JPH08313584A - Icテスタ用ハンドラの恒温槽 - Google Patents
Icテスタ用ハンドラの恒温槽Info
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Abstract
て、被測定対象ICデバイスを所定の設定温度に短時間
で、均一に予備加熱することができる恒温槽の構造を提
供する。 【構成】 ICテスタ用ハンドラの恒温槽11を構成す
る内部周囲に設けた断熱壁4の内側に、所定の設定温度
に達するまで、被測定対象ICデバイス10の温度を上
昇させるための加熱源である加熱ヒータ3と、ファンモ
ータ1の駆動力で気体の循環流7を発生させる軸流ファ
ン2と、軸流ファン2の円周辺の近傍に設けて回転ステ
ージ5を断熱壁4とで気体の循環流7の回路を形成する
ダクト8と、による構成。
Description
るハンドラ内に設けて、被測定対象デバイスを所定の設
定温度に達するまで、予備加熱するための恒温槽の構造
に関する。
1つに温度特性がある。それには所定の設定温度に設定
した恒温槽の内部に温度を印加するための予備加熱ステ
ージを設ける。そして、そのステージ上に搬入、収納さ
れた被測定対象ICデバイスの温度特性を測定すべき所
定の温度に均一に達するよう、しかも短時間に加熱する
必要があった。
て被測定対象ICデバイスの温度特性を測定するために
所定の温度まで印加する予備加熱ステージが設けられて
いる恒温槽の構造を示す。図示したように、恒温槽11
にはほぼ600mm×600mm程度の大きさの断熱壁
4に囲まれた内部に、予備加熱するための回転ステージ
5が設けられる。その上に被測定対象ICデバイス10
が搬入、収納されて加熱が行われ所定の温度まで上昇す
るよう温度印加が行われる。
のは、従来技術による予備加熱のための回転ステージ5
を含む恒温槽11の構造である。恒温槽11を構成する
内壁である断熱壁4の内部には、被測定対象ICデバイ
ス10の温度特性を測定するために予備加熱する回転ス
テージ5がある。ファンモータ1で駆動する軸流ファン
2によって加熱ヒータ3に対して風を送り、回転ステー
ジ5中央部の多孔板6を通じて循環流を作り出し、回転
ステージ5上の円周辺の近傍に搬入、収納された被測定
対象ICデバイス10を所定の設定温度まで温度上昇さ
せる。
の設定温度に達したところでICテストを行う測定部に
ICを取り出しICのテストを行う。ところが、図3
(A)及び(B)記載の従来技術の構造による回転ステ
ージ5を内蔵する恒温槽11では、 (1)回転ステージ5上の円周辺近傍に配置したチェン
ジキット12上に搬入、収納された被測定対象ICデバ
イス10がどの位置にあっても全てのものの均一な温度
上昇が得られなかった。 (2)そして所定の設定温度まで均一に温度上昇させ安
定させるのに時間がかかってしまう、という問題点を有
していた。
する課題は、(イ)被測定対象ICデバイスの温度特性
を測定する直前に、予備加熱するために回転ステージ上
の円周辺に搬入、収納した被測定対象ICデバイスに均
一な温度印加を実現すること(ロ)その上全ての被測定
対象ICデバイスを所定の設定温度に均一に安定して到
達させることが短時間内に実現すること、である。その
為には、加熱ヒータからの熱量を被測定対象ICデバイ
スに加えるのに、軸流ファンが持つ特性を存分に生かせ
るような構造の恒温槽を得ることである。
ンドラの恒温槽の構造においては、(A)軸流ファンが
持つ特性をより良く生かすために恒温槽内の気体、例え
ば空気の効率よい循環流を生成することができるダクト
を設けた(B)また、ダクトを軸流ファンの外周辺に近
接してドーナッツ状に設けた(C)そして軸流ファンの
後方に設けた加熱ヒータからの熱を温風として上方より
回転ステージ側に吹き付ける(D)さらにそのことで、
回転ステージの下側へ向かって温風は、断熱壁の内側を
渦巻状になって外側に廻り軸流ファンの吸い込み側に戻
るという循環流の回路が形成される構成とした。
て作り出される気体の循環流を導く回路を形成する構造
とすることができたので、気体の流れが乱れることなく
効率よく循環流が整流されて流れるので、断熱壁に囲ま
れた恒温槽内の気体がかき回されて、熱源であるヒータ
によって熱せられた気体の温度が均一化された。その為
に、回転ステージ上に搬入、収納された被測定対象IC
デバイスが一様に加熱されると共に、短時間で均一に被
測定対象ICデバイスを所定の設定温度に達せしめるこ
とが可能となった。
側面から見た断面図を示す。また、図2は、本発明の1
実施例の概念を示す側面の断面図及び上面からの断面図
である。 (1)図1に示すように、本発明によるICテスタ用ハ
ンドラの恒温槽の構造においては、ファンモータ1の駆
動力によって軸流ファン2が回転し、気体の循環流7を
生ぜしめる。その場合軸流ファン2の円周辺部に近接し
て設けたダクト8によって気体は、乱流を引き起こすこ
となく整流となって回転軸9上に設けられた回転ステー
ジ5の下方部に向かう。
壁4と回転ステージ5との間を気体は通り抜け、かつ断
熱壁4の内側を渦巻状となって上昇し、加熱ヒータ3の
ある空間を経由して、再び軸流ファン2の吸い込み側に
戻って気体の循環流7の回路を形成する。
は異なり、熱源である加熱ヒータ3を軸流ファン2の上
方部に設け、その軸流ファン2によって温風を回転ステ
ージ5の中央部に向かって吹き付ける構造とした。そし
て、軸流ファン2の円周部の周囲に近接してダクト8を
設けた。ダクト8を設けたことで、軸流ファン2の円周
辺部近傍に乱流が発生しなくなり、回転ステージ5中央
部→回転ステージ5と断熱壁4との空間部→断熱壁4と
ダクト8上部との空間→加熱ヒータ3→軸流ファン2の
吸い込み側に戻る、という整流された気体の循環流7の
回路を形成した。
としたことで、恒温槽11内の気体の攪拌が効率よくム
ラなくでき、それに加えて回転軸9上に載って回転ステ
ージ5が回転するので、回転ステージ5の外周辺部上の
チェンジキット12に搬入、収納された被測定対象IC
デバイス10は、回転ステージの所定の回転時間経過後
に設定温度に対する温度ムラや到達時間ムラの発生が防
止できる構造が得られた。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 (1)本発明のような構成によるダクトを設ける構造と
したことで、気体の流れが乱流を起こさなくなって整流
された循環流の回路が形成できたので、回転ステージ上
のどの位置の被測定対象ICデバイスも均一な温度に上
昇させることができた。
ラの恒温槽としたことで槽内の気体、本実施例において
は空気が効率よく攪拌され、加熱ヒータによって加熱さ
れた空気がよどんでしまってムラを発生することがなく
なったので、被測定対象ICデバイスを所定の設定温度
まで均一に達せしめることが短時間で実現することがで
きた。 (3)本発明の効果が実現できたのは、恒温槽内の気体
を整流として循環流の回路が形成されるようダクトを設
けただけであり、それ以上の余分な費用を必要とせず極
めて少ないコストで済んだ。
す。
図、及び(B)上面図である。
槽の(A)側断面図、及び(B)上面面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 恒温槽(11)の内部の周囲に設けた断
熱壁(4)と、 所定の設定温度に達するまで被測定対象ICデバイス
(10)の温度を上昇させる熱源である加熱ヒータ
(3)と、 ファンモータ(1)の動力で気体の循環流を発生させる
軸流ファン(2)と、 軸流ファン(2)の外周辺に近接して設け、回転ステー
ジ(5)と断熱壁(4)とで気体の循環流(7)の回路
を形成するダクト(8)と、 を具備することを特徴とするICテスタ用ハンドラの恒
温槽。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14833495A JP3420655B2 (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | Icテスタ用ハンドラの恒温槽 |
TW84108146A TW313629B (ja) | 1995-05-23 | 1995-08-04 | |
US08/705,859 US5859540A (en) | 1995-05-23 | 1996-08-28 | Constant temperature chamber in a handler for semiconductor device testing apparatus |
DE19635325A DE19635325C2 (de) | 1995-05-23 | 1996-08-30 | Konstanttemperaturkammer in einem Handler für Halbleiterbauelemente-Testgeräte |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14833495A JP3420655B2 (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | Icテスタ用ハンドラの恒温槽 |
US08/705,859 US5859540A (en) | 1995-05-23 | 1996-08-28 | Constant temperature chamber in a handler for semiconductor device testing apparatus |
DE19635325A DE19635325C2 (de) | 1995-05-23 | 1996-08-30 | Konstanttemperaturkammer in einem Handler für Halbleiterbauelemente-Testgeräte |
Publications (2)
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JPH08313584A true JPH08313584A (ja) | 1996-11-29 |
JP3420655B2 JP3420655B2 (ja) | 2003-06-30 |
Family
ID=27216596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP14833495A Expired - Fee Related JP3420655B2 (ja) | 1995-05-23 | 1995-05-23 | Icテスタ用ハンドラの恒温槽 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5859540A (ja) |
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Publication number | Publication date |
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DE19635325C2 (de) | 1999-07-01 |
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US5859540A (en) | 1999-01-12 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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