JPH08271256A - 振動ジャイロおよび防振装置 - Google Patents

振動ジャイロおよび防振装置

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JPH08271256A
JPH08271256A JP7071442A JP7144295A JPH08271256A JP H08271256 A JPH08271256 A JP H08271256A JP 7071442 A JP7071442 A JP 7071442A JP 7144295 A JP7144295 A JP 7144295A JP H08271256 A JPH08271256 A JP H08271256A
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    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams

Abstract

(57)【要約】 【目的】 振動ジャイロにおいて、２軸廻りの各速度成
分を精度良く検出することができ、また、振動子形状の
単純化、部品点数の削減、組立工程の単純化、製造組立
精度の向上を図る。 【構成】 互いに直交した２軸腕を有する十字型の振動
子を形成し、２軸方向が互いに逆位相となるような屈曲
振動モードを励振させるよう夫々２軸方向に平行な振動
子の側面に配した加振手段と、該加振手段による励振駆
動に伴い該振動子の２軸の廻りの角速度の発生により生
ずる振幅変調信号を検出するよう該振動子の夫々２軸方
向に平行で且つ前記加振手段を有する面と直交する側面
に配した角速度信号検出手段と、該加振手段からの信号
を増幅位相変換して該加振手段へ帰還させ且つ前記角速
度信号検出手段に振幅変調信号の検波用参照信号を送る
移相増幅回路とで自励発振回路を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、角速度を検出する振動
ジャイロおよび防振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】角速度を検出する手段の一つとして振動
ジャイロが知られている。振動ジャイロは、「速度を持
った物体に角速度を加えるとコリオリの力が生じる」と
いう原理を基に、物体に振動を加えて速度を与え、この
物体に角速度が加わったときに生じるコリオリの力をバ
ネ系で受け、入力した角速度に比例したコリオリの力を
バネ系の変位として検出し、物体に加わった角速度を送
出するものである。
【０００３】この振動ジャイロにおける振動を加える物
体、つまり、振動子の形状としては、音叉型、Ｈ型等が
あるが、従来の振動ジャイロは、単一の振動子を持ち、
単に一平面内での回転を検出する構造、すなわち一軸方
向の角速度を検出する構造としている。
【０００４】上記従来の１軸タイプの振動ジャイロをカ
メラその他の移動体に搭載してその角速度を検出しよう
とする場合、該移動体は一般的に１次元のみでなく、２
次元、３次元の角速度成分が生じるので、正確な角速度
を検出するには、１軸方向の角速度しか検出できない従
来の振動ジャイロでは適当でなかった。
【０００５】そこで、１個の振動ジャイロで２軸方向成
分の角速度を検出できる振動ジャイロが種々提案され
た。この２軸タイプの振動ジャイロの作動原理について
以下に説明する。
【０００６】図１４は、従来の２軸振動ジャイロの斜視
図である。圧電体１，１′で圧電素子２を挟持固定した
構造の振動子Ａは、圧電素子２の一部に、この振動子Ａ
のねじり固有振動数に略一致する交流電圧ＶC を印加す
ると、振動子Ａにはねじり振動が発生する。いま、振動
子Ａに、ｘ軸まわり又はｙ軸まわりの角速度が加わる
と、コリオリの力によってそれぞれｚ−ｘ平面内、又は
ｙ−ｚ平面内の曲げ振動が発生し、それぞれの曲げ振動
による歪みを検出する圧電素子には、加えられた角速度
に比例した交流電圧ＶA 又はＶB が発生する。
【０００７】なお、１０は振動子Ａを支持台７上に支持
するための支持部材である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、振動体１と１′の間に数枚の圧電素子２を挟
持し固定する構成であったため、部品点数が多くなり、
その結果組立て工程が複雑になり、又、精度良い組立て
が難しいものとなり、更に、軸方向に長く、スペースを
とるなどの欠点があった。
【０００９】発明の目的は、以下のものとなる。本出願
に係る発明の第１の目的は、上記問題点を解決すること
にある。
【００１０】本出願に係る発明の第２の目的は、部品形
状を単純化することにある。
【００１１】本出願に係る発明の第３の目的は、出力ア
ップにある。
【００１２】本出願に係る発明の第４の目的は、小型化
にある。
【００１３】本出願に係る発明の第５の目的は、形状単
純化にある。
【００１４】本出願に係る発明の第６の目的は、検出精
度向上にある。
【００１５】本出願に係る発明の第７の目的は、防振装
置として応用することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段および作用】本出願に係る
発明の第１の目的を実現する構成は、請求項１に記載の
ように、互いに直交した２軸を有する十字型の振動弾性
体と、該振動弾性体の２軸方向が互いに逆位相となるよ
うな屈曲振動モードを励振させる加振手段と、該加振手
段による励振により該２軸の回りの角速度によって生じ
た変位を検出する検出手段とを有する振動子を備えたこ
とを特徴とする振動ジャイロにある。
【００１７】この構成によれば、特に、互いに直交した
２軸を有する十字型の振動弾性体で振動子を形成したの
で、２軸回りの角速度成分を同時に検出することができ
る。また、振動子形状が単純化でき、部品点数が削減さ
れて、その結果組立て工程が単純化され、且つ製造組立
精度も向上することができる。更に、振動子の屈曲振動
方向の厚みを小さくすることができるので、従来のよう
に屈曲振動方向にスペースを採られるようなことがな
い。
【００１８】本出願に係る発明の第２の目的を実現する
構成は、請求項２に記載のように、請求項１において、
振動弾性体は金属部材により形成され、加振手段と検出
手段は夫々電気−機械エネルギー変換素子で構成されて
いることを特徴とする振動ジャイロにある。
【００１９】この構成によれば、部品形状を単純化する
ことができ、電気−機械エネルギー変換効率の大きな出
力により精度の高い角速度信号検出を行なうことができ
る。本出願に係る発明の第３の目的を実現する構成は、
請求項３に記載のように、請求項１において、振動弾性
体は積層圧電素子で構成されていることを特徴とする振
動ジャイロにある。
【００２０】この構成によれば、積層圧電素子による有
効面積の増加により、加振モードの振幅、検出信号の分
極電荷量が増加して、角速度信号検出の出力を向上する
ことができる。
【００２１】本出願に係る発明の第４の目的を達成する
構成は、請求項４に記載のように、請求項１乃至３のい
ずれかにおいて、十字型の振動弾性体の各端部に振動変
位拡大構造を形成したことを特徴とする振動ジャイロに
ある。
【００２２】この構成によれば、振動変位拡大手段とし
て例えば十字型の振動しの腕先端の質量を増加させるこ
とにより、角速度の発生に伴うコリオリ力が増加し、角
速度検出感度を向上することができる。また、慣性モー
メントが大きくなるので、１つの加振手段と２つの角速
度信号検出との固有振動数を下げることができる。ま
た、同一固有振動数条件のときには、単純な十字形状に
比べて２軸方向に腕の寸法を極力小さくすることで振動
子を小型化することができる。
【００２３】本出願に係る発明の第５の目的を実現する
構成は、請求項５に記載のように、請求項１乃至４のい
ずれかにおいて、十字型の振動弾性体の各軸方向を構成
する部材は、各軸方向と直交する方向の厚みが一様であ
ることを特徴とする振動ジャイロにある。
【００２４】この構成によれば、振動子の外観形状を単
純化することができ、且つ角速度検出感度を向上するこ
とができる。
【００２５】本出願に係る発明の第６の目的を実現する
構成は、請求項６に記載のように、請求項１乃至５のい
ずれかにおいて、振動弾性体は弾性支持部材により支持
されていることを特徴とする振動ジャイロにある。
【００２６】この構成によれば、振動子を緩衝的に支持
できるので、角速度を精度良く検出することができる。
【００２７】本出願に係る発明の第７の目的を実現する
構成は、請求項７に記載のように、請求項１乃至６のい
ずれかに記載の振動ジャイロを防振センサーとして用い
たことを特徴とする防振装置にある。
【００２８】この構成によれば、例えばカメラやビデオ
カメラ等を手で持ったときに生ずる低周波数の手ぶれを
補正するための防振装置に用いられる補正用バリアング
ルプリズムの振動センサーとして用いることで、２軸回
りの防振対策を容易に行なうことができる。
【００２９】
【実施例】図１の（ａ）は本発明の第１の実施例を示
す。
【００３０】図１の（ａ）は、振動子と回路ブロックを
示しており、１は平面十字形状に形成された金属製の振
動弾性体で、同一平面上の４ケ所の腕部表面と、その腕
部の各側面に夫々圧電素子２が設けられて振動子が形成
される。これらの圧電素子２は印加された電気信号を機
械的変位に変換する機能、振動弾性体の貼り付けられた
面の伸縮変位（歪み）を電気信号に変換する機能を有し
ていて、これらの信号は表面に印刷された電極３を通し
て回路と入出力されるようになっている。
【００３１】４は移相・増幅回路であり、１つの圧電素
子２からの信号ＶZOUTを入力とし、他の３つの同一平面
に設けられている圧電素子２への信号ＶZIN を出力する
ことで自励発振を行なわせる。振動子１の自励発振する
モードは、図２の（ａ）に示したような、十字状の振動
子１において、ｙ軸方向に沿って対向する２つの腕がｚ
軸の正方向に屈曲変形するときに、ｘ軸方向に沿って対
向する２つの腕がｚ軸の負方向に屈曲変形するようなモ
ードである。
【００３２】いま、図２に示したようにｘ軸まわりの角
速度ωx が加わると、振動子が矢印↑又は↓で示したよ
うな方向に速度ベクトルをもつならば、回転軸（ｘ軸）
と速度ベクトルとに互いに直交する白ぬき矢印で示した
ような方向にコリオリ力が発生する。振動子は図３に示
したような、ｙ軸方向の曲げ固有モードを有するので、
このモードと自励発振しているモードの固有振動数が略
一致しているならば、コリオリ力によって図３のような
モードの振動が生ずる。なお、図２、図３のメッシュは
有限要素解析に用いたメッシュである。
【００３３】図３のモードにおいて、ｘ軸方向の腕部の
側面は伸び又は縮む。そこで、このｘ軸方向の腕の側面
に、伸び又は縮みによって発生する電位Ｖx1，Ｖx2の符
号が逆であるような、少くとも１対の圧電素子２を貼り
付ける。例えば、図１のように１対でもよいし、その裏
側にも設けて２対にしてもよい。以上のように、ＶX1と
ＶX2は逆位相であるので、減算回路５ａを用いて、両者
に適当な係数を掛けた後に減算すれば、信号Ｖx が得ら
れる。信号Ｖx は、角速度ωx が加わらないときほぼ０
で、ωx が加わっているときには、図４の（ｂ）に示し
たような、自励発振振動の周波数の信号が角速度ωx の
振幅で変調されたＡＭ波である。ＡＭ波Ｖx を、参照信
号ＶREF を用いて検波回路６ａにより検波（復調）する
と、図４（ｃ）のような角速度信号Ｖxoutが得られる。
【００３４】ｙ軸まわりの角速度ωy が加わった場合も
同様で、コリオリ力によって生ずるｘ軸方向の振動モー
ド（図３をｚ軸まわりに９０°回転させた形）を、１対
又は２対の圧電素子２で符号が逆の電位Ｖy1，Ｖy2に変
換し、減算回路５ｂでそれぞれに適当な係数を掛けた後
に減算して信号Ｖy を得、検波回路６ｂでＡＭ検波（復
調）すれば、ｙ軸まわりの角速度信号Ｖyoutが生ずる。
【００３５】このような振動ジャイロを、図１（ｂ）に
示す如く、振動する系８、例えばカメラやビデオカメラ
に設け、ｘ軸及びｙ軸まわりの角速度信号を、防振装置
９、例えば低周波数の手ぶれの補正用バリアングルプリ
ズムの入力に用いれば、２軸まわりの防振（例えば手ぶ
れ補正）装置を構成することができる。
【００３６】本実施例によれば、部品点数が少いため精
度良く容易に製造でき、ｚ軸方向にうすいためスペース
を取らない２軸検出振動ジャイロ及びこれを用いた防振
装置を得ることができる。
【００３７】尚、以下の各実施例において、第１の実施
例において、第１の実施例と略同じ部分には同じ符号を
付し、その説明を省略する。
【００３８】（第２の実施例）図５は本発明の第２の実
施例を示す。
【００３９】図５は、第２の実施例における振動子の検
出モード（ｙ軸方向に振動するモード）の有限要素解析
結果を示す。
【００４０】本実施例ではｘ軸及びｙ軸方向の４本の腕
の先端に三角形の部分が設けられている。この図は第１
の実施例の図３に対応しており、腕の先端の形状が異な
る他は第１の実施例と同じ動作をする。
【００４１】ただし、先端の質量が大きいため、 Ｆ＝２ｍωｖ （但し、ｍ：振動子の質量、ω：角速度、ｖ：励振振動
によって生ずる速度）で表されるコリオリ力Ｆが大きく
なり角速度ωの検出感度を良くすることができる。
【００４２】また、先端の質量の効果より慣性モーメン
トが大きくなり３つ（加振１つ、検出２つ）の固有振動
数を下げる、または単純十字棒に比べ固有振動数が同等
なときｘ，ｙ方向寸法を小さくすることができる。
【００４３】（第３の実施例）図６は第３の実施例を示
す。
【００４４】図６は、第３の実施例における振動子の検
出モードの有限要素解析結果を示す。
【００４５】この実施例ではｘ軸及びｙ軸方向の４本の
腕の先端に四角形の部分が設けられている。この図は第
１の実施例の図３に対応しており、腕の先端の形状が異
なる他は第１の実施例と同じ動作をする。
【００４６】ただし、先端の質量が大きいため、 Ｆ＝２ｍωｖ （但し、ｍ：振動子の質量、ω：角速度、ｖ：励振振動
によって生ずる速度）で表されるコリオリ力Ｆが大きく
なり角速度ωの検出感度を良くすることができる。
【００４７】また、先端の質量の効果により慣性モーメ
ントが大きくなり３つ（加振１つ、検出２つ）の固有振
動数を下げる、または、単純十字棒に比べｘ，ｙ方向寸
法を小さくすることができる。さらに、四角形の板に４
つの切欠きを設けた形状となっているので、図５に示し
た第２の実施例よりも加工が容易である。
【００４８】（第４の実施例）図７および図８は第４の
実施例を示す。
【００４９】上述の各実施例は、金属製の振動弾性体１
に圧電素子２を設けて振動子を形成しているが、本実施
例は、十字形の振動子自体を積層型の圧電素子により形
成したものであり、図７の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に各
層を形成する圧電素子板１ａ、１ｂ、１ｃの平面図を示
し、図７の（ａ）に示す最上層の圧電素子板１ａには電
極パターン３ａ1 〜３ａ12が形成され、図７の（ｂ）に
示す中間層の圧電素子板１ｂには電極パターン３ｂ1 〜
３ｂ12が形成され、図７の（ｃ）に示す最下層の圧電素
子板１ｃには電極板パターン３ｃ1 〜３ｃ12が夫々形成
されており、これらの電極パターンを示す符号の添字
（１〜１２）は電気的に導通する電極パターンのグルー
プを示している。なお、１０はスルーホールを示す。
【００５０】このように圧電体の片面側に夫々電極３
ａ、３ｂ、３ｃを形成した圧電素子板１ａ、１ｂ、１ｃ
は、各層の圧電体の下面を隣接する電極で接合するよう
に挟持して積層されて振動子を形成している。
【００５１】この積層型圧電素子である振動子の分極処
理は、図８の（ａ）に示すように、最上層の電極３ａの
夫々に配線を行い、高電圧Ｖpo1 を加えることにより行
っている。
【００５２】図８の（ａ）に示す分極処理により、積層
圧電素子内部は、図８の（ｂ）の断面図に矢印で示した
方向に分極される。即ち、図中左側の電極パターン３ａ
1 の下の部分は上から順に上向き、下向きと交互に分極
される。また、図中右側の電極パターン３ａ7 の下の部
分は、上半分が上下に交互に分極され、中央の電極パタ
ーン３ｂ8 の上下では同方向に、そしてその下の部分は
再び交互に分極される。
【００５３】このような積層圧電素子の電極パターン３
ａ7 と３ａ9 にＶZIN を印加すると、図９の（ａ）に示
したように、上半分が伸びたとき下半分が縮むように変
形するのでｚ軸方向の加振モードが励起される。
【００５４】また、図９の（ｂ）のようにｙ軸方向に変
形するモードが生じているとき、電極パターン３ａ1 の
下の部分は縮み、電極パターン３ａ3 の下の部分は伸び
るので、電極パターン３ａ1 と３ａ3 からは符号が反転
した信号Ｖy1及びＶy2が生ずる。
【００５５】この積層圧電素子を図１０に示した回路に
接続すると、図１に示す第１の実施例と同様な２軸まわ
りの角速度を検出できる振動ジャイロを構成できる。な
お、この実施例の効果は、圧電素子を積層化して有効面
積を大きくしているため、加振モードの振幅を大きくで
きること、及び、検出信号の電荷量を大きくして検出精
度を向上し得ることである。
【００５６】（第５の実施例）図１１は第５の実施例を
示すものであり、印加電圧ＶZIN を可変抵抗Ｒx 、Ｒy
を介して、電位Ｖx1、Ｖx2、Ｖy1、Ｖy2に重畳している
点が異なる。
【００５７】このような回路構成は、伸びは又は縮みに
よって発生するＶx1、Ｖx2、Ｖy1、Ｖy2に含まれる不要
な電圧を除去して角速度検出精度を向上させることがで
きるものである。
【００５８】なお、第４、第５の実施例の電極パターン
は他のパターンでもよい。即ち、十字状振動子に交互に
ｚ軸方向に振動するモードを発生させることができ、か
つ、ｘ軸方向及びｙ軸方向の曲げ変位を検出させること
ができる任意のパターンであればよい。
【００５９】（第６の実施例）図１２は第６の実施例の
斜視図（電極は不図示）を示すものであり、ループ状の
弾性支持部材１０ａによって、振動体１が支持台７に支
持固定されている。なお、この弾性支持部材１０ａは、
加振及び検出に用いる３つの振動モードへの影響が小さ
いような位置及び形状のものとすればよい。
【００６０】（第７の実施例）図１３は第７の実施例の
斜視図（電極は不図示）を示すものであり、棒状の弾性
支持部材１０ｂによって、振動体１が支持台７に固定さ
れている。なお、この弾性支持部材１０ｂは、加振及び
検出に用いる３つの振動モードへの影響が小さいような
太さ及び長さの軸とする。
【００６１】なお、第６と第７の実施例によれば、振動
子１を固定できるので、角速度を精度良く検出できる。
両者は形状が異なるので、振動子を置くスペースに応じ
て使い分ければよい。
【００６２】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、特に、
互いに直交した２軸を有する十字型の振動弾性体で振動
子を形成したので、２軸回りの角速度成分を同時に検出
することができる。また、振動子形状が単純化でき、部
品点数が削減されて、その結果組立て工程が単純化さ
れ、且つ製造組立精度も向上することができる。更に、
振動子の屈曲振動方向の厚幅を小さくすることができる
ので、従来のように屈曲振動方向にスペースを採られる
ようなことがない。
【００６３】請求項２に記載の発明によれば、部品形状
を単純化することができ、電気−機械エネルギー変換効
率の大きな出力により精度の高い角速度信号検出を行な
うことができる。
【００６４】請求項３に記載の発明によれば、積層圧電
素子による有効面積の増加により、加振モードの振幅、
検出信号の分極電荷量が増加して、角速度信号検出の出
力を向上することができる。
【００６５】請求項４に記載の発明によれば、振動変位
拡大構造として例えば十字型の振動子の腕先端の質量を
増加させることにより、角速度の発生に伴うコリオリ力
が増加し、角速度検出感度を向上することができる。ま
た、慣性モーメントが大きくなるので、１つの加振手段
と２つの角速度信号検出との固有振動数を下げることが
できる。また、同一固有振動数条件のときには、単純な
十字形状に比べて２軸方向の腕の寸法を極力小さくする
ことで振動子を小型化することができる。
【００６６】請求項５に記載の発明によれば、振動子の
外観形状を単純化することができ、且つ角速度検出感度
を向上することができる。
【００６７】請求項６に記載の発明によれば、振動子を
緩衝的に支持できるので、角速度を精度良く検出するこ
とができる。
【００６８】請求項７に記載の発明によれば、例えばカ
メラやビデオカメラ等を手で持ったときに生ずる低周波
数の手ぶれを補正するための防振装置に用いられる補正
用バリアングルプリズムの振動センサーとして用いるこ
とで、２軸回りの防振対策を容易に行なうことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本出願に係る発明の第１の実施例を示し、
（ａ）は振動ジャイロの回路ブロック図、（ｂ）は防振
装置の概略斜視図
【図２】本出願に係る発明の第１の実施例を示した振動
子の振動モードを示す斜視図
【図３】本出願に係る発明の第１の実施例を示した振動
子の振動モードを示す平面図
【図４】本出願に係る発明の第１の実施例を示した振動
子の信号波形を示し、（ａ）はＸ軸方向の振動子側面に
発生する電位、（ｂ）は角速度による振幅変調信号、
（ｃ）は振幅変調信号を復調した後の角速度信号
【図５】本出願の係る発明の第２の実施例を示した振動
子の振動モードを示す平面図
【図６】本出願に係る発明の第３の実施例を示した振動
子の振動モードを示す平面図
【図７】本出願に係る発明の第４の実施例を示した振動
子の分解図で、（ａ）は最上部の圧電素子板の上面図、
（ｂ）は中間部の圧電素子板の上面図、（ｃ）は最下部
の圧電素子板の上面部
【図８】本出願に係る発明の第４の実施例を示した振動
子を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図
【図９】本出願に係る発明の第４の実施例を示した振動
子を示し、（ａ）はｚ軸方向の加振モードの励起状態の
斜視図、（ｂ）は（ａ）の励起状態の平面図
【図１０】本出願に係る発明の第４の実施例を示した回
路ブロック図
【図１１】本出願に係る発明の第５の実施例を示した回
路ブロック図
【図１２】本出願に係る発明の第６の実施例を示した振
動ジャイロの斜視図
【図１３】本出願に係る発明の第７の実施例を示した振
動ジャイロの斜視図
【図１４】従来例を示した振動ジャイロの斜視図
【符号の説明】
１…振動弾性体 ２…圧電素子 ３…電極 ４…移相増幅回路 ５…減算回路 ６…検波回路 ７…支持台 ８…振動系 ９…防振装置 １０…弾性支持部材

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 互いに直交した２軸を有する十字型の振
    動弾性体と、該振動弾性体の２軸方向が互いに逆位相と
    なるような屈曲振動モードを励振させる加振手段と、該
    加振手段による励振により該２軸の回りの角速度によっ
    て生じた変位を検出する検出手段とを有する振動子を備
    えたことを特徴とする振動ジャイロ。
  2. 【請求項２】 請求項１において、振動弾性体は金属部
    材により形成され、加振手段と検出手段は夫々電気−機
    械エネルギー変換素子で構成されていることを特徴とす
    る振動ジャイロ。
  3. 【請求項３】 請求項１において、振動弾性体は積層圧
    電素子で構成されていることを特徴とする振動ジャイ
    ロ。
  4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれかにおいて、十
    字型の振動弾性体の各端部に振動変位拡大構造を形成し
    たことを特徴とする振動ジャイロ。
  5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかにおいて、十
    字型の振動弾性体の各軸方向を構成する部材は、各軸方
    向と直交する方向の厚みが一様であることを特徴とする
    振動ジャイロ。
  6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかにおいて、振
    動弾性体は弾性支持部材により支持されていることを特
    徴とする振動ジャイロ。
  7. 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載の振動
    ジャイロを防振センサーとして用いたことを特徴とする
    防振装置。
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