JP2014224763A - 欠陥検査システム - Google Patents

Abstract

【課題】アキュームレーターの稼働によって欠陥検査装置と記録装置との間のフィルムの搬送距離（オフセット距離）が変動した場合であっても、欠陥箇所と欠陥情報の記録位置との間にずれが生じにくい欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】帯状のフィルムＦＸが搬送される搬送ラインＬと、搬送ラインＬに設けられたアキュームレーター１０と、アキュームレーター１０の上流側の搬送ラインＬに設けられた欠陥検査装置７と、アキュームレーター１０の下流側の搬送ラインＬに設けられ、欠陥検査装置７によって検出された欠陥に関する欠陥情報をフィルムＦＸに記録する記録装置９と、アキュームレーター１０の上流側と下流側のフィルムＦＸの搬送量の差に基づいてオフセット距離の補正値を算出し、前記補正値に基づいて、記録装置９によるフィルムＦＸへの欠陥情報の記録タイミングを補正する制御装置１５と、を備えた欠陥検査システム１００。
【選択図】図２

Description

本発明は、欠陥検査システムに関するものである。

偏光板などのフィルムは、異物欠陥や凹凸欠陥などの欠陥検査を行った後、芯材の周りに巻き取られる。欠陥の位置や種類に関する情報（以下、欠陥情報という）は、フィルムの端部にバーコードを印字したり、欠陥箇所にマーキングを施したりすることによって、フィルムに記録される。芯材に巻き取られたフィルムは、巻き取り量が一定量に達すると、上流側のフィルムから切り離され、原反ロールとして出荷される。例えば、特許文献１には、フィルムの搬送ライン上に、欠陥検査装置と、欠陥情報をフィルムに記録する記録装置とを備えた欠陥検査システムが開示されている。

特開２０１１−７７７９号公報

このような欠陥検査システムにおいては、欠陥検査装置と記録装置とは搬送ラインの上流側と下流側に分離して配置される。そのため、フィルムの欠陥箇所と欠陥情報の記録位置との間にずれが生じないように、記録装置は、欠陥検査後所定のタイミングで記録を行う。欠陥検査が行われてから記録が行われるまでの時間は、欠陥検査装置と記録装置との間のフィルムの搬送距離（以下、オフセット距離という）によって決まる。

しかしながら、欠陥検査装置と記録装置との間にアキュームレーターと呼ばれる速度調節機構を設けると、オフセット距離が延長されるため、同じタイミングで記録を行うと、欠陥箇所と欠陥情報の記録位置との間にずれが生じてしまう。アキュームレーターは、上流側から搬送されてくるフィルムを蓄積し、上流側でのフィルムの流れを中断させずに、下流側でのフィルムの流れを減速または停止させるものである。アキュームレーターは、芯材交換後の紙継ぎなどの作業時に稼働される。

記録位置のずれを防止するために、欠陥検査装置と記録装置を全てアキュームレーターの上流側に設置し、アキュームレーターの稼働によってオフセット距離が変動しないようにすることが考えられる。しかしながら、この構成では、アキュームレーターの上流側に欠陥検査装置や記録装置が密集するため、ラインのレイアウトが制限される。

特許文献１には、欠陥検査装置と記録装置との間にアキュームレーターを設置した欠陥検査システムが開示されている。しかしながら、特許文献１のアキュームレーターは、欠陥情報の記録時にフィルムの流れを停止させるものであり、原反ロールの切り替えなどの作業時にフィルムの流れを停止させるものではない。記録を行うタイミングは、オフセット距離によって決められており、アキュームレーターによるフィルムの蓄積量に応じて記録タイミングを変更するものではない。

本発明の目的は、アキュームレーターの稼働によって欠陥検査装置と記録装置との間のフィルムの搬送距離（オフセット距離）が変動した場合であっても、欠陥箇所と欠陥情報の記録位置との間にずれが生じにくい欠陥検査システムを提供することにある。

本発明の欠陥検査システムは、帯状のフィルムが搬送される搬送ラインと、前記搬送ラインに設けられたアキュームレーターと、前記アキュームレーターよりも上流側の前記搬送ラインに設けられた欠陥検査装置と、前記アキュームレーターよりも下流側の前記搬送ラインに設けられ、前記欠陥検査装置によって検出された欠陥に関する欠陥情報を前記フィルムに記録する記録装置と、前記アキュームレーターの上流側と下流側の前記フィルムの搬送量の差に基づいて、前記欠陥検査装置と前記記録装置との間のオフセット距離の補正値を算出し、前記補正値に基づいて、前記記録装置による前記フィルムへの前記欠陥情報の記録タイミングを補正する制御装置と、を備えている。

本発明の欠陥検査システムは、前記アキュームレーターよりも上流側に設けられた第１測長器と、前記アキュームレーターよりも下流側に設けられた第２測長器と、アキュームレーター非稼働時の前記欠陥検査装置と前記記録装置との間の第１オフセット距離を記憶する記憶装置と、を備え、前記制御装置は、前記第１測長器および前記第２測長器の測定結果に基づいて前記補正値を算出する第１演算部と、前記補正値と前記第１オフセット距離とに基づいてアキュームレーター稼働時の前記欠陥検査装置と前記記録装置との間の第２オフセット距離を算出する第２演算部と、前記第１測長器または前記第２測長器の測定結果に基づいて、前記欠陥検査装置によって欠陥検査が行われた時刻以降の前記アキュームレーターの上流側または下流側の前記フィルムの搬送量を検出し、当該搬送量が前記第２オフセット距離と一致したタイミングで、前記記録装置を制御し、前記フィルムに前記欠陥情報を記録する記録制御部と、を備えていてもよい。

前記記録装置は、前記欠陥検査装置によって欠陥が検出されてから前記記録装置によって当該欠陥に関する欠陥情報が記録されるまでの間に前記アキュームレーターが稼働した場合には、前記アキュームレーターが稼働したことを示すアキュームレーター稼働情報を前記欠陥情報とともに前記フィルムに記録してもよい。

本発明によれば、アキュームレーターの稼働によって欠陥検査装置と記録装置との間のフィルムの搬送距離（オフセット距離）が変動した場合であっても、欠陥箇所と欠陥情報の記録位置との間にずれが生じにくい欠陥検査システムを提供することができる。

フィルムの製造装置の概略図である。 欠陥検査システムの概略図である。 アキュームレーター稼働時の欠陥情報の記録タイミングの制御方法を説明する図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明するが、本発明は同実施形態に限定されるものではない。なお、以下の全ての図面においては、実施形態を明らかにするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。また、以下の説明および図面中、同一又は相当する要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

図１は、本発明の一実施形態に係るフィルムの製造装置１の概略図である。

製造装置１は、第１フィルムＦ１にプロテクションフィルム（表面保護フィルム）Ｆ２，Ｆ３を貼合して第２フィルムＦ５を製造するものである。第１フィルムＦ１、プロテクションフィルムＦ２，Ｆ３および第２フィルムＦ５は、可撓性を有する帯状のフィルムであればよく、その材料や構成は特に限定されない。

図１に示すように、製造装置１は、第１ライン２、第２ライン３、第３ライン４、第４ライン５および第５ライン６を備えている。第２ライン３および第４ライン５によって、プロテクションフィルムＦ２，Ｆ３の搬送ラインが形成され、第１ライン２、第３ライン４および第５ライン６によって、第１フィルムＦ１を含む帯状のフィルムＦＸの搬送ラインＬ（本発明の「帯状のフィルムが搬送される搬送ライン」に相当）が形成されている。フィルムＦＸは、第１フィルムＦ１、第１フィルムＦ１の片面にプロテクションフィルムＦ２を貼合した片面貼合フィルムＦ４、第１フィルムＦ１の両面にプロテクションフィルムＦ２，Ｆ３を貼合した両面貼合フィルム（第２フィルムＦ５）である。

各ライン２〜６には、フィルムＦ１〜Ｆ５の搬送経路を形成する複数のロール（例えば、本実施形態では、ガイドロール３１、ニップロール３２，３３，３４，３５，３６、ダンサーロール１０ａ，１１ａ，１２ａ，１３ａ）が設けられている。製造装置１の各部は、電子制御装置としての制御装置１５により統括制御される。

第１ライン２は、第１フィルムＦ１を製造して搬送する。第１フィルムＦ１は、本実施形態の場合、偏光フィルムであるが、第１フィルムＦ１はこれに限定されない。第１ライン２では、偏光子の基材となるＰＶＡ（Polyvinyl Alcohol）フィルムに対して染色処理、架橋処理および延伸処理などを施し、その両面にＴＡＣ（Triacetylcellulose）などからなる偏光子保護フィルムを貼合することにより第１フィルムＦ１を製造する。なお、第１フィルムＦ１は、偏光フィルムに限らず、位相差フィルム、光拡散フィルム、光反射フィルム、レンズフィルム、導電フィルム、絶縁フィルム、感光性フィルムなどの他のフィルムでもよい。

第１ライン２には、アキュームレーター１０が設けられている。アキュームレーター１０は、複数のダンサーロール１０ａを備えている。ダンサーロール１０ａは、第１フィルムＦ１を支持しつつ上下方向に昇降可能となっている。アキュームレーター１０は、原点位置（非稼働時の位置）からダンサーロール１０ａを上昇させることにより、上流側から搬送されてくる第１フィルムＦ１を蓄積し、上昇したダンサーロール１０ａを下降させることにより、第１フィルムＦ１の蓄積を解除する。アキュームレーター１０は、原反ロールＲ１〜Ｒ３の芯材交換後の紙継ぎなどの作業時に稼働される。

第１ライン２において、アキュームレーター１０よりも上流側には、第１欠陥検査装置７が設けられている。第１欠陥検査装置７は、第１フィルムＦ１を製造する際や、製造後の第１フィルムＦ１を搬送する際に生じた異物欠陥、凹凸欠陥、輝点欠陥などの各種欠陥を検出する。第１欠陥検査装置７は、搬送中の第１フィルムＦ１に対して、反射検査、透過検査、斜め透過検査、クロスニコル透過検査などの検査処理を実行することにより、第１フィルムＦ１の欠陥を検出する。

第１欠陥検査装置７は、第１フィルムＦ１に光を照射する照明部２１ａ，２２ａ，２３ａと、照明部２１ａ，２２ａ，２３ａから照射されて第１フィルムＦ１を経由（反射と透過の一方又は双方）した光の、第１フィルムＦ１における欠陥の有無による変化を検出可能な光検出器２１ｂ，２２ｂ，２３ｂと、を備えている。第１欠陥検査装置７には、検査対象となる欠陥の種類ごとに、照明部と光検出器がそれぞれ備えられている。

照明部２１ａ，２２ａ，２３ａは、第１欠陥検査装置７で行う検査の種類に応じて光強度や波長、偏光状態等が調整された光を照射する。光検出器２１ｂ，２２ｂ，２３ｂは、ＣＣＤ等の撮像素子で構成されており、照明部２１ａ，２２ａ，２３ａによって光が照射されている部分の第１フィルムＦ１を撮像する。光検出器２１ｂ，２２ｂ，２３ｂの検出結果（撮像結果）は、制御装置１５へ出力される。

第２ライン３は、第１プロテクションフィルムＦ２を第１原反ロールＲ１から巻き出して搬送する。第１プロテクションフィルムＦ２は、本実施形態の場合、ＰＥＴ（Polyethylene terephthalate）フィルムであるが、第１プロテクションフィルムＦ２はこれに限定されない。

第２ライン３には、アキュームレーター１１が設けられている。アキュームレーター１１は、複数のダンサーロール１１ａを備えている。ダンサーロール１１ａは、第１プロテクションフィルムＦ２を支持しつつ上下方向に昇降可能となっている。アキュームレーター１１は、原点位置（非稼働時の位置）からダンサーロール１１ａを上昇させることにより、上流側から搬送されてくる第１プロテクションフィルムＦ２を蓄積し、上昇したダンサーロール１１ａを下降させることにより、第１プロテクションフィルムＦ２の蓄積を解除する。アキュームレーター１１は、原反ロールＲ１〜Ｒ３の芯材交換後の紙継ぎなどの作業時に稼働される。

第３ライン４は、第１フィルムＦ１の一方の面に第１プロテクションフィルムＦ２を貼合して搬送する。第１フィルムＦ１の一方の面に第１プロテクションフィルムＦ２を貼合することにより、片面貼合フィルムＦ４が製造される。

第３ライン４は、互いに軸方向を平行にして配置された一対のニップロール３３，３４を有する。一対のニップロール３３，３４の間には所定の間隙が形成され、この間隙内が第１フィルムＦ１と第１プロテクションフィルムＦ２との貼合位置となる。間隙内には、第１フィルムＦ１と第１プロテクションフィルムＦ２とが重なり合って導入される。第１フィルムＦ１と第１プロテクションフィルムＦ２が、ニップロール３３，３４によって挟圧されつつ下流側に送り出される。これにより、第１フィルムＦ１の一方の面に第１プロテクションフィルムＦ２が貼合される。

第４ライン５は、第２プロテクションフィルムＦ３を第２原反ロールＲ２から巻き出して搬送する。第２プロテクションフィルムＦ３は、本実施形態の場合、ＰＥＴ（Polyethylene terephthalate）フィルムであるが、第２プロテクションフィルムＦ３はこれに限定されない。

第４ライン５には、アキュームレーター１２が設けられている。アキュームレーター１２は、複数のダンサーロール１２ａを備えている。ダンサーロール１２ａは、第２プロテクションフィルムＦ３を支持しつつ上下方向に昇降可能となっている。アキュームレーター１２は、原点位置（非稼働時の位置）からダンサーロール１２ａを上昇させることにより、上流側から搬送されてくる第２プロテクションフィルムＦ３を蓄積し、上昇したダンサーロール１２ａを下降させることにより、第２プロテクションフィルムＦ３の蓄積を解除する。アキュームレーター１２は、原反ロールＲ１〜Ｒ３の芯材交換後の紙継ぎなどの作業時に稼働される。

第５ライン６は、第１フィルムＦ１の他方の面（第１プロテクションフィルムＦ２が貼合された面とは反対側の面）に第２プロテクションフィルムＦ３貼合して搬送する。第１フィルムＦ１の一方の面および他方の面に第１プロテクションフィルムＦ２および第２プロテクションフィルムＦ３を貼合することにより、第２フィルムＦ５が製造される。第２フィルムＦ５が芯材に巻き取られることにより、第２フィルムＦ５の原反ロールＲ３が製造される。

第５ライン６は、互いに軸方向を平行にして配置された一対のニップロール３５，３６を有する。一対のニップロール３５，３６の間には所定の間隙が形成され、この間隙内が第１フィルムＦ１と第２プロテクションフィルムＦ３との貼合位置となる。間隙内には、第１フィルムＦ１と第２プロテクションフィルムＦ３とが重なり合って導入される。第１フィルムＦ１と第２プロテクションフィルムＦ３が、ニップロール３５，３６によって挟圧されつつ下流側に送り出される。これにより、第１フィルムＦ１の他方の面に第２プロテクションフィルムＦ３が貼合される。

第５ライン６には、アキュームレーター１３が設けられている。アキュームレーター１３は、複数のダンサーロール１３ａを備えている。ダンサーロール１３ａは、第２フィルムＦ５を支持しつつ上下方向に昇降可能となっている。アキュームレーター１３は、原点位置（非稼働時の位置）からダンサーロール１３ａを上昇させることにより、上流側から搬送されてくる第２フィルムＦ５を蓄積し、上昇したダンサーロール１３ａを下降させることにより、第２フィルムＦ５の蓄積を解除する。アキュームレーター１３は、原反ロールＲ１〜Ｒ３の芯材交換後の紙継ぎなどの作業時に稼働される。

第５ライン６において、アキュームレーター１３よりも上流側には、第２欠陥検査装置８および記録装置９が設けられている。第２欠陥検査装置８は、プロテクションフィルムＦ２，Ｆ３を第１フィルムＦ１に貼合した際や、貼合後のフィルムを搬送する際に生じた異物欠陥、凹凸欠陥、輝点欠陥などの各種欠陥を検出する。第２欠陥検査装置８は、搬送中の第２フィルムＦ５に対して、反射検査、透過検査、斜め透過検査、クロスニコル透過検査などの検査処理を実行することにより、第２フィルムＦ５の欠陥を検出する。

第２欠陥検査装置８は、第２フィルムＦ５に光を照射する照明部２４ａ，２５ａと、照明部２４ａ，２５ａから照射されて第２フィルムＦ５を経由（反射と透過の一方又は双方）した光の、第２フィルムＦ５における欠陥の有無による変化を検出可能な光検出器２４ｂ，２５ｂと、を備えている。第２欠陥検査装置８には、検査対象となる欠陥の種類ごとに、照明部と光検出器がそれぞれ備えられている。

照明部２４ａ，２５ａは、第２欠陥検査装置８で行う検査の種類に応じて光強度や波長、偏光状態等が調整された光を照射する。光検出器２４ｂ，２５ｂは、ＣＣＤ等の撮像素子で構成されており、照明部２４ａ，２５ａによって光が照射されている部分の第２フィルムＦ５を撮像する。光検出器２４ｂ，２５ｂの検出結果（撮像結果）は、制御装置１５へ出力される。

記録装置９は、第５ライン６において、第２欠陥検査装置８よりも下流側に設けられている。記録装置９は、第１欠陥検査装置７および第２欠陥検査装置８によって検出された欠陥に関する欠陥情報を第２フィルムＦ５（第１プロテクションフィルムＦ２）に記録する。欠陥情報には、欠陥の位置や種類に関する情報などが含まれる。

記録装置９は、例えば、欠陥情報を識別コード（一次元バーコード、二次元バーコード、ＱＲコード（登録商標）など）の形式で第２フィルムＦ５の幅方向端部に記録する。識別コードには、例えば、第１欠陥検査装置７および第２欠陥検査装置８によって検出された欠陥が、バーコードが付された位置からフィルム幅方向に沿ってどれだけの距離だけ離れた位置に存在するかを示す情報（欠陥の位置に関する情報）が含まれる。識別コードには、検出された欠陥の種類に関する情報が含まれていてもよい。

記録装置９は、第２フィルムＦ５の欠陥箇所に、欠陥を包含するような大きさのドット状、ライン状もしくは枠状のマークを付すことによって、欠陥の位置を第２フィルムＦ５上に直接表示（マーキング）してもよい。この際、前記マークとともに欠陥の種類を示す記号や模様を欠陥箇所に付すことによって、欠陥の種類に関する情報を記録してもよい。

フィルムＦＸの搬送ラインＬには、フィルムＦＸの搬送量を測定する第１測長器４１および第２測長器４２が設けられている。第１測長器４１および第２測長器４２は、例えば、フィルムＦＸと接して回転する回転体の回転軸の回転変位量に応じてパルス列を出力するロータリーエンコーダーである。第１測長器４１は、アキュームレーター１０の上流側に設けられ、第２測長器４２は、アキュームレーター１０の下流側に設けられている。

本実施形態の場合、第１測長器４１はニップロール３２に設けられ、第２測長器４２はニップロール３３に設けられている。第１測長器４１および第２測長器４２によって測定されたエンコーダー（第１測長器４１、第２測長器４２）の回転角および外周の長さに基づいて、第１フィルムＦ１の搬送量が検出される。第１測長器４１および第２測長器４２の測定結果は、制御装置１５へ出力される。制御装置１５は、第１測長器４１および第２測長器４２の測定結果に基づいてアキュームレーター１０による第１フィルムＦ１の蓄積量を検出する。制御装置１５は、例えば、第１フィルムＦ１の蓄積をオフセット距離の補正値として検出する。

本実施形態の場合、第１欠陥検査装置７と記録装置９との間にはアキュームレーター１０が１つしか存在しないため、第１測長器４１と第２測長器４２は、アキュームレーター１０の上流側と下流側に１つずつ設けられている。第１欠陥検査装置７と記録装置９との間にアキュームレーターが複数存在する場合には、その最も上流側のアキュームレーターの上流側と最も下流側のアキュームレーターの下流側に１つずつ測長器が設けられる。

制御装置１５は、光検出器２１ｂ，２２ｂ，２３ｂ，２４ｂ，２５ｂによって撮像された画像を解析して、欠陥の位置や種類などを判定する。制御装置１５は、第１フィルムＦ１および第２フィルムＦ５に欠陥が存在すると判定した場合には、記録装置９を制御して第２フィルムＦ５に欠陥情報を記録する。

制御装置１５は、フィルムＦＸの欠陥箇所と欠陥情報の記録位置との間にずれが生じないように、欠陥検査後所定のタイミングで欠陥情報の記録を行う。例えば、制御装置１５は、第２測長器４２の測定結果に基づいて、第１欠陥検査装置７または第２欠陥検査装置８によって欠陥検査が行われた時刻以降に搬送ラインＬ上を搬送されたフィルムＦＸの搬送量を検出し、検出された搬送量がオフセット距離と一致したときに、記録装置９により記録が行われるようにする。

オフセット距離は、欠陥検査装置７，８と記録装置９との間のフィルムＦＸの搬送距離をいう。厳密には、オフセット距離は、欠陥検査装置７，８において欠陥検査が行われる位置（欠陥検査位置）と記録装置９において欠陥情報の記録が実施される位置（記録実施位置）との間のフィルムＦＸの搬送距離として定義される。オフセット距離は、アキュームレーター１０を稼働させると変動する。アキュームレーター非稼働時のオフセット距離（以下、第１オフセット距離という）は記憶装置１６に記憶されている。欠陥検査装置７，８には複数の光検出器２１ｂ，２２ｂ，２３ｂ，２４ｂ，２５ｂが存在し、光検出器ごとに欠陥検査が行われる。そのため、記憶装置１６には、光検出器２１ｂ，２２ｂ，２３ｂ，２４ｂ，２５ｂごとに、第１オフセット距離が記憶されている。

制御装置１５は、アキュームレーター１０の稼働によってオフセット距離が変動する場合には、アキュームレーター１０の上流側と下流側のフィルムＦＸの搬送量の差に基づいて、欠陥検査装置と記録装置９との間のオフセット距離の補正値を算出し、この補正値に基づいて、記録装置９による第２フィルムＦ５への欠陥情報の記録タイミングを補正する。

例えば、制御装置１５は、第１測長器４１および第２測長器４２の測定結果に基づいて補正値を算出する。制御装置１５は、補正値と第１オフセット距離とに基づいて、アキュームレーター稼働時のオフセット距離（以下、第２オフセット距離という）を算出する。制御装置１５は、第１測長器４１または第２測長器４２の測定結果に基づいて、第１欠陥検査装置７によって欠陥検査が行われた時刻以降のアキュームレーター１０の上流側または下流側のフィルムＦＸの搬送量を検出し、当該搬送量が第２オフセット距離と一致したタイミングで、記録装置９を制御し、第２フィルムＦ５に欠陥情報を記録する。

制御装置１５は、第１欠陥検査装置７によって欠陥が検出されてから記録装置９によって当該欠陥に関する欠陥情報が記録されるまでの間にアキュームレーター１０が稼働した場合には、記録装置９を制御して、アキュームレーター１０が稼働したことを示す情報（以下、アキュームレーター稼働情報という）を欠陥情報とともに第２フィルムＦ５に記録する。アキュームレーター稼働情報は、例えば、第２フィルムＦ５に特定の文字（例えば、「ＡＬ」）や模様を付すことによって記録される。

アキュームレーター稼働時には、記録装置９による記録タイミングが第１測長器４１および第２測長器４２の測定結果に基づいて補正される。しかし、第１測長器４１および第２測長器４２の測定結果に誤差が含まれる場合には、第２フィルムＦ５上の記録位置にずれが生じ、欠陥のない部分（良品部分）を誤って欠陥箇所と判定する惧れがある。第２フィルムＦ５にアキュームレーター稼働情報が記録されていれば、オペレーターがアキュームレーター稼働情報が付された部分の欠陥箇所を入念に検査することにより、記録位置のずれなどを検出することができる。よって、良品部分を誤って欠陥箇所と判定する惧れが少なくなり、歩留りの向上が図られる。

なお、本実施形態の制御装置１５は、コンピュータシステムを含んで構成されている。このコンピュータシステムは、ＣＰＵ等の演算処理部と、メモリーやハードディスク等の記憶部とを備える。本実施形態の制御装置１５は、コンピュータシステムの外部の装置との通信を実行可能なインターフェースを含む。制御装置１５には、入力信号を入力可能な入力装置が接続されていてもよい。上記の入力装置は、キーボード、マウス等の入力機器、あるいはコンピュータシステムの外部の装置からのデータを入力可能な通信装置等を含む。制御装置１５は、製造装置１の各部の動作状況を示す液晶表示ディスプレイ等の表示装置を含んでいてもよいし、表示装置と接続されていてもよい。

制御装置１５の記憶部には、コンピュータシステムを制御するオペレーティングシステム（ＯＳ）がインストールされている。制御装置１５の記憶部には、演算処理部に製造装置１の各部を制御させることによって、製造装置１の各部に各種の処理を実行させるプログラムが記録されている。記憶部に記録されているプログラムを含む各種情報は、制御装置１５の演算処理部が読み取り可能である。制御装置１５は、製造装置１の各部の制御に要する各種処理を実行するＡＳＩＣ等の論理回路を含んでいてもよい。

図２は、第１欠陥検査装置７を含む欠陥検査システム１００の一実施形態を示す概略図である。図３は、欠陥情報およびアキュームレーター稼働情報の記録タイミングの制御方法を説明する図である。

図３の上段は、ＡＬ原点信号を示しており、図３の下段は、ＡＬ原点信号がＯＦＦとなった時刻以降（アキュームレーター稼働時以降）の第１搬送量Ａおよび第２搬送量Ｂの測定結果を示している。図３の横軸は時間である。なお、図３において、「ＡＬ」はアキュームレーターを意味している。「ＡＬＳ」はＡＬ原点信号を示しており、「ＡＬ前ライン」はアキュームレーター１０の上流側の搬送ラインＬを示しており、「ＡＬ後ライン」はアキュームレーター１０の下流側の搬送ラインＬを示している。

図２に示すように、本実施形態の欠陥検査システム１００は、搬送ラインＬと、アキュームレーター１０と、第１欠陥検査装置７と、記録装置９と、第１測長器４１と、第２測長器４２と、制御装置１５と、記憶装置１６と、を備えている。

搬送ラインＬは、帯状のフィルムＦＸが搬送される搬送ラインである。搬送ラインＬは、第１ライン２、第３ライン４および第５ライン６によって構成されている。フィルムＦＸは、第１フィルムＦ１、または、第１フィルムＦ１の片面もしくは両面にプロテクションフィルムを貼合した帯状の貼合フィルムである。

搬送ラインＬには、アキュームレーター１０が設けられている。アキュームレーター１０は、上位システム６０にＡＬＳ原点信号を供給し、制御装置１５は上位システム６０からＡＬ原点信号ＡＬＳを取得する。上位システム６０は、制御装置１５よりも上位のコンピュータシステムであり、例えば、ＤＣＳ（Distributed Control System）やＰＬＣ（Programmable Logic Controller）などである。ＡＬ原点信号ＡＬＳは、ダンサーロール１０ａが原点位置ＯＰ（アキュームレーター非稼働時の位置）に配置されている場合を「ＯＮ」、ダンサーロール１０ａが原点位置ＯＰとは異なる位置に配置されている場合を「ＯＦＦ」とする信号である。

なお、本実施形態では、ＡＬ原点信号ＡＬＳは、上位システム６０を介して制御装置１５に供給されるようになっているが、ＡＬ原点信号ＡＬＳの供給形態はこれに限定されない。ＡＬ原点信号ＡＬＳは、上位システム６０を介さずに直接アキュームレーター１０から制御装置１５に供給されるようになっていてもよい。

なお、「ＯＮ」、「ＯＦＦ」という言葉は、アキュームレーターの状態を区別するために便宜上用いられているものであり、「ＯＮ」、「ＯＦＦ」という言葉自体に何らかの意味があるわけではない。よって、ダンサーロール１０ａが原点位置ＯＰに配置されている場合を「ＯＦＦ」、ダンサーロール１０ａが原点位置ＯＰとは異なる位置に配置されている場合を「ＯＮ」と呼んでも構わない。

アキュームレーター１０の上流側の搬送ラインＬ（ＡＬ前ライン）と下流側の搬送ラインＬ（ＡＬ後ライン）には、第１測長器４１と第２測長器４２がそれぞれ設けられている。本実施形態の場合、第１測長器４１と第２測長器４２には、１回転あたりに出力されるパルスの数が互いに等しい（例えば、１００パルス／回転）同一仕様のロータリーエンコーダーが用いられる。第１測長器４１と第２測長器４２は必ずしも同一仕様のロータリーエンコーダーである必要はないが、第１測長器４１と第２測長器４２が同一仕様のロータリーエンコーダーであれば、ＡＬ前ラインとＡＬ後ラインのフィルム搬送量の差をロータリーエンコーダーの回転数の差（パルス数の差）として簡便に算出できるため、好ましい。

制御装置１５は、第１演算部５１と、第２演算部５２と、記録制御部５３と、を備えている。なお、第１演算部５１、第２演算部５２および記録制御部５３は、ＣＰＵ等の演算処理部の機能をそれぞれ独立した機能部として記載したものであり、必ずしも演算処理部にそれぞれの機能部に対応する独立した回路が存在することを意味しない。

第１演算部５１には、上位システム６０を介して、アキュームレーター１０からＡＬ原点信号ＡＬＳが供給される。第１演算部５１は、アキュームレーター１０から供給されるＡＬ原点信号ＡＬＳに基づいて、アキュームレーター１０が稼働しているか否かを判定する。第１演算部５１は、ＡＬ原点信号ＡＬＳが「ＯＮ」のときにアキュームレーター１０が非稼働状態であると判定し、ＡＬ原点信号ＡＬＳが「ＯＦＦ」のときにアキュームレーター１０が稼働状態であると判定する。第１演算部５１は、ＡＬ原点信号ＡＬＳを常時モニタリングする。

第１演算部５１には、第１測長器４１から第１測長データＣＬ１が入力される。第１測長データＣＬ１は、例えば、ニップロール３２の回転変位量に応じて第１測長器４１から出力されるパルス列である。第１演算部５１は、第１測長データＣＬ１に基づいて、ＡＬ前ラインのフィルムＦＸの第１搬送量Ａを検出する。第１搬送量Ａは、第１測長器４１から出力されるパルスの数として検出される。

第１演算部５１には、第２測長器４２から第２測長データＣＬ２が入力される。第２測長データＣＬ２は、ニップロール３３の回転変位量に応じて第２測長器４２から出力されるパルス列である。第１演算部５１は、第２測長データＣＬ２に基づいて、ＡＬ後ラインのフィルムＦＸの第２搬送量Ｂを検出する。第２搬送量Ｂは、第２測長器４２から出力されるパルスの数として検出される。

第１演算部５１は、ＡＬ原点信号ＡＬＳに基づいてアキュームレーター１０が稼働しているか否かを判定する。第１演算部５１は、アキュームレーター１０が稼働していると判定した場合には、第１測長器４１および第２測長器４２の測定結果に基づいて、アキュームレーター１０におけるフィルムＦＸの蓄積量Ｃを算出する。蓄積量Ｃは、例えば、第１搬送量Ａと第２搬送量Ｂとの差（Ｂ−Ａ）として算出される。第１演算部５１は、例えば、蓄積量Ｃをオフセット距離の補正値として決定する。

第２演算部５２は、第１演算部５１によって検出された補正値Ｃと、記憶装置１６に記憶されたアキュームレーター非稼働時の第１オフセット距離Ｃ０とに基づいて、アキュームレーター稼働時の第２オフセット距離Ｃ１を算出する。第１オフセット距離Ｃ０は、例えば、第２測長器４２から出力されるパルスの数として記憶部１６に記憶されている。第２オフセット距離Ｃ１は、例えば、第１オフセット距離Ｃ０と補正値Ｃとの和（Ｃ０＋Ｃ）として算出される。

記録制御部５３は、第１欠陥検査装置７で撮像された第１フィルムＦ１の画像Ｄに基づいて、第１フィルムＦ１に含まれる欠陥を検出し、第２フィルムＦ５に記録すべき欠陥情報（欠陥の位置や種類に関する情報）を決定する。

記録制御部５３は、第２演算部５２で算出された第２オフセット距離Ｃ１に基づいて欠陥情報の記録タイミングを決定する。例えば、記録制御部５３は、第１測長器４１または前記第２測長器４２の測定結果に基づいて、第１欠陥検査装置７によって欠陥検査が行われた時刻以降のアキュームレーター１０の上流側または下流側のフィルムＦＸの搬送量を検出し、当該搬送量が第２オフセット距離Ｃ１と一致したタイミングで、記録装置９を制御し、フィルムＦＸに欠陥情報およびアキュームレーター稼働情報を記録する。

図３に示すように、アキュームレーター稼働時（ＡＬ原点信号ＡＬＳが「ＯＦＦ」のとき）には、ダンサーローラー１０ａの上昇に伴ってＡＬ後ラインが減速する。ＡＬ後ラインは、ＡＬ原点信号ＡＬＳが「ＯＦＦ」となった直後に減速し、一定期間経過後に搬送速度がゼロとなる。ＡＬ後ラインの搬送速度がゼロとなった時点で紙継などのメンテナンスが行われ、メンテナンス終了後にＡＬ後ラインが加速する。ＡＬ前ラインでは、アキュームレーター稼働時でも一定速度で搬送が行われる。

補正値Ｃおよび第２オフセット距離Ｃ１は、時間とともに変化する。記録制御部５３は、第１搬送量Ａ、第２搬送量Ｂおよび第２オフセット距離Ｃ１をアキュームレーター稼働中、常時監視する。

例えば、第１欠陥検査装置７において欠陥検出が行われた時刻をｔ０とし、時刻ｔ０以降の任意の時刻をｔとする。記録制御部５３は、例えば、時刻ｔ０からｔまでの間に第１測長器４１または第２測長器４２から出力されたパルスの数をカウントすることにより、時刻ｔ０からｔまでの間にＡＬ前ラインまたはＡＬ後ラインで搬送されるフィルムＦＸの第１搬送量Ａまたは第２搬送量Ｂを検出する。記録制御部５３は、時刻ｔにおける第２オフセット距離Ｃ１と時刻ｔ０から時刻ｔまでのフィルムＦＸの第１搬送量Ａまたは第２搬送量Ｂの値を比較し、両者が一致したときに、記録装置９を制御し、第２フィルムＦ５に欠陥情報およびアキュームレーター稼働情報を記録する。

以上説明した本実施形態の製造装置１および欠陥検査システム１００によれば、アキュームレーター１０の上流側と下流側のフィルムＦＸの搬送量の差に基づいて、第１欠陥検査装置７と記録装置９との間のオフセット距離の補正値を算出する。そして、前記補正値に基づいて、記録装置９によるフィルムＦＸへの欠陥情報の記録タイミングを補正する。そのため、アキュームレーター１０の稼働によって第１欠陥検査装置７と記録装置９との間のオフセット距離が変動した場合であっても、欠陥箇所と欠陥情報の記録位置との間にずれが生じにくい製造装置１および欠陥検査システム１００を提供することができる。

７…第１欠陥検査装置、９…記録装置、１０…アキュームレーター、１５…制御装置、１６…記憶装置、４１…第１測長器、４２…第２測長器、５１…第１演算部、５２…第２演算部、５３…記録制御部、１００…欠陥検査システム、Ａ…アキュームレーターの上流側のフィルムの搬送量、Ｂ…アキュームレーターの下流側のフィルムの搬送量、Ｃ…補正値、Ｃ０…第１オフセット距離、Ｃ１…第２オフセット距離、ＦＸ…フィルム、Ｌ…搬送ライン

Claims (3)

1. 帯状のフィルムが搬送される搬送ラインと、
   前記搬送ラインに設けられたアキュームレーターと、
   前記アキュームレーターよりも上流側の前記搬送ラインに設けられた欠陥検査装置と、
   前記アキュームレーターよりも下流側の前記搬送ラインに設けられ、前記欠陥検査装置によって検出された欠陥に関する欠陥情報を前記フィルムに記録する記録装置と、
   前記アキュームレーターの上流側と下流側の前記フィルムの搬送量の差に基づいて、前記欠陥検査装置と前記記録装置との間のオフセット距離の補正値を算出し、前記補正値に基づいて、前記記録装置による前記フィルムへの前記欠陥情報の記録タイミングを補正する制御装置と、を備えている欠陥検査システム。
2. 前記アキュームレーターよりも上流側に設けられた第１測長器と、
   前記アキュームレーターよりも下流側に設けられた第２測長器と、
   アキュームレーター非稼働時の前記欠陥検査装置と前記記録装置との間の第１オフセット距離を記憶する記憶装置と、を備え、
   前記制御装置は、
   前記第１測長器および前記第２測長器の測定結果に基づいて前記補正値を算出する第１演算部と、
   前記補正値と前記第１オフセット距離とに基づいてアキュームレーター稼働時の前記欠陥検査装置と前記記録装置との間の第２オフセット距離を算出する第２演算部と、
   前記第１測長器または前記第２測長器の測定結果に基づいて、前記欠陥検査装置によって欠陥検査が行われた時刻以降の前記アキュームレーターの上流側または下流側の前記フィルムの搬送量を検出し、当該搬送量が前記第２オフセット距離と一致したタイミングで、前記記録装置を制御し、前記フィルムに前記欠陥情報を記録する記録制御部と、を備えている請求項１に記載の欠陥検査システム。
3. 前記記録装置は、前記欠陥検査装置によって欠陥が検出されてから前記記録装置によって当該欠陥に関する欠陥情報が記録されるまでの間に前記アキュームレーターが稼働した場合には、前記アキュームレーターが稼働したことを示すアキュームレーター稼働情報を前記欠陥情報とともに前記フィルムに記録する請求項１または２に記載の欠陥検査システム。

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