JPH08279046A - パターン検査装置 - Google Patents
パターン検査装置Info
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- JPH08279046A JPH08279046A JP7081537A JP8153795A JPH08279046A JP H08279046 A JPH08279046 A JP H08279046A JP 7081537 A JP7081537 A JP 7081537A JP 8153795 A JP8153795 A JP 8153795A JP H08279046 A JPH08279046 A JP H08279046A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 照明の経時変化の影響を防止でき、また、薄
物から厚物までのある程度厚みの異なる検査対象物に対
しても適用可能なパターン検査装置を提供する。 【構成】 走行するシート状物を照明する照明装置
（１）と、シート状物の画像を読み取るためのラインセ
ンサ（２）と、このラインセンサを用いてシート状物の
一部を予め読み取ることによって得られる複数の多値画
像データからそれらの最大値Ｍを検出する最大値検出部
（３）と、シート状物の画像読み取り時に検出される多
値画像データを所定値Ｍ×Ｓ／１００（但し０＜Ｓ＜１
００）で２値化する閾値設定部（４）と、この閾値設定
部で設定された閾値を超えた画素数の合計値を算出する
カウンター部（５）とからなるパターン検査装置。
物から厚物までのある程度厚みの異なる検査対象物に対
しても適用可能なパターン検査装置を提供する。 【構成】 走行するシート状物を照明する照明装置
（１）と、シート状物の画像を読み取るためのラインセ
ンサ（２）と、このラインセンサを用いてシート状物の
一部を予め読み取ることによって得られる複数の多値画
像データからそれらの最大値Ｍを検出する最大値検出部
（３）と、シート状物の画像読み取り時に検出される多
値画像データを所定値Ｍ×Ｓ／１００（但し０＜Ｓ＜１
００）で２値化する閾値設定部（４）と、この閾値設定
部で設定された閾値を超えた画素数の合計値を算出する
カウンター部（５）とからなるパターン検査装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は走行するシート状物全体
のパターンを定量化しパターンのランク分けや良否判定
などを行うためのパターン検査装置に関する。
のパターンを定量化しパターンのランク分けや良否判定
などを行うためのパターン検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】パターン検査装置としてはエリアセンサ
やラインセンサで入力された画像をメモリに入力した
後、粒子解析やテクスチャ解析を行うものが知られてい
る。しかしエリアセンサ方式はシートの一部しか測定で
きないため実用性が低い。このため工場で生産されるシ
ート状物のパターン検査は、一旦シートの走行を停止さ
せて目視検査により複数種類の基準パターンと比較する
ことによってパターンの良否が判定されていた。
やラインセンサで入力された画像をメモリに入力した
後、粒子解析やテクスチャ解析を行うものが知られてい
る。しかしエリアセンサ方式はシートの一部しか測定で
きないため実用性が低い。このため工場で生産されるシ
ート状物のパターン検査は、一旦シートの走行を停止さ
せて目視検査により複数種類の基準パターンと比較する
ことによってパターンの良否が判定されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一方、ラインセンサを
使用した検査装置では、シート全体の画像を入力するこ
とが可能である。しかし従来のラインセンサでは検査対
象となるシートの厚みの変更や照明の経時変化などが検
査結果に影響するため、安定した測定値を得ることが難
しかった。
使用した検査装置では、シート全体の画像を入力するこ
とが可能である。しかし従来のラインセンサでは検査対
象となるシートの厚みの変更や照明の経時変化などが検
査結果に影響するため、安定した測定値を得ることが難
しかった。
【０００４】本発明の目的は、照明の経時変化の影響を
防止でき、また、薄物から厚物までのある程度厚みの異
なる検査対象物に対しても適用可能なパターン検査装置
を提供することにある。
防止でき、また、薄物から厚物までのある程度厚みの異
なる検査対象物に対しても適用可能なパターン検査装置
を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、走行す
るシート状物を照明する照明装置（１）と、シート状物
の画像を読み取るためのラインセンサ（２）と、このラ
インセンサを用いてシート状物の一部を予め読み取るこ
とによって得られる複数の多値画像データからそれらの
最大値Ｍを検出する最大値検出部（３）と、シート状物
の画像読み取り時に検出される多値画像データを所定値
Ｍ×Ｓ／１００（但し０＜Ｓ＜１００）で２値化する閾
値設定部（４）と、この閾値設定部で設定された閾値を
超えた画素数の合計値を算出するカウンター部（５）と
からなるパターン検査装置にある。
るシート状物を照明する照明装置（１）と、シート状物
の画像を読み取るためのラインセンサ（２）と、このラ
インセンサを用いてシート状物の一部を予め読み取るこ
とによって得られる複数の多値画像データからそれらの
最大値Ｍを検出する最大値検出部（３）と、シート状物
の画像読み取り時に検出される多値画像データを所定値
Ｍ×Ｓ／１００（但し０＜Ｓ＜１００）で２値化する閾
値設定部（４）と、この閾値設定部で設定された閾値を
超えた画素数の合計値を算出するカウンター部（５）と
からなるパターン検査装置にある。
【０００６】以下、最大値検出部（３）、閾値設定部
（４）及びカウンター部（５）の全体を適宜「画像処理
装置」と呼ぶ。
（４）及びカウンター部（５）の全体を適宜「画像処理
装置」と呼ぶ。
【０００７】本発明において検査対象となるシート状物
としては白色、灰色、黒色、茶色等の各種の色で構成さ
れる各種の模様が形成された樹脂板等が例示される。シ
ート状物は不透明体、半透明体、透明体のいずれであっ
てもよい。シート状物の幅、厚み、長さは特に限定され
ない。
としては白色、灰色、黒色、茶色等の各種の色で構成さ
れる各種の模様が形成された樹脂板等が例示される。シ
ート状物は不透明体、半透明体、透明体のいずれであっ
てもよい。シート状物の幅、厚み、長さは特に限定され
ない。
【０００８】走行するシート状物をポイントセンサ等に
よって検知し、検査の開始と終了を知らせる信号を画像
処理装置に入力する機構とすることもできる。
よって検知し、検査の開始と終了を知らせる信号を画像
処理装置に入力する機構とすることもできる。
【０００９】照明装置（１）には走行するシート状物を
その幅全体に亘ってほぼ均一に照明可能なものであるこ
とが要求され、例えば高周波点灯の蛍光灯等が使用され
る。照明部は通常は検査対象となるシート状物の表面側
に配置されるがシート状物が透光性のものである場合は
裏面側に配置することもできる。
その幅全体に亘ってほぼ均一に照明可能なものであるこ
とが要求され、例えば高周波点灯の蛍光灯等が使用され
る。照明部は通常は検査対象となるシート状物の表面側
に配置されるがシート状物が透光性のものである場合は
裏面側に配置することもできる。
【００１０】シート状物の画像（模様）を読み取るため
のラインセンサ（２）は、シート状物の幅以上の視野を
有するものであればよく、ラインＣＣＤカメラ等が例示
される。後述する実施例１では分解能を０．２ｍｍ／画
素に設定し、画素が一列に５０００個配列されたライン
ＣＣＤサンサが使用されている。
のラインセンサ（２）は、シート状物の幅以上の視野を
有するものであればよく、ラインＣＣＤカメラ等が例示
される。後述する実施例１では分解能を０．２ｍｍ／画
素に設定し、画素が一列に５０００個配列されたライン
ＣＣＤサンサが使用されている。
【００１１】最大値検出部（３）は、ラインセンサを用
いてシート状物の一部を予め読み取ることによって得ら
れる複数の多値画像データからそれらの最大値Ｍを検出
する部分である。
いてシート状物の一部を予め読み取ることによって得ら
れる複数の多値画像データからそれらの最大値Ｍを検出
する部分である。
【００１２】例えばシート状物の先端部の５〜３０ｍｍ
（走行方向の長さ）程度が予め読みとられる。実施例１
では先端部の２５ｍｍ分を前記の分解能が０．２ｍｍ／
画素で読みとっているのでこの場合は２５ｍｍ÷０．２
ｍｍ／画素×５０００＝６２５０００画素の多値画像デ
ータが得られ、この全画素のうちの最大値がＭとして求
められる。
（走行方向の長さ）程度が予め読みとられる。実施例１
では先端部の２５ｍｍ分を前記の分解能が０．２ｍｍ／
画素で読みとっているのでこの場合は２５ｍｍ÷０．２
ｍｍ／画素×５０００＝６２５０００画素の多値画像デ
ータが得られ、この全画素のうちの最大値がＭとして求
められる。
【００１３】閾値設定部（４）は、実際にシート状物の
画像を読み取ることによって得られる多値画像データを
所定値Ｍ×Ｓ／１００（但し０＜Ｓ＜１００）で２値化
する部分である。このＳ／１００の値は、最大値Ｍに対
してＳ％に相当する値であり、例えば２０〜７０程度に
設定される。実施例１ではＳ／１００として３５、４０
及び４５％が設定されている。
画像を読み取ることによって得られる多値画像データを
所定値Ｍ×Ｓ／１００（但し０＜Ｓ＜１００）で２値化
する部分である。このＳ／１００の値は、最大値Ｍに対
してＳ％に相当する値であり、例えば２０〜７０程度に
設定される。実施例１ではＳ／１００として３５、４０
及び４５％が設定されている。
【００１４】カウンター部（５）は、閾値設定部で設定
された閾値を超えた画素数の合計値を算出する部分であ
る。例えば実施例１のようにシート状物の全長を３ｍ、
ラインセンサの分解能を０．２ｍｍ／画素とすると、こ
のシート状物の全長を検査することによって３０００÷
０．２ｍｍ／画素×５０００＝７５００００００画素の
２値化データが得られる。そしてこの全画素のうち所定
の閾値を超えた画素の合計値を算出する。尚、シート状
物の所定長さ毎のパターンの斑を検出する場合は所定長
さ毎に閾値を超えた画素数の合計値を算出する機構とす
ることができる。
された閾値を超えた画素数の合計値を算出する部分であ
る。例えば実施例１のようにシート状物の全長を３ｍ、
ラインセンサの分解能を０．２ｍｍ／画素とすると、こ
のシート状物の全長を検査することによって３０００÷
０．２ｍｍ／画素×５０００＝７５００００００画素の
２値化データが得られる。そしてこの全画素のうち所定
の閾値を超えた画素の合計値を算出する。尚、シート状
物の所定長さ毎のパターンの斑を検出する場合は所定長
さ毎に閾値を超えた画素数の合計値を算出する機構とす
ることができる。
【００１５】また、判定基準値を設定した判定結果表示
装置（６）にカウンター部を接続して、カウンター部で
得られた測定値をその判定基準値と比較して判定結果を
出力する機構とすることもできる。
装置（６）にカウンター部を接続して、カウンター部で
得られた測定値をその判定基準値と比較して判定結果を
出力する機構とすることもできる。
【００１６】以下実施例によって具体的に説明する。
【００１７】
実施例１ 図１に示す構成の検査装置を用いた。ラインセンサとし
て三菱レイヨン（株）製ラインＣＣＤカメラ（型名 Ｓ
ＣＣ−５０００）を用いた。このセンサは、素子数：５
０００、クロック：５ＭＨzのものであり、ｆ＝５０ｍ
ｍのレンズを使用し、シート状物との距離を１５３０ｍ
ｍとすることにより分解能を０．２ｍｍ／画素に設定し
ている。照明装置としては、高周波点灯の蛍光灯（１１
０Ｗ）を２灯使用し、シート状物の表面から２７０ｍｍ
の位置に配置した。
て三菱レイヨン（株）製ラインＣＣＤカメラ（型名 Ｓ
ＣＣ−５０００）を用いた。このセンサは、素子数：５
０００、クロック：５ＭＨzのものであり、ｆ＝５０ｍ
ｍのレンズを使用し、シート状物との距離を１５３０ｍ
ｍとすることにより分解能を０．２ｍｍ／画素に設定し
ている。照明装置としては、高周波点灯の蛍光灯（１１
０Ｗ）を２灯使用し、シート状物の表面から２７０ｍｍ
の位置に配置した。
【００１８】画像処理装置は、ラインＣＣＤカメラから
の信号を複数ライン分入力しこの中の最大値を検出する
機能を有する最大値検出部（３）、予め設定された比率
で閾値を設定する機能を有する閾値設定部（４）、及び
この閾値で２値化した後の画素数の合計値を求めるため
のカウンター部（５）で構成した。シート状物を図の右
方向から左方向へ向けて１４ｍ／分で走行させ、シート
状物の先端部２５ｍｍ分の画像について最大値を検出し
た。最大値はシート状物に含まれる粒子の最も明るい部
分の出力であり、このシート状物では白色粒子である。
最大値に対する閾値の割合は３５％、４０％、及び４５
％とした。
の信号を複数ライン分入力しこの中の最大値を検出する
機能を有する最大値検出部（３）、予め設定された比率
で閾値を設定する機能を有する閾値設定部（４）、及び
この閾値で２値化した後の画素数の合計値を求めるため
のカウンター部（５）で構成した。シート状物を図の右
方向から左方向へ向けて１４ｍ／分で走行させ、シート
状物の先端部２５ｍｍ分の画像について最大値を検出し
た。最大値はシート状物に含まれる粒子の最も明るい部
分の出力であり、このシート状物では白色粒子である。
最大値に対する閾値の割合は３５％、４０％、及び４５
％とした。
【００１９】判定基準値を設定した判定結果表示機能を
有するホストコンピューター（６）にカウンター部を接
続して、カウンター部で得られた測定値をその判定基準
値と比較して判定結果を出力する機構とした。
有するホストコンピューター（６）にカウンター部を接
続して、カウンター部で得られた測定値をその判定基準
値と比較して判定結果を出力する機構とした。
【００２０】検査対象となるシート状物としては、幅
０．７ｍ、厚み１０ｍｍ、長さ３ｍのポリメチルメタク
リレート板に白色、黒色、茶色等の粒子が分散された板
を用いた。シート状物は図の右方向から左方向へ向けて
１４ｍ／分で走行させた。
０．７ｍ、厚み１０ｍｍ、長さ３ｍのポリメチルメタク
リレート板に白色、黒色、茶色等の粒子が分散された板
を用いた。シート状物は図の右方向から左方向へ向けて
１４ｍ／分で走行させた。
【００２１】図１に示すようにポイントセンサを設置し
て走行するシートを検知し、検査開始信号と終了信号を
画像処理装置に入力する回路を形成した。
て走行するシートを検知し、検査開始信号と終了信号を
画像処理装置に入力する回路を形成した。
【００２２】検査装置の測定結果を従来法による目視判
定結果と比較し図４の結果を得た。図の縦軸はカウンタ
ー部の出力値であり、横軸は目視判定の評価数値であ
る。目視判定は５段階評価であり、粒子の状態が密集し
ているもの程また大きな粒子が目立つもの程小さい値で
表示した。
定結果と比較し図４の結果を得た。図の縦軸はカウンタ
ー部の出力値であり、横軸は目視判定の評価数値であ
る。目視判定は５段階評価であり、粒子の状態が密集し
ているもの程また大きな粒子が目立つもの程小さい値で
表示した。
【００２３】最大値に対する閾値の割合が３５％、４０
％、及び４５％のいずれの場合も目視判定の数値が小さ
くなるにつれて、カウンター値はより大きな値を示し
た。このように両者は良好な相関関係を示し、本発明の
検査装置によってシート状物のパターン検査が可能であ
ることが確認された。
％、及び４５％のいずれの場合も目視判定の数値が小さ
くなるにつれて、カウンター値はより大きな値を示し
た。このように両者は良好な相関関係を示し、本発明の
検査装置によってシート状物のパターン検査が可能であ
ることが確認された。
【００２４】
【発明の効果】本発明の検査装置は検査対象物に含まれ
るパターンの明るさに基づいて閾値を設定するため照明
の経時変化の影響を防止でき、また、薄物から厚物まで
のある程度厚みの異なる検査対象物に対しても適用可能
である。
るパターンの明るさに基づいて閾値を設定するため照明
の経時変化の影響を防止でき、また、薄物から厚物まで
のある程度厚みの異なる検査対象物に対しても適用可能
である。
【図１】本発明のパターン検査装置の一例を示す模式図
である。
である。
【図２】実施例１で用いた検査対象となるシート状物表
面の写真である。粒状のパターンが形成されている。
面の写真である。粒状のパターンが形成されている。
【図３】実施例１におけるラインセンサの１ライン分の
出力波形の一例を示す写真である。
出力波形の一例を示す写真である。
【図４】実施例１における検査結果と従来の目視判定結
果とを比較した図である。
果とを比較した図である。
１ 照明装置 ２ ラインＣＣＤカメラ ６ ホストコンピュータ ７ ポイントセンサ ８ シート状物 ９ 画像処理装置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年９月１９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のパターン検査装置の一例を示す模式図
である。
である。
【図２】実施例１で用いた検査対象となるシート状物表
面の粒子構造の状態を示す写真である。粒状のパターン
が形成されている。
面の粒子構造の状態を示す写真である。粒状のパターン
が形成されている。
【図３】実施例１におけるラインセンサの１ライン分の
出力波形の一例を示す写真である。
出力波形の一例を示す写真である。
【図４】実施例１における検査結果と従来の目視判定結
果とを比較した図である。
果とを比較した図である。
【符号の簡単な説明】 １ 照明装置 ２ ラインＣＣＤカメラ ６ ホストコンピュータ ７ ポイントセンサ ８ シート状物 ９ 画像処理装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原田 順一 愛知県豊橋市牛川通四丁目１番地の２ 三 菱レイヨン株式会社豊橋事業所内
Claims (1)
- 【請求項１】 走行するシート状物を照明する照明装置
（１）と、シート状物の画像を読み取るためのラインセ
ンサ（２）と、このラインセンサを用いてシート状物の
一部を予め読み取ることによって得られる複数の多値画
像データからそれらの最大値Ｍを検出する最大値検出部
（３）と、シート状物の画像読み取り時に検出される多
値画像データを所定値Ｍ×Ｓ／１００（但し０＜Ｓ＜１
００）で２値化する閾値設定部（４）と、この閾値設定
部で設定された閾値を超えた画素数の合計値を算出する
カウンター部（５）とからなるパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7081537A JPH08279046A (ja) | 1995-04-06 | 1995-04-06 | パターン検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7081537A JPH08279046A (ja) | 1995-04-06 | 1995-04-06 | パターン検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08279046A true JPH08279046A (ja) | 1996-10-22 |
Family
ID=13749058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7081537A Pending JPH08279046A (ja) | 1995-04-06 | 1995-04-06 | パターン検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08279046A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022553979A (ja) * | 2020-02-10 | 2022-12-27 | ▲騰▼▲訊▼科技（深▲セン▼）有限公司 | 医用画像処理方法、画像処理方法、医用画像処理装置、画像処理装置、コンピュータ装置およびプログラム |
-
1995
- 1995-04-06 JP JP7081537A patent/JPH08279046A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022553979A (ja) * | 2020-02-10 | 2022-12-27 | ▲騰▼▲訊▼科技（深▲セン▼）有限公司 | 医用画像処理方法、画像処理方法、医用画像処理装置、画像処理装置、コンピュータ装置およびプログラム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040511 |