JPH08266853A - 低露点空気供給システム - Google Patents
低露点空気供給システムInfo
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- JPH08266853A JPH08266853A JP7096079A JP9607995A JPH08266853A JP H08266853 A JPH08266853 A JP H08266853A JP 7096079 A JP7096079 A JP 7096079A JP 9607995 A JP9607995 A JP 9607995A JP H08266853 A JPH08266853 A JP H08266853A
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- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/14—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification
- F24F3/1411—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification by absorbing or adsorbing water, e.g. using an hygroscopic desiccant
- F24F3/1423—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification by absorbing or adsorbing water, e.g. using an hygroscopic desiccant with a moving bed of solid desiccants, e.g. a rotary wheel supporting solid desiccants
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- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F2203/00—Devices or apparatus used for air treatment
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- F24F2203/1072—Rotary wheel comprising two rotors
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- F24F2203/10—Rotary wheel
- F24F2203/1084—Rotary wheel comprising two flow rotor segments
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- F24F2203/10—Rotary wheel
- F24F2203/1088—Rotary wheel comprising three flow rotor segments
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- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F2203/00—Devices or apparatus used for air treatment
- F24F2203/10—Rotary wheel
- F24F2203/1092—Rotary wheel comprising four flow rotor segments
Abstract
(57)【要約】
【目的】 低露点空気を供給するにあたり、設備を簡素
化すると共に、運転に必要なエネルギーを低減する。 【構成】 乾式の減湿機３における空気通過域を、再生
区域３ｂ、高温パージ区域３ｃ、低温パージ区域３ｄ、
減湿区域３ａ、再生入口区域３ｅの５つに仕切る。ドラ
イルームＲからの戻り空気の一部をパージ空気（ＱP）
として、高温パージ区域３ｃ→再生入口区域３ｅ→低温
パージ区域３ｄの順に通過するように構成する。低温パ
ージ区域３ｄを通過した空気は、導入外気（ＱOA）と混
合して、再び減湿機３の減湿区域３ａを通過させる。再
生空気（ＱRH）は、別の系内で循環するように構成し、
再生空気（ＱRH）中の水分は、この系内に設けた冷却減
湿機１４によって除去する。
化すると共に、運転に必要なエネルギーを低減する。 【構成】 乾式の減湿機３における空気通過域を、再生
区域３ｂ、高温パージ区域３ｃ、低温パージ区域３ｄ、
減湿区域３ａ、再生入口区域３ｅの５つに仕切る。ドラ
イルームＲからの戻り空気の一部をパージ空気（ＱP）
として、高温パージ区域３ｃ→再生入口区域３ｅ→低温
パージ区域３ｄの順に通過するように構成する。低温パ
ージ区域３ｄを通過した空気は、導入外気（ＱOA）と混
合して、再び減湿機３の減湿区域３ａを通過させる。再
生空気（ＱRH）は、別の系内で循環するように構成し、
再生空気（ＱRH）中の水分は、この系内に設けた冷却減
湿機１４によって除去する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、低露点空気供給システ
ムに関するものである。
ムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体製造プロセスにおいては、
乾燥しかつ低露点のドライルーム設備の需要が増加して
いる。そして従来のこの種のドライルームにおいては、
図３に示したような、低露点空気供給システムが用いら
れている。なお以下のシステムは、ドライルームＲ内の
乾球温度が２３℃、露点温度が−３２℃となるように構
成された例である。
乾燥しかつ低露点のドライルーム設備の需要が増加して
いる。そして従来のこの種のドライルームにおいては、
図３に示したような、低露点空気供給システムが用いら
れている。なお以下のシステムは、ドライルームＲ内の
乾球温度が２３℃、露点温度が−３２℃となるように構
成された例である。
【０００３】即ち、導入された外気（ＱOA）は、第１プ
レクーラ１０１によって冷却された後、第１の減湿機１
０２によって減湿され、減湿送風機１０３によって第２
プレクーラ１０４へと移送される。そして減湿された処
理空気は、減湿送風機１０５によってさらに第２の減湿
機１０６へと移送されて減湿処理に付される。その後こ
の第２の減湿機１０６を経た減湿空気（ＱDA）は、その
一部がパージ空気（ＱP）として第２の減湿機１０６の
後述のパージ区域１０６ｃへ戻され、他の空気がアフタ
ークーラ１０７で温度調節された後、目的室であるドラ
イルームＲへと供給される。
レクーラ１０１によって冷却された後、第１の減湿機１
０２によって減湿され、減湿送風機１０３によって第２
プレクーラ１０４へと移送される。そして減湿された処
理空気は、減湿送風機１０５によってさらに第２の減湿
機１０６へと移送されて減湿処理に付される。その後こ
の第２の減湿機１０６を経た減湿空気（ＱDA）は、その
一部がパージ空気（ＱP）として第２の減湿機１０６の
後述のパージ区域１０６ｃへ戻され、他の空気がアフタ
ークーラ１０７で温度調節された後、目的室であるドラ
イルームＲへと供給される。
【０００４】ドライルームＲへ供給された減湿空気は、
その一部（加圧分Ｐ：室内を陽圧に保つための空気量）
が室外へと放出されるとともに、残りは還気（ＱR）と
して前出第２プレクーラ１０４へと移送される。
その一部（加圧分Ｐ：室内を陽圧に保つための空気量）
が室外へと放出されるとともに、残りは還気（ＱR）と
して前出第２プレクーラ１０４へと移送される。
【０００５】前記第１の減湿機１０２は減湿能力の大き
い回転式乾式減湿機であり、塩化リチウムや塩化カルシ
ウムなどの吸収液を含侵させたハニカム状のロータや、
シリカゲル、ゼオライトなどの吸着材で構成したロータ
の端面が減湿区域１０２ａと再生区域１０２ｂとに仕切
られており、ロータを回転させながら減湿区域１０２ａ
に処理空気を通過させて乾燥空気を作り出すと共に、再
生区域１０２ｂに高温の再生空気を通過させることによ
って、前記吸収液や吸着材中の水分を再生空気中に蒸発
させて、連続的に減湿処理を行うように構成されてい
る。また第２の減湿機１０６も基本的には、第１の減湿
機１０２と同様な作用効果を有する回転式乾式減湿機の
構成を有しているが、この第２の減湿機１０６は、減湿
区域１０６ａ、再生区域１０６ｂの他に、パージ区域１
０６ｃを有する仕切構成となっている。
い回転式乾式減湿機であり、塩化リチウムや塩化カルシ
ウムなどの吸収液を含侵させたハニカム状のロータや、
シリカゲル、ゼオライトなどの吸着材で構成したロータ
の端面が減湿区域１０２ａと再生区域１０２ｂとに仕切
られており、ロータを回転させながら減湿区域１０２ａ
に処理空気を通過させて乾燥空気を作り出すと共に、再
生区域１０２ｂに高温の再生空気を通過させることによ
って、前記吸収液や吸着材中の水分を再生空気中に蒸発
させて、連続的に減湿処理を行うように構成されてい
る。また第２の減湿機１０６も基本的には、第１の減湿
機１０２と同様な作用効果を有する回転式乾式減湿機の
構成を有しているが、この第２の減湿機１０６は、減湿
区域１０６ａ、再生区域１０６ｂの他に、パージ区域１
０６ｃを有する仕切構成となっている。
【０００６】このパージ区域１０６ｃは、再生区域１０
６ｂと減湿区域１０６ａとの間に位置し、ロータの回転
方向に従い、図４に示したように、再生区域１０６ｂ→
パージ区域１０６ｃ→減湿区域１０６ａという順にロー
タエレメントが対応するように構成されている。従っ
て、再生区域１０６ｂを経た直後の高温の吸収液、吸着
材は、パージ区域１０６ｃにおいて、前出パージ空気
（ＱP）により、再生空気による残熱が除去される。
６ｂと減湿区域１０６ａとの間に位置し、ロータの回転
方向に従い、図４に示したように、再生区域１０６ｂ→
パージ区域１０６ｃ→減湿区域１０６ａという順にロー
タエレメントが対応するように構成されている。従っ
て、再生区域１０６ｂを経た直後の高温の吸収液、吸着
材は、パージ区域１０６ｃにおいて、前出パージ空気
（ＱP）により、再生空気による残熱が除去される。
【０００７】そしてパージ区域１０６ｃを経て昇温した
パージ空気（ＱP）は、４分割され、その一部は再生送
風機１０８によって一部が前出第１の減湿機１０２を経
た減湿空気と混合されて前出第２のプレクーラ１０４の
入口側へと移送され、一部は前出プレクーラ１０１の入
口側で、導入外気（ＱOA)と混合され、一部はこの再生
送風機１０８によって再生ヒータ１０９へと移送され、
残りの一部は、再生ヒータ１１０へと移送される。そし
て再生ヒータ１０９を経て昇温された空気は、再生空気
（ＱRH1）として、第２の減湿機１０６の再生区域１０
６ｂへと供給される。一方再生ヒータ１１０を経て昇温
した空気は、再生空気（ＱRH2）として、第１の減湿機
１０２の再生区域１０２ｂへと供給され、降温したその
後の空気は、排気（ＥＡ）として、減湿水分と共に再生
送風機１１１によって外部に排出されるようになってい
る。
パージ空気（ＱP）は、４分割され、その一部は再生送
風機１０８によって一部が前出第１の減湿機１０２を経
た減湿空気と混合されて前出第２のプレクーラ１０４の
入口側へと移送され、一部は前出プレクーラ１０１の入
口側で、導入外気（ＱOA)と混合され、一部はこの再生
送風機１０８によって再生ヒータ１０９へと移送され、
残りの一部は、再生ヒータ１１０へと移送される。そし
て再生ヒータ１０９を経て昇温された空気は、再生空気
（ＱRH1）として、第２の減湿機１０６の再生区域１０
６ｂへと供給される。一方再生ヒータ１１０を経て昇温
した空気は、再生空気（ＱRH2）として、第１の減湿機
１０２の再生区域１０２ｂへと供給され、降温したその
後の空気は、排気（ＥＡ）として、減湿水分と共に再生
送風機１１１によって外部に排出されるようになってい
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の低露点空気供給システムにおいては、ドライルーム
Ｒ循環空気用の第２の減湿機１０６以外に、再生空気
（ＱRH1）、再生空気（ＱRH2）、及びパージ空気（Ｑ
P）そしてドライルームＲ用の加圧分Ｐをプレ減湿する
ための第１の減湿機１０２を設けている。この種の回転
減湿機は高価であり、そのため設備費等のイニシャルコ
ストが高騰していた。しかもこれら２台の減湿機を再生
するための再生空気（ＱRH1）、再生空気（ＱRH2）の風
量は、本来の目的である、ドライルームＲに供給するた
めの循環減湿空気（ＱDA）の風量の約４割にも達し、さ
らにパージ空気（ＱP）の風量も、再生空気（ＱRH1）＋
再生空気（ＱRH2）の１／２が必要であったため、全体
としてのエネルギー消費量も極めて多くなっていた。ま
た前記従来システムにおいては、第１の減湿機１０２の
再生用の再生空気（ＱRH1）（パージ空気（ＱP）の一
部）を排気しているため、導入外気の空気量は、加圧分
Ｐにこの排気（ＥＡ）を加えた量を必要としている。
来の低露点空気供給システムにおいては、ドライルーム
Ｒ循環空気用の第２の減湿機１０６以外に、再生空気
（ＱRH1）、再生空気（ＱRH2）、及びパージ空気（Ｑ
P）そしてドライルームＲ用の加圧分Ｐをプレ減湿する
ための第１の減湿機１０２を設けている。この種の回転
減湿機は高価であり、そのため設備費等のイニシャルコ
ストが高騰していた。しかもこれら２台の減湿機を再生
するための再生空気（ＱRH1）、再生空気（ＱRH2）の風
量は、本来の目的である、ドライルームＲに供給するた
めの循環減湿空気（ＱDA）の風量の約４割にも達し、さ
らにパージ空気（ＱP）の風量も、再生空気（ＱRH1）＋
再生空気（ＱRH2）の１／２が必要であったため、全体
としてのエネルギー消費量も極めて多くなっていた。ま
た前記従来システムにおいては、第１の減湿機１０２の
再生用の再生空気（ＱRH1）（パージ空気（ＱP）の一
部）を排気しているため、導入外気の空気量は、加圧分
Ｐにこの排気（ＥＡ）を加えた量を必要としている。
【０００９】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、ドライルームなどに供給するための低露点空気供
給システムにおいて、乾式の減湿機の効率を向上させる
と共に、パージ空気の有効利用を図り、もって設備を簡
素化して減湿機の台数（段数）を低減させると共に、減
湿に要するエネルギー消費量の低減も実現できるシステ
ムを提供して、前記問題の解決を図ることをその目的と
する。
あり、ドライルームなどに供給するための低露点空気供
給システムにおいて、乾式の減湿機の効率を向上させる
と共に、パージ空気の有効利用を図り、もって設備を簡
素化して減湿機の台数（段数）を低減させると共に、減
湿に要するエネルギー消費量の低減も実現できるシステ
ムを提供して、前記問題の解決を図ることをその目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明によれば、回転式乾式減湿機を用いて目的室
に低露点の空気を供給するシステムであって、前記回転
式乾式減湿機は、ロータ端面に位置する空気通過域が、
ロータの回転方向順に再生区域、高温パージ区域、低温
パージ区域、減湿区域、再生入口区域の５つに仕切ら
れ、目的室には減湿区域を通過した空気が供給されるよ
うに構成され、前記目的室からの低湿の戻り空気の一部
が、前記回転式乾式減湿機の高温パージ区域→再生入口
区域→低温パージ区域の順に通過するように構成され、
前記低温パージ区域を通過した空気は、導入外気と混合
させて、再び前記回転式乾式減湿機の減湿区域を通過さ
せる処理空気として使用される如く構成されたことを特
徴とする、低露点空気供給システムが提供される。
め、本発明によれば、回転式乾式減湿機を用いて目的室
に低露点の空気を供給するシステムであって、前記回転
式乾式減湿機は、ロータ端面に位置する空気通過域が、
ロータの回転方向順に再生区域、高温パージ区域、低温
パージ区域、減湿区域、再生入口区域の５つに仕切ら
れ、目的室には減湿区域を通過した空気が供給されるよ
うに構成され、前記目的室からの低湿の戻り空気の一部
が、前記回転式乾式減湿機の高温パージ区域→再生入口
区域→低温パージ区域の順に通過するように構成され、
前記低温パージ区域を通過した空気は、導入外気と混合
させて、再び前記回転式乾式減湿機の減湿区域を通過さ
せる処理空気として使用される如く構成されたことを特
徴とする、低露点空気供給システムが提供される。
【００１１】かかる低露点空気供給システムにおいて、
請求項２に記載したように、回転式乾式減湿機を通過す
る再生空気は、前記高温パージ区域等を通過する空気の
系とは別の系内で循環するように構成され、再生空気中
の水分は、この再生空気系内に設けられた冷却減湿装置
によって除去するように構成してもよい。
請求項２に記載したように、回転式乾式減湿機を通過す
る再生空気は、前記高温パージ区域等を通過する空気の
系とは別の系内で循環するように構成され、再生空気中
の水分は、この再生空気系内に設けられた冷却減湿装置
によって除去するように構成してもよい。
【００１２】
【作用】本発明によれば、目的室からの戻り空気、即ち
低露点空気の一部が、パージ空気として回転式乾式減湿
機の高温パージ区域→再生入口区域→低温パージ区域の
順に通過するように構成されている。従って高温パージ
区域を通過した際、まず再生区域で高温となった減湿機
の残熱を除去する。そしてそのときの熱交換によって昇
温したパージ空気は、今度は減湿機の再生入口区域を通
過し、その熱は再生区域に入る前の予熱として使用され
る。その後この再生入口区域を通過して温度が下がった
パージ空気は、低温パージ区域を通過した際に熱交換さ
れ、ロータエレメントは減湿区域に入る前に、さらに残
熱が除去される。従って、減湿区域初期での減湿効率が
向上すると共に、再生区域初期の再生効率が向上し、回
転式乾式減湿機全体の効率が向上している。そして低温
パージ区域を通過した空気は、例えば冷却した後導入外
気と混合させることにより、排気することなくその有効
利用が図られる。
低露点空気の一部が、パージ空気として回転式乾式減湿
機の高温パージ区域→再生入口区域→低温パージ区域の
順に通過するように構成されている。従って高温パージ
区域を通過した際、まず再生区域で高温となった減湿機
の残熱を除去する。そしてそのときの熱交換によって昇
温したパージ空気は、今度は減湿機の再生入口区域を通
過し、その熱は再生区域に入る前の予熱として使用され
る。その後この再生入口区域を通過して温度が下がった
パージ空気は、低温パージ区域を通過した際に熱交換さ
れ、ロータエレメントは減湿区域に入る前に、さらに残
熱が除去される。従って、減湿区域初期での減湿効率が
向上すると共に、再生区域初期の再生効率が向上し、回
転式乾式減湿機全体の効率が向上している。そして低温
パージ区域を通過した空気は、例えば冷却した後導入外
気と混合させることにより、排気することなくその有効
利用が図られる。
【００１３】請求項２では、前記高温パージ区域等を通
過する空気の系とは別の系内で再生空気を循環するよう
に構成し、再生空気中の水分はこの再生空気系内に設け
られた冷却減湿装置によって除去するようにしたので、
外気を導入して再生空気を加熱する必要はない。しかも
再生区域の前には再生入口区域が設けられ、その中を昇
温されたパージ空気が通過して予熱されるから、再生空
気の加熱に要するエネルギー量を低減することができ
る。
過する空気の系とは別の系内で再生空気を循環するよう
に構成し、再生空気中の水分はこの再生空気系内に設け
られた冷却減湿装置によって除去するようにしたので、
外気を導入して再生空気を加熱する必要はない。しかも
再生区域の前には再生入口区域が設けられ、その中を昇
温されたパージ空気が通過して予熱されるから、再生空
気の加熱に要するエネルギー量を低減することができ
る。
【００１４】
【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。図１は、本実施例に係る低露点空気供給システム
の概略を示しており、本実施例は、ドライルームＲに低
露点空気を供給するシステムとして構成されている。な
お本実施例にかかるシステムは、ドライルームＲ内の乾
球温度が２３℃、露点温度が−３２℃となるように構成
された例である。
する。図１は、本実施例に係る低露点空気供給システム
の概略を示しており、本実施例は、ドライルームＲに低
露点空気を供給するシステムとして構成されている。な
お本実施例にかかるシステムは、ドライルームＲ内の乾
球温度が２３℃、露点温度が−３２℃となるように構成
された例である。
【００１５】まず導入外気（ＯＡ）は、プレクーラ１を
経て冷却された後、減湿送風機２によって減湿機３の減
湿区域３ａに移送される。この減湿機３は、図２に示し
たように、ロータ４を回転させる方式の減湿能力の大き
い回転式乾式減湿機であり、このロータ４は例えば塩化
リチウムや塩化カルシウムなどの吸収液を含侵させてハ
ニカム状に構成したり、あるいはシリカゲル、ゼオライ
トなどの吸着材をロータ４内部に収納した構成としても
よい。いずれにしても、この減湿機３の減湿区域３ａを
通過した空気は、前記吸収液や吸着材などによって減湿
される構成となっている。
経て冷却された後、減湿送風機２によって減湿機３の減
湿区域３ａに移送される。この減湿機３は、図２に示し
たように、ロータ４を回転させる方式の減湿能力の大き
い回転式乾式減湿機であり、このロータ４は例えば塩化
リチウムや塩化カルシウムなどの吸収液を含侵させてハ
ニカム状に構成したり、あるいはシリカゲル、ゼオライ
トなどの吸着材をロータ４内部に収納した構成としても
よい。いずれにしても、この減湿機３の減湿区域３ａを
通過した空気は、前記吸収液や吸着材などによって減湿
される構成となっている。
【００１６】そしてこの減湿機３は、図２に示したよう
に、空気の通過域が５つに仕切られている。即ちロータ
４の回転方向の順に説明すると、再生空気が通過する再
生区域３ｂ、高温パージ区域３ｃ、低温パージ区域３
ｄ、前出減湿区域３ａ、そして再生入口区域３ｅの５つ
の区域に仕切られているのである。
に、空気の通過域が５つに仕切られている。即ちロータ
４の回転方向の順に説明すると、再生空気が通過する再
生区域３ｂ、高温パージ区域３ｃ、低温パージ区域３
ｄ、前出減湿区域３ａ、そして再生入口区域３ｅの５つ
の区域に仕切られているのである。
【００１７】前記減湿区域３ａを通過して減湿された減
湿空気（ＱDA）は、アフタークーラ５で所定温度、例え
ば、３℃〜１２℃まで冷却された後、ドライルームＲに
供給される。その一部である加圧分Ｐは、室外へと放出
される。そして残りの一部は還気（ＱR）として前出プ
レクーラ１へと移送され、他の残りの一部はパージ空気
（ＱP）として、減湿機３の高温パージ区域３ｃへと移
送される。
湿空気（ＱDA）は、アフタークーラ５で所定温度、例え
ば、３℃〜１２℃まで冷却された後、ドライルームＲに
供給される。その一部である加圧分Ｐは、室外へと放出
される。そして残りの一部は還気（ＱR）として前出プ
レクーラ１へと移送され、他の残りの一部はパージ空気
（ＱP）として、減湿機３の高温パージ区域３ｃへと移
送される。
【００１８】減湿機３の高温パージ区域３ｃへと移送さ
れた低露点の戻り空気、即ちパージ空気（ＱP）は、再
生区域で高温となっているロータ４の残熱を除去し、パ
ージ空気（ＱP）自体はそのときの熱交換によって昇温
し、今度は減湿機３の再生入口区域３ｅへと移送され
る。
れた低露点の戻り空気、即ちパージ空気（ＱP）は、再
生区域で高温となっているロータ４の残熱を除去し、パ
ージ空気（ＱP）自体はそのときの熱交換によって昇温
し、今度は減湿機３の再生入口区域３ｅへと移送され
る。
【００１９】再生入口区域３ｅでは、昇温したパージ空
気（ＱP）の通過により、再生区域３ｂに入るまでにロ
ータ４が予熱され、その時の熱交換によって、このパー
ジ空気（ＱP）の温度は低下し、今度は減湿機３の低温
パージ区域３ｄへと移送される。そして低温パージ区域
３ｄでは、降温されたパージ空気（ＱP）の通過によ
り、ロータ４の低温部の残熱が除去される。
気（ＱP）の通過により、再生区域３ｂに入るまでにロ
ータ４が予熱され、その時の熱交換によって、このパー
ジ空気（ＱP）の温度は低下し、今度は減湿機３の低温
パージ区域３ｄへと移送される。そして低温パージ区域
３ｄでは、降温されたパージ空気（ＱP）の通過によ
り、ロータ４の低温部の残熱が除去される。
【００２０】その後、低温パージ区域３ｄを通過して昇
温されたパージ空気（ＱP）は、パージ送風機６によっ
て、例えば冷却塔の冷却水コイル７へと送られ、約４０
℃まで冷却される。即ちパージ空気（ＱP）は、冷却塔
の冷却水コイル７によって、戻り側の放熱済みの冷却水
と熱交換されるのである。そしてこの冷却水コイル７で
冷却されたパージ空気（ＱP）空気は、前出プレクーラ
１への入口側に戻される。このようにプレクーラ１に戻
す前に、予めパージ空気（ＱP）の温度を下げることに
より、さらに効率が向上する。またかかる場合、本実施
例のように冷却塔の冷却水を用いることにより、例えば
冷凍機の冷水を用いるよりも安価にパージ空気（ＱP）
の温度を下げることができる。なお前記冷却塔自体は、
プレクーラ１等の冷媒を冷却するのに用いた冷凍機に使
用されるものを用いることができる。またこのようにパ
ージ空気（ＱP）をプレクーラ１に戻す前に予めその温
度を下げる場合、他の冷却手段、例えば空冷熱交換器を
用いることも可能である。
温されたパージ空気（ＱP）は、パージ送風機６によっ
て、例えば冷却塔の冷却水コイル７へと送られ、約４０
℃まで冷却される。即ちパージ空気（ＱP）は、冷却塔
の冷却水コイル７によって、戻り側の放熱済みの冷却水
と熱交換されるのである。そしてこの冷却水コイル７で
冷却されたパージ空気（ＱP）空気は、前出プレクーラ
１への入口側に戻される。このようにプレクーラ１に戻
す前に、予めパージ空気（ＱP）の温度を下げることに
より、さらに効率が向上する。またかかる場合、本実施
例のように冷却塔の冷却水を用いることにより、例えば
冷凍機の冷水を用いるよりも安価にパージ空気（ＱP）
の温度を下げることができる。なお前記冷却塔自体は、
プレクーラ１等の冷媒を冷却するのに用いた冷凍機に使
用されるものを用いることができる。またこのようにパ
ージ空気（ＱP）をプレクーラ１に戻す前に予めその温
度を下げる場合、他の冷却手段、例えば空冷熱交換器を
用いることも可能である。
【００２１】一方前記前記減湿機３の再生空気は、以上
述べたドライルームＲの循環系とは異なった系内で循環
するようになっている。即ち再生ヒータ１１によって加
熱された再生空気（ＱRH）は、減湿機３の再生区域３ｂ
を通過し、再生送風機１２によって熱交換器、例えば回
転型全熱交換器１３へと移送される。この回転型全熱交
換器１３を経て降温された再生空気（ＱRH）は、冷却減
湿器１４によってさらに冷却され、水分が除去される。
そしてそこで冷却された再生空気（ＱRH）は、回転型全
熱交換器１３へと移送され、熱交換されて昇温された
後、前出再生ヒータ１１へと移送されて循環するように
なっている。
述べたドライルームＲの循環系とは異なった系内で循環
するようになっている。即ち再生ヒータ１１によって加
熱された再生空気（ＱRH）は、減湿機３の再生区域３ｂ
を通過し、再生送風機１２によって熱交換器、例えば回
転型全熱交換器１３へと移送される。この回転型全熱交
換器１３を経て降温された再生空気（ＱRH）は、冷却減
湿器１４によってさらに冷却され、水分が除去される。
そしてそこで冷却された再生空気（ＱRH）は、回転型全
熱交換器１３へと移送され、熱交換されて昇温された
後、前出再生ヒータ１１へと移送されて循環するように
なっている。
【００２２】本実施例にかかる低露点空気供給システム
は以上のように構成されており、発明者の知見によれ
ば、既述の従来技術にかかるシステムと同一対象のドラ
イルームＲに、同一レベルの低露点の空気を供給するに
あたり、本実施例でも充分可能であることがわかった。
そして本実施例にかかるシステムでは、減湿機が１段の
構成であり、その分設備費等が従来よりも低廉になって
いる。また減湿機３によって減湿した水分の除去は、再
生空気の出口側に設けた冷却減湿機１４に拠っており、
その再生空気を排出することなく、循環使用している。
従って、再生に要するエネルギーは、前出従来のシステ
ムよりも低減している。なお再生空気（ＱRH）の量は、
減湿空気（ＱDA）の１／３〜１／５、パージ空気（Ｑ
P）の量は、再生空気（ＱRH）の量の１／２で、このシ
ステムを稼働させることができる。
は以上のように構成されており、発明者の知見によれ
ば、既述の従来技術にかかるシステムと同一対象のドラ
イルームＲに、同一レベルの低露点の空気を供給するに
あたり、本実施例でも充分可能であることがわかった。
そして本実施例にかかるシステムでは、減湿機が１段の
構成であり、その分設備費等が従来よりも低廉になって
いる。また減湿機３によって減湿した水分の除去は、再
生空気の出口側に設けた冷却減湿機１４に拠っており、
その再生空気を排出することなく、循環使用している。
従って、再生に要するエネルギーは、前出従来のシステ
ムよりも低減している。なお再生空気（ＱRH）の量は、
減湿空気（ＱDA）の１／３〜１／５、パージ空気（Ｑ
P）の量は、再生空気（ＱRH）の量の１／２で、このシ
ステムを稼働させることができる。
【００２３】特に減湿機３は、空気の通過域を５つに仕
切り、再生空気が通過する再生区域３ｂ、高温パージ区
域３ｃ、低温パージ区域３ｄ、前出減湿区域３ａ、そし
て再生入口区域３ｅの５つの区域を有しており、ドライ
ルームＲからの低露点の戻り空気をパージガスとして、
高温パージ区域３ｃ→再生入口区域３ｅ→低温パージ区
域３ｄに通過させているので、減湿区域３ａでの減湿効
率が向上すると共に、再生区域３ｂでの再生効率も向上
している。従って、この減湿機３の効率は従来のものよ
り向上しており、１段減湿機構成とした低露点空気供給
システムの実現を可能としている。
切り、再生空気が通過する再生区域３ｂ、高温パージ区
域３ｃ、低温パージ区域３ｄ、前出減湿区域３ａ、そし
て再生入口区域３ｅの５つの区域を有しており、ドライ
ルームＲからの低露点の戻り空気をパージガスとして、
高温パージ区域３ｃ→再生入口区域３ｅ→低温パージ区
域３ｄに通過させているので、減湿区域３ａでの減湿効
率が向上すると共に、再生区域３ｂでの再生効率も向上
している。従って、この減湿機３の効率は従来のものよ
り向上しており、１段減湿機構成とした低露点空気供給
システムの実現を可能としている。
【００２４】また再生空気の系は、ドライルームＲの循
環空気の系とは別の系であり、しかもパージ空気（Ｑ
P）は外部に排気されることはなく、その有効利用が図
られているので、導入外気（ＱOA）の空気量も、結局加
圧分Ｐのみでよい。従って導入外気量も既述した従来技
術よりも少なくて済む。
環空気の系とは別の系であり、しかもパージ空気（Ｑ
P）は外部に排気されることはなく、その有効利用が図
られているので、導入外気（ＱOA）の空気量も、結局加
圧分Ｐのみでよい。従って導入外気量も既述した従来技
術よりも少なくて済む。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、回転式乾式減湿機の効
率が向上しており、またパージ空気としての外気の導入
は行わずにその有効利用も図れるので、従来、ドライル
ームに必要な低露点空気を供給するのに回転式乾式減湿
機を２段に用いる必要があったケースにおいて、これを
１段に減じることができる。従って、その分設備が簡素
化されて設備コストの低廉が図れ、またエネルギー消費
量も低減する。特に請求項２の場合には、高温パージ区
域等を通過する空気の系とは別の系内で再生空気を循環
するように構成し、再生空気中の水分はこの再生空気系
内に設けられた冷却減湿装置によって除去するようにし
たので、再生空気分としての外気の導入は不要であり、
しかも再生区域の前には再生入口区域が設けられて予熱
されているので、再生空気の加熱に要するエネルギー量
を低減することができる。
率が向上しており、またパージ空気としての外気の導入
は行わずにその有効利用も図れるので、従来、ドライル
ームに必要な低露点空気を供給するのに回転式乾式減湿
機を２段に用いる必要があったケースにおいて、これを
１段に減じることができる。従って、その分設備が簡素
化されて設備コストの低廉が図れ、またエネルギー消費
量も低減する。特に請求項２の場合には、高温パージ区
域等を通過する空気の系とは別の系内で再生空気を循環
するように構成し、再生空気中の水分はこの再生空気系
内に設けられた冷却減湿装置によって除去するようにし
たので、再生空気分としての外気の導入は不要であり、
しかも再生区域の前には再生入口区域が設けられて予熱
されているので、再生空気の加熱に要するエネルギー量
を低減することができる。
【図１】本発明の実施例にかかる低露点空気供給システ
ムの構成の概略を示す説明図である。
ムの構成の概略を示す説明図である。
【図２】図１の低露点空気供給システムに用いた減湿機
の軸方向正面説明図である。
の軸方向正面説明図である。
【図３】従来技術にかかる低露点空気供給システムの構
成の概略を示す説明図である。
成の概略を示す説明図である。
【図４】図３の低露点空気供給システムに用いた減湿機
の軸方向正面説明図である。
の軸方向正面説明図である。
１ プレクーラ ３ 減湿機 ３ａ 減湿区域 ３ｂ 再生区域 ３ｃ 高温パージ区域 ３ｄ 再生入口区域 ３ｅ 低温パージ区域 １１ 再生ヒータ １４ 冷却減湿機 Ｒ ドライルーム
Claims (2)
- 【請求項１】 回転式乾式減湿機を用いて目的室に低露
点の空気を供給するシステムであって、前記回転式乾式
減湿機は、ロータ端面に位置する空気通過域が、ロータ
の回転方向順に再生区域、高温パージ区域、低温パージ
区域、減湿区域、再生入口区域の５つに仕切られ、目的
室には減湿区域を通過した空気が供給されるように構成
され、前記目的室からの戻り空気の一部が、前記回転式
乾式減湿機の高温パージ区域→再生入口区域→低温パー
ジ区域の順に通過するように構成され、前記低温パージ
区域を通過した空気は、導入外気と混合されて、再び前
記回転式乾式減湿機の減湿区域を通過させる処理空気と
して使用される如く構成されたことを特徴とする、低露
点空気供給システム。 - 【請求項２】 回転式乾式減湿機を通過する再生空気
は、前記高温パージ区域等を通過する空気の系とは別の
系内で循環するように構成され、再生空気中の水分は、
この再生空気系内に設けられた冷却減湿装置によって除
去するように構成されたことを特徴とする、請求項１に
記載の低露点空気供給システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09607995A JP3300565B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 低露点空気供給システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09607995A JP3300565B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 低露点空気供給システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08266853A true JPH08266853A (ja) | 1996-10-15 |
| JP3300565B2 JP3300565B2 (ja) | 2002-07-08 |
Family
ID=14155397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09607995A Expired - Lifetime JP3300565B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | 低露点空気供給システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3300565B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1231439A1 (en) * | 1999-11-12 | 2002-08-14 | Daikin Industries, Ltd. | Clean room |
| JP2005127531A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-05-19 | Daikin Ind Ltd | 調湿装置 |
| KR100458043B1 (ko) * | 1997-06-10 | 2005-06-08 | 다까사고네쯔가꾸고교가부시끼가이샤 | 건식감습장치의운전방법,건식감습장치및감습시스템 |
| KR100535878B1 (ko) * | 1999-04-23 | 2005-12-12 | 다카사고네츠가쿠고오교 가부시키가이샤 | 건식감습장치, 청정공기제조방법 및 청정공기공급장치 |
| JP2006308204A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Asahi Kogyosha Co Ltd | ソーラーウォールユニットとデシカントユニットを用いた空調機 |
| JP2011147876A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | ガス除湿装置 |
| JP2012081416A (ja) * | 2010-10-12 | 2012-04-26 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | ガス除湿装置 |
| JP2012217879A (ja) * | 2011-04-05 | 2012-11-12 | Seibu Giken Co Ltd | 吸着式除湿装置 |
| CN107676888A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-02-09 | 上海交通大学 | 复合空气净化除湿的转轮装置及使用方法 |
| EP4052779A4 (en) * | 2019-10-29 | 2023-12-06 | Itswa Co., Ltd. | DRYING SYSTEM |
-
1995
- 1995-03-29 JP JP09607995A patent/JP3300565B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100458043B1 (ko) * | 1997-06-10 | 2005-06-08 | 다까사고네쯔가꾸고교가부시끼가이샤 | 건식감습장치의운전방법,건식감습장치및감습시스템 |
| KR100535878B1 (ko) * | 1999-04-23 | 2005-12-12 | 다카사고네츠가쿠고오교 가부시키가이샤 | 건식감습장치, 청정공기제조방법 및 청정공기공급장치 |
| EP1231439A1 (en) * | 1999-11-12 | 2002-08-14 | Daikin Industries, Ltd. | Clean room |
| EP1231439A4 (en) * | 1999-11-12 | 2003-05-07 | Daikin Ind Ltd | CLEAN ROOM |
| US6960236B1 (en) | 1999-11-12 | 2005-11-01 | Daikin Industries, Ltd. | Clean room |
| JP2005127531A (ja) * | 2003-10-21 | 2005-05-19 | Daikin Ind Ltd | 調湿装置 |
| JP2006308204A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Asahi Kogyosha Co Ltd | ソーラーウォールユニットとデシカントユニットを用いた空調機 |
| JP4641860B2 (ja) * | 2005-04-28 | 2011-03-02 | 株式会社朝日工業社 | ソーラーウォールユニットとデシカントユニットを用いた空調機 |
| JP2011147876A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | ガス除湿装置 |
| JP2012081416A (ja) * | 2010-10-12 | 2012-04-26 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | ガス除湿装置 |
| JP2012217879A (ja) * | 2011-04-05 | 2012-11-12 | Seibu Giken Co Ltd | 吸着式除湿装置 |
| CN107676888A (zh) * | 2017-10-17 | 2018-02-09 | 上海交通大学 | 复合空气净化除湿的转轮装置及使用方法 |
| CN107676888B (zh) * | 2017-10-17 | 2021-03-09 | 上海交通大学 | 复合空气净化除湿的转轮装置及使用方法 |
| EP4052779A4 (en) * | 2019-10-29 | 2023-12-06 | Itswa Co., Ltd. | DRYING SYSTEM |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3300565B2 (ja) | 2002-07-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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