JPH08290571A - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドInfo
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Abstract
インクジェット式記録ヘッドを提供すること。 【解決手段】 ノズルプレートのノズル開口に連通する
とともに、インク供給口を介してリザーバに連通する圧
力発生室と、駆動信号により前記圧力発生室に容積変化
を生じさせる縦振動モードを備えた圧電振動子とを備
え、ノズル開口のイナータンスMnと、インク供給口の
イナータンスMsが、0.5<Mn/(Mn+Ms)である
インクジェット式記録ヘッドを用いて、圧力発生室ヘの
インク吸引に伴う慣性エネルギによりメニスカスを急速
にノズル開口に復帰させてノズル開口近傍でインク吐出
させ、もって球形に近いインク滴を発生させる。また、
圧力発生室にインクを吸引するための圧電振動子の収縮
時間、及びノズル開口からインク滴を吐出させるための
圧電振動子の伸長時間とを1/f(ただし、fはヘルム
ホルツ共振周波数)として、メニスカスの残留振動を可
及的に小さくして高速駆動を可能とする。
Description
字信号により作動する圧電振動子により圧力発生室を収
縮させてノズル開口からインク滴を吐出させるインクジ
ェット式記録ヘッドに関する。
ドット式記録ヘッドや、熱転写式記録ヘッドに比較し高
速印刷が可能な上、熱転写式記録ヘッドと同等の高い密
度での印刷が可能であるため、これらのヘッドを使用し
た記録装置を徐々に駆逐する形で広く普及し、静電印刷
方式を用いたページプリンタに比肩しようとしている。
ところで、インクジェット式記録ヘッドには、圧力発生
室に発熱手段を収容して熱エネルギによりインクを瞬間
的に気化させ、この時の圧力によりインク滴を吐出させ
る方式と、弾性変形可能な圧力発生室を、一部が弾性変
形可能に構成し、これを圧電振動子により圧縮してイン
ク滴を吐出させる方式に分けられ、後者の方式は、圧電
振動子の伸長速度や、メニスカスとの相対的関係を持た
せて圧力発生室を押圧することが可能なため、品質の高
い印刷が可能であるとい特徴を備えている。
質を得るためには、メニスカスの位置と圧電振動子によ
る圧力発生室の圧縮時点との微妙な制御が必要で、この
ため従来からいろいろな制御方式が提案されている。例
えば、米国特許第4697193号明細書に記載されたよう
に、ヘルムホルツ共振周波数が10KHz以上、100
kHz以下となるように圧力発生室を形成するととも
に、圧電振動子を収縮させて圧力発生室を膨張させ、こ
れにより圧力発生室にインクを吸引する。圧力発生室の
膨張によりノズル開口のメニスカスが圧力発生室側に所
定の位置まで後退した時点を見計らって、圧電振動子を
膨張させて圧力発生室を圧縮してインク滴を吐出させる
記録ヘッドが提案されている。
出時のメニスカスが一定しているため、インク滴形成周
期、つまりドット形成の繰り返し周期に関りなく、イン
ク滴の体積、及びインク滴の飛翔速度が一定となり、印
刷されるドットの濃度、及び位置が安定するという利点
がある。
面から或程度圧力発生室側に引き込んだ状態で圧力発生
室を圧縮してインク滴を吐出させるため、インク滴が柱
状となる傾向にある。
記録ヘッドの送り速度が低い場合には特に大きな問題と
はならないが、高速印字のために記録ヘッドの移動速度
が大きくなると、同一インク滴の先頭部分と最後の部分
との記録用紙に到達する時間差に起因してドットが、記
録ヘッドの移動方向に流れるように印刷されて、楕円形
となり、印刷品質が低下するという問題がある。
題に鑑みてなされたものであって、その目的とするとこ
ろは駆動周波数を落すことなく、可及的に球形のインク
滴を吐出させることができる新規なインクジェット式記
録ヘッドを提供することである。
るために本発明においては、ノズルプレートのノズル開
口に連通するとともに、インク供給口を介してリザーバ
に連通する圧力発生室と、駆動信号により前記圧力発生
室に容積変化を生じさせる変位発生手段を備え、前記ノ
ズル開口のイナータンスMnと、前記インク供給口のイ
ナータンスMsが0.5<Mn/(Mn+Ms)となるよう
に設定した。
によりメニスカスを急速にノズル開口に復帰させてノズ
ル開口近傍でインク吐出を行わせて球形に近いインク滴
を吐出させる。また、圧力発生室にインクを吸引するた
めの圧電振動子の伸長時間、及びノズル開口からインク
滴を吐出させるための圧電振動子の収縮時間とが1/f
に設定することにより、メニスカスの残留振動を小さく
して、高い周波数での駆動を可能ならしめる。
した実施例に基づいて説明する。図1は本発明の記録ヘ
ッドを使用したインクジェット式記録装置の一実施例を
示すものであって、図中符号1は、後述する本発明のイ
ンクジェット式記録ヘッドで、この実施例ではインクタ
ンク2とともに、案内部材4、4によりプラテン9の軸
方向に移動可能に支持されたキャリッジ3に搭載されて
おり、図2に示したように紙送り方向に一定の間隔でノ
ズル開口が形成されている。キャリッジ3は、一端がア
イドルローラ6に、他端がパルスモータ8の軸に固定さ
れた駆動ローラ7に張設されたタイミングベルト5に接
続され、図中符号13で示す矢印の方向に移動可能に構
成されている。
0、11により記録用紙12がセットされ、図中符号1
4で示す矢印の方向に記録用紙を紙送りできるように図
示しない駆動源に接続されている。
ドの一実施例を示すものであって、図中符号28は、圧
力発生室で、流路板26に穿設した通孔の一方側をノズ
ルプレート27により、また他方側を後述する圧電振動
子21により弾性変形を受ける弾性板24により封止し
て形成されている。圧力発生室28は、一端がノズル開
口に連通し、また他端がインク供給口29を介してリザ
ーバ30に接続されている。
で、一端がノズル開口20、20‥‥の配列ピッチに合
わせて基台22に固定され、また他端が当接部材23を
介して圧力発生室28を形成する弾性板24に当接され
ている。この当接部材23は、圧電振動子21よりも長
いサイズに構成されていて、圧力発生室28の広い範囲
を押圧して、圧電振動子21の駆動エネルギをインク吐
出のために効率良く使用するための機能を備えている。
と導電層Eを交互に積層して構成され、導電層間に駆動
信号が印加されると、軸方向に伸長し、また駆動信号が
無くなると収縮するという、軸方向に伸長収縮する縦振
動モードを備えており、たわみ振動モードの圧電振動子
に比較して高速駆動が可能で、その固有振動周波数を5
0kHzから400kHZに設定することができる。こ
れを利用して本発明においては、圧電振動子21の固有
振動周波数は、圧力発生室28のヘルムホルツ共振周波
数fにほぼ一致するように構成されている。
26、ノズルプレート27、及び基台22を固定するフ
レームを示す。
性に起因するコンプライアンスをCi、また圧力発生室
28を形成している弾性板24、ノズルプレート27、
流路板26の材料自体による剛性コンプライアンスをC
v、ノズル開口20のイナータンスをMn、インク供給口
29のイナータンスをMsとすると、圧力発生室28の
ヘルムホルツ周波数fは、 f=1/2π×√{(Mn+Ms)/(Ci+Cv)(M
n×Ms)} により表すことができる。
室28の体積をV、インクの密度をρ、インク中での音
速をcとすると、 Ci=V/ρc により表すことができる。
ンスCvは、圧力発生室28に単位圧力を印加したとき
の圧力発生室28の静的な変形率に一致する。
動子21を使用してリザーバからのインクの吸引、及び
ノズル開口からのインクの吐出を行うため、圧力発生室
は、インクジェット式記録ヘッドの圧力発生室は、長さ
が0.5乃至2mmで、幅0.1乃至0.2mm、深さ
0.05乃至0.3mmで、そのヘルムホルツ共振周波
数は50kHz乃至200kHzとなる。
より圧力発生室の容積を変化させる場合には、その先端
を圧力発生室を構成している弾性板に当接させればよ
く、当接面積が極めて小さく、また圧電振動子自体の剛
性が、たわみ振動モードの圧電振動素子に比較して極め
て大きいため、高い圧力を発生させることが可能とな
り、これらの相乗効果として圧力発生室を極めて小さく
構成しても十分な量のインク滴を吐出することができ
る。
高いため、ノズル開口20やインク供給口29の慣性
(インピーダンス)つまりそのイナータンスにヘルムホ
ルツ周波数fの角周波数ω=2πfを乗じた値、ωM
n、ωMsが、ノズル開口20とインク供給口29との粘
性抵抗Rn、Rsよりも大きくなり、エネルギが保存さ
れることになる。このため、圧力発生室の膨張が停止し
ても圧力発生室内には、慣性によりインク流が保存され
ることになり、メニスカスがより積極的に運動を行うこ
とになる。
を収縮させて弾性板24に圧力発生室28を膨張させる
方向の力40を加えると、圧力発生室28に負圧が生じ
て、インク供給口29を経由してリザーバ30から圧力
発生室28へのインクの流れ41が生じ、同時にノズル
開口20のメニスカス43を圧力発生室側に引き込むよ
うな流れ42が生じる(I)。
ヘルムホルツ共振周波数fが50kHz以上に選択され
ていて、特にノズル開口20のイナータンスを大きく選
択しておくと、リザーバ30から圧力発生室28へのイ
ンクの慣性流44が大きくなり、圧力発生室側に引き込
まれていたメニスカス43を押し戻してメニスカス43
を急速に元の位置、つまり圧力発生室28が膨張する前
の位置に復帰させることになる(II)。
弾性板24に力46を加えた圧力発生室28を収縮させ
ると、吐出するインク滴45の形状が可及的に球形とな
るとともに、この時点でも前述のノズル開口20に向か
う慣性流24が存在するため、これに圧力発生室28の
収縮によりインク流48が重畳されて、慣性流44のエ
ネルギが上乗せされてインク滴が吐出し、インク滴が高
速度で吐出することになる(III)。なお、符号47
は、リザーバに戻るインク流を示す。
れたインク滴が可及的に球形に近い形状となる吐出タイ
ミング、つまり静止時におけるメニスカスの位置に復帰
するまでの時間が極めて小さく、したがってインク吸
引、インク吐出という1印字サイクルの周期を短くする
ことが可能となる。
その共振周波数がヘルムホルツ共振周波数fにほぼ一致
するように構成されているから、上記圧力発生室の膨張
工程、つまり圧電振動素子の収縮工程、及び圧力発生室
の収縮工程、つまり圧電振動子の伸長工程を、一様に上
昇する電圧、及び一様に降下する電圧をヘルムホルツ共
振周波数fに一致、つまり時間1/f=τ1、1/f=
τ2の時間をかけて印加することにより(図5 I)、圧
力発生室28を構成している弾性板24、及び圧電振動
子21の残留振動を可及的に小さく抑えることができ
(図5 II)、したがってインク滴吐出後におけるメニ
スカスも速やかに平定することになる(図5 III)。
ヘルムホルツ共振周波数を100kHzに、また圧電振
動子21の固有振動周期を100kHzに設定すると、
インク滴吐出の周期、つまりインクジェット記録ヘッド
の駆動周波数を最大35kHzとすることが可能とな
る。
ツ共振周波数fを大きく設定すると、慣性流の効果を利
用して圧力発生室膨張後におけるノズル開口20ヘのメ
ニスカスの復帰に要する時間を短縮して、球形のインク
滴を速い繰り返し周波数で吐出させることができるが、
本発明者等は、さらにノズル開口20のイナータンスM
nと、インク供給口29のイナータンスMsとの最適化
を行えば、さらに印字品質が向上できることを見した。
ンスMnとインク供給口のイナータンスMsとの和(Mn
+Ms)に対するノズル開口のイナータンスMnの比、 Mn/(Mn+Ms) つまり、ノズル開口側における慣性流が占める割合を
0.3から大きくする程、インク滴の速度、及びインク
滴の体積が上記イナータンス比に比例して大きくなり、
ほぼ0.7程度で最大となり、以後イナータンス比が大
きくつれて徐々に減少する。
くなると、圧力発生室28の膨張に伴うメニスカスがノ
ズルプレート27近傍を移動範囲としている間は、戻り
時間が一定となるため、駆動周波数にはそれほどの低下
は見られないが、イナータンス比が0.5以下になる
と、メニスカスがノズルプレート27を離れて圧力発生
室28内にまで、侵入するようになり、戻りに要する時
間が急速に長くなり、駆動周波数も急速に低下する。
したもので、駆動周波数を落すことなく、インク滴の速
度、及び体積を実用上十分な値に維持するため、上記イ
ナータンス比Mn/(Mn+Ms)を0.5以上の値、よ
り好ましくは、0.5以上から0.7以下程度の値を選
択し、しかも前述したようにヘルムホルツ共振周波数を
50kHz以上として慣性流の効果によるノズル開口近
傍でのインク吐出により吐出するインク滴の形状を球形
とさせることに成功したものである。
Pに形成された導電層E、Eの配列方向に直行する方向
の伸長、収縮を利用する圧電振動子を用いた場合に例を
採って説明したが、図7に示したように導電層E、Eの
積層方向に平行な方向に伸長、収縮する圧電振動子51
を用いても同様の作用を奏することは明らかである。
ェット式記録ヘッドの他の実施例を示すもので、図中符
号51は、縦振動モードを備えた圧電振動子で、導電層
E、Eと圧電材料Pを交互に積層して、その積層方向に
伸長、収縮する形式のもので、一端が基台50に固定さ
れ、また他端が弾性板58に当接されている。
むようにしてこれの両側に、圧電振動子51、51の配
列方向に延びるリザーバ55、56が形成され、これの
上面に前述の弾性板58が設けられている。 弾性板5
8には後述する圧力発生室70にインクを供給するため
の窓59、60が設けられている。
1、‥‥の配列に合わせて圧力発生室70、70‥‥と
なる長孔が両側のリザーバ55、56に到達するように
穿設され、インク供給口71、71を介して圧力発生室
65にインクを供給する流路を形成している。63は、
ノズルプレートで、流路板61の他面を封止する機能を
備え、圧電振動子51、51、51‥‥に対向する位置
にノズル開口64、64、64‥‥を穿設して構成され
ている。
様にそのヘルムホルツ周波数fが50kHz乃至200
kHz程度に選ばれ、また圧電振動子51、51、51
‥‥の固有振動周波数も圧力発生室70、70、70‥
‥のヘルムホルツ周波数fに選ばれている。
弾性板58に圧力発生室65を膨張させる方向の力73
を発生させると、圧力発生室65に負圧が生じて、両側
のインク供給口71、71を経由してリザーバ55、5
6から圧力発生室65へのインクの流れ74、74が生
じ、同時にノズル開口64のメニスカス72を圧力発生
室側に引き込むような流れ75が生じる(I)。
ヘルムホルツ共振周波数fが50kHz以上に選択され
ていて、特にインク供給口71、71のイナータンスを
大きく選択しておくと、リザーバ55、56から圧力発
生室65へのインクの慣性流74、74が大きくなり、
圧力発生室側に引き込まれていたメニスカス72を押し
戻されてメニスカス72を急速に元の位置、つまり圧力
発生室65が膨張する前の位置に復帰させることになる
(II)。
弾性板58に力77を加えて圧力発生室65を収縮させ
ると、吐出するインク滴80の形状が可及的に球形とな
るとともに、この時点でも前述のノズル開口64に向か
う慣性流76が存在するため、これに圧力発生室65の
収縮によりインク流が重畳されて、慣性流76のエネル
ギが上乗せされてインク滴が吐出し、インク滴が高速度
で吐出することになる(III)。なお、符号78、78
は、両側のリザーバ55、56に戻るインク流を示す。
れたインク滴が可及的に球形に近い形状となる吐出タイ
ミング、つまり静止時におけるメニスカスの位置に復帰
するまでの時間が極めて小さく、したがってインク吸
引、インク吐出という1印字サイクルの周期を短くする
ことが可能となる。
その共振周波数がヘルムホルツ共振周波数fにほぼ一致
するように構成されているから、上記圧力発生室の膨張
工程、つまり圧電振動子51の収縮工程、及び圧力発生
室の収縮工程、つまり圧電振動子の伸長工程を、一様に
降下する電圧、及び一様に上昇する電圧をヘルムホルツ
共振周波数fに一致、つまり時間1/f=τ1、1/f
=τ2の時間をかけて印加することにより(図9 I)、
圧力発生室65を構成している弾性板58、及び圧電振
動子51の残留振動を可及的に小さく抑えることができ
(図9 II)、したがってインク滴吐出後におけるメニ
スカスも速やかに平定することになる(図9 III)。
と2つのインク供給口71、71の合計のイナータンス
Ms’との和(Mn+Ms’)に対するノズル開口のイナ
ータンスMnの比Mn/(Mn+Ms’)、つまりノズル開
口側における慣性流が占める割合を0.3から徐々に大
きく設定していくと、インク滴の速度、及びインク滴の
体積が比例して大きくなり、ほぼ0.7程度で最大とな
り、以後イナータンス比が大きくなるにつれて徐々に減
少する。
室65の膨張に伴うメニスカス72がノズルプレート6
3近傍を移動範囲としている間は、戻り時間が一定とな
るため、応答周波数にはそれほどの低下は見られない
が、イナータンス比が0.7を越えると、メニスカスの
振動の減衰率が低下している分だけメニスカスが平定す
るに要する時間が長くなり、したがって周波数応答性が
向上せず、飽和する傾向にある。
る。イナータンス比を0.5よりも小さく設定すると、
圧力発生室65に連通するインク供給口71の流路抵抗
が大きくなるため、インク滴吐出後に発生するメニスカ
ス72は、その運動が減衰しやすくなるが、同時に慣性
流の効果も低下するため、ノズル開口側への移動の際に
受ける慣性流の影響が小さくなり、メニスカスの移動速
度が低下することになる。
ュートラル位置にメニスカス72が復帰に要する時間が
大きくなり、周波数応答性が低下し、同時に慣性流の影
響が少ない分、運動エネルギが低くなって、吐出される
インク滴の体積と飛翔速度が低下することになる。
く設定した場合には、圧力発生室65に連通するインク
供給口71の流路抵抗が小さくなるため、メニスカスの
復帰速度が速くなるものの、慣性流がノズルのメニスカ
スのニュートラルの位置を越えオーバシュートするた
め、メニスカスの振動が発振する。そして前述したよう
にメニスカスの振動の減衰率が低下してる分だけメニス
カスの平定に要する時間が長くなり、周波数応答性が飽
和する。
カスの戻りの際の速度が大きくなるものの、勢いが余っ
てメニスカス72がノズル開口64から突出するため、
ノズルプレート63のノズル開口近傍をインクで濡らす
ことになる。そしてメニスカス72の減衰率が低下して
いる分だけ、キャリッジの移動による振動などが外乱と
してメニスカス72に作用しやすくなってメニスカス7
2の位置が不安定になり、最終的には印字品質を低下さ
せることになる。
+Ms’)を0.5乃至0.7の範囲に設定すると、圧
電振動子51が収縮を完了して圧電振動子51が伸長を
開始するまでの待機時間、つまり引き込まれたメニスカ
ス72がノズル開口のニュートラルな位置に戻るまでの
時間がヘルムホルツ共振周波数f分の1(1/f)程度
となる。メニスカス72が時間1/fでニュートラルな
位置に戻ると、引き続く圧電振動子51の伸長による振
動が重畳されるため、メニスカス72に作用するエネル
ギが大きくなる。この結果、インク滴の体積、及び吐出
速度が大きくなり、しかもイン区切れが良くなるためそ
の形状が球形となる。
ンス比を0.5以上、好ましくは0.5乃至0.7の範
囲を選択するとともに、ヘルムホルツ共振周波数を50
kHz以上として慣性流をより効果的にメニスカスに作
用させて、メニスカス72がノズル開口64の可及的外
側に位置した時点でインク滴を吐出させるのが望まし
い。
ルムホルツ共振周波数を100kHzに、また圧電振動
子51の固有振動周期を100kHzに設定すると、イ
ンク滴吐出の周期、つまりインクジェット記録ヘッドの
駆動周波数を最大35kHzとすることが可能となる。
にインクを吸引する際の圧電振動子の収縮時間、及びイ
ンク滴吐出の際の圧電振動子の伸長時間を圧電振動子の
固有振動周期に一致させているが、圧電振動子の軸方向
の長さを短くて固有振動周期が極めて小さい場合には、
圧電振動子の伸長、収縮に要する時間を圧電振動子の2
倍以上と大きく、かつヘルムホルツ周波数分の1(1/
f)に一致するように設定すると、共振による圧電振動
子でのエネルギ保存を積極的に避けることができて、記
録ヘッドを多数の圧電振動子で構成した場合にも、圧電
振動子間での固有振動周期のバラつきに起因する圧電振
動子間の駆動エネルギのバラつき無くして印字品質を安
定化させることができる。
は、ノズルプレートのノズル開口に連通するとともに、
インク供給口を介してリザーバに連通する圧力発生室
と、駆動信号により前記圧力発生室に容積変化を生じさ
せる縦振動モードを備えた圧電振動子とを備え、ノズル
開口のイナータンスMnと、インク供給口のイナータン
スMsが、0.5<Mn/(Mn+Ms)であるインクジェ
ット式記録ヘッドを用いるので、圧力発生室ヘのインク
吸引に伴う慣性エネルギによりメニスカスを急速にノズ
ル開口に復帰させてノズル開口の外側近傍でインク吐出
させることができて、可及的に球形に近いインク滴を発
生させることができる。
の圧電振動子の収縮時間、及びノズル開口からインク滴
を吐出させるための圧電振動子の伸長時間とを1/f
(ただし、fはヘルムホルツ共振周波数)に設定すれ
ば、メニスカスの残留振動が小さくなって印字速度の向
上を図りつつ、円形に近いドットを形成させて印字品質
を向上することができる。
が適用されたインクジェット式プリンタの一実施例を示
す図である。
記録ヘッドのノズル開口の配列を示す図である。
記録ヘッドの一実施例を示す一部断面斜視図である。
ジェット式記録ヘッドの動作を示す図である。
ジェット式記録ヘッドに印加する駆動信号、圧力発生室
の体積変化、及びメニスカスの位置を示す図である。
の体積、及びインク滴の速度を示す線図である。
ヘッドの実施例を示す一部断面斜視図である。
ジェット式記録ヘッドの動作を示す図である。
ジェット式記録ヘッドに印加する駆動信号、圧力発生室
の体積変化、及びメニスカスの位置を示す図である。
Claims (9)
- 【請求項1】 ノズルプレートのノズル開口に連通する
とともに、インク供給口を介してリザーバに連通する圧
力発生室と、駆動信号により前記圧力発生室に容積変化
を生じさせる変位発生手段を備え、前記ノズル開口のイ
ナータンスMnと、前記インク供給口のイナータンスMs
が、 0.5<Mn/(Mn+Ms) であるインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項2】 前記変位発生手段が縦振動モードを備
え、収縮により前記リザーバから前記圧力発生室にイン
クを吸引させ、また伸長により前記ノズル開口からイン
ク滴を吐出させることを特徴とする請求項1のインクジ
ェット式記録ヘッド。 - 【請求項3】 前記圧電振動子の固有振動周波数がヘル
ムホルツ共振周波数に等しいことを特徴とする請求項1
のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項4】 前記圧電振動子の固有振動周波数がヘル
ムホルツ共振周波数の2倍以上であることを特徴とする
請求項1のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項5】 前記圧力発生室にインクを吸引するため
の前記変位発生手段の収縮時間、及び前記ノズル開口か
らインク滴を吐出させるための前記変位発生手段の伸長
時間とを1/f(ただし、fはヘルムホルツ共振周波
数)に設定したことを特徴とする請求項1のインクジェ
ット式記録ヘッド。 - 【請求項6】 前記圧力発生室にインクを吸引するため
の前記変位発生手段の収縮時間、及び前記ノズル開口か
らインク滴を吐出させるための前記変位発生手段の伸長
時間とを、前記変位発生手段の固有振動周期の2倍以上
で、かつ1/f(ただし、fはヘルムホルツ共振周波
数)に等しくなるように設定したことを特徴とする請求
項1のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項7】 前記ノズル開口のイナータンスMnと、
前記インク供給口のイナータンスMsが、 0.5<Mn/(Mn+Ms)<0.7 に設定されていることを特徴とする請求項1のインクジ
ェット式記録ヘッド。 - 【請求項8】 前記ヘルムホルツ共振周波数fが50k
Hz以上であることを特徴とする請求項1のインクジェ
ット式記録ヘッド。 - 【請求項9】 前記ヘルムホルツ共振周波数fが100
kHz以上であることを特徴とする請求項1のインクジ
ェット式記録ヘッド。
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