JPH08313023A

JPH08313023A - 清浄作業台

Info

Publication number: JPH08313023A
Application number: JP16298596A
Authority: JP
Inventors: Shingo Ichiki; 眞吾一木
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1996-06-24
Filing date: 1996-06-24
Publication date: 1996-11-29
Anticipated expiration: 2013-10-08
Also published as: JP2807659B2

Abstract

(57)【要約】【課題】フィルタの目詰まり状態に拘わらず病原菌等
が外部に漏れるのを防ぐ。【解決手段】圧力センサ７′によりダクトＢ内の流路
抵抗の変化を検出すると、該検出によって風量の変化を
検出できるので、現地に設置されている第２送風機６の
特性が所定のものと異なっても、これに拘わることなく
風量の変化を正確に確認できる。しかも、圧力センサ
７′の検出信号に基づきコントローラ１１が第２送風機
６を制御し、ダクトＢ内が所定範囲内の圧力とし、常に
一定範囲内の処理風量を確保できるので、病原菌等が外
部に漏れるのを防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、作業空間内の空気
を浄化する清浄作業台に係り、特に送風機を有する建屋
ダクトに第２のフィルタの排気側を接続してなる清浄作
業台に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の清浄作業台の従来例を図９及び
図１０に示す。図９において、第１送風機１から吐き出
された空気が、第１のフィルタ２を通過することにより
浄化されて作業空間Ａに送り込まれ、該作業空間Ａに送
り込まれた空気は、建屋ダクトＣに設置された第２送風
機６により吸い込まれ、ダクトＢ，第２のフィルタ５を
通過して建屋ダクトＣに送り込まれる。その際、ダクト
Ｂには作業空間Ａ用の開閉扉３の開口部４から外気が導
入され、その外気と作業空間Ａを通過する空気とが、ダ
クトＢの下流側に設置された第２のフィルタ５を通過す
ることにより浄化され、建屋ダクトＣに送り込まれる。
建屋ダクトＣは、第２のフィルタ５の排気側に接続され
ており、作業空間Ａ内の空気を吸い込むために第２送風
機６が予め設置されている。

【０００３】そして、第２のフィルタ５の入気面部と排
気面部との差圧を検出する差圧計７が設けられ、該差圧
計７によって両者の差圧が予め設定された値以上を表示
したとき、第２のフィルタ５が目詰まりしているものと
することにより、第２のフィルタ５の交換時期がわかる
ようにしている。

【０００４】一方、図１０に示す従来例においても、第
２のフィルタ５の入気面部と排気面部との差圧を検出す
る差圧計７が設けられ、該差圧計７によって前述と同様
に第２のフィルタ５の交換時期がわかるようにしてい
る。なお、図１０に示す従来例は、ダクトＢが作業空間
Ａを通る空気及び外気を取り込む第１ダクト部Ｂ１と、
該第１ダクト部Ｂ１内の空気を第１送風機１によって送
り込まれる第２ダクト部Ｂ２とで構成され、また、第１
送風機１が第１ダクト部Ｂ１に設置されている。そして
第１送風機１が作業空間Ａ内の空気を吸い込み、第１ダ
クト部Ｂ１及び第２ダクト部Ｂ２に送り込み、第２ダク
ト部Ｂ２の下流側で第１，第２のフィルタ２，５の夫々
に入気するようにしている。

【０００５】第２のフィルタ５の交換時期を図１１に基
づき詳細に説明する。図１１は横軸に風量Ｑを、縦軸に
圧力をとった特性曲線図であり、第２送風機６の特性を
示す性能曲線をＦ、第２のフィルタ５を有しないダクト
Ｂのみの抵抗曲線をＲｄ、第２のフィルタ５を有する状
態のダクトＢの合成抵抗曲線Ｒｆｏで表している。

【０００６】同図において、いま、第２送風機６の性能
曲線Ｆと、第２のフィルタ５を有するダクトＢの合成抵
抗曲線Ｒｆｏとの交点ａｏを動作点とすると、この動作
点から風量Ｑｏが得られ、差圧計７がＨｆｏ−Ｈｄｏの
差圧を示す。そして、第２のフィルタ５が目詰まりする
と、それだけ圧力が上がることによって合成抵抗曲線が
ＲｆｏからＲｆ１に変化し、その変化した合成抵抗曲線
Ｒｆ１と性能曲線Ｆとの交点ａ１が動作点となる。即
ち、第２のフィルタ５が目詰まりしていない状態から目
詰まり状態に変化すると、動作点がａ０からａ１に移
り、風量がＱｏからＱ１に変化することにより、差圧計
７がＨｆ１−Ｈｄ１の差圧を示す。この差圧Ｈｆ１−Ｈ
ｄ１は、予め定められた差圧より大きい値なので、この
時点で第２のフィルタ５の終期とみなし、交換するよう
にしている。

【０００７】ここで、図１１に示すダクトＢの抵抗曲線
Ｒｄは、ダクトＢ内部を通過する気流の摩擦によって生
じる圧力損失（流路抵抗）であって、かつ第２のフィル
タ５の圧力損失を除いたものである。ダクトＢの圧力損
失は、そのダクトがあるため必ず発生し、しかもダクト
内を通過する風量のみによって一義的に定まるため、清
浄作業台に一度設置すれば交換することのないダクトＢ
の固有のものである。従って、ダクトＢの抵抗曲線Ｒｄ
は、第２のフィルタ５の特性及び第２送風機６の特性と
は切り離されるものであり、風量Ｑと圧力Ｈとの相対関
係からなっている。

【０００８】合成抵抗曲線Ｒｆ０は、前記ダクトＢの抵
抗曲線Ｒｄに、第２のフィルタ５の圧力損失を加えたも
のであり、予め選定されるが、フィルタ５の目詰まりに
よって上昇方向に変動する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記に示す如く、従来
技術では、第２送風機６の性能曲線Ｆに基づき第２のフ
ィルタ５の入気面部と排気面部との差圧を検出すること
によって第２のフィルタ５の交換時期を知るようにして
いた。

【００１０】しかし乍ら、従来技術では、第２送風機６
の特性が電圧，電源周波数等によって異なるので、電圧
が降下したりすると、第２のフィルタ５の交換時期を正
確に表示できない問題がある。例えば、電圧降下によっ
て第２送風機６の特性が低下し、性能曲線が図１１に鎖
線にて示すようにＦからＦ′に変化すると、動作点がａ
０′となり、風量がＱ０からＱ０′に減少する。この状
態のとき、第２のフィルタ５が目詰まりすることによ
り、第２のフィルタ５を有するダクトＢの合成抵抗曲線
Ｒｆ０からＲｆ１′に上昇し、動作点がａ０からａ１′
に移り、風量がＱ１になると、差圧計７の差圧はＨｆ
１′−Ｈｄ１を示す。

【００１１】従って、風量Ｑ１になると、送風機６の特
性曲線Ｆ′の場合、差圧計の差圧Ｈｆ１′−Ｈｄ１を示
すので、送風機６の本来の性能曲線Ｆの場合における第
２のフィルタ５の交換時期である差圧Ｈｆ１−Ｈｄ１と
は次の関係となる。（Ｈｆ１′−Ｈｄ１）＜（Ｈｆ１−
Ｈｄ１）その結果、電圧降下等によって送風機６の性能曲線が低
下すると、差圧計７が第２のフィルタ５の本来の交換時
期となっても、その値を表示しないので、交換時期を正
確に表示しなくなる。

【００１２】しかも、第２送風機６を有する建屋ダクト
Ｃが現地で予め設置されているので、設置された送風機
６の性能が所望のものと同一とは限らず、そのため、第
２送風機６の特性が異なるので、第２のフィルタ５の交
換時期を正確に表示するのがいっそう困難である。

【００１３】フィルタの目詰まりを正確に表示できない
と、第２のフィルタ５を通過する風量が所定以上か否か
を判定することができなくなるので、作業空間Ａ内の病
原菌等が外部に漏出するおそれがある。

【００１４】本発明の目的は、前記従来技術の問題点に
鑑み、フィルタの目詰まり状態に拘わらず、病原菌等が
外部に漏れるのを確実に防止し得る清浄作業台を提供す
ることにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明では、種々検討し
た結果、第８図に示すように、ダクトの抵抗曲線Ｒｄが
固有の特性であること、またその特性が風流と圧力との
相対関係にあることに着目し、そのダクトの抵抗曲線Ｒ
ｄ上の圧力に基づいて風量の変化を検出することによ
り、ダクト内の風量を確保し得るようにしたものであ
る。

【００１６】即ち、本発明では、清浄空気が供給される
作業空間と、この作業空間から排出された空気を浄化し
て作業空間外へ排出するフィルタと、上記作業空間と上
記フィルタの間に設けられ、作業空間から排出された空
気をフィルタに導くと共に、通過する空気の風量に対し
固有の流路抵抗特性をもつ第１ダクトと、上記フィルタ
を通過した空気を外部に導き、かつ排気用の送風機を設
けた第２ダクトと、上記第１ダクト内を通過する空気の
圧力を測定し、第１ダクト固有の流路抵抗を検出する検
出手段と、該検出手段の検出信号に基づき排気用の送風
機を制御するコントローラと、警報を発するアラームと
を有し、上記検出手段によって検出されたダクト固有の
流路抵抗値に基づき、該流路抵抗値と一義的に定まる風
量の変化を検出すると共に、コントローラによる排気用
の送風機の制御時、第１ダクト内を通る空気の風量を一
定範囲内に確保する一方、該空気の風量が一定範囲外に
あるとき、コントローラがアラームを作動させるように
構成したことを特徴とするものである。

【００１７】本発明では、上述の如く、圧力センサによ
りダクト内の圧力を測定し、ダクト固有の流路抵抗を検
出するので、その検出値が示されると、その値がダクト
Ｂを通過する気流自身の圧力となるものであって、その
流路抵抗がダクトＢ内の風量と一義的に定まるものであ
るから、流路抵抗の変化によりそれに対応し、ダクトＢ
を通過する風量の変化を検出することができる。そのた
め、ダクトＢ内の風量の変化を検出すると、その変化に
応じコントローラが排気用の送風機を制御するので、ダ
クト内を所定範囲内の圧力とすることができ、従って、
ダクト内の風量を確保できるので、作業空間内の病原菌
等が外部に漏れるのを防止することができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図１乃至
図８について説明する。図１は本発明の第１の実施例を
示す断面図で、同図において従来例と同一部分にては同
一符号を付している。

【００１９】実施例の清浄作業台は、第１送風機１から
吐き出された空気が第１のフィルタ２を通過して作業空
間Ａ内に送り込まれ、作業空間Ａ内に送り込まれた空気
は、建屋ダクトＣに設置された第２送風機６により吸い
込まれ、ダクトＢ，第２のフィルタ５を通過して建屋ダ
クトＣに送り込まれるようにしている。この点は従来例
と同様である。

【００２０】本発明において前記従来例と異なる点は、
ダクトＢの抵抗曲線Ｒｄの圧力を検出するように検出手
段としての差圧計７が設けられた点にある。

【００２１】即ち、前記差圧計７は、図１に示すよう
に、その一方がダクトＢ内における第２のフィルタ５の
入気面側の圧力を測定し得るように配管されると共に、
その他方が外気の圧力を測定し得るように配管され、外
気の圧力とダクトＢ内における第２のフィルタ５の入気
面側の圧力との差圧によってダクトＢ内の圧力、即ち、
図１１に示すダクトＢの抵抗曲線Ｒｄ上における流路抵
抗（圧力損失）を検出するようにしている。これは、ダ
クトＢの抵抗曲線Ｒｄにおける圧力は、図１１から明ら
かなように、風量Ｑと相関関係をもっていることに起因
する。

【００２２】実施例の清浄作業台は、上記の如く、差圧
計７が第２のフィルタ５の入気面側の圧力と外気の圧力
との差圧によってダクトＢの抵抗曲線Ｒｄにおける圧力
を検出するようにダクトＢに取付けられるので、その検
出圧が示されると、第２送風機６の特性と無関係とな
り、第２のフィルタ５の交換時期か否かを容易に判断す
ることができる。

【００２３】その結果、現地に設置されている第２送風
機６の特性が異なっている場合は勿論の他、例え所定の
送風機６と同一であってかつ電圧降下等が起こっても、
差圧計７がそれら拘わらず常に表示できるので、第２の
フィルタ５の目詰まりによる交換時期を正確に表示する
ことができる。

【００２４】また図示実施例では、差圧計７の他方が大
気の圧力を測定し得るように大気に配置されることによ
り、差圧計７を一方のみの配管で済ませることができ、
それだけ差圧計７の取付けが容易となる。さらに、万一
第２のフィルタ５が外れている場合、風量Ｑが所定の風
量より大きくなるので、差圧計７の指示値も異常に大き
くなる結果、第２のフィルタ５の取付け具合の良否も判
断することが可能となる等の利点がある。

【００２５】図２は本発明の第２の実施例を示す断面図
である。この場合は、ダクトＢが、作業空間Ａを通る空
気及び外気を取り込む第１ダクト部Ｂ１と、該第１ダク
ト部Ｂ１内の空気を送風機１によって強制的に送り込む
第２ダクト部Ｂ２とで構成し、また第１送風機１が作業
空間Ａ内の空気を吸い込むように構成したものに適用し
ている。なお、第２ダクト部Ｂ２の下流側は第１，第２
のフィルタ２，５に連絡されている。

【００２６】この実施例では、前記差圧計７の一方が、
送風機１の吸込側である第１ダクト部Ｂ１に配管される
と共に、その他方が外気に配管され、差圧計７が第１ダ
クト部Ｂ１内の圧力と外気の圧力との差圧を測定するこ
とによってダクトＢの圧力を検出するように構成してい
る。

【００２７】従って、この実施例によれば、前記第１の
実施例と同様に、ダクトＢの圧力を検出することによっ
て第２のフィルタ５の交換時期を、送風機６の特性や電
圧降下等に左右されることなく正確に表示でき、また、
第１送風機１が作業空間Ａ内の空気を吸い込むので、建
屋ダクトＣに第２送風機６がない場合では、第２のフィ
ルタ５の交換時期を表示できる。さらに差圧計７の一方
が第１ダクト部Ｂ１に配管することによって差圧計７の
取付けが容易になると共に、第２のフィルタ５の取付け
具合他の良否を判断できる利点があるのに加え、次に述
べる利点もある。

【００２８】即ち、送風機１の吸込側である第１ダクト
部Ｂ１に差圧計７の一方を配管していること、開閉扉３
の開口部４から第１ダクト部Ｂ１内に有害物質が入り込
んだ場合、第１ダクト部Ｂ１内が外気より負圧となるの
で、差圧計７の一方の検出管７′にピンホールがあって
も、ここから前記有害物質が外部に漏出することを防止
できる。

【００２９】図３は本発明の第３の実施例を示す断面図
である。この実施例は、基本的に第２の実施例と同様で
ある。そして、第２の実施例と異なるのは、第１ダクト
部Ｂ１において送風機１の吸込側に消音チャンバ８が取
付けられ、該消音チャンバ８により差圧計７の一方の検
出管７ａ側の流路抵抗が増加し、圧力損失が大きくなる
ようにしたものである。

【００３０】これにより、差圧計７による指示値の範囲
を大きくすることができるので、検出誤差を減少させる
ことが可能となる。

【００３１】図４は本発明の第４の実施例を示してい
る。この実施例は、差圧計７の一方７ａが第２のフィル
タ５の入気面側に配管されると共に、その他方７ｂが第
１送風機１の吐出部に配管され、差圧計７が第２ダクト
部Ｂ２における静圧と動圧との両圧を測定するようにし
ている。そして、静圧のみならず、風量Ｑと一義的な関
係がある動圧をも測定することにより、差圧計の指示値
の範囲を大きくでき、それだけ検出誤差を減少し得るよ
うにしている。

【００３２】図５は本発明の第５の実施例を示してい
る。この場合は、ダクトＢの下流側に第１のフィルタ２
に空気を送り込む為の送風機１が設置されている。

【００３３】この実施例において、差圧計７は一方７ａ
が第２のフィルタ５の入気面部に設けられた抵抗板９の
入気面側に配管されると共に、その他方７ｂが前記抵抗
板９の排気面側に配管され、抵抗板９の入気面側と排気
面側との差圧を測定することによってダクトＢの圧力を
検出するようにしている。

【００３４】この実施例によれば、第２のフィルタ５の
入気面部に設けられた抵抗板９の入気面側と排気面側と
に差圧計７が配管されるので、ダクトＢの下流側に送風
機１を設置しているにもかかわらず、建屋ダクトＣに流
れ込む空気のみの圧力を測定できる結果、それだけ第２
のフィルタ５の交換時期をより正確に表示し得る。

【００３５】図６は本発明の第６の実施例を示してい
る。この実施例では、差圧計７の代わりに圧力センサ
７′を用い、該圧力センサ７′の一方がバルブ１０を介
し、ダクトＢ内における第２のフィルタ５の入気面側の
圧力を測定し得るように配管されると共に、その他方が
外気の圧力を測定し得るように配管され、圧力センサ
７′により外気の圧力とダクトＢ内第２のフィルタ５の
入気面側の圧力との差圧を検出するようにしている。そ
して、検出した信号をコントローラ１１に入力し、該コ
ントローラ１１が所定の処理風量の範囲内かどうかを演
算し、所定の範囲を外れた場合、インバータ１２により
第２送風機６を制御し、圧力センサ７′が所定の検出値
となるようにする。所定の範囲内に制御できない場合、
アラーム１３により警報を発するようにしている。従っ
て、実施例では、ダクトＢ内の圧力を検出する圧力セン
サ７′と、該圧力センサ７′からの検出信号に基づき、
インバータ１２を介し第２送風機６を制御するコントロ
ーラ１１と、ダクトＢ内の圧力が所定の範囲から外れた
とき、警報を発するアラーム１３とを有して構成されて
いる。

【００３６】この実施例によれば、圧力センサ７′によ
りダクトＢ内の流路抵抗の変化を検出すると、該検出に
よって風量の変化を検出できるので、現地に設置されて
いる第２送風機６の特性が所定のものと異なっても、こ
れに拘わることなく、風量の変化を正確に確認できる。

【００３７】しかも、圧力センサ７′の検出信号に基づ
き、コントローラ１１が第２送風機６を制御し、ダクト
Ｂ内が所定範囲内の圧力とすることにより、常に一定範
囲内の処理風量を確保することができるので、フィルタ
５の目詰まり状態に拘わらず、病原菌等が外部に漏れる
のを防止することができる。

【００３８】また、圧力センサ７′がバルブ１０を介し
第２のフィルタ５の入気面側に配置されているので、次
の作用効果がある。作業空間Ａ及び第２のフィルタ５の
入気面側は、作業空間Ａで扱われた有害物質で汚染され
ており、有害物質が病原体の場合、作業空間Ａを密閉
後、ホルマリンガス等を充満させて滅菌するが、その
際、ホルマリンガスが、圧力センサ７′の内部に入り込
み、部品を腐食させるおそれがあるので、バルブ１０に
より弁を閉じ、圧力センサ７′へのホルマリンガス等の
侵入を防止することができる。

【００３９】図７は本発明の第７の実施例を示してい
る。この実施例では、第６の実施例と同様、圧力センサ
７′，コントローラ１１，インバータ１２，アラーム１
３が設けられる他、開閉扉３の１を検出する位置センサ
１４も設けられ、該位置センサ１４が開閉扉３の位置を
検出して開閉扉３の開き具合、即ち開口部４の大きさを
検出し、開口部４の大きさに応じインバータ１２が送風
機６を制御するようにしている。従って、開口部４が大
きくなると、送風機６による風量を増加させるので、第
６の実施例に比較し、処理風量をよりいっそう精緻に一
定範囲に確保することが可能となる。

【００４０】図８は本発明の第８の実施例を示してい
る。この場合は、第６，第７の実施例と同様に、圧力セ
ンサ７′，コントローラ１１，アラーム１３が設けられ
る他、建屋ダクトＣにおける送風機６の吸込側と吐出側
とに補助送風機１５及びモータダンパ１６を制御するよ
うに構成されている。

【００４１】この実施例は、ダクトＢにおける風量・圧
力が小さくなることによって圧力センサ７′の検出量が
所望量より下がった場合、前記コントローラ１１が補助
送風機１５及びモータダンパ１６を駆動制御することに
より、処理風量が所望値の範囲に入るよう微調整し得る
ようにしている。さらに、その際、補助送風機１５及び
モータダンパ１６では処理風量の微調整をできなくなっ
た場合、コントローラ１１が送風機１を制御することに
より、作業空間Ａを通過する風量と開口部４から入り込
む外部空気量とをバランスさせ、作業空間Ａを通過する
風量が外部に漏れないようにしている。従って、この実
施例によれば、作業空間Ａを通過する風量が外部に漏れ
ないので、処理風量が小さくなった場合でも、作業空間
Ａを取り扱う菌（特に病原菌）が外部に漏出するのを防
止し得る。

【００４２】

【発明の効果】以上述べたように、ダクト内の圧力を測
定し、ダクト固有の流路抵抗を検出する検出手段と、排
気用の送風機を制御するコントローラと、アラームとを
有し、検出手段によって検出されたダクト固有の流路抵
抗値に基づき、該流路抵抗値と一義的に定まる風量の変
化を検出すると共に、コントローラによる排気用の送風
機の制御時、第１ダクト内を通る空気の風量を一定範囲
内に確保するように構成したので、常に一定範囲内の処
理風量を確保することが可能となる結果、フィルタの目
詰まり状態に拘わらず、作業空間で取扱う菌が外部に漏
出するのを防止し得、風量が一定範囲外にあるとき、ア
ラームの作動によって異常を直ちに知ることができ、安
全性を高め得る効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す断面図。

【図２】本発明の第２の実施例を示す一部省略の断面
図。

【図３】本発明の第３の実施例を示す一部省略の断面
図。

【図４】本発明の第４の実施例を示す一部省略の断面
図。

【図５】本発明の第５の実施例を示す断面図。

【図６】本発明の第６の実施例を示す断面図。

【図７】本発明の第７の実施例を示す断面図。

【図８】本発明の第８の実施例を示す断面図。

【図９】従来の清浄作業台の一構成例を示す断面図。

【図１０】従来の清浄作業台の他の例を示す一部省略の
断面図。

【図１１】第２送風機の変動における風量と圧力との性
能曲線の変化を示す説明図。

【符号の説明】

５…第２のフィルタ、６…第２送風機、７′…検出手
段、１１…コントローラ、１３…アラーム、Ａ…作業空
間、Ｂ…ダクト、Ｃ…建屋ダクト、Ｒｄ…ダクトの抵抗
曲線。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】清浄空気が供給される作業空間と、この
作業空間から排出された空気を浄化して作業空間外へ排
出するフィルタと、上記作業空間と上記フィルタの間に
設けられ、作業空間から排出された空気をフィルタに導
くと共に、通過する空気の風量に対し固有の流路抵抗特
性をもつ第１ダクトと、上記フィルタを通過した空気を
外部に導き、かつ排気用の送風機を設けた第２ダクト
と、上記第１ダクト内を通過する空気の圧力を測定し、
第１ダクト固有の流路抵抗を検出する検出手段と、該検
出手段の検出信号に基づき排気用の送風機を制御するコ
ントローラと、警報を発するアラームとを有し、上記検
出手段によって検出されたダクト固有の流路抵抗値に基
づき、該流路抵抗値と一義的に定まる風量の変化を検出
すると共に、コントローラによる排気用の送風機の制御
時、第１ダクト内を通る空気の風量を一定範囲内に確保
する一方、該空気の風量が一定範囲外にあるとき、コン
トローラがアラームを作動させるように構成したことを
特徴とする清浄作業台。
【請求項２】清浄空気が供給され、かつ開口部を開閉
する開閉扉を設けた作業空間と、この作業空間から排出
された空気を浄化して作業空間外へ排出するフィルタ
と、上記作業空間と上記フィルタの間に設けられ、作業
空間から排出された空気をフィルタに導くと共に、通過
する空気の風量に対し固有の流路抵抗特性をもつ第１ダ
クトと、上記フィルタを通過した空気を外部に導き、か
つ排気用の送風機を設けた第２ダクトと、上記作業空間
の開口部の大きさを検出する開口部用の検出手段と、上
記第１ダクト内を通過する空気の圧力を測定し、第１ダ
クト固有の流路抵抗を検出するダクト用の検出手段と、
該ダクト用及び排気用の各検出手段の検出信号に基づき
排気用の送風機を制御するコントローラと、警報を発す
るアラームとを有し、コントローラは、第１ダクト内を
通る風量を一定範囲内に確保する一方、一定範囲外にあ
るとき、アラームを作動させるように構成したことを特
徴とする清浄作業台。