面性状及び計測センサの計測位置
による検出誤差を低減して、座標計測精度を向上する。 【構成】 レーザー光等を利用した無接触距離計測セン
サをＮＣ指令によりモデルの表面から基準計測位置に移
動し、センサの移動距離と検出値とを比較して補正値を
算出する。基準計測位置でモデルの表面座標を計測し、
センサの検出値を補正値で補正して、基準計測位置での
計測値を求める。センサを基準計測位置から１計測ピッ
チ移動し、センサの移動距離と検出値とを記憶する。指
令計測終了後、センサの移動距離と検出値とを比較し、
各計測位置毎の補正値を算出する。各計測位置でモデル
の座標を計測し、センサの検出値を各計測位置毎の補正
値で補正し、補正データを総合してモデル全体の座標計
測値を求める。
による検出誤差を低減して、座標計測精度を向上する。 【構成】 レーザー光等を利用した無接触距離計測セン
サをＮＣ指令によりモデルの表面から基準計測位置に移
動し、センサの移動距離と検出値とを比較して補正値を
算出する。基準計測位置でモデルの表面座標を計測し、
センサの検出値を補正値で補正して、基準計測位置での
計測値を求める。センサを基準計測位置から１計測ピッ
チ移動し、センサの移動距離と検出値とを記憶する。指
令計測終了後、センサの移動距離と検出値とを比較し、
各計測位置毎の補正値を算出する。各計測位置でモデル
の座標を計測し、センサの検出値を各計測位置毎の補正
値で補正し、補正データを総合してモデル全体の座標計
測値を求める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、無接触式計測センサ
で距離を計測する方法に係り、特に、金型等の三次元自
由曲面を備えたモデルの座標計測に好適な無接触距離計
測方法に関するものである。
で距離を計測する方法に係り、特に、金型等の三次元自
由曲面を備えたモデルの座標計測に好適な無接触距離計
測方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、レーザー光、赤外線、又は超
音波を利用した無接触式計測センサを用いて金型等のモ
デル表面までの距離を計測して座標値を得る技術が知ら
れている。ところが、無接触式計測センサによると、モ
デルの材質、表面粗さ、色等の表面性状の違いによって
検出値に差が生じ、座標の計測精度が劣化するという問
題点があった。また、計測センサのモデル表面からの距
離、つまり計測位置の違いによっても検出誤差が発生す
るという問題点も指摘されていた。
音波を利用した無接触式計測センサを用いて金型等のモ
デル表面までの距離を計測して座標値を得る技術が知ら
れている。ところが、無接触式計測センサによると、モ
デルの材質、表面粗さ、色等の表面性状の違いによって
検出値に差が生じ、座標の計測精度が劣化するという問
題点があった。また、計測センサのモデル表面からの距
離、つまり計測位置の違いによっても検出誤差が発生す
るという問題点も指摘されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明の課
題は、モデルの表面性状及び計測センサの計測位置によ
る検出誤差を低減して、計測精度を向上できる新規な無
接触距離計測方法を提供することにある。
題は、モデルの表面性状及び計測センサの計測位置によ
る検出誤差を低減して、計測精度を向上できる新規な無
接触距離計測方法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明では、無接触で距離を計測する計測セン
サをＮＣ指令によりモデルの表面から基準計測位置に移
動し、計測センサの移動距離と計測センサの検出値とを
比較して補正値を算出し、計測センサを基準計測位置に
保持してモデルの座標を計測し、このときの計測センサ
の検出値を補正値で補正して基準計測位置での計測値を
求めるという無接触距離計測方法が提案される。
めに、この発明では、無接触で距離を計測する計測セン
サをＮＣ指令によりモデルの表面から基準計測位置に移
動し、計測センサの移動距離と計測センサの検出値とを
比較して補正値を算出し、計測センサを基準計測位置に
保持してモデルの座標を計測し、このときの計測センサ
の検出値を補正値で補正して基準計測位置での計測値を
求めるという無接触距離計測方法が提案される。
【０００５】また、この発明では、上記方法に加え、計
測センサをＮＣ指令により基準計測位置から第２計測位
置に移動し、計測センサの移動距離と計測センサの検出
値とを比較して第２補正値を算出し、計測センサを第２
計測位置に保持してモデルの座標を計測し、このときの
計測センサの検出値を第２補正値で補正して第２計測位
置での計測値を求めるという無接触距離計測方法が提案
される。さらに、無接触で距離を計測する計測センサを
ＮＣ指令によりモデルの表面から基準計測位置に移動
し、計測センサの移動距離と計測センサの検出値とを比
較して補正値を算出し、計測センサを前記基準計測位置
とモデル表面間の距離だけ離れた位置に保持してモデル
の座標を計測し、このときの計測値を補正値で補正し
て、モデル表面から基準計測位置とモデル表面間の距離
だけ離れた位置での計測値を求めることを特徴とする無
接触距離計測方法が提案される。
測センサをＮＣ指令により基準計測位置から第２計測位
置に移動し、計測センサの移動距離と計測センサの検出
値とを比較して第２補正値を算出し、計測センサを第２
計測位置に保持してモデルの座標を計測し、このときの
計測センサの検出値を第２補正値で補正して第２計測位
置での計測値を求めるという無接触距離計測方法が提案
される。さらに、無接触で距離を計測する計測センサを
ＮＣ指令によりモデルの表面から基準計測位置に移動
し、計測センサの移動距離と計測センサの検出値とを比
較して補正値を算出し、計測センサを前記基準計測位置
とモデル表面間の距離だけ離れた位置に保持してモデル
の座標を計測し、このときの計測値を補正値で補正し
て、モデル表面から基準計測位置とモデル表面間の距離
だけ離れた位置での計測値を求めることを特徴とする無
接触距離計測方法が提案される。
【０００６】
【作用】この発明によれば、実際のモデルの一部が基準
計測位置の計測センサによって計測され、そのモデルの
表面性状特有の補正値が算出されて、この補正値で計測
センサの検出値が補正される。このため、表面性状の違
いによる検出誤差が低減され、モデル座標が高精度に計
測される。
計測位置の計測センサによって計測され、そのモデルの
表面性状特有の補正値が算出されて、この補正値で計測
センサの検出値が補正される。このため、表面性状の違
いによる検出誤差が低減され、モデル座標が高精度に計
測される。
【０００７】また、この発明によれば、実際のモデルの
一部を基準計測位置で計測した後に、計測センサが基準
計測位置から第２計測位置に移動され、その計測位置特
有の第２補正値が算出されて、この補正値で計測センサ
の検出値が補正される。従って、表面性状の違いによる
検出誤差、及び、計測センサの計測位置の違いによる検
出誤差の何れもが低減され、モデル座標がさらに精度よ
く計測される。
一部を基準計測位置で計測した後に、計測センサが基準
計測位置から第２計測位置に移動され、その計測位置特
有の第２補正値が算出されて、この補正値で計測センサ
の検出値が補正される。従って、表面性状の違いによる
検出誤差、及び、計測センサの計測位置の違いによる検
出誤差の何れもが低減され、モデル座標がさらに精度よ
く計測される。
【０００８】
【実施例】以下、この発明を具体化した一実施例を図面
に基づいて説明する。図１はこの発明の計測方法が実施
されるＣＮＣ加工機を示すもので、床上に設置されたコ
ラム１の水平面には、テーブル２がサーボモータ（図示
略）によりＸ軸及びＹ軸方向へ移動位置決め可能に設け
られ、このテーブル２上に金型等のモデル３が載置され
ている。コラム１の垂直面には、主軸４を備えた主軸頭
５がサーボモータ（図示略）によりＺ軸方向へ移動位置
決め可能に設けられ、主軸４の下端には、無接触でモデ
ル３の表面までの距離を計測する計測センサ６が着脱可
能に装着されている。
に基づいて説明する。図１はこの発明の計測方法が実施
されるＣＮＣ加工機を示すもので、床上に設置されたコ
ラム１の水平面には、テーブル２がサーボモータ（図示
略）によりＸ軸及びＹ軸方向へ移動位置決め可能に設け
られ、このテーブル２上に金型等のモデル３が載置され
ている。コラム１の垂直面には、主軸４を備えた主軸頭
５がサーボモータ（図示略）によりＺ軸方向へ移動位置
決め可能に設けられ、主軸４の下端には、無接触でモデ
ル３の表面までの距離を計測する計測センサ６が着脱可
能に装着されている。
【０００９】計測センサ６は、図２に示すように、主軸
４の回転によりＣ軸周りで任意の角度に位置決め可能
に、また、サーボモータ７によってθ方向へ任意の角度
で位置決め可能に設けられている。なお、計測センサ６
としては、レーザー光、赤外線、又は超音波を利用した
各種の無接触式計測センサを使用できるが、レーザー式
計測センサは検出波の直進性、集光性、及び干渉性が優
れているため、これを好ましく使用することができる。
４の回転によりＣ軸周りで任意の角度に位置決め可能
に、また、サーボモータ７によってθ方向へ任意の角度
で位置決め可能に設けられている。なお、計測センサ６
としては、レーザー光、赤外線、又は超音波を利用した
各種の無接触式計測センサを使用できるが、レーザー式
計測センサは検出波の直進性、集光性、及び干渉性が優
れているため、これを好ましく使用することができる。
【００１０】次に、上記計測センサ６による無接触距離
計測方法について説明する。座標計測位置が一箇所のみ
である場合には、図３のフローチャートに示すプログラ
ムが開始され、このとき計測センサ６は図４に示すよう
に動作する。すなわち、ステップＳ１で、モデル３の一
部を指令計測するためのＮＣプログラムが設定され、こ
こでモデル３の表面から基準計測位置までの距離Ｌ（図
４参照）が設定される。そして、ステップＳ２で、実際
に座標を計測するモデル３がＣＮＣ加工機のテーブル２
上にセットされる。
計測方法について説明する。座標計測位置が一箇所のみ
である場合には、図３のフローチャートに示すプログラ
ムが開始され、このとき計測センサ６は図４に示すよう
に動作する。すなわち、ステップＳ１で、モデル３の一
部を指令計測するためのＮＣプログラムが設定され、こ
こでモデル３の表面から基準計測位置までの距離Ｌ（図
４参照）が設定される。そして、ステップＳ２で、実際
に座標を計測するモデル３がＣＮＣ加工機のテーブル２
上にセットされる。
【００１１】セッティングが終了すると、ステップＳ３
で、計測センサ６がモデル３上のＡ点に移動して位置決
めされる。続いて、ステップＳ４で、主軸４がＮＣ指令
によりＺ軸プラス方向へ距離Ｌだけ上昇して、計測セン
サ６がモデル３の表面から基準計測位置に移動される。
そして、ステップＳ５で、計測センサ６によりＡ点まで
の距離が指令計測される。
で、計測センサ６がモデル３上のＡ点に移動して位置決
めされる。続いて、ステップＳ４で、主軸４がＮＣ指令
によりＺ軸プラス方向へ距離Ｌだけ上昇して、計測セン
サ６がモデル３の表面から基準計測位置に移動される。
そして、ステップＳ５で、計測センサ６によりＡ点まで
の距離が指令計測される。
【００１２】次に、ステップＳ６で、計測センサ６のＡ
点から基準計測位置までの移動距離（ＮＣ指令値）と、
基準計測位置における計測センサ６の検出値とを比較し
て補正値が算出され、その値がメモリに記憶される。そ
の後、ステップＳ７で、計測センサ６を基準計測位置に
保持した状態で、計測センサ６によってモデル３の表面
座標が計測される。そして、ステップＳ８で、計測セン
サ６の検出値が前記補正値で補正され、その補正データ
が基準計測位置におけるモデル３の座標計測値として記
憶される。
点から基準計測位置までの移動距離（ＮＣ指令値）と、
基準計測位置における計測センサ６の検出値とを比較し
て補正値が算出され、その値がメモリに記憶される。そ
の後、ステップＳ７で、計測センサ６を基準計測位置に
保持した状態で、計測センサ６によってモデル３の表面
座標が計測される。そして、ステップＳ８で、計測セン
サ６の検出値が前記補正値で補正され、その補正データ
が基準計測位置におけるモデル３の座標計測値として記
憶される。
【００１３】従って、上記計測方法によれば、基準計測
位置の計測センサ６によって実際のモデル３の一部を指
令計測し、そのモデル３の表面性状特有の補正値を算出
して、この補正値で計測センサ６の検出値を補正するた
め、表面性状の違いによる検出誤差を低減できて、モデ
ル座標を高精度に計測することができる。
位置の計測センサ６によって実際のモデル３の一部を指
令計測し、そのモデル３の表面性状特有の補正値を算出
して、この補正値で計測センサ６の検出値を補正するた
め、表面性状の違いによる検出誤差を低減できて、モデ
ル座標を高精度に計測することができる。
【００１４】一方、座標計測位置が複数ある場合には、
図５のフローチャートに示すプログラムが開始され、こ
のとき計測センサ６は図６に示すように動作する。ま
ず、前述のステップＳ１〜Ｓ８の処理を実行して、基準
計測位置におけるモデル３の座標計測値が求められる。
なお、この場合、ステップＳ１で、基準計測位置までの
距離Ｌに加え、最大計測位置と最小計測位置との間の計
測範囲、及び計測センサ６の計測ピッチＰが設定され
（図６参照）、ステップＳ６で、基準計測位置で算出し
た補正値が第１補正値として記憶され、ステップＳ８で
は、計測センサ６の検出値がその第１補正値で補正され
る。
図５のフローチャートに示すプログラムが開始され、こ
のとき計測センサ６は図６に示すように動作する。ま
ず、前述のステップＳ１〜Ｓ８の処理を実行して、基準
計測位置におけるモデル３の座標計測値が求められる。
なお、この場合、ステップＳ１で、基準計測位置までの
距離Ｌに加え、最大計測位置と最小計測位置との間の計
測範囲、及び計測センサ６の計測ピッチＰが設定され
（図６参照）、ステップＳ６で、基準計測位置で算出し
た補正値が第１補正値として記憶され、ステップＳ８で
は、計測センサ６の検出値がその第１補正値で補正され
る。
【００１５】次いで、ステップＳ９で、計測センサ６が
ＮＣ指令により基準計測位置を中心にしてＺ軸プラスま
たはマイナス方向へ１計測ピッチＰ分だけ移動され、基
準計測位置から第２計測位置に配置される。そして、ス
テップＳ１０で、計測センサ６によりＡ点までの距離が
指令計測される。続いて、ステップＳ１１で、計測セン
サ６のＡ点から第２計測位置までの移動距離と、第２計
測位置における計測センサ６の検出値とがメモリに記憶
される。なお、このときの検出値はステップＳ６で求め
た第１補正値で補正済みの値である。
ＮＣ指令により基準計測位置を中心にしてＺ軸プラスま
たはマイナス方向へ１計測ピッチＰ分だけ移動され、基
準計測位置から第２計測位置に配置される。そして、ス
テップＳ１０で、計測センサ６によりＡ点までの距離が
指令計測される。続いて、ステップＳ１１で、計測セン
サ６のＡ点から第２計測位置までの移動距離と、第２計
測位置における計測センサ６の検出値とがメモリに記憶
される。なお、このときの検出値はステップＳ６で求め
た第１補正値で補正済みの値である。
【００１６】次のステップＳ１２では、ＮＣプログラム
で設定された全計測範囲における指令計測が終了したか
否かが判別され、終了してない場合には、ステップＳ９
に戻り、計測センサ６が第２計測位置から第３計測位置
に移動される。そして、ステップＳ９〜Ｓ１２の処理を
繰り返し、全計測範囲における指令計測が終了すると、
ステップＳ１３で、計測センサ６の基準計測位置から第
２計測位置までの移動距離（ＮＣ指令値）と、第２計測
位置における計測センサ６の検出値とを比較して第２補
正値が算出されるとともに、同様にして、各計測位置毎
の補正値が算出され、それらの値がメモリに記憶され
る。なお、図７は計測センサ６の移動距離と検出値との
関係を示すグラフであり、図中ハッチングで示す部分が
補正値に相当する。
で設定された全計測範囲における指令計測が終了したか
否かが判別され、終了してない場合には、ステップＳ９
に戻り、計測センサ６が第２計測位置から第３計測位置
に移動される。そして、ステップＳ９〜Ｓ１２の処理を
繰り返し、全計測範囲における指令計測が終了すると、
ステップＳ１３で、計測センサ６の基準計測位置から第
２計測位置までの移動距離（ＮＣ指令値）と、第２計測
位置における計測センサ６の検出値とを比較して第２補
正値が算出されるとともに、同様にして、各計測位置毎
の補正値が算出され、それらの値がメモリに記憶され
る。なお、図７は計測センサ６の移動距離と検出値との
関係を示すグラフであり、図中ハッチングで示す部分が
補正値に相当する。
【００１７】その後、ステップＳ１４で、計測センサ６
が第２計測位置を含む各計測位置に移動して保持され、
各計測位置に計測センサ６によってモデル３の表面座標
が計測される。そして、ステップＳ１５で、計測センサ
６の検出値が第２補正値を含む各位置に対応する補正値
で補正され、これらの補正データを総合してモデル３全
体の座標計測値として記憶される。
が第２計測位置を含む各計測位置に移動して保持され、
各計測位置に計測センサ６によってモデル３の表面座標
が計測される。そして、ステップＳ１５で、計測センサ
６の検出値が第２補正値を含む各位置に対応する補正値
で補正され、これらの補正データを総合してモデル３全
体の座標計測値として記憶される。
【００１８】従って、上記計測方法によれば、実際のモ
デル３の一部を基準計測位置で計測した後に、計測セン
サ６を基準計測位置から第２計測位置、第２計測位置か
ら第３計測位置等に順次移動し、各計測位置特有の第
２、第３補正値等を算出して、これらの補正値で計測セ
ンサ６の検出値を補正するので、表面性状の違いによる
検出誤差、及び、計測センサ６の計測位置の違いによる
検出誤差の何れをも低減できて、モデル座標をさらに精
度よく計測することができる。
デル３の一部を基準計測位置で計測した後に、計測セン
サ６を基準計測位置から第２計測位置、第２計測位置か
ら第３計測位置等に順次移動し、各計測位置特有の第
２、第３補正値等を算出して、これらの補正値で計測セ
ンサ６の検出値を補正するので、表面性状の違いによる
検出誤差、及び、計測センサ６の計測位置の違いによる
検出誤差の何れをも低減できて、モデル座標をさらに精
度よく計測することができる。
【００１９】また、座標計測位置が複数ある金型等のモ
デルにおいて、加工プログラム等からその形状が推測可
能な場合には、計測センサ６がモデル表面との距離を第
１基準計測位置からモデル表面までの距離と同一に保っ
てモデル計測を行うように、主軸頭４をテーブルのＸ，
Ｙ軸方向移動に伴ってＺ軸方向に移動せしめる計測プロ
グラムを作成し、その計測プログラムによりモデルの座
標を計測し、このときの計測センサの検出値を第１補正
値で補正することにより、計測を行なうことも可能であ
る。このときの動作は図３のフローチャートにおいてＳ
７の動作が基準計測位置ではなくモデル表面に沿って座
標を計測する点が異なるのみである。なお、モデル３の
傾斜面座標については、その傾斜角度が±３０ｄｅｇ以
下であれば、計測センサ６を図２に示す垂下位置に保持
して上記実施例の方法により計測でき、それ以上の場合
は、計測センサ６をサーボモータ７でθ方向へ傾動して
上記実施例の方法で計測すればよい。
デルにおいて、加工プログラム等からその形状が推測可
能な場合には、計測センサ６がモデル表面との距離を第
１基準計測位置からモデル表面までの距離と同一に保っ
てモデル計測を行うように、主軸頭４をテーブルのＸ，
Ｙ軸方向移動に伴ってＺ軸方向に移動せしめる計測プロ
グラムを作成し、その計測プログラムによりモデルの座
標を計測し、このときの計測センサの検出値を第１補正
値で補正することにより、計測を行なうことも可能であ
る。このときの動作は図３のフローチャートにおいてＳ
７の動作が基準計測位置ではなくモデル表面に沿って座
標を計測する点が異なるのみである。なお、モデル３の
傾斜面座標については、その傾斜角度が±３０ｄｅｇ以
下であれば、計測センサ６を図２に示す垂下位置に保持
して上記実施例の方法により計測でき、それ以上の場合
は、計測センサ６をサーボモータ７でθ方向へ傾動して
上記実施例の方法で計測すればよい。
【００２０】
【発明の効果】以上に詳述したように、請求項１の発明
によれば、実際のモデルの一部を指令計測し、そのモデ
ルの表面性状特有の補正値を算出して、この補正値で計
測センサの検出値を補正するので、表面性状の違いによ
る検出誤差を低減できて、モデル座標を高精度に計測で
きるという優れた効果を奏する。
によれば、実際のモデルの一部を指令計測し、そのモデ
ルの表面性状特有の補正値を算出して、この補正値で計
測センサの検出値を補正するので、表面性状の違いによ
る検出誤差を低減できて、モデル座標を高精度に計測で
きるという優れた効果を奏する。
【００２１】請求項２の発明によれば、計測センサを基
準計測位置から移動し、異なる計測位置でその計測位置
特有の補正値を算出して、この補正値で計測センサの検
出値を補正するので、表面性状の違いによる検出誤差、
及び、計測センサの計測位置の違いによる検出誤差の何
れをも低減できて、モデル座標をさらに精度よく計測で
きるという効果がある。請求項３の発明によれば、異な
る計測位置が必要なモデルにおいては、計測センサを基
準計測位置とモデル表面間の距離だけ離れた位置に保持
してモデルの表面を計測するので、例えば同一形状のモ
デルが多数ある場合に、個々のモデルに対し請求項２の
発明で行う複数の計測位置に対応した補正値算出動作が
なくなるため、計測時間の短縮が可能となる。
準計測位置から移動し、異なる計測位置でその計測位置
特有の補正値を算出して、この補正値で計測センサの検
出値を補正するので、表面性状の違いによる検出誤差、
及び、計測センサの計測位置の違いによる検出誤差の何
れをも低減できて、モデル座標をさらに精度よく計測で
きるという効果がある。請求項３の発明によれば、異な
る計測位置が必要なモデルにおいては、計測センサを基
準計測位置とモデル表面間の距離だけ離れた位置に保持
してモデルの表面を計測するので、例えば同一形状のモ
デルが多数ある場合に、個々のモデルに対し請求項２の
発明で行う複数の計測位置に対応した補正値算出動作が
なくなるため、計測時間の短縮が可能となる。
【図１】本発明の計測方法が実施されるＣＮＣ加工機の
斜視図である。
斜視図である。
【図２】図１のＣＮＣ加工機に装着された計測センサの
拡大図である。
拡大図である。
【図３】本発明の計測方法を座標計測位置が一箇所であ
る場合の実施例で示すフローチャートである。
る場合の実施例で示すフローチャートである。
【図４】図３の計測方法を実施する際の計測センサの動
作を示す説明図である。
作を示す説明図である。
【図５】本発明の計測方法を座標計測位置が複数箇所で
ある場合の実施例で示すフローチャートである。
ある場合の実施例で示すフローチャートである。
【図６】図５の計測方法を実施する際の計測センサの動
作を示す説明図である。
作を示す説明図である。
【図７】図５の計測方法において計測センサの移動距離
と検出値との関係を示すグラフである。
と検出値との関係を示すグラフである。
１・・コラム、２・・テーブル、３・・モデル、４・・
主軸、５・・主軸頭、６・・計測センサ、７・・サーボ
モータ。
主軸、５・・主軸頭、６・・計測センサ、７・・サーボ
モータ。
Claims (3)
- 【請求項１】 無接触で距離を計測する計測センサをＮ
Ｃ指令によりモデルの表面から基準計測位置に移動し、
計測センサの移動距離と計測センサの検出値とを比較し
て補正値を算出し、計測センサを基準計測位置に保持し
てモデルの座標を計測し、このときの計測センサの検出
値を補正値で補正して基準計測位置での計測値を求める
ことを特徴とする無接触距離計測方法。 - 【請求項２】 無接触で距離を計測する計測センサをＮ
Ｃ指令によりモデルの表面から基準計測位置に移動し、
計測センサの移動距離と計測センサの検出値とを比較し
て第１補正値を算出し、計測センサを基準計測位置に保
持してモデルの座標を計測し、このときの計測センサの
検出値を第１補正値で補正して基準計測位置での計測値
を求め、計測センサをＮＣ指令により基準計測位置から
第２計測位置に移動し、計測センサの移動距離と計測セ
ンサの検出値とを比較して第２補正値を算出し、計測セ
ンサを第２計測位置に保持してモデルの座標を計測し、
このときの計測センサの検出値を第２補正値で補正して
第２計測位置での計測値を求めることを特徴とする無接
触距離計測方法。 - 【請求項３】 無接触で距離を計測する計測センサをＮ
Ｃ指令によりモデルの表面から基準計測位置に移動し、
計測センサの移動距離と計測センサの検出値とを比較し
て補正値を算出し、計測センサを前記基準計測位置とモ
デル表面間の距離だけ離れた位置に保持してモデルの座
標を計測し、このときの計測値を補正値で補正して、モ
デル表面から基準計測位置とモデル表面間の距離だけ離
れた位置での計測値を求めることを特徴とする無接触距
離計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4902194A JPH07260423A (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 無接触距離計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4902194A JPH07260423A (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 無接触距離計測方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07260423A true JPH07260423A (ja) | 1995-10-13 |
Family
ID=12819475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4902194A Pending JPH07260423A (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 無接触距離計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07260423A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017521755A (ja) * | 2014-07-10 | 2017-08-03 | アクチエボラゲット エレクトロルックス | ロボット型清掃装置における計測誤差を検出する方法 |
| WO2023032053A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 株式会社ニコン | 加工システム |
| WO2023032054A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 株式会社ニコン | 移動誤差算出システム、工作機械、算出装置、較正方法、光計測装置 |
-
1994
- 1994-03-18 JP JP4902194A patent/JPH07260423A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017521755A (ja) * | 2014-07-10 | 2017-08-03 | アクチエボラゲット エレクトロルックス | ロボット型清掃装置における計測誤差を検出する方法 |
| WO2023032053A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 株式会社ニコン | 加工システム |
| WO2023032054A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 株式会社ニコン | 移動誤差算出システム、工作機械、算出装置、較正方法、光計測装置 |
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