JPH08293529A - 半導体装置およびその製造方法およびそれを用いた電子装置 - Google Patents
半導体装置およびその製造方法およびそれを用いた電子装置Info
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Abstract
およびそれを用いた電子装置を提供することにある。 【構成】 図7における横方向の小型化は、ポッティン
グ樹脂102の左右両端に接してベースフィルム104
の縦方向の辺の長さよりも長い形状に穿設されたスリッ
ト105´によって第1の実施例等と同様に実現されて
いる。また図7における縦方向の小型化は、出力側のア
ウターリード群107の内側の先端部が、ICチップ3
03の搭載領域402の内側まで、つまりICチップ3
03の下にまで延在するように形成されており、この部
分で外部との接続を取る構造により、実現されている。
Description
造方法およびそれを用いた電子装置に係り、特にTAB
(Tape Automated bonding)実装技術を用いて集積回路
を実装した半導体装置とその製造方法、およびそれを用
いて小型化をさらに進めた液晶表示装置のような電子装
置に関する。
(TAB実装パッケージ)で実装された半導体装置は、
実装面積の小型化が可能な実装方式の半導体装置であ
る。
示されているように、幅広のテープキャリアを使用し、
スプロケットホールを本来のスプロケットホールよりも
内側に形成し、両方のスプロケットホールの間に形成し
たスリットを用いて切断することにより、薄型・小型と
いう利点を得ることができる。
用できるので、工程を煩雑化させることがないので製造
プロセスが簡便で済むという利点もある。
は液晶ドライバICのような超多ピンのICやLSIを
狭ピッチで接続することにより小型のパッケージを実現
することができるという利点がある。
リアパッケージは出力端子数だけでも 200ピン以上とい
った多ピンの液晶ドライバICの接続に好適な実装方式
として一般的に用いられている。その他にも、例えばゲ
ートアレイなど入出力端子数が 200〜 300ピンあるいは
それ以上もの超多ピンのLSIの実装技術として用いら
れている。
のような多ピンの実装形態に好適であることの他にも、
配線パターンの自由度が高いことや、ベースフィルムの
柔軟性を利用してパッケージを折り曲げることが可能で
あることなどの特長を備えている。
い合成樹脂からなる短冊状のベースフィルム(このテー
プ状のベースフィルムを以下キャリアフィルムと呼ぶ)
上にCuなどの金属層を被着し、これをパターニングし
て配線パターンを形成し、多ピンの液晶ドライバICな
どをキャリアフィルム上に搭載し、そのキャリアフィル
ムに設けられた穴から突出したインナーリードに一括接
続し、液晶ドライバICをエポキシなどの合成樹脂で密
封(封止)することで形成されている。
ジ組立工程等で使用するための搬送用スプロケットホー
ルが穿設されており、またテープキャリア上には検査用
パットなども形成されている。そして液晶表示装置の配
線基板上やプリント回路基板上に実装される際には、連
続した短冊状のキャリアフィルムから必要な形状のベー
スフィルムが打ち抜かれて、一個ずつ独立した実装パッ
ケージとして使用される。
ジの一例を図11の平面図および図12の断面図に示
す。なお図11(a)は、図12の断面図にa−sid
eとして示した側から見た平面図であり、図11(b)
は、図12の断面図にb−sideとして示した側から
見た平面図である。
成樹脂製のキャリアフィルム1001上に、Cu等の導
体層をエッチング等によりパターニングして導体パター
ン1002が形成されている。
ICチップ1004よりも少し大きめの大きさに、IC
チップ1004を収容する部分のキャリアフィルム10
01に穿設されている。
ICの入出力端子との接続をとるための電極であるイン
ナーリード1005が突出するように形成されている。
は、Au等で作られた突起電極状のバンプ1006aが
形成されている。このICチップ1004側のバンプ1
006aとインナーリード1005とは、一般に熱圧着
によって接続される。
るアウターリード1007は、ICチップ1004上の
バンプ1006bからポッティング樹脂1008の外側
のTAB実装パッケージの外周部すなわち金型打ち抜き
外形線にかけて延在するパターンとして形成されてい
る。なおICチップ1004を搭載した部分は、そのI
Cチップ1004自体やインナーリード1005やバン
プ1006a,1006b等の保護のために、前述のエ
ポキシ樹脂などを用いて形成されたポッティング樹脂1
008で封止されている。
構造のTAB実装パッケージ1010は、その接続電極
1011で液晶表示パネル1009側の接続端子(図1
3においては図示省略)と接続される。この接続は一般
に異方性導電接着剤1012を使用して加熱・加圧する
ことで行なわれる。
10は、図14に示すように、アウターリード1007
の先端部の接続電極1013にて駆動回路基板1014
と接続される。この接続は一般に、ペースト状のクリー
ムはんだと呼ばれるような印刷可能なはんだ1015等
を用いて、例えばリフロー法などにより行なわれる。駆
動回路基板1014は、液晶表示パネル1009の外周
部に配置されており、複数のTAB実装パッケージ10
10に電源電圧や同期パルスなどを供給するための配線
や回路系が形成されている。
よりも外側の部分、いわゆる画面の額縁部分の寸法を、
さらに小型化するための努力が試行されている。図1
3、図14に示すように、ICチップ1004が実装さ
れたTAB実装パッケージ1010を、その長手方向の
辺が液晶表示パネルの画面表示領域の周縁部の辺に平行
となるように配置することが一般的に行なわれている。
そしてこれに好適ないわゆるスリムICの使用が多くお
こなわれており、幅 1mm前後といった極めて狭幅で長
い外形の液晶ドライバ用ICなども使用されている。
は、TAB実装パッケージ1010と液晶表示パネル1
009との接続を、アウターリード1007の先端の接
続電極部1013の部分で行なっている。従って、ポッ
ティング樹脂1008やアウターリード1007などで
かなり大きな面積が別に必要であることに加えて、接続
電極部1013の部分の面積も別に必要であるため、た
とえ飛躍的に狭幅なスリムICをICチップ1004と
して使用しても、液晶表示パネル1006の周縁部から
外側の領域のいわゆる液晶表示装置の額縁部分の面積の
小型化ができないという問題がある。
ネルの画面周囲の額縁部分の面積の小型化ができないと
いう問題があった。
0の狭幅方向の小型化についての問題であったが、これ
に加えて、TAB実装パッケージ1010の長手方向の
辺の長さについても小型化が必要である。
はさらに進んでおり、テープキャリアパッケージ自体も
それに対応してさらに小型化しなければならなくなって
きた。 しかしながら、従来のテープキャリアパッケー
ジの技術では、この長手方向の小型化も困難であるとい
う問題がある。
ら所要の部分を金型打ち抜き外形線1016に沿って打
ち抜いて、一つ一つのTAB実装パッケージ1010を
得る。その打ち抜きの際に、ポッティング樹脂1008
に金型が当たると、その部分のポッティング樹脂100
8にクラック(ひび割れや欠損)が発生して実装パッケ
ージとして不良となる。何となれば、そのクラックの部
分から空気中の水分や酸素や塵埃などが内部に侵入して
しまい、封止樹脂内に密封されているはずのICチップ
1004が水分や酸素に侵されてしまい動作不良等をひ
きおこすからである。
ラックを避けるために、従来は、ICチップ1004の
封止樹脂の位置的なばらつきや、打ち抜きの際のばらつ
きあるいは打ち抜き用金型の刃の打ち抜きマージン等を
見込んで、一つの実装パッケージとして打ち抜く領域の
面積を、最低必要面積よりもかなり大きく取って設計し
てある。
刃の落とし込みの精度や部材の出来上がり精度などに対
応して、少なくとも約 1mm幅以上もの余分な領域をカ
ットラインの両側に取らなければならない。小型化がさ
らに厳しく要求される実装パッケージにおいては、その
ベースフィルムの四辺全部に 1mm幅程度と言えども、
余分に取ると、その合計の面積増大分は極めて大きく深
刻な問題となる。
01がずれないように物理的に押える領域も必要であ
り、このための面積もさらに見込んでさらに大きめに設
計しなければならない。
トラインと呼ばれる金型打ち抜き外形線1016が定め
られる。このような金型打ち抜き外形線1016にて一
個ずつに打ち抜かれたベースフィルムおよびその上に設
けられたICチップ1004やポッティング樹脂100
8が、一個の独立した実装パッケージとして残るのであ
る。従って、この金型打ち抜き外形線1016内のベー
スフィルムの面積はテープキャリアパッケージの外形寸
法を実質的に決定付けるので、上記のように必要な面積
よりも大幅に大きなものとなり、TAB実装パッケージ
1010の小型化の大きな妨げとなるという問題があ
る。。
テープキャリアパッケージ方式の実装パッケージにおい
ては、その外形を縦方向(長手方向)にも横方向(狭幅
方向)にも小型化することが困難であるという問題があ
った。そしてこのような実装パッケージで実装された半
導体装置を用いた液晶表示装置のような電子装置の小型
化も困難であるという問題があった。
に成されたもので、その目的は、液晶表示装置に用いら
れる液晶ドライバIC、あるいは入出力端子数の極めて
多い例えばゲートアレイのようなLSI等を極めて小型
に実装した半導体装置を提供することにある。またその
ような小型の実装形態の半導体装置を用いて、電子装置
全体としてのさらなる小型化を実現した液晶表示装置の
ような電子装置を提供することにある。
半導体装置は、第1に、テープキャリアの一主面側に搭
載された複数のICチップと、該各ICチップから前記
ベースフィルムの一辺へと導出されたパターンとして形
成された導電性のリードパターンと、前記各ICチップ
の少なくとも前記リードパターンに接続する部分を含む
一主面上を被覆して封止する封止部材とを備えており前
記テープキャリア上に形成された半導体装置において、
前記テープキャリアには、前記各ICチップの前記リー
ドパターンが導出された一辺に対して交差する方向の他
辺に沿って穿設されたスリットであって前記封止部材で
封止された領域の輪郭線と実質的に接しているスリット
が穿設されていることを特徴とする半導体装置である。
リアから切断して一つ一つの実装パッケージとし、これ
を電子素子を有する回路基板に接続して用いたのが、本
発明に係る電子装置である。
方式で実装する場合、その長手方向の辺に接続端子とし
て上記のリードパターンの端部を列設するが、その長手
方向のベースフィルムの大きさを実質的に封止部材の大
きさと殆ど同じまでに小型化することができ、実装パッ
ケージとしての外形寸法のさらなる小型化を実現でき
る。
封止部材(ポッティング樹脂)の表面張力などによる形
成誤差の範囲内で接している、という意味である。何故
なら、封止部材は一般にエポキシ樹脂のような合成樹脂
材料で形成されるので、この流動的な合成樹脂材料をI
Cチップ上にポッティングし硬化させる際に、その表面
張力などにより封止部材の端辺はベースフィルムの縁の
一辺から若干ずれる場合もあるからである。しかしこの
ずれは極めて小さいものであり、また本発明の趣旨から
して無視できる誤差程度のものである。したがってこの
ような誤差も含めるために上記のように「実質的」と記
述した。これは、請求項および実施例を含む本願明細書
の全体に適用するものである。
郭線と接している部分を含んでこのICチップの一辺よ
りも長いスリットであって、このスリットの前記前記封
止領域の輪郭線と接している辺は、前記封止部材と接し
ている部分よりも接していない部分の方が前記ICチッ
プの側に向かって広い幅に形成されたスリットであるよ
うにしてもよい。これを採用することにより、スリット
に対応する部分を金型で切断しなくともベースフィルム
を切断することができる。
要がなくなるので、その分の面積をさらに小型化できる
という利点がある。
に、テープキャリア又はそれを切断してなるベースフィ
ルムの一主面側に搭載されたICチップと、該ICチッ
プが搭載された搭載領域を間に挟んで両側に互いに間隔
を隔てて配置され前記ICチップに接続された導電性の
第1のリード群および第2のリード群とを備えた半導体
装置において、前記第1のリード群および第2のリード
群のうち少なくとも一方のリード群は、前記搭載領域の
内側まで延在するリードパターンとして形成されてお
り、かつ該リードパターンは、外部との接続を取るため
の露出部を少なくとも前記搭載領域の内側の部分に備え
ていることを特徴としている。
めのリードパターンの露出部を、ICチップが搭載され
た搭載領域の内側に、ほとんどICチップ重なるように
配置することで、この部分の実装パッケージとしての面
積を、従来よりも飛躍的に小型化することができる。つ
まりICチップの長手方向と交差する方向の、狭幅方向
における実装パッケージとしての幅を飛躍的に小型化す
ることができるのである。一例として実際に30%以上も
の面積を小型化できることを本発明者は確認したまた、
本発明に係る電子装置は、上記の半導体装置を用いて装
置全体としても小型化を実現した電子装置である。
に、上記の第1および第2に述べた技術を併せ用いた半
導体装置である。即ち、半導体装置の実装パッケージと
しての外形寸法を、ICチップの長手方向および狭幅方
向の両方向に対していずれも小型化した半導体装置であ
る。
法、およびそれを用いた電子装置である液晶表示装置の
実施例を、図面に基づいて詳細に説明する。
1の実施例の半導体装置の構造の概要を示す図である。
キャリアテープ101の上には、 2mm×10mmのLS
I(樹脂封止されているので図示省略)が搭載されてい
る。そのLSIは黒色の封止用エポキシ樹脂からなるポ
ッティング樹脂102で封止されており、その封止領域
は最大 6mm×14mmである。
搭載領域上に搭載され、さらにこのLSIがポッティン
グ樹脂102で封止された後に、図示されない金型を用
いてカットライン103に沿って打ち抜かれて、そのカ
ットライン103内の一個の独立したベースフィルム1
04に形成されたTAB実装パッケージとなる。
よりも以前に、LSIの短辺(狭幅方向、つまり図中縦
方向)と平行な方向であってその樹脂封止領域の左右両
端に沿ってスリット105が形成されている。そのスリ
ット105大きさは 0.6mm×10mmである。
グ樹脂102で封止される封止領域の狭幅方向(図中縦
方向)の左右 2辺に接する部分のカットライン103
は、キャリアテープ101に穿設されたスリット105
によって既にカットされた状態になっているので、この
部分は打ち抜く必要がない。
幅方向(図中縦方向)の左右 2辺は、キャリアテープ1
01に穿設されたスリット105によって封止樹脂の左
右方向の延進が制御されて、すでに必要にして十分な寸
法の外形に形成されている。従ってこの部分には打ち抜
きの際の金型の刃に対応した打ち抜きマージンやベース
フィルム104を押さえるための従来の余分な面積のベ
ースフィルム104が必要なくなる。
ッケージ方式においては、少なくとも上記の余分な面積
の分、実装パッケージとして小型化することができる。
105をキャリアテープ101の出力領域まで延長した
長さに穿設して、金型による打ち抜きをTAB実装パッ
ケージの入力側のアウターリード群106が列設された
側と、出力側のアウターリード群107が列設された側
との 2つの長辺(図1(b)でベースフィルム104の
上下両辺)のみとすることも可能である。
により、TAB実装パッケージの入出力端子が列設され
ていない 2辺(図1(b)中で左右両辺)は金型で打ち
抜く必要がなくなる。従って、図1(a)に示したよう
な左右両端にも一部打ち抜きが必要な部分が存在するカ
ットライン103で打ち抜く場合よりも、その金型によ
る打ち抜きマージンやベースフィルム104を押さえる
ための面積を不要とすることができる分、ベースフィル
ム104の外形寸法をさらに小型化することができる。
施例の半導体装置の構造の概要を示す図である。なお、
図2においては、第1の実施例で説明した部位と同様の
部位については、図1と同じ符号を付して示している。
105を図1中の縦方向にほぼ直線的な外形に穿設した
場合について示した。この第2の実施例においては、ス
リット105はポッティング樹脂102の端部(コーナ
ー部分)に対応する図2中に符号Aで示した部分の幅
が、ポッティング樹脂102のコーナーに沿ってベース
フィルム104の内側向きに 0.7mmに広がった形状に
穿設したことを特徴としている。
打ち抜く際に、カットライン201をスリット202
a、bの狭い方の幅つまり 0.6mm幅の延長線と一致さ
せることにより、このテープキャリアパッケージの縦方
向の外形寸法を封止領域23の最外郭と一致させること
ができる。その結果、実装パッケージとしての外形寸法
をさらに小型化することができる。
施例の半導体装置の、ICチップを搭載する以前のテー
プキャリアの状態に置ける構造の概要を示す図である。
図4(a)はこのテープキャリア302にICチップ3
03を搭載し、ポッティング樹脂102で封止した状態
を示す平面図である。
(c)はそのC−C´断面図である。なお図3、図4に
おいては、第1の実施例および第2の実施例で述べた部
位と同様の部位については、図1、図2と同じ符号を付
して示している。
おいては、左右 2本のスリットを互いに連結することな
く、ポッティング樹脂を間に置いてその両側に穿設した
別の2本のスリットとした場合について示した。この第
3の実施例においては、第2の実施例で示した左右 2本
のスリット202a,202bを、その間に穿設された
デバイスホール301を介して連結したことを特徴とし
ている。
303の外形寸法は 2mm×10mmである。このLSI
303の外形寸法に対応して、デバイスホール301の
大きさが設定される。そのデバイスホール301からL
SIの長手方向(図3中横方向)の 1辺までの距離は約
0.3mmである。つまりデバイスホール301の縦方向
の幅は約 2.6mmである。
も、上記の第2の実施例の場合と同様に、実装パッケー
ジとしての外形寸法をさらに小型化することができる。
4の実施例の半導体装置のICチップが搭載された側、
図5(b)はその裏側の、構造の概要を示す平面図であ
り、図6はその断面図である。なお、図5、図6におい
ては、上記の第1〜第3の実施例で説明した部位と同様
の部位については、図1〜4と同じ符号を付して示して
いる。
は、所定の搭載領域402の上に搭載されるICチップ
303の接続用のバンプ403に対応する位置ごとに、
開口404が穿設されている。この開口404は、キャ
リアフィルム401の該当部分にフォトエッチングある
いはレーザー加工を施して穿設することができる。
力側のアウターリード群107は、キャリアフィルム4
01のICチップ303が搭載される主面とは裏側の主
面に形成される。
ップ303寄りの先端部は、搭載領域402の内側にま
で延在して配置されている。この搭載領域402の内側
に延在する部分のアウターリード群107のパターン
は、外部との接続を取るために、封止樹脂やはんだレジ
スト層等で覆われずに露出するように形成されている。
ーリード群106はフォトエッチングでパターニングさ
れる。
プ303との間およびICチップ303のバンプ403
が形成された主面とは反対側の主面全体を覆うように、
封止樹脂をポッティングしてポッティング樹脂102が
形成されている。
プ303の外部にさらされる部分およびバンプ403周
辺の接続部分を保護するためのものである。
パッケージの製作方法は以下の通りである。
フィルムは厚さ25μmのものを用いた。初めにこのポリ
イミドフィルムの片面にCuを蒸着法で 0.2μm程度の
厚さに被着させて、導体層を形成する。
し、レジストの露光と現像を行なって、アウターリード
群107およびアウターリード群106に対応したパタ
ーンのレジストパターンを形成する。そしてレジストの
無い部分にCu層を電解めっき法によって被着する。本
実施例では18μmの厚さに形成した。
に対応する部分に開口404を穿設する。この開口40
4は、アウターリード群107の直下に該当する部分に
レジストでバンプ403に対応したパターンを形成し、
このレジストを用いてポリイミドフィルムにエッチング
を行なってバンプ403に対応する部分のポリイミドフ
ィルムを除去することで穿設することができる。
層等が形成されたポリイミドフィルム全体をエッチング
液に浸して、はじめに蒸着したCuを除去することで、
テープキャリアが完成する。
て、Cu表面には各種の金属のめっきを施し、その上に
ソルダーレジスト等を塗布することも可能である。
ィルム401の搭載領域402にICチップ303を搭
載する。本実施例においてはICチップ303のバンプ
403を高さ40μmのはんだバンプとし、テープキャリ
アとの接続は、はんだ付けによって行なった。
ップ303との間およびICチップ303のバンプ40
3が形成された主面とは反対側の主面全体を覆うよう
に、封止樹脂をポッティングしてポッティング樹脂10
2を形成する。このポッティング樹脂102は、ICチ
ップ303の外部に晒される部分およびバンプ403周
辺の接続部分を保護するために設けられる。
は、この他にも、ACF(異方性導電接着剤)を用いる
方法や、Agペーストなどの導電性接着剤を用いる方法
などもある。いずれの搭載方法を採用してもよい。
られる)上にSn又ははんだめっきを施し、ICのバン
プ電極をAuとして、これらの共晶接続を利用する方法
を用いても良い。
施例の半導体装置の構造の概要を示す平面図である。な
お、図7においては、上記の第1〜第4の実施例で説明
した部位と同様の部位については、図1〜6と同じ符号
を付して示している。
パッケージとしての縦方向および横方向を共に小型化し
た場合について示す。即ち、図7中でTAB実装パッケ
ージの実質的な外形寸法を決定するベースフィルム10
4の縦横両方向に小型化を実現させた。これは、第1〜
第3の実施例で示した横方向の小型化技術と第4の実施
例で示した縦方向の小型化技術とを、一つの半導体装置
の実装パッケージに併せ用いたもので、本発明に係る半
導体装置として最良の態様の実施例である。
ッティング樹脂102の左右両端に接してベースフィル
ム104の縦方向の辺の長さよりも長い形状に穿設され
たスリット105´によって第1の実施例等と同様に実
現される。また図7における縦方向の小型化は、出力側
のアウターリード群107の内側の先端部が、ICチッ
プ303の搭載領域402の内側まで、つまりICチッ
プ303の下にまで延在するように形成されており、こ
の部分で外部との接続を取る構造により、実現される。
にも小型化することができ、半導体装置の実装パッケー
ジとしての小型化を従来よりも飛躍的に小型化すること
ができる。
は、本発明による半導体装置を液晶表示パネルに実装し
て小型の電子装置として液晶表示装置を形成した場合の
一例を示す。
晶表示装置を示す斜視図である。図9は特にその液晶表
示装置における半導体装置の実装方式を中心として示す
図である。
晶表示パネルと同様のものである。その液晶表示パネル
601の下側の基板の周縁部602には、Al薄膜のよ
うな金属薄膜からなる短冊状の接続用電極端子603が
形成されている。この接続用電極端子603の上に、上
記の第5の実施例で示した半導体装置のアウターリード
107の接続用に露出した部分を位置合わせした後、A
CF(異方性導電接着剤)604を介して接続用電極端
子603とアウターリード群107とをそれぞれ電気的
および機械的に接続する。
力側のアウターリード106は上記の各実施例と同様に
ICチップ303の周辺部よりも外側に引き出して形成
しておいたので、この入力側のアウターリード106は
液晶表示パネル601の外側に突出する。この部分を用
いて、駆動回路基板605との接続を行なう。
ており駆動回路基板605に至る間のアウターリード1
06は、金属製であることから折り曲げることができ
る。そこで、図10に示すように、アウターリード10
6をその先に接続された駆動回路基板605と共に液晶
表示パネル601の表示側とは反対の裏側に向かって折
り曲げる。このようにすれば、液晶表示パネル601の
表示画面の表示領域の外側の額縁部分の面積を実質的に
ほとんど無くすことができる。何となれば、そのように
折り曲げることにより、駆動回路基板605の面積は液
晶表示パネル601の背面あるいはその背後のバックラ
イト(図示省略)の厚さのなかに吸収することができる
からである。
群106、107のうち少なくとも一方は、ICチップ
の平行して相対する 2つの長辺のそれぞれから導出され
たパターンとして、例えば図15に示すような千鳥状配
置に形成してもよい。あるいはさらに、図16に示すよ
うに、ICチップ303の縦方向の辺からもリード、I
Cチップの一辺に配列される接続バンプの密度を低く抑
えることができ、接続を容易化することができる。
発明によれば、入出力端子数の極めて多い例えば液晶表
示装置に用いられる液晶ドライバICやゲートアレイの
ようなLSI等を極めて小型に実装することができる。
また、それを用いて、電子装置全体としてのさらなる小
型化を実現した液晶表示装置のような電子装置を提供す
ることができる。
の概要を示す図である。
の概要を示す図である。
Cチップを搭載する以前のテープキャリアの状態に置け
る構造の概要を示す図である。
載し、ポッティング樹脂102で封止した状態を示す平
面図である。
の概要を示す平面図である。
の概要を示す断面図である。
の概要を示す平面図である。
示す斜視図である。
実装方式を中心として示す図である。
駆動回路基板605と共に液晶表示パネル601の表示
側とは反対の裏側に向かって折り曲げた状態を示す図で
ある。
導体装置を示す図である。
導体装置を示す図である。
導体装置を用いた液晶表示装置を示す図である。
導体装置を用いた液晶表示装置の特に半導体装置の実装
部分を示す図である。
出された方式のICチップに本発明を適用した場合を示
す図である。
出され、かつ短辺側からもリードが導出された方式のI
Cチップに本発明を適用した場合を示す図である。
グ樹脂、103………カットライン、104………ベー
スフィルム、105………スリット、106………入力
側のアウターリード群、107………出力側のアウター
リード群
Claims (28)
- 【請求項1】 ベースフィルムの一主面側に搭載された
ICチップと、該ICチップから前記ベースフィルムの
一辺へと導出されたパターンとして形成された導電性の
リードパターンと、前記ICチップの少なくとも前記リ
ードパターンに接続する部分を含む一主面上を被覆して
封止する封止部材とを備えた半導体装置において、 前記ベースフィルムの前記リードパターンが導出された
一辺とは異なり前記一辺に対して交差する方向の他辺
が、前記封止部材で封止された領域の輪郭線と実質的に
接するように前記ベースフィルムの外形線が形成されて
いることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項2】 ベースフィルムの一主面側に搭載された
ICチップと、該ICチップから前記ベースフィルムの
一辺へと導出されたパターンとして形成された導電性の
リードパターンと、前記ICチップの少なくとも前記リ
ードパターンに接続する部分を含む一主面上を被覆して
封止する封止部材とを備えた半導体装置において、 前記ICチップの前記リードパターンが導出された一辺
とは異なり前記一辺に対して交差する方向の他辺が、前
記封止部材で封止された領域の輪郭線と実質的に接する
ように形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項3】 テープキャリアの一主面側に搭載された
複数のICチップと、該各ICチップから前記ベースフ
ィルムの一辺へと導出されたパターンとして形成された
導電性のリードパターンと、前記各ICチップの少なく
とも前記リードパターンに接続する部分を含む一主面上
を被覆して封止する封止部材とを備えており前記テープ
キャリア上に形成された半導体装置において、 前記テープキャリアには、前記各ICチップの前記リー
ドパターンが導出された一辺に対して交差する方向の他
辺に沿って穿設されたスリットであって前記封止部材で
封止された領域の輪郭線と実質的に接しているスリット
が穿設されていることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項4】 請求項3記載の半導体装置において、 前記スリットは、前記封止領域の輪郭線と接している部
分を含んで該ICチップの一辺よりも長いスリットであ
って、該スリットの前記封止領域の輪郭線と接している
辺は、前記封止部材と接している部分よりも接していな
い部分の方が前記ICチップの側に向かって広い幅に形
成されたスリットであることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項5】 請求項3記載の半導体装置において、 前記テープキャリアには、前記ICチップを配置するた
めの空所であって前記スリットと一体につながった空所
であるデバイスホールが穿設されていることを特徴とす
る半導体装置。 - 【請求項6】 請求項4記載の半導体装置において、 前記テープキャリアには、前記ICチップを配置するた
めの空所であって前記スリットと一体につながった空所
であるデバイスホールが穿設されていることを特徴とす
る半導体装置。 - 【請求項7】 ベースフィルムの一主面側に搭載された
ICチップと、該ICチップから前記ベースフィルムの
一辺へと導出されたパターンとして形成された導電性の
リードパターンと、前記ICチップに対応して形成され
たはんだレジスト層とを備えた半導体装置において、 前記ベースフィルムの前記リードパターンが導出された
一辺とは異なり前記一辺に対して交差する方向の他辺
が、前記はんだレジスト層が形成された領域の輪郭線と
実質的に接するように形成されていることを特徴とする
半導体装置。 - 【請求項8】 テープキャリアの一主面側に搭載された
複数のICチップと、該各ICチップから前記ベースフ
ィルムの一辺へと導出されたパターンとして形成された
導電性のリードパターンと、前記各ICチップに対応し
て形成されたはんだレジスト層とを備えてテープキャリ
ア上に形成された複数の半導体装置において、 前記テープキャリアには、前記各ICチップの前記リー
ドパターンが導出された一辺に対して交差する方向の他
辺に沿って穿設されたスリットであって前記はんだレジ
スト層が形成された領域の輪郭線と実質的に接している
スリットが穿設されていることを特徴とする半導体装
置。 - 【請求項9】 請求項8記載の半導体装置において、 前記スリットは、前記ICチップと接している部分を含
んで該ICチップの一辺よりも長いスリットであって、
該スリットの前記ICチップと接している辺は、前記は
んたレジスト層の形成領域と接している部分よりも接し
ていない部分の方が前記ICチップの側に向かって広い
幅に形成されたスリットであることを特徴とする半導体
装置。 - 【請求項10】 ベースフィルムの一主面側に搭載され
たICチップと、該ICチップから前記ベースフィルム
の一辺へと導出されたパターンとして形成された導電性
のリードパターンと、前記ICチップの少なくとも前記
リードパターンに接続する部分を含む一主面上を被覆し
て封止する封止部材とを有する半導体装置と、該半導体
装置に接続されて駆動される電子素子を有する回路基板
とを備えた電子装置において、 前記ベースフィルムの前記リードパターンが導出された
一辺とは異なり前記一辺に対して交差する方向の他辺
が、前記封止部材で封止された領域の輪郭線と実質的に
接するように前記ベースフィルムの外形線が形成されて
いる半導体装置を具備することを特徴とする電子装置。 - 【請求項11】 ベースフィルムの一主面側に搭載され
たICチップと、該ICチップから前記ベースフィルム
の一辺へと導出されたパターンとして形成された導電性
のリードパターンと、前記ICチップの少なくとも前記
リードパターンに接続する部分を含む一主面上を被覆し
て封止する封止部材とを有する半導体装置と、該半導体
装置に接続されて駆動される電子素子を有する回路基板
とを備えた電子装置において、 前記ICチップの前記リードパターンが導出された一辺
とは異なり前記一辺に対して交差する方向の他辺が、前
記封止部材で封止された領域の輪郭線と実質的に接する
ように形成されていること半導体装置を具備することを
特徴とする電子装置。 - 【請求項12】 ベースフィルムの一主面側に搭載され
たICチップと、該ICチップから前記ベースフィルム
の一辺へと導出されたパターンとして形成された導電性
のリードパターンと、前記ICチップに対応して形成さ
れたはんだレジスト層とを備えた半導体装置と、該半導
体装置に接続されて駆動される電子素子を有する回路基
板とを備えた電子装置において、 前記ベースフィルムの前記リードパターンが導出された
一辺とは異なり前記一辺に対して交差する方向の他辺
が、前記はんだレジスト層が形成された領域の輪郭線と
実質的に接するように形成されていること半導体装置を
具備することを特徴とする電子装置。 - 【請求項13】 テープキャリア又はそれを切断してな
るベースフィルムの一主面側に搭載されたICチップ
と、該ICチップが搭載された搭載領域を間に置いてそ
の両側に互いに間隔を隔てて配置され前記ICチップに
接続された導電性の第1のリード群および第2のリード
群とを備えた半導体装置において、 前記第1のリード群および第2のリード群のうち少なく
とも一方のリード群は、前記搭載領域の内側まで延在す
るリードパターンとして形成されており、かつ該リード
パターンは、外部との接続を取るための露出部を少なく
とも前記搭載領域の内側の部分に備えていることを特徴
とする半導体装置。 - 【請求項14】 請求項13記載の半導体装置におい
て、 前記露出部を有するリードパターンは、外部との接続を
取るための露出部を前記搭載領域の内側の部分に備えて
おり、その外側には実質的には備えていないことを特徴
とする半導体装置。 - 【請求項15】 請求項13記載の半導体装置におい
て、 前記ICチップは実質的に長方形であり、 前記第1のリード群および第2のリード群の少なくとも
一部のリードは、前記ICチップの長辺側だけでなく短
辺側からも導出されたパターンとして形成されているこ
とを特徴とする半導体装置。 - 【請求項16】 請求項13記載の半導体装置におい
て、 前記ICチップは実質的に長方形であり、 前記第1のリード群および第2のリード群の少なくとも
一部のリードは、前記ICチップの平行して相対する 2
つの長辺のそれぞれから導出されたパターンとして形成
されていることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項17】 請求項13記載の半導体装置におい
て、 前記搭載領域の内側まで延在するリードパターンと前記
ICチップとの間には、前記テープキャリア又はそれを
切断してなるベースフィルムが挟持されていることを特
徴とする半導体装置。 - 【請求項18】 請求項17記載の半導体装置におい
て、 前記搭載領域の内側まで延在するリードパターンと前記
ICチップとの間に挟持されたテープキャリア又はそれ
を切断してなるベースフィルムには、前記ICチップと
前記リードパターンとの接続を取るための開口が穿設さ
れていることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項19】 請求項18記載の半導体装置におい
て、 前記ベースフィルムには、開口として前記ICチップと
前記リードパターンとの接続を取るための開口のみが穿
設されていることを特徴する半導体装置。 - 【請求項20】 請求項18記載の半導体装置におい
て、 前記開口は、前記ICチップの外部との接続を取るため
の接続電極の位置に対応したスリットとして形成されて
いることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項21】 請求項13記載の半導体装置におい
て、 前記搭載領域には封止部材が配設されて該封止部材によ
って前記ICチップが封止されており、 前記リードパターンのうち少なくとも前記搭載領域の内
側の部分は、該部分で外部との接続を取るために、前記
封止部材では覆われておらず露出していることを特徴と
する半導体装置。 - 【請求項22】 ベースフィルムの一主面側に搭載され
たICチップと、該ICチップが搭載された搭載領域を
間に置いてその両側に互いに間隔を隔てて配置され前記
ICチップに接続された導電性の第1のリード群および
第2のリード群とを有する半導体装置と、該半導体装置
に接続されて駆動される電子素子を有する回路基板とを
備えた電子装置において、 前記第1のリード群および第2のリード群のうち少なく
とも一方のリード群は、前記搭載領域の内側まで延在す
るリードパターンとして形成されており、かつ該リード
パターンは、外部との接続を取るための露出部を少なく
とも前記搭載領域の内側の部分に備えていることを特徴
とする半導体装置。 - 【請求項23】 ベースフィルムの一主面側に搭載され
たICチップと、該ICチップが搭載された搭載領域を
間に置いてその両側に互いに間隔を隔てて配置され前記
ICチップに接続された導電性の第1のリード群および
第2のリード群とを有する半導体装置と、該半導体装置
の前記第1のリード群および第2のリード群のうち少な
くとも一方の少なくとも一部のリードに接続されて駆動
される液晶表示パネルと、前記一部のリードとは異なる
リードに接続される回路基板とを備えた電子装置におい
て、 前記半導体装置の第1のリード群および第2のリード群
のうち少なくとも一方のリード群は前記搭載領域の内側
まで延在するリードパターンとして形成されており、該
リードパターンは少なくとも前記搭載領域の内側の部分
に露出部を備えて該露出部で前記液晶表示パネルと接続
されており、前記半導体装置の前記リードパターンとは
異なる他方のリード群は前記回路基板に接続されている
ことを特徴とする電子装置。 - 【請求項24】 請求項23記載の電子装置において、 前記回路基板と前記半導体装置とを接続するリード群
は、前記液晶表示パネルよりも外側の部分で該液晶表示
パネルの表示面とは反対側の裏面の方向へと折り曲げら
れていることを特徴とする電子装置。 - 【請求項25】 テープキャリアの一方の主面上に、I
Cチップが搭載される搭載領域を間に置いてその両側に
互いに間隔を隔てて配置され前記ICチップに接続され
る導電性の第1のリード群および第2のリード群であっ
て、そのうちの少なくとも一方のリード群は前記搭載領
域の内側まで延在するリードパターンとして形成する工
程と、 前記ICチップの外部との接続を取るための接続電極に
対応する位置に開口を穿設する工程と、 前記テープキャリアの前記一方の主面とは異なる他方の
主面上の、前記搭載領域に対応する位置に前記ICチッ
プを搭載する工程と、 前記ICチップの接続電極と前記第1のリード群および
前記第2のリード群とをそれぞれ接続する工程と、 前記ICチップの動作を、前記第1のリード群および前
記第2のリード群を用いて検査する工程と、 前記第1のリード群および前記第2のリード群のうち、
前記リードパターンとして形成された方のリード群を前
記ICチップの輪郭線に沿った部分で切断する切断線を
含む切断線で切断して、前記テープキャリアから一つ一
つのベースフィルムごとに形成された半導体装置を得る
工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 【請求項26】 ベースフィルムの一主面側に搭載され
封止部材で封止されたICチップと、該ICチップが搭
載された搭載領域を間に置いてその両側に互いに間隔を
隔てて配置され前記ICチップに接続された導電性の第
1のリード群および第2のリード群とを備えた半導体装
置において、 前記第1のリード群および第2のリード群のうち少なく
とも一方のリード群は、前記搭載領域の内側まで延在す
るリードパターンとして形成されており、かつ該リード
パターンは、外部との接続を取るための露出部を少なく
とも前記搭載領域の内側の部分に備えており、 かつ前記ベースフィルムの前記リードパターンが接続さ
れて導出された一辺とは異なり前記一辺に対して交差す
る方向の他辺が、前記封止部材で封止された領域の輪郭
線と実質的に接するように前記ベースフィルムの外形線
が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 【請求項27】 テープキャリアの一主面側に搭載され
封止部材で封止されたICチップと、該ICチップが搭
載された搭載領域を間に置いてその両側に互いに間隔を
隔てて配置され前記ICチップに接続された導電性の第
1のリード群および第2のリード群とを備えた半導体装
置において、 前記第1のリード群および第2のリード群のうち少なく
とも一方のリード群は、前記搭載領域の内側まで延在す
るリードパターンとして形成されており、かつ該リード
パターンは、外部との接続を取るための露出部を少なく
とも前記搭載領域の内側の部分に備えており、 かつ前記ICチップの前記リードパターンが接続されて
導出された一辺とは異なり前記一辺に対して交差する方
向の他辺が、前記封止部材で封止された領域の輪郭線と
実質的に接するように前記封止部材が形成されているこ
とを特徴とする半導体装置。 - 【請求項28】 テープキャリア又はそれを切断してな
るベースフィルムの一主面側に搭載され封止部材で封止
されたICチップと、該ICチップが搭載された搭載領
域を間に置いてその両側に互いに間隔を隔てて配置され
前記ICチップに接続された導電性の第1のリード群お
よび第2のリード群とを有する半導体装置と、該半導体
装置に接続されて駆動される電子素子を有する回路基板
とを備えた電子装置において、 前記第1のリード群および第2のリード群のうち少なく
とも一方のリード群は、前記搭載領域の内側まで延在す
るリードパターンとして形成されており、かつ該リード
パターンは外部との接続を取るための露出部を少なくと
も前記搭載領域の内側の部分に備えており、 かつ前記ベースフィルムの前記リードパターンが接続さ
れて導出された一辺とは異なり前記一辺に対して交差す
る方向の他辺が、前記封止部材で封止された領域の輪郭
線と実質的に接するように前記ベースフィルムの外形線
が形成されていることを特徴とする電子装置。
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