JPH08333555A - ダイシングテープ - Google Patents

ダイシングテープ

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JPH08333555A
JPH08333555A JP8151883A JP15188396A JPH08333555A JP H08333555 A JPH08333555 A JP H08333555A JP 8151883 A JP8151883 A JP 8151883A JP 15188396 A JP15188396 A JP 15188396A JP H08333555 A JPH08333555 A JP H08333555A
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dicing tape
weight
wafer
light
acrylate
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JP8151883A
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Peter Dr Gleichenhagen
ペーター・グライヘンハゲン
Ronald Dr Pfaff
ロナルド・プフアフ
Anja Mueller
アンヤ・ミユラー
Andreas Westphal
アンドレアス・ベストフアル
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Beiersdorf AG
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Beiersdorf AG
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 改良されたダイシングテープを提供する。 【解決手段】 ＵＶ−透過性のフィルム支持物を有す
る、ウェファー等の一時的固定のためのダイシングテー
プであって、該フィルム支持物の片面に、その接着力が
ＵＶ光線により減少する可能性がありそして ａ）ＵＶ光線による励起下で、重合反応を開始させる遊
離基を形成する基を含有する、３０−９０重量部の、強
靭なそして弾力性のある（メタ）アクリレートを基礎に
した基本ポリマー、 ｂ）（メタ）アクリル型の、少なくとも２個の重合可能
な二重結合を含有する、１０−７０重量部の、少なくと
も１種類の低分子量の化合物、及び ｃ）必要な場合には５−６０重量部の粘着性賦与性樹脂
類：を含んでなるコンタクト接着剤組成物が装着されて
いることを特徴とするダイシングテープ。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】本発明はチップの製造における切断工程中
に、シリコンウェファー類の一時的固定のためのコンタ
クト接着性を与えられたフィルムに関する。この種の接
着性の品物の通常の名称はダイシングテープである。
【０００２】切断工程の実施のために、それにウェファ
ーを接着しているダイシングテープは支持フレームに接
着結合されるか又は固定される。次いでダイアモンドの
丸のこを使用して該ウェファーを個々のチップに切断す
る。その後、機械的装置により該チップをダイシングテ
ープから取り外す。
【０００３】無傷のチップエッジを製造することができ
そして棄却率をできるだけ低く保つために、該ウェファ
ーの固定は、切断工程中に発生する力に、動かされずに
耐えねばならない。他方、それに続くチップの取り外し
中には、汚染及び相互の接触がなく、すべてのチップを
それから除去することができるように、該テープの接着
力は十分弱くなければならない。切断後の、相当して必
要とされる接着力の減少は、相当する脆化を伴う接着性
組成物の架橋結合によりもたらされる。この架橋結合は
ＵＶ光線により生成される。
【０００４】この使用のために、多少ともコンタクト接
着性であり、そしてそれに、重合可能な二重結合をもつ
オリゴマー類及び／又はモノマー類、並びにＵＶ光線に
より活性化される光線重合開始剤が添加されている、ポ
リ（メタ）アクリレートの基本ポリマーからなるコンタ
クト接着剤組成物が使用される。
【０００５】欧州特許出願公開第０ １９４ ７０６号
明細書には、それにポリ不飽和アクリレートモノマー類
又はオリゴマー類、光線重合開始剤、及び樹脂性粘着性
賦与剤及び／又はシリカゲルが添加されている、弾性
の、ポリイソシアネート−架橋結合のポリ（メタ）アク
リレートからなる、コンタクト接着性を有する化合物に
つき記載されている。
【０００６】欧州特許出願公開第０ ２９８ ４４８号
明細書には、ポリアクリル化シアヌレート類又はイソシ
アヌレート類及び光線重合開始剤と混合されているポリ
イソシアネート−架橋結合ポリアクリル性のコンタクト
接着剤につき記載されている。
【０００７】欧州特許出願公開第０ ６２２ ８３３号
明細書には、ＯＨ−含有の、ジイソシアネート−架橋結
合のポリアクリレート、約６０００の分子量をもつウレ
タンオリゴマー及び少なくとも２個のアクリル性二重結
合、並びに光線重合開始剤から製造されるコンタクト接
着剤組成物の特許を請求している。
【０００８】同様に製造されたコンタクト接着剤組成物
がドイツ特許第３ ６３９ ２６６号明細書に記載され
ている。特開昭０ ６０−４９ ４２０号公報には、基
本ポリマー、分子量が１５，０００−５０，０００の多
機能ウレタン類、可塑剤及び光線重合開始剤の混合物で
あるコンタクト接着剤組成物が特許請求されている。
【０００９】前記に全般的に記された方法とは異なり、
欧州特許出願公開第０ ５８８ １８０号明細書には、
重合により取り込まれた光線重合開始剤を含んでなり、
そしてＵＶ照射により粘着力を喪失する、非複合接着性
組成物につき記載されている。このアクリル性コポリマ
ーの主成分はなかんずく、アルキル基≦Ｃ14を有するア
クリレートエステル単位を含んでなる。
【００１０】完成度、自動化及び周期時間のそれに応じ
た加速を達成する努力の増加、並びに製造工程の変化及
び棄却品の望ましい減量とともに、ダイシングテープの
性能要求がもちあがったので、当該技術の現状はすべて
のパラメーターを満足してはいない。
【００１１】例えば、ダイシングテープから剥がした後
に今日要求される清浄度は、光学顕微鏡下で無傷である
表面を越えて、例えば表面の緊張における変化に現れる
可能性があるような不可視の変化ですら許容されないよ
うな点まで到達している。更にダイシングテープの絶対
的清浄度及び誤りのない機能は今日、異なった種類のウ
ェファーの、非常に異なった表面の粗さ及び表面の処理
に対して確保されねばならない。該要求が接着力の増加
をさせずに粘着性を確保するためであるような、異なっ
たサイズのチップにより課せられる異なった粘着度の要
求、又は切断工程前にウェファーがテープ上で過ごした
長期間、又は切断工程後にチップがテープ上で過ごした
期間、のような境界的条件をも収集せねばならない。
【００１２】本発明の目的はこのような努力を支援する
こと、そして特にこれまでの当該技術の欠点がないか又
はそれらが減少した度合で存在するようなダイシングテ
ープを提供することであった。
【００１３】本発明によるダイシングテープのコンタク
ト接着剤組成物は下記の成分からなる： １． ３０−９０重量部の強靭なそして弾力性の（メ
タ）アクリレートを基礎にした基本ポリマーで、そのポ
リマー鎖の分子が特に、Ｃ1−Ｃ12のエステル基をもつ
（メタ）アクリルエステル単位からなり、そして更に極
性の官能基、例えばアミド、アミノ、ヒドロキル、カル
ボニル、ケト、及びエーテル基を含有する可能性があ
り、そしてその中に、ＵＶ光線による励起下で、重合反
応を開始させる遊離基を形成する基が、特に不作為の分
布で存在するようなポリマー。第２項に記載の化合物と
の適合性を改善するために、コモノマー類、例えばスチ
レンが少量の割合で存在することもまた可能である。
【００１４】２． １０−７０重量部の、（メタ）アク
リル型の、少なくとも２個の、好ましくは複数の重合可
能な二重結合を含有する、１種類以上の低分子量の化合
物で、その化合物は好ましくは該基本ポリマーと適合性
をもちそして特に、２００から１５，０００、好ましく
は２５０から５０００の分子量を有する。
【００１５】３． 第１項及び第２項に記載の必要成分
の他に、そして、接着力の調節の目的のために、５−６
０重量部の粘着性賦与性樹脂類を添加することができ
る。該化合物中に、架橋剤の少量の添加に伴って存在す
る反応基により、ＵＶ光線により引き起こされた架橋に
付加される網目を形成することも可能である。
【００１６】第１項に記載されたポリマーの分子量は８
０，０００から８００，０００の範囲にある可能性があ
る。該ポリマーは好ましくは既知の方法により、遊離基
による溶液重合により製造される。
【００１７】基本ポリマー中に存在しそしてＵＶ光線下
で遊離基を形成する基は、特にその組成が既知のＵＶ光
線重合開始剤の組成に対応する官能基を含有する。これ
らの光線活性の中心物は好ましくは遊離基共重合により
該ポリマー中に取り込まれる。この場合この目的のため
に必要な光線重合開始剤は遊離基により重合可能な二重
結合を含む。列挙できる例はベンゾインアクリレート、
イオン性の、水溶性化合物、（２−アクリロイルオキシ
エチル）（４−ベンゾイルベンジル）ジメチルアンモニ
ウムブロミド、及び４−（２−アクリロイルオキシエト
キシ）フェニル２−ヒドロキシ−２−プロピルケトンで
ある。これらの化合物は基本ポリマー中ほんの１重量％
で、全化合物の完全な処理のためには十分である。しか
し少量のＵＶ量による場合は、約５−１０重量％のより
大量が必要である可能性もある。更に該化合物中に光線
重合開始剤、特に１分子当たり１個以上の重合可能な二
重結合をもつ、遊離基による重合可能な光線重合開始
剤、又は重合不可能な光線重合開始剤を使用することも
できる。
【００１８】これに関連して、異なった吸収最大値を有
する光線重合開始剤を使用することは好都合である可能
性がある。このようにして、使用された光線重合開始剤
の１つが、その光線スペクトルの最大値に近いような最
大吸収値を有するか、又は少なくともその固有のＵＶ光
源の波長域に十分な濃度で存在すると仮定すると、極め
て著しく異なった光線スペクトルをもつ、異なったＵＶ
光源が使用された時ですら、該ダイシングテープの機能
を確保することができる。
【００１９】第２項に記載された化合物については、ア
クリル性二重結合をもつ化合物、特に早急にそして著し
く収縮して脆化物質を形成するように、完全に処理する
ことができる化合物を使用することが好ましい。列挙で
きる例はトリメチロールプロパントリアクリレート及び
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートである。第
３項に記載の、添加することができる架橋剤の例は、ア
セチルアセトン酸Ａｌ又はジイソシアネート類及びジエ
ポキシド類であって、それらは基本ポリマーのカルボキ
シル基及び／又はヒドロキシル基によって網目を形成す
る。必要な場合には、０．１から５％の添加が、適宜な
接着性がもたらされる程度に該化合物を固化するのに十
分である。
【００２０】前記のコンタクト接着性化合物に適宜な支
持フィルムは、ＵＶ光線に対する高度な透過性及びフィ
ルムとして十分な弾力性及び強度を有する物質である。
例はポリエチレン、ポリプロピレン、ＰＶＣ、エチレン
−酢酸ビニルコポリマー類及びエチレン−アクリレート
コポリマー類である。コンタクト接着剤組成物の定着は
必要な場合にはコロナ前処理又は適宜な（ＵＶ透過性
の）地塗により増強することができる。粘着性組成物の
表面は、粘着処理を与えられた被覆フィルムにより、使
用時まで汚染に対して防護されねばならない。ロール型
の製品の場合、この機能をその裏側がＵＶ透過性の粘着
剤で処理された支持フィルムで引き継ぐことはより合理
的に可能である。該フィルムの厚さは２０ μmと４００
μmの間、好ましくは６０μmと１５０μmの間の可能性
がある。コンタクト接着剤のコーティング物の厚さは７
g/m2から３０g/m2、好ましくは１０g/m2から２０g/m2の
範囲にある。
【００２１】前記のコンタクト接着剤組成物及びダイシ
ングテープは多数の利点を達成する：切断工程後に必要
な、ＵＶ光線により開始される架橋は一定の方法で基本
ポリマーの分子鎖上で開始され、そして添加されたモノ
マー類もしくはオリゴマー類の反応性二重結合により早
急に伝播し、そして非常に早急に均一相の、固く脆いポ
リマーを生成する。基本ポリマー鎖に付着した光線重合
開始剤の効率は、単に混合されたのみの光線重合開始剤
の場合よりも高い。更にテープ類の製造中の乾燥工程に
より、又はそれらの貯蔵期間中の拡散によっておこる可
能性がある、光線重合開始剤の不均一な分布、又は濃度
の減少すらを予防する。
【００２２】該化合物中でのＵＶ誘導架橋の結果であ
る、該化合物の早急な固化のみならずまた著しい収縮に
より、テープから多少とも粗いウェファーの表面を残渣
なく容易に剥がすことを確実に可能にする。欧州特許出
願公開第０ ５８８ １８０号明細書に記載されている
ような、既存のポリマー鎖の間にのみ開始される架橋の
場合、これらの望ましい変化はあまり著明ではない。
【００２３】粘着力の減少に関する高い効率のおかげ
で、ダイシングテープはまた冷光ＵＶ光源を使用して十
分に早急に処理することができる。これらの光源は現在
一般的に使用されているＨｇ高圧光源よりも著しく低い
出力を有し、そしてまた架橋反応を促進するために全く
熱を発生しないが、しかし実際的に単色の光線を発生す
る。光線重合開始剤の吸収スペクトルがこの種の光線源
に合致すると、オゾンの生成を増加させない、選択され
た、狭い振動数域で架橋を実施することができる。他方
強力なＨｇ高圧光源の場合には、高振動数の、オゾン合
成域に深く波及する広域スペクトルのＵＶが生成され
る。
【００２４】下記のテストにおいて、実施例の参照によ
り、本発明をより詳細に記載するが、しかし本発明に不
要な制限を課する意図は全くない。
【００２５】実施例１ 還流コンデンサー、コンデンサー、撹拌器、温度計、計
量器及び窒素流入パイプの付いた、２ｌ用４首スチール
器具中に、ｎ−ブチルアクリレート２５２ｇ（モノマー
を基礎にして５６重量％）、メチルアクリレート１８０
ｇ（モノマーを基礎にして４０重量％）、アクリル酸９
ｇ（モノマーを基礎にして２重量％）、ベンゾインアク
リレート９ｇ（モノマーを基礎にして２重量％）及びア
セトン３００ｇを、バゾ(Vazo)６７（デュポン社）０．
５ｇによる遊離基による重合開始により無酸素状態下で
６４−５６℃で重合させる。粘度及び分子量を調節し、
そして該重合を継続させるために、更にアセトン５２５
ｇ、イソプロパノール７５ｇ、バゾ６７（デュポン社）
１．５ｇ及びパーカドックス(Perkadox)１６（アクゾノ
ベル社）０．５ｇを該反応中に、分割して添加する。１
２時間の反応時間後、３３％の固体を含有するポリマー
溶液が得られる。該ポリマーはトルエン中で２５℃で
３．４６の相対的粘度を有する。
【００２６】該ポリマー５９ｇをアルミニウムアセチル
アセトネート０．４０ｇを含有する溶液中に混合する。
この溶液に、ヘキサアクリル化芳香族ウレタン７０％及
びペンタエリスリトールトリ／テトラアクリレート［エ
ベクリル(Ebecryl)２２０、ＵＣＢ化学社）３０％を含
んでなるポリアクリル化オリゴマー混合物４０ｇを添加
し、そしてこの混合物を撹拌すると、均質の溶液が形成
される。この溶液をエチレン８５％−ｎ−ブチルアクリ
レート１５％のコポリマーからなる６０μmの厚さのフ
ィルムのコロナ前処理側にコートし、そして生成したポ
リマーを５分間１２０℃で乾燥すると、ダイシングテー
プのテストサンプルが形成される。接着物質の層は１３
μmの厚さを有する。
【００２７】粘着力の測定：テストサンプルから採った
粘着テープの切片の２０mmの小片をウェファー（１５０
mmφ）の粗い側に、気泡を入れないように接着させる。
該テスト片を２kg重のローラーで圧迫する。３０分間の
接触時間後、該テスト片を９０°の角度で３００mm/分
の速度で引っ張りテスト機で引っ張る。
【００２８】粘着力の値： １．６６ N/cm ＵＶ照射の前 ０．２８ N/cm 冷光ＵＶ光源、０．５ W/cm、２５
４ nm、５０秒間、約２cmの距離でＵＶ照射後 ０．１５ N/cm Ｈｇ高圧光源、８０ W/cm、３秒
間、約１５ cmの距離でＵＶ照射後 実施例２ 実施例１と同様に、ｎ−ブチルアクリレート５９重量
％、メチルアクリレート３５重量％、アクリル酸３重量
％及びベンゾインアクリレート３重量％からポリマーを
製造する。
【００２９】トルエンに溶解した該ポリマーの相対的粘
度は２５℃で３．０１３である。
【００３０】該ポリマー５０ gを上記のウレタンアクリ
レート（エベクリル２２０）３０ g及びトリメチロール
プロパントリアクリレート２０ gと、そして実施例１に
記載のようにアルミニウムアセチルアセトネート０．１
gと混合して処理するとテストサンプルが形成される。
接着物質の層は１０ μmの厚さを有する。
【００３１】接着力の値： １．２６ N/cm ＵＶ照射の前 ０．２０ N/cm 冷光ＵＶ光源、０．５ W/cm、２
５４ nm、５０秒間、約２cmの距離でＵＶ照射後 ０．１４ N/cm Ｈｇ高圧光源、８０ W/cm、３秒
間、約１５ cmの距離でＵＶ照射後 実施例３ 実施例２と同様に、光線重合開始剤としてのベンゾイン
アクリレートの代わりに、重合により取り入れられた４
−ベンゾイル−Ｎ，Ｎ−ジメチル（２−（１−オキソ−
２−プロペニルオキシ）エチル）−ベンゼン−メタンア
ンモニウムブロミド［クアンタキュア(Quantacure)、ラ
ーン（Rahn)社]３重量％を含有するポリマーを製造す
る。トルエンに溶解された該ポリマーの相対的粘度は２
５℃で４．３１７である。
【００３２】該ポリマー６０gを前述のように、ウレタ
ンアクリレート(エベクリル２２０)４０g及びアルミニ
ウムアセチルアセトネート０．５gと混合し、そして該
混合物を処理するとテストサンプルを与える。接着物質
の層は９μmの厚さを有する。
【００３３】接着力の値： １．１０ N/cm ＵＶ照射の前 ０．２０ N/cm 冷光ＵＶ光源、０．５ W/cm、２
５４ nm、５０秒間、約２cmの距離でＵＶ照射後 ０．２０ N/cm Ｈｇ高圧光源、８０ W/cm、３秒
間、約１５ cmの距離でＵＶ照射後 本発明の特徴と態様を以下に示す。
【００３４】１． ＵＶ−透過性のフィルム支持物を有
する、ウェファー等の一時的固定のためのダイシングテ
ープであって、該フィルム支持物の片面に、その接着力
がＵＶ光線により減少する可能性がありそして ａ）そのポリマーの鎖分子が、ＵＶ光線による励起下
で、重合反応を開始させる遊離基を形成する基を含有す
る、３０−９０重量部の、強靭なそして弾力性のある
（メタ）アクリレートを基礎にした基本ポリマー、 ｂ）（メタ）アクリル型の、少なくとも２個の重合可能
二重結合を含有する、１０−７０重量部の、少なくとも
１個の低分子量化合物、及び ｃ）必要な場合には５−６０重量部の粘着性賦与性樹脂
類：を含んでなるコンタクト接着剤組成物が装着されて
いることを特徴とするダイシングテープ。
【００３５】２． 前記の基本ポリマーが、Ｃ1−Ｃ12
のエステル基を有するエステル単位からなることを特徴
とする、第１項に記載のダイシングテープ。
【００３６】３． 前記基本ポリマーが更に、アミド、
アミノ、ヒドロキシル、カルボキシル、ケトのような極
性の官能基及び／又はエーテル基を含んでなることを特
徴とする、第１項に記載のダイシングテープ。
【００３７】４． 前記基本ポリマーがｂ）の他に、ス
チレンのようなコモノマー類を含んでなることを特徴と
する第１項に記載のダイシングテープ。
【００３８】５． ｂ）に記載の化合物が該基本ポリマ
ーと適合性をもちそして２００から１５，０００の、特
には２５０から５０００の分子量を有することを特徴と
する、第１項に記載のダイシングテープ。
【００３９】６． 更に架橋剤が存在することを特徴と
する第１項に記載のダイシングテープ。
【００４０】７． 前記の基本ポリマーが８０，０００
から８００，０００の分子量を有することを特徴とする
第１項に記載のダイシングテープ。
【００４１】８． 前記の基本ポリマーがコポリマー化
形態のベンゾインアクリレートを含有することを特徴と
する第１項に記載のダイシングテープ。
【００４２】９． それが更にその他の光線重合開始剤
を含んでなることを特徴とする第１項に記載のダイシン
グテープ。
【００４３】１０． ウェファー等の一時的固定のため
の第１項から９項のいずれかに記載の、ダイシングテー
プの使用であって、ダイシングテープに固定されている
ウェファー等に関する接着力が、フィルム支持物を通る
ＵＶ照射により、前記ウェファー等をダイシングテープ
から清浄にそして損傷なく除去することができる程度
に、減少されるようなダイシングテープの使用。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ロナルド・プフアフ ドイツ・デー−20253ハンブルク・モルト ケシユトラーセ55 (72)発明者 アンヤ・ミユラー ドイツ・デー−22459ハンブルク・パウル −ゾルゲ−シユトラーセ27 (72)発明者 アンドレアス・ベストフアル ドイツ・デー−22049ハンブルク・アルタ ータイヒベーク171

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ＵＶ−透過性のフィルム支持物を有す
    る、ウェファー等の一時的固定のためのダイシングテー
    プであって、該フィルム支持物の片面に、その接着力が
    ＵＶ光線により減少する可能性がありそして ａ）そのポリマー鎖の分子が、ＵＶ光線による励起下
    で、重合反応を開始させる遊離基を形成する基を含有す
    る、３０−９０重量部の、強靭なそして弾力性のある
    （メタ）アクリラートを基礎にした基本ポリマー、 ｂ）（メタ）アクリル型の、少なくとも２個の重合可能
    な二重結合を含有する、１０−７０重量部の、少なくと
    も１個の低分子量化合物、及び ｃ）必要な場合には５−６０重量部の粘着性賦与性樹脂
    類：を含んでなるコンタクト接着剤組成物が装着されて
    いることを特徴とするダイシングテープ。
JP8151883A 1995-06-02 1996-05-24 ダイシングテープ Pending JPH08333555A (ja)

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