JPH06160303A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
- Publication number
- JPH06160303A JPH06160303A JP32877292A JP32877292A JPH06160303A JP H06160303 A JPH06160303 A JP H06160303A JP 32877292 A JP32877292 A JP 32877292A JP 32877292 A JP32877292 A JP 32877292A JP H06160303 A JPH06160303 A JP H06160303A
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- Japan
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- threshold
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 シート状検査対象の明欠陥と暗欠陥を精度良
く検出することが可能で、安定した検査を行うことがで
きる検査装置を提供する。 【構成】 一次元撮像素子を有するカメラ１０からの画
像信号の一回又は複数回の走査における最高レベルと最
低レベルをそれぞれ検出する手段１８、２０；２２、２
４とこの各レベルの関数として以降の画像信号を２値化
して明欠陥と暗欠陥を検出するための２つの閾値を発生
する手段２８と、これらの閾値をそれぞれ用いて画像信
号を２値化する２つの２値化回路１２Ａ、１２Ｂを有す
る。
く検出することが可能で、安定した検査を行うことがで
きる検査装置を提供する。 【構成】 一次元撮像素子を有するカメラ１０からの画
像信号の一回又は複数回の走査における最高レベルと最
低レベルをそれぞれ検出する手段１８、２０；２２、２
４とこの各レベルの関数として以降の画像信号を２値化
して明欠陥と暗欠陥を検出するための２つの閾値を発生
する手段２８と、これらの閾値をそれぞれ用いて画像信
号を２値化する２つの２値化回路１２Ａ、１２Ｂを有す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、連続走行生産され、光
が半透過し、かつ地合が存在するシート状検査対象中に
存在するピンホールや異物等の欠陥を検出する検査装置
に関する。
が半透過し、かつ地合が存在するシート状検査対象中に
存在するピンホールや異物等の欠陥を検出する検査装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に透明な検査対象を検査する場合に
は、光源の光を検査対象の一方の面に照射し、その透過
光を他方の面からカメラにより撮像し、透過光の強度分
布上の変化を検出する透過方式が用いられ、また、遮光
物体を検査する場合は、光源の光を検査対象の一方の面
に照射し、その反射光をカメラにより撮像し、反射光の
強度分布上の変化を検出する反射方式が用いられる。従
って、検査対象が光を半透過せしめる、樹脂板や印刷用
シルクスクリーンなどを検査する場合、透過方式が用い
られる。また、これらの検査対象中に存在するピンホー
ルや傷等の、明るい欠陥として検出する明欠陥と、異物
やシワ等の暗い欠陥として検出する暗欠陥を同時に検査
する場合、明欠陥を検出するための閾値と、暗欠陥を検
出するための閾値により画像処理を行う手法が採られて
いる。
は、光源の光を検査対象の一方の面に照射し、その透過
光を他方の面からカメラにより撮像し、透過光の強度分
布上の変化を検出する透過方式が用いられ、また、遮光
物体を検査する場合は、光源の光を検査対象の一方の面
に照射し、その反射光をカメラにより撮像し、反射光の
強度分布上の変化を検出する反射方式が用いられる。従
って、検査対象が光を半透過せしめる、樹脂板や印刷用
シルクスクリーンなどを検査する場合、透過方式が用い
られる。また、これらの検査対象中に存在するピンホー
ルや傷等の、明るい欠陥として検出する明欠陥と、異物
やシワ等の暗い欠陥として検出する暗欠陥を同時に検査
する場合、明欠陥を検出するための閾値と、暗欠陥を検
出するための閾値により画像処理を行う手法が採られて
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ここで、２つの閾値レ
ベルは、図４の様に正常な検査対象の画像信号から、画
像レベルの変化幅（Ｗ＝最高レベルＭＡＸ−最低レベル
ＭＩＮ）を確認し、この最高レベルＭＡＸと最低レベル
ＭＩＮに、搬送時の上下動の影響等に対するいくらかの
マージンを含めた２つのレベルＴH、ＴLを明欠陥検出用
閾値及び暗欠陥検出用閾値として予め設定しなければな
らない。しかしながら、上記従来の検査装置ではこの２
つの閾値が固定されているため、検査対象の上下動や地
合等の影響を無視するためにはマージンを大きく取らな
ければならない。ところが、このマージンが大きすぎる
と検査精度の低下をもたらすという問題がある。従って
本発明は、シート状検査対象の明欠陥と暗欠陥を精度良
く検出することが可能で、安定した検査を行うことがで
きる検査装置を提供することを目的とする。
ベルは、図４の様に正常な検査対象の画像信号から、画
像レベルの変化幅（Ｗ＝最高レベルＭＡＸ−最低レベル
ＭＩＮ）を確認し、この最高レベルＭＡＸと最低レベル
ＭＩＮに、搬送時の上下動の影響等に対するいくらかの
マージンを含めた２つのレベルＴH、ＴLを明欠陥検出用
閾値及び暗欠陥検出用閾値として予め設定しなければな
らない。しかしながら、上記従来の検査装置ではこの２
つの閾値が固定されているため、検査対象の上下動や地
合等の影響を無視するためにはマージンを大きく取らな
ければならない。ところが、このマージンが大きすぎる
と検査精度の低下をもたらすという問題がある。従って
本発明は、シート状検査対象の明欠陥と暗欠陥を精度良
く検出することが可能で、安定した検査を行うことがで
きる検査装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明では上記目的を達
成するために、一定間隔毎、或いは検査開始時点で、検
査対象を撮像した画像信号より、その信号レベルを抽出
し、以降の走査の閾値にフィードバックすることによ
り、閾値レベルを画像信号のレベル変動に追従させるよ
うにしている。すなわち本発明によれば、一定方向に移
動するシート状検査対象を光が半透過するようその一方
の面から前記光を照射し、前記検査対象の他方の面を、
一次元撮像素子により撮像し、前記撮像素子からのアナ
ログ画像信号を適当な閾値によって２値化して得た画像
データを基に各種画像処理を行い、前記検査対象中に存
在する欠陥を検出する検査装置において、前記アナログ
画像信号を第１閾値によって２値化する第１の２値化手
段と、前記アナログ画像信号を前記第１閾値より低い第
２閾値によって２値化する第２の２値化手段と、前記第
１及び第２の２値化手段によって得られた２値化データ
を基に、各々明るい欠陥及び暗い欠陥を検出する明欠陥
検出手段及び暗欠陥検出手段と、前記アナログ画像信号
の一回又は複数回の走査における最高レベルを検出する
最大値検出手段と、前記アナログ画像信号の一回又は複
数回の走査における最低レベルを検出する最小値検出手
段と、前記最高レベル及び最低レベルの関数として以降
のアナログ画像信号を２値化するための前記第１閾値及
び前記第２閾値をそれぞれ算出する閾値発生手段を備え
たことを特徴とする検査装置が提供される。
成するために、一定間隔毎、或いは検査開始時点で、検
査対象を撮像した画像信号より、その信号レベルを抽出
し、以降の走査の閾値にフィードバックすることによ
り、閾値レベルを画像信号のレベル変動に追従させるよ
うにしている。すなわち本発明によれば、一定方向に移
動するシート状検査対象を光が半透過するようその一方
の面から前記光を照射し、前記検査対象の他方の面を、
一次元撮像素子により撮像し、前記撮像素子からのアナ
ログ画像信号を適当な閾値によって２値化して得た画像
データを基に各種画像処理を行い、前記検査対象中に存
在する欠陥を検出する検査装置において、前記アナログ
画像信号を第１閾値によって２値化する第１の２値化手
段と、前記アナログ画像信号を前記第１閾値より低い第
２閾値によって２値化する第２の２値化手段と、前記第
１及び第２の２値化手段によって得られた２値化データ
を基に、各々明るい欠陥及び暗い欠陥を検出する明欠陥
検出手段及び暗欠陥検出手段と、前記アナログ画像信号
の一回又は複数回の走査における最高レベルを検出する
最大値検出手段と、前記アナログ画像信号の一回又は複
数回の走査における最低レベルを検出する最小値検出手
段と、前記最高レベル及び最低レベルの関数として以降
のアナログ画像信号を２値化するための前記第１閾値及
び前記第２閾値をそれぞれ算出する閾値発生手段を備え
たことを特徴とする検査装置が提供される。
【０００５】
【作用】本発明は上記構成を有するもので、最小値検出
手段及び最大値検出手段により、一回又は複数回の走査
における画像信号の最高レベル及び最低レベルを検出
し、この最高レベル及び最低レベルの関数として閾値発
生手段により、以降の走査により得られた画像信号から
明欠陥と暗欠陥をそれぞれ検出するための２つの閾値を
決定する。
手段及び最大値検出手段により、一回又は複数回の走査
における画像信号の最高レベル及び最低レベルを検出
し、この最高レベル及び最低レベルの関数として閾値発
生手段により、以降の走査により得られた画像信号から
明欠陥と暗欠陥をそれぞれ検出するための２つの閾値を
決定する。
【０００６】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の検査装置の実
施例について説明する。図１は、本発明に係る検査装置
の１つの実施例を示すブロック図である。図１中、３０
は光源、３２は矢印方向に移動するシート状検査対象物
である。一次元ＣＣＤラインセンサ等の一次元撮像素子
を有するカメラ１０により撮像された画像信号は、２系
列の２値化回路１２Ａ、１２Ｂと、最小値検出回路１８
及び最大値検出回路２２に入力される。２つの２値化回
路１２Ａ、１２Ｂではカメラ１０の走査毎に、対応する
閾値レジスタ１６Ａ、１６Ｂに設定された各々の閾値で
入力画像信号を２値化し、２値化データをバッファ１４
Ａ、１４Ｂにそれぞれ格納する。最小値検出回路１８は
カメラ１０の走査毎に、画像信号中の最低レベルを検出
し、A/D変換し最小値レジスタ２０に格納する。又、最
大値検出回路２２も同様に、画像信号中の最高レベルを
検出し、A/D変換し最大値レジスタ２４に格納する。
施例について説明する。図１は、本発明に係る検査装置
の１つの実施例を示すブロック図である。図１中、３０
は光源、３２は矢印方向に移動するシート状検査対象物
である。一次元ＣＣＤラインセンサ等の一次元撮像素子
を有するカメラ１０により撮像された画像信号は、２系
列の２値化回路１２Ａ、１２Ｂと、最小値検出回路１８
及び最大値検出回路２２に入力される。２つの２値化回
路１２Ａ、１２Ｂではカメラ１０の走査毎に、対応する
閾値レジスタ１６Ａ、１６Ｂに設定された各々の閾値で
入力画像信号を２値化し、２値化データをバッファ１４
Ａ、１４Ｂにそれぞれ格納する。最小値検出回路１８は
カメラ１０の走査毎に、画像信号中の最低レベルを検出
し、A/D変換し最小値レジスタ２０に格納する。又、最
大値検出回路２２も同様に、画像信号中の最高レベルを
検出し、A/D変換し最大値レジスタ２４に格納する。
【０００７】ＣＰＵモジュール２８は、走査毎に更新さ
れる上記の２値化データ、最低レベル及び最高レベルを
基に、図２に示すアルゴリズムにより処理を行う。なお
図１中２６はデータバスを示し、ＣＰＵモジュール２８
の動作指令のプログラムを格納しているＲＯＭや演算結
果を一時記憶しておくＲＡＭが図示省略されている。ま
ず、図２のように、カメラ１０の一回の走査が終了する
毎に明欠陥検査処理Ｓ１、暗欠陥検査処理Ｓ２及び閾値
算出処理Ｓ３を行う。ただし、閾値算出処理Ｓ３は、こ
の走査において明欠陥及び暗欠陥が検出されなかった場
合にのみ実行する。なお、明欠陥検査処理及び暗欠陥検
査処理自体は従来と同様であり、明欠陥の場合は、それ
用の閾値（例えば図４のＴH）を超えたレベルの入力信
号か否かを判断し、暗欠陥の場合はそれ用の閾値（例え
ば図４のＴL）より低いレベルの入力信号か否かを判断
し、かつ各々について一走査当りの回数をカウントした
り、数回の走査における連続性を判断したりすることに
よりなされる。次に、図３に示す閾値算出処理Ｓ３につ
いて説明する。
れる上記の２値化データ、最低レベル及び最高レベルを
基に、図２に示すアルゴリズムにより処理を行う。なお
図１中２６はデータバスを示し、ＣＰＵモジュール２８
の動作指令のプログラムを格納しているＲＯＭや演算結
果を一時記憶しておくＲＡＭが図示省略されている。ま
ず、図２のように、カメラ１０の一回の走査が終了する
毎に明欠陥検査処理Ｓ１、暗欠陥検査処理Ｓ２及び閾値
算出処理Ｓ３を行う。ただし、閾値算出処理Ｓ３は、こ
の走査において明欠陥及び暗欠陥が検出されなかった場
合にのみ実行する。なお、明欠陥検査処理及び暗欠陥検
査処理自体は従来と同様であり、明欠陥の場合は、それ
用の閾値（例えば図４のＴH）を超えたレベルの入力信
号か否かを判断し、暗欠陥の場合はそれ用の閾値（例え
ば図４のＴL）より低いレベルの入力信号か否かを判断
し、かつ各々について一走査当りの回数をカウントした
り、数回の走査における連続性を判断したりすることに
よりなされる。次に、図３に示す閾値算出処理Ｓ３につ
いて説明する。
【０００８】ステップ３０１で、一回の走査中に明欠陥
が有ったか否かを調べる。ここで明欠陥が存在すれば、
最高レベルはその明欠陥のレベルとなり、閾値を算出す
る有効なデータとならないため、同走査の最高レベルは
無効となる。ステップ３０２で同走査の最高レベルを読
み取り、ステップ３０３で同走査以前の数走査分の最高
レベルの平均値を算出する。ステップ３０４で平均の最
高レベルに所定のマージンを加算したレベルを次走査以
後に明欠陥を検出するための閾値として閾値レジスタ１
６Ａに格納する。この閾値は例えば図４のＴHに相当す
る。
が有ったか否かを調べる。ここで明欠陥が存在すれば、
最高レベルはその明欠陥のレベルとなり、閾値を算出す
る有効なデータとならないため、同走査の最高レベルは
無効となる。ステップ３０２で同走査の最高レベルを読
み取り、ステップ３０３で同走査以前の数走査分の最高
レベルの平均値を算出する。ステップ３０４で平均の最
高レベルに所定のマージンを加算したレベルを次走査以
後に明欠陥を検出するための閾値として閾値レジスタ１
６Ａに格納する。この閾値は例えば図４のＴHに相当す
る。
【０００９】ステップ３０５で、同走査中に暗欠陥が有
ったか否かを調べる。ここで暗欠陥が存在すれば、最低
レベルはその暗欠陥のレベルとなり、閾値を算出する有
効なデータとならないため、同走査の最低レベルは無効
となる。ステップ３０６で同走査の最低レベルを読み取
り、ステップ３０７で同走査以前の数走査分の最低レベ
ルの平均値を算出する。ステップ３０８で平均の最低レ
ベルに所定のマージンを加算したレベルを次走査以後に
暗欠陥を検出するための閾値として閾値レジスタ１６Ｂ
に格納する。この閾値は例えば図４のＴLに相当する。
ったか否かを調べる。ここで暗欠陥が存在すれば、最低
レベルはその暗欠陥のレベルとなり、閾値を算出する有
効なデータとならないため、同走査の最低レベルは無効
となる。ステップ３０６で同走査の最低レベルを読み取
り、ステップ３０７で同走査以前の数走査分の最低レベ
ルの平均値を算出する。ステップ３０８で平均の最低レ
ベルに所定のマージンを加算したレベルを次走査以後に
暗欠陥を検出するための閾値として閾値レジスタ１６Ｂ
に格納する。この閾値は例えば図４のＴLに相当する。
【００１０】なお本発明にかかる検査装置の構成は上記
の実施例に制限されることはない。すなわち、最大値Ｍ
ＡＸ、最小値ＭＩＮは上記実施例では一走査毎に検出し
ているが、複数回の走査毎としてもよい。又、最大値Ｍ
ＡＸ及び最小値ＭＩＮから各閾値をそれぞれ算出するた
めには、所定マージンを加えることに代えて、一定比率
を乗算する等、所定の関数とすることができる。またデ
ジタル素子を使用して構成した場合のプログラムも上記
のものに制限されるものではなく、同一の機能を有する
ものであれば別のアルゴリズムを使用することもでき
る。
の実施例に制限されることはない。すなわち、最大値Ｍ
ＡＸ、最小値ＭＩＮは上記実施例では一走査毎に検出し
ているが、複数回の走査毎としてもよい。又、最大値Ｍ
ＡＸ及び最小値ＭＩＮから各閾値をそれぞれ算出するた
めには、所定マージンを加えることに代えて、一定比率
を乗算する等、所定の関数とすることができる。またデ
ジタル素子を使用して構成した場合のプログラムも上記
のものに制限されるものではなく、同一の機能を有する
ものであれば別のアルゴリズムを使用することもでき
る。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の検査装置
によれば、明欠陥と暗欠陥用の閾値が各々、検出信号の
最高レベルと最低レベルに追随するので連続走行生産さ
れ、光を半透過し、かつ地合が存在する被検査対象中に
存在するピンホールや異物等の欠陥を安定して検出する
ことができる。
によれば、明欠陥と暗欠陥用の閾値が各々、検出信号の
最高レベルと最低レベルに追随するので連続走行生産さ
れ、光を半透過し、かつ地合が存在する被検査対象中に
存在するピンホールや異物等の欠陥を安定して検出する
ことができる。
【図１】本発明に係る検査装置の実施例を示すブロック
図である。
図である。
【図２】図１に示すＣＰＵの動作概要を示すフローチャ
ートである。
ートである。
【図３】閾値算出処理のアルゴリズムを示すフローチャ
ートである。
ートである。
【図４】画像信号と２つの閾値の関係を示す波形図であ
る。
る。
１０ カメラ １２Ａ、１２Ｂ ２値化回路 １４Ａ、１４Ｂ バッファ １６Ａ、１６Ｂ 閾値レジスタ １８ 最小値検出回路 ２０ 最小値レジスタ ２２ 最大値検出回路 ２４ 最大値レジスタ ２６ データバス ２８ ＣＰＵモジュール ３０ 光源 ３２ 検査対象物 ＭＡＸ 最高レベル ＭＩＮ 最低レベル ＴH 明欠陥検出用の閾値 ＴL 暗欠陥検出用の閾値
Claims (1)
- 【請求項１】 一定方向に移動するシート状検査対象を
光が半透過するようその一方の面から前記光を照射し、
前記検査対象の他方の面を、一次元撮像素子により撮像
し、前記撮像素子からのアナログ画像信号を適当な閾値
によって２値化して得た画像データを基に各種画像処理
を行い、前記検査対象中に存在する欠陥を検出する検査
装置において、 前記アナログ画像信号を第１閾値によって２値化する第
１の２値化手段と、前記アナログ画像信号を前記第１閾
値より低い第２閾値によって２値化する第２の２値化手
段と、前記第１及び第２の２値化手段によって得られた
２値化データを基に、各々明るい欠陥及び暗い欠陥を検
出する明欠陥検出手段及び暗欠陥検出手段と、前記アナ
ログ画像信号の一回又は複数回の走査における最高レベ
ルを検出する最大値検出手段と、前記アナログ画像信号
の一回又は複数回の走査における最低レベルを検出する
最小値検出手段と、前記最高レベル及び最低レベルの関
数として以降のアナログ画像信号を２値化するための前
記第１閾値及び前記第２閾値をそれぞれ算出する閾値発
生手段を備えたことを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32877292A JPH06160303A (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32877292A JPH06160303A (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | 検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160303A true JPH06160303A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18213968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32877292A Withdrawn JPH06160303A (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06160303A (ja) |
-
1992
- 1992-11-13 JP JP32877292A patent/JPH06160303A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000201 |