JP2001013082A - 欠陥検査装置および欠陥検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 検出位置で検出された欠陥が搬送ライン上の
どの位置まで到達しているかを、搬送ラインの後方にあ
る検査位置において容易に把握することができる欠陥検
査装置および欠陥検査方法を提供する。 【解決手段】 検出位置にある受光手段４によって検査
対象物２の画像信号を取り込み、画像処理手段５によっ
て検査対象物２上の欠陥の欠陥位置を取得し、データ処
理手段８によって検査位置にある出力手段９に欠陥位置
３４を表示し、データ処理手段８によって、速度検出手
段６で検出された移動速度に同期させて出力手段９に表
示された欠陥位置３４を移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、金属板生産分野等
に特に好適に使用される、疵、汚れ等の欠陥を検出する
欠陥検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、金属板、フィルム、不織布、
樹脂板などの検査対象物の表面上の疵、汚れ、斑などの
欠陥を検出する装置が知られている。この欠陥検査装置
としては、例えば、検出位置において、検査対象物の表
面に対して光を照射し、その反射光または透過光を、Ｃ
ＣＤカメラなどを用いたラインセンサにより画像信号と
して取り込み、画像処理装置によって画像信号の輝度の
変化から欠陥を検出し、欠陥の検出状況を、欠陥の目視
確認を行う検査台（検査位置）にあるモニタに表示する
ものがある。

【０００３】ここで、検査位置のモニタには、検出され
た欠陥のランク（大小）、種類（明暗）、検査対象物表
面上における幅方向の位置（ラインセンサの画素位置）
等の欠陥検出データなどが表示されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７に
示すように、検査位置（目視位置）４２は、通常、検出
位置４１よりも搬送ライン４３の後方に離れて位置して
いることが多く、従来の欠陥検出装置では、欠陥の検出
を検査位置（目視位置）４２において知ることはできて
も、検出された欠陥が搬送ライン４３上のどの位置まで
到達しているかを把握することは困難であった。そのた
め、検出された欠陥の目視確認に手間取るという欠点が
あった。

【０００５】また、図８に示すように、製品の検査や出
荷調整のために搬送ラインの一部において検査対象物の
移動速度（搬送ライン速度）を変更する場合に、検査対
象物を一時貯留し搬送ライン速度の変化に応じてその貯
留量を変更するルーパ４４が欠陥の検出位置４１と検査
位置（目視位置）４２との間に設けられている場合があ
る。例えば、鋼板の検査を行う場合は、通常搬送ライン
後方の搬送ライン速度が変更される。このルーパ４４と
しては、例えば、図９（ａ）、（ｂ）に示す装置が使用
される。図９（ａ）に示すルーパは、２つのローラー４
４１、４４２及びその間の下部に配置された穴部４４３
から構成され、検査対象物は穴部４４３内を経由して搬
送され、２つのローラー４４１、４４２間において貯留
されている。ルーパ前後の検査対象物の移動速度に応じ
てローラー４４１、４４２間において貯留されている検
査対象物の量が変化する。即ち、ルーパ４４の前方にお
ける検査対象物の移動速度が後方における移動速度より
も大きいときは検査対象物の貯留量が増加し、ルーパ４
４の前方における検査対象物の移動速度が後方における
移動速度よりも小さいときは検査対象物の貯留量が減少
するようになっている。図９（ｂ）に示すルーパは、２
つのローラー４４１、４４２及び可動ローラー４４４か
ら構成され、検査対象物はローラー４４１、４４４、４
４２の外周を順次経由して搬送されている。このルーパ
は可動ローラーを図中矢印方向に移動させることによっ
てローラー４４１、４４２間において貯留されている検
査対象物の量を変化させることができる。ルーパの後方
の搬送ライン速度を変更する場合は、ルーパ４４の出口
側の搬送ライン速度が変化するため、検出された欠陥が
搬送ライン４３上のどの位置まで到達しているかを検査
位置（目視位置）４２において把握することは一層困難
であった。

【０００６】よって、本発明の目的は、検出位置で検出
された欠陥が搬送ライン上のどの位置まで到達している
かを検査位置において容易に把握することができ、検査
位置への欠陥の到着を確実に知ることができる欠陥検査
装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の欠陥
検査装置は、検出位置において搬送ライン上を一定方向
に移動する検査対象物からの光を受光して、その画像信
号を得る受光手段と、前記受光手段からの画像信号に基
づいて検査対象物に存在する欠陥を検出し、検出された
欠陥の欠陥位置を取得する画像処理手段と、前記検査対
象物の移動速度を検出する速度検出手段と、前記画像処
理手段と速度検出手段からのデータを処理するデータ処
理手段と、前記検出位置よりも搬送ライン上の後方に位
置する検査位置において検査対象物上の欠陥位置を表示
する出力手段とを具備し、前記データ処理手段が前記速
度検出手段で検出された移動速度に同期させて前記出力
手段に表示された欠陥位置を移動させるものであること
を特徴とする。

【０００８】また、本発明の欠陥検査装置は、前記検出
位置において欠陥を検出してから、欠陥が検査位置に到
達するまでの間、警報音を発する警報装置を備えていて
もよい。また、搬送ラインの一部において検査対象物の
移動速度を変更する速度変更手段と、その速度変更手段
の搬送ライン上の前方に配置された検査対象物貯留手段
とをさらに有する場合、速度検出手段が検査対象物貯留
手段よりも後方に配置されていることが好ましい。ま
た、検査対象物貯留手段により貯留される検査対象物の
貯留量を検出する貯留量検出手段をさらに有し、データ
処理手段が、貯留量検出手段により検出された検査対象
物の貯留量に応じて、検査対象物貯留手段により検査対
象物の欠陥位置の貯留が開始された時点での、出力手段
に表示される欠陥位置を設定する機能をさらに有してい
ることが好ましい。

【０００９】また、本発明の欠陥検査方法は、検出位置
において搬送ライン上を一定方向に移動する検査対象物
からの光を受光して、その画像信号を得るステップと、
この画像信号に基づいて検査対象物に存在する欠陥を検
出し、検出された欠陥の欠陥位置を取得するステップ
と、前記検出位置よりも搬送ライン上の後方に位置する
検査位置において検査対象物上の欠陥位置をモニタに表
示するステップと、前記モニタに表示された欠陥位置を
検査対象物の移動速度に同期させて移動させるステップ
とを有することを特徴とする。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳しく説明する。
図１は、本発明の欠陥検査装置の一例を示すブロック図
である。この欠陥検査装置１は、欠陥の検出位置におい
て搬送ライン上を一定方向に移動する検査対象物２の表
面に光を照射する照明装置３と、検査対象物からの光を
受光して、その画像信号を得るラインセンサ４（受光手
段）と、この画像信号を処理する画像処理装置５（画像
処理手段）と、検査対象物２の走行速度を検出する測長
計６（速度検出手段）と、各種信号処理を行うシーケン
サ７と、画像処理装置５および測長計６からのデータの
処理や、装置全体の制御を行う制御コンピュータ８（デ
ータ処理手段）と、前記検出位置よりも搬送ライン上の
後方に位置する検査位置（目視位置）の検査台１０にお
いて検査対象物２上の欠陥位置を表示するモニタ９（出
力手段）とを具備して概略構成される。

【００１１】検査対象物２は、長尺、帯状の金属板、フ
ィルム、布、不織布、樹脂板等からなるものであり、ラ
インセンサ３の長さ方向に直行するように搬送ライン上
を移動している。この欠陥検査装置１を用いた欠陥検査
には、鋼板、メッキ鋼板、酸洗済み鋼板、塗装鋼板、銅
板、アルミ板などの金属板が好適に用いられる。

【００１２】照明装置３は、検査対象物２上における光
の照射範囲の長手方向が検査対象物２の移動方向に直交
するように配置されたライン状の照明装置であり、例え
ば、蛍光灯、ロッド照明、光ファイバ照明等が挙げられ
る。図示例では、照明装置３はラインセンサ４と同じく
検査対象物２の表面側に配置されているが、本発明にお
ける照明装置の配置形態は、これに限られるものではな
い。例えば、照明装置を検査対象物２の背面側に配置
し、検査対象物２の背面から光を照射し、透過光をライ
ンセンサ４で受光するようにしてもよい。

【００１３】ラインセンサ４は、撮像範囲の長手方向が
検査対象物２の移動方向に直交するように配置されたラ
イン状の光センサであり、検査対象物２からの反射光を
受光し、検査対象物２の移動方向に直交するライン（検
査ライン）単位で検査対象物２表面の光強度分布に応じ
た画像信号を出力するものである。ラインセンサ４とし
ては、例えば、素子数（画素数）が２０４８または５０
００のＣＣＤカメラ等が用いられる。

【００１４】画像処理装置５は、ラインセンサ４から出
力された画像信号を、所定のプログラムにしたがって処
理し、検査対象物２に存在する欠陥を検出し、その検出
された欠陥データを制御コンピュータ８に出力するもの
である。画像処理装置５としては、欠陥検査装置に用い
られている公知の画像処理装置を用いることができる。

【００１５】図２は、画像処理装置５の構成の一例を示
すブロック図である。この画像処理装置５は、画像信号
をアナログ信号からデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換
部１１と、設定された閾値によってデジタル信号を二値
化する二値化部１２と、二値化されたデジタル信号をラ
ンレングス符号化するランレングス符号化部１３と、ラ
ンレングス符号化された検査ラインごとの画像信号を検
査対象物２の移動方向につなぎ合わせる連結性処理部１
４とを有して概略構成される。

【００１６】Ａ／Ｄ変換部１１は、ラインセンサ４から
出力される画素ごとの画像信号Ａi（ｉ：画素Ｎｏ）
を、例えば、８ビットの濃度値（２５６階調）を表すデ
ジタル信号Ｂi に変換するものである。二値化部１２
は、Ａ／Ｄ変換部１１で変換されたデジタル信号Ｂi を
閾値Ｄiにしたがって二値化するものである。例えば、
正常部よりも明るい欠陥（明欠陥）を検出しようとする
際には二値化部１２は、デジタル信号Ｂi が閾値Ｄi 以
上である場合は二値化後のデジタル信号Ｂi'を「１」と
し、デジタル信号Ｂi が閾値Ｄi 未満である場合は二値
化後のデジタル信号Ｂi'を「０」とする。正常部よりも
暗い欠陥（暗欠陥）を検出するように二値化部１２を構
成することも可能である。ここで、閾値Ｄi とは、デジ
タル信号Ｂi のうち、正常部に比べてどの程度の濃度差
（単位％）がある部分を欠陥部として検出するかを決め
る境界値である。

【００１７】ランレングス符号化部１３は、メモリ容量
をより少なくするために、二値化後のデジタル信号を圧
縮するものである。連結性処理部１４は、圧縮された検
査ラインごとの画像信号を検査対象物２の移動方向につ
なぎ合わせ、検査対象物２に存在する欠陥を検出し、検
出された欠陥の面積、検査対象物２の移動方向の長さ、
検査対象物２の幅方向の長さ、幅方向の中心位置（欠陥
位置）、ランク（大小）、種類等の欠陥データを取得す
るものである。

【００１８】測長計６は、検査対象物２の移動距離を測
定し、検査対象物２が所定距離を移動するごとにパルス
信号（例えば、１０ｍｍ／パルスの信号）を出力する装
置である。測長計６からのパルス信号が出力される間隔
から検査対象物２の移動速度を知ることができる。

【００１９】制御コンピュータ７は、欠陥検査装置１の
制御、画像処理装置５からの欠陥データの記録、画像処
理装置５からの欠陥データおよび測長計６からのパルス
信号の処理、モニタ９への出力データの出力、画像処理
装置５で使用される検査条件（閾値Ｄi 、欠陥サイズ
等）の設定などを行う装置である。図３は、制御コンピ
ュータ７の構成の一例を示すブロック図である。この制
御コンピュータ７は、記憶部２１と、処理部２２と、イ
ンターフェース部（Ｉ／Ｆ部）２３とを有して概略構成
される。

【００２０】記憶部２１は、主に画像処理装置５からの
欠陥データを記憶するものである。なお、記憶部２２
は、ＲＡＭ（Random Access Memory）のような揮発性の
メモリ、ハードディスク装置、光磁気ディスク装置、フ
ラッシュメモリ等の不揮発性のメモリ、あるいはこれら
の組合せにより構成されるものとする。

【００２１】処理部２２は、記憶部２２に記憶された欠
陥データ、特に、欠陥位置の座標データをモニタ９の出
力形式に変換し、後述のモニタ９のラインマップ上に欠
陥マーカを表示するものである。また、処理部２２は、
測長計６からのパルス信号を受信した場合には、記憶部
２２に記憶された欠陥位置の座標を検査対象物２の移動
方向に移動距離分移動し、更新すると同時に、更新され
た欠陥位置の座標データをモニタ９の出力形式に変換す
ることにより、モニタ９のラインマップ上の欠陥マーカ
を検査対象物２の移動方向に同期させて移動させるもの
である。

【００２２】なお、この処理部２２は専用のハードウエ
アにより実現されるものであってもよく、また、この処
理部２２はメモリおよび中央演算装置（ＣＰＵ）によっ
て構成され、処理部２２の機能を実現するためのプログ
ラムをメモリにロードして実行することによりその機能
を実現させるものであってもよい。

【００２３】インターフェース部２３は、画像処理装置
５、シーケンサ７およびモニタ９と、処理部２２との間
の通信を行うものである。インターフェース部２３とし
ては、例えば、汎用インターフェイス・バス（ＧＰＩ
Ｂ）などが用いられる。また、前記制御コンピュータ８
には、周辺機器として、入力装置、表示装置等が接続さ
れるものとする。ここで、入力装置とは、ディスプレイ
タッチパネル、スイッチパネル、キーボード等の入力デ
バイスのことをいい、表示装置とは、ＣＲＴや液晶表示
装置のことをいう。

【００２４】モニタ９は、検査位置の検査台１０に設け
られ、検出位置から検査位置までの検査対象物２上に存
在する欠陥の位置を表示するものである。モニタ９に
は、図４に示すように、検査対象物２の移動方向を示す
座標軸３１と、検査対象物２の幅方向を示す座標軸３２
とからなるラインマップ３３、および制御コンピュータ
８から出力された欠陥位置の座標データに基づく欠陥マ
ーカ３４が表示されている。

【００２５】また、欠陥検査装置１には、検出位置にお
いて欠陥を検出してから、欠陥が検査位置に到達するま
での間、警報音を発する警報装置を設けてもよい。ま
た、検査位置直前（数ｍ）から警報音を発するようにし
てもよい。警報装置を設けることによって、聴覚により
欠陥の検出および欠陥の検査位置への接近を把握するこ
とができるようになる。

【００２６】また、図示例において、測長計６は検出位
置付近に設けられていたが、検出位置と検査位置の間の
搬送ラインの一部において検査対象物の移動速度が速度
変更手段により変更され、その速度変更手段の搬送ライ
ン上の前方に例えば図９に示したようなルーパなどの検
査対象物貯留手段が配置されている場合は、測長計６は
このルーパの出口側（後方）に設けられる必要がある。
測長計６をルーパの入口側のみに設けた場合、欠陥検査
装置１がルーパの出口側の搬送ライン速度の変動に対応
できなくなり、モニタ９のラインマップ上に表示される
欠陥マーカの位置が正確な欠陥位置を示さなくなり、欠
陥位置の検査位置への到達を正確に知ることができなく
なる。なお、測長計は、リアルタイムにルーパにより貯
留される検査対象物の貯留量（ルーパ量）が検出可能な
場合は、ルーパの出口側のみに設けてもよいが、リアル
タイムにルーパ量が検出されない場合であっても、ルー
パの入口側と出口側の両方に設けることによって、モニ
タ９のラインマップ上に表示される欠陥マーカの位置を
正確に示すことが可能となる。なお、速度変更手段の搬
送ライン上の後方にルーパを配置する構成とすることも
可能である。この場合、測長計はルーパの入口側に配置
され、入口側と出口側の両方に配置することが好まし
い。また、欠陥マーカがより正確な位置を示すようにす
るためには、ルーパ量を検出する貯留量検出手段（ルー
パ量検出手段）（図示せず）を設け、検出されたルーパ
量に応じて、検査対象物の欠陥位置がルーパにより貯留
され始めた時点でのラインマップ上の欠陥マーカの表示
位置を変更するような構成とすることが好ましい。

【００２７】次に、欠陥検査装置１の動作について説明
する。検出位置において照明装置３から検査対象物２の
表面に照射され、検査対象物２の表面で反射された光
は、ラインセンサ４に受光される。ラインセンサ４に受
光された光は、画像信号として画像処理装置５へと出力
される。

【００２８】ラインセンサ４から出力される画素ごとの
アナログの画像信号Ａi （ｉ：画素Ｎｏ）は、画像処理
装置５内のＡ／Ｄ変換部１１によって８ビットの濃度値
（２５６階調）を表すデジタル信号Ｂi に変換される。
Ａ／Ｄ変換部１１で変換されたデジタル信号Ｂi は、制
御コンピュータ８の入力装置から入力、設定された閾値
Ｄi にしたがって二値化部１２で二値化される。二値化
後のデジタル信号は、ランレングス符号化部１３でラン
レングス符号化される。ランレングス符号化された検査
ラインごとの画像信号は、連結性処理部１４で検査対象
物２の移動方向につなぎ合わされる。つなぎ合わされた
画像信号からは、制御コンピュータ８で入力、設定され
た検査条件（サイズ）以上の欠陥が検出され、検出され
た欠陥の面積、検査対象物２の移動方向の長さ、検査対
象物２の幅方向の長さ、幅方向の中心位置（欠陥位
置）、ランク（大小）、種類等の欠陥データが取得され
る。

【００２９】このようにして画像処理装置５で取得され
た欠陥データは、制御コンピュータ８の記憶部２１に記
憶される。記憶部２１に記憶された欠陥位置の座標デー
タは、処理部２２によってモニタ９の出力形式に変換さ
れた後、図４に示すように、モニタ９のラインマップ３
３上に欠陥マーカ３４として表示される。

【００３０】測長計６からのパルス信号（例えば、１０
ｍｍ／パルスの信号）を制御コンピュータ８が受信した
場合には、記憶部２２に記憶された欠陥位置の座標は、
処理部２２よって検査対象物２の移動方向に１０ｍｍに
相当する分だけ移動、更新されると同時に、更新された
欠陥位置の座標データは、処理部２２によってモニタ９
の出力形式に変換された後、図５に示すようにモニタ９
のラインマップ３３上に欠陥マーカ３４’として表示さ
れる。さらに、更新前の欠陥位置の座標データに基づく
欠陥マーカ３４はモニタ９のラインマップ上から消去さ
れる。このようにして、モニタ９のラインマップ上の欠
陥マーカ３４は、図５に示すように、処理部２２によっ
て検査対象物の移動方向を示す座標軸３１方向に、検査
対象物２の移動速度に同期するように移動させられる。
また、測長計６からのパルス信号は、信号端子台（図示
略）を介して画像処理装置５へ出力され、検査対象物２
の移動方向に対する画像信号の分解能を検査対象物２の
移動速度に対応させるためにも使用されている。検出位
置と検査位置の間の搬送ラインの一部において検査対象
物の移動速度を速度変更手段により変更し、その速度変
更手段の搬送ライン上の前方または後方に例えばルーパ
を配置する構成とする場合、搬送ライン速度に応じてル
ーパ量が変動する。なお、速度変更手段としては検査対
象物の搬送速度を変更する公知の装置が使用される。こ
の場合ルーパ量をモニタ９の表示に反映させるため、前
述のルーパ量検出手段（図示せず）を設け、検出された
ルーパ量をライン制御盤（図示せず）から０〜１０Ｖの
アナログ値をアナログ入力ユニットで入力し、この値を
８ビットのデジタル信号信号に変換して制御コンピュー
タ８に出力し、ルーパ量に応じて制御コンピュータ８の
記憶部２１に記憶された欠陥位置の座標を設定すること
が好ましい。ルーパ量として検出されるアナログ値（０
〜１０Ｖ）は、ルーパが貯留可能な検査対象物の量に対
する実際に貯留されている検査対象物の量の割合（０〜
１００％）を示している。例えばルーパに貯留可能な検
査対象物の量が４００ｍの場合、ルーパ量が０％の場合
貯留されている検査対象物は０ｍであり、ルーパ量が１
００％の場合４００ｍである。即ち、図６に示すように
ラインマップ３３をルーパにより貯留されている部分を
表示する領域（ルーパ領域）と、それ以外の領域とに分
割し、検査対象物のルーパに保持されている部分を表示
する領域において、ルーパにより検査対象物の欠陥位置
の貯留が開始された時点での欠陥マーカの表示位置がル
ーパ量に応じて変更されるように欠陥位置の座標を設定
することが好ましい。ルーパ量の最大値を１００％とし
たとき、ルーパによる貯留開始時点での欠陥マーカは、
例えばルーパ量が１００％である場合はルーパ領域の最
上部に表示され、ルーパ量が５０％である場合はルーパ
領域の１／２に高さに表示され、ルーパ量が０％である
場合はルーパ領域の最下部に表示される。このような構
成とすることによりルーパにより貯留されている検査対
象物の欠陥位置を正確に知ることができる。

【００３１】このような欠陥検査装置１にあっては、制
御コンピュータ８が、測長計６で検出された検査対象物
の移動速度に基づいてモニタ９に表示された欠陥マーカ
３４（欠陥位置）を移動させることができるので、検出
位置において検出された検査対象物２上の欠陥が、検査
対象物２の移動速度に同期して検査位置（目視位置）に
流れてくる様子を視覚によって把握することができる。
そのため、検出された欠陥の目視確認を容易に行うこと
ができる。

【００３２】

【実施例】以下、具体的な実施例について説明する。検
出位置からルーパまでの距離が０ｍであり、ルーパが０
〜２５０ｍの間で可変であり、ルーパから検査位置（目
視位置）までの距離が１００ｍである搬送ラインにおい
て、１８８０ｍｍ幅の鋼板の欠陥検査を図１〜図６に示
す欠陥検査装置１を用いて行った。

【００３３】照明装置３としては、京都電機（株）製の
１１０Ｗの灯具を用いた。ラインセンサ４としては、画
素数２０４８のＳＣＤ−２０４８−２０（三菱レイヨン
（株）製、ＣＣＤカメラ）を２台用意し、これらを検査
対象物２の幅方向に配置した構成で用いた。このときの
ラインセンサ４の幅方向分解能は０．５ｍｍ／画素、走
行方向分解能は０．５ｍｍ／スキャンであった。画像処
理装置５としては、三菱レイヨン（株）製のＬＳＣ−３
００を用いた。測長計６としては、三菱レイヨン（株）
製のＲＥＡ２００を用いた。

【００３４】ラインセンサ４から出力された画像信号
は、画像処理装置５のＡ／Ｄ変換部１１にて８ビットで
デジタル化されるように設定した。欠陥の検査の前に、
あらかじめ欠陥のない鋼板の画像信号をラインセンサ４
で取り込み、画像処理装置５のＡ／Ｄ変換部１１でデジ
タル化した後、これを平均化して、閾値Ｄi を設定し
た。測長計６は、ルーパの出口側に設置し、１０ｍｍ／
パルスのパルス信号を出力するように設定した。

【００３５】まず、検出位置において、移動速度２５０
ｍ／ｍｉｎで移動する検査対象物２からラインセンサ４
で得られた画像信号を、画像処理装置５においてＡ／Ｄ
変換、二値化、ランレングス符号化および連結性処理
し、検査対象物２上の欠陥を検出し、欠陥データを取得
した。取得された欠陥データを、制御コンピュータ８に
よって検査位置（目視位置）のモニタ９のラインマップ
３３上に欠陥マーカ３４として表示するとともに、警報
装置から警報音を発した。

【００３６】測長計６からのパルス信号に基づいて、モ
ニタ９のラインマップ３３上に表示された欠陥マーカ３
４を制御コンピュータ８によって検査対象物２の移動速
度に同期させて移動させ、また、ルーパ量検出手段によ
り検出されたルーパ量に応じて、ルーパにより検査対象
物の欠陥位置の貯留が開始された時点での欠陥マーカの
ラインマップ上の表示位置を変更するようにした。モニ
タ９のラインマップ３３上に表示された欠陥マーカ３４
が、ラインマップ３３上において検査位置を示す位置に
到達すると同時に、警報装置からの警報音を停止した。
このようにして欠陥検査を行った結果、ルーパの出口側
での検査対象物２の移動速度を変化させても、検査対象
物２上の欠陥が搬送ライン上のどの位置にあるのかを検
査位置（目視位置）で正確に把握することができ、検査
位置（目視位置）への欠陥の到着を確実に知ることがで
きた。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の欠陥検査
装置によれば、データ処理手段が、検出位置で検出さ
れ、検査位置に出力手段に表示された欠陥位置を速度検
出手段で検出された移動速度に同期させて移動させるも
のであるので、検出位置で検出された欠陥が搬送ライン
上のどの位置まで到達しているかを検査位置において容
易に把握することができ、検査位置への欠陥の到着を確
実に知ることができる。

【００３８】また、前記検出位置において欠陥を検出し
てから、欠陥が検査位置に到達するまでの間、警報音を
発する警報装置が備えられている場合、聴覚により欠陥
の検出および欠陥の検査位置への接近を確実に把握でき
る。また、搬送ラインの一部において検査対象物の移動
速度を変更する速度変更手段と、その速度変更手段の搬
送ライン上の前方に配置された検査対象物貯留手段とを
さらに有する場合、速度検出手段を検査対象物貯留手段
よりも後方に配置することにより、検査対象物貯留手段
の出口側の移動速度の変動に対応できるようになり、出
力手段に表示される欠陥位置は正確な位置を示すことが
可能となる。また、前記検査対象物貯留手段により貯留
される検査対象物の貯留量を検出する貯留量検出手段を
さらに有し、データ処理手段が、前記貯留量検出手段に
より検出された検査対象物の貯留量に応じて、前記検査
対象物貯留手段により検査対象物の欠陥位置の貯留が開
始された時点での、前記出力手段に表示する欠陥位置を
設定する機能をさらに有するものである場合は、検査対
象物貯留手段により貯留されている検査対象物の欠陥位
置をより正確に示すことが可能となる。

【００３９】また、本発明の欠陥検査方法は、検出位置
において搬送ライン上を一定方向に移動する検査対象物
からの光を受光して、その画像信号を得るステップと、
この画像信号に基づいて検査対象物に存在する欠陥を検
出し、検出された欠陥の欠陥位置を取得するステップ
と、前記検出位置よりも搬送ライン上の後方に位置する
検査位置において検査対象物上の欠陥位置をモニタに表
示するステップと、前記モニタに表示された欠陥位置を
検査対象物の移動速度に同期させて移動させるステップ
とを有しているので、検出位置で検出された欠陥が搬送
ライン上のどの位置まで到達しているかを検査位置にお
いて容易に把握することができ、検査位置への欠陥の到
着を確実に知ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の欠陥検査装置の一例を示すブロック
図である。

【図２】 本発明の欠陥検査装置に用いられる画像処理
装置の一例を示すブロック図である。

【図３】 本発明の欠陥検査装置に用いられる制御コン
ピュータの一例を示すブロック図である。

【図４】 本発明の欠陥検査装置のモニタに表示される
ラインマップを示す概略図である。

【図５】 本発明の欠陥検査装置のモニタに表示される
ラインマップを示す概略図である。

【図６】 本発明の欠陥検査装置のモニタに表示される
ラインマップを示す概略図である。

【図７】 欠陥の検出位置と検査位置の位置関係を示す
ブロック図である。

【図８】 欠陥の検出位置、検査位置およびルーパの位
置関係を示すブロック図である。

【図９】 （ａ）は、ルーパの一例を示す概略図であ
り、（ｂ）は、ルーパの他の例を示す概略図である。

【符号の説明】

１ 欠陥検査装置 ２ 検査対象物 ４ ラインセンサ（受光手段） ５ 画像処理装置（画像処理手段） ６ 測長計（速度検出手段） ８ 制御コンピュータ（データ処理手段） ９ モニタ（出力手段） ３４ 欠陥マーカ（欠陥位置）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田代 慎太郎 愛知県豊橋市牛川通四丁目１番地の２ 三 菱レイヨン株式会社豊橋事業所内 (72)発明者 高橋 哲生 愛知県豊橋市牛川通四丁目１番地の２ 三 菱レイヨン株式会社豊橋事業所内 (72)発明者 宮本 俊彦 兵庫県加古川市金沢町１ 株式会社神戸製 鋼所加古川製鉄所内 (72)発明者 北村 彰浩 兵庫県加古川市金沢町１ 株式会社神戸製 鋼所加古川製鉄所内 Ｆターム(参考） 2G051 AA32 AA37 AA41 AB02 CA03 CA04 DA06 EA11 EA30 EB01 EC01 FA01

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検出位置において搬送ライン上を一定方
   向に移動する検査対象物からの光を受光して、その画像
   信号を得る受光手段と、 前記受光手段からの画像信号に基づいて検査対象物に存
   在する欠陥を検出し、検出された欠陥の欠陥位置を取得
   する画像処理手段と、 前記検査対象物の移動速度を検出する速度検出手段と、 前記画像処理手段と速度検出手段からのデータを処理す
   るデータ処理手段と、 前記検出位置よりも搬送ライン上の後方に位置する検査
   位置において検査対象物上の欠陥位置を表示する出力手
   段とを具備し、 前記データ処理手段は、前記速度検出手段で検出された
   移動速度に同期させて前記出力手段に表示された欠陥位
   置を移動させるものであることを特徴とする欠陥検査装
   置。
2. 【請求項２】 前記検出位置において欠陥を検出してか
   ら、欠陥が検査位置に到達するまでの間、警報音を発す
   る警報装置を備えたことを特徴とする請求項１記載の欠
   陥検査装置。
3. 【請求項３】 搬送ラインの一部において検査対象物の
   移動速度を変更する速度変更手段と、その速度変更手段
   の搬送ライン上の前方に配置された検査対象物貯留手段
   とをさらに有し、 前記検査対象物貯留手段は、前記検査対象物貯留手段の
   前方における検査対象物の移動速度が後方における移動
   速度よりも大きいときは検査対象物の貯留量を増加さ
   せ、前記検査対象物貯留手段の前方における検査対象物
   の移動速度が後方における移動速度よりも小さいときは
   検査対象物の貯留量を減少させるように構成されてお
   り、 前記速度検出手段は前記検査対象物貯留手段よりも後方
   に配置されていることを特徴とする請求項１または請求
   項２に記載の欠陥検査装置。
4. 【請求項４】 前記検査対象物貯留手段により貯留され
   る検査対象物の貯留量を検出する貯留量検出手段をさら
   に有し、 前記データ処理手段として、前記画像処理手段と前記速
   度検出手段からのデータに加えて前記貯留量検出手段か
   らのデータを処理するデータ処理手段を用い、 前記データ処理手段が、前記貯留量検出手段により検出
   された検査対象物の貯留量に応じて、前記検査対象物貯
   留手段により検査対象物の欠陥位置の貯留が開始された
   時点での、前記出力手段に表示される欠陥位置を設定す
   る機能をさらに有することを特徴とする請求項３に記載
   の欠陥検査装置。
5. 【請求項５】 検出位置において搬送ライン上を一定方
   向に移動する検査対象物からの光を受光して、その画像
   信号を得るステップと、 この画像信号に基づいて検査対象物に存在する欠陥を検
   出し、検出された欠陥の欠陥位置を取得するステップ
   と、 前記検出位置よりも搬送ライン上の後方に位置する検査
   位置において検査対象物上の欠陥位置をモニタに表示す
   るステップと、 前記モニタに表示された欠陥位置を検査対象物の移動速
   度に同期させて移動させるステップとを有することを特
   徴とする欠陥検査方法。