JP3316144B2 - 低露点空気供給システム及び乾式減湿装置 - Google Patents
低露点空気供給システム及び乾式減湿装置Info
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- F24F3/1423—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification by absorbing or adsorbing water, e.g. using an hygroscopic desiccant with a moving bed of solid desiccants, e.g. a rotary wheel supporting solid desiccants
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- F24F2203/1092—Rotary wheel comprising four flow rotor segments
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、目的室に低露点の
空気を供給する低露点空気供給システム、及び当該低露
点空気供給システムに適した乾式減湿装置に関するもの
である。
空気を供給する低露点空気供給システム、及び当該低露
点空気供給システムに適した乾式減湿装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体製造プロセスやリチウム電
池の製造プロセスにおいては、乾燥しかつ低露点の雰囲
気を有している、ドライルームと呼ばれる設備の需要が
増加している。
池の製造プロセスにおいては、乾燥しかつ低露点の雰囲
気を有している、ドライルームと呼ばれる設備の需要が
増加している。
【０００３】ところで一般に用いられる空気を減湿する
方法には従来から冷却減湿の方法が周知であるが、冷却
減湿では露点が−５℃以上の空気しか生成できず、前記
ドライルームが要求するような低露点には対応できな
い。
方法には従来から冷却減湿の方法が周知であるが、冷却
減湿では露点が−５℃以上の空気しか生成できず、前記
ドライルームが要求するような低露点には対応できな
い。
【０００４】そこで低露点（−５０℃以下）の空気を供
給する空調機、空調システムには、回転式のロータを用
いたいわゆる乾式減湿装置が使用されている。この乾式
減湿装置は、塩化リチウムや塩化カルシウムなどの吸収
液を含侵させたハニカム状のロータや、シリカゲル、ゼ
オライトなどの吸着材で構成したロータの端面側が、減
湿区域と再生区域とに仕切られており、ロータを回転さ
せながら減湿区域に処理空気を通過させて乾燥空気を作
り出すと共に、再生区域に高温の再生空気を通過させる
ことによって、前記吸収液や吸着材中の水分を再生空気
中に蒸発させて、連続的に減湿処理を行うように構成さ
れている。
給する空調機、空調システムには、回転式のロータを用
いたいわゆる乾式減湿装置が使用されている。この乾式
減湿装置は、塩化リチウムや塩化カルシウムなどの吸収
液を含侵させたハニカム状のロータや、シリカゲル、ゼ
オライトなどの吸着材で構成したロータの端面側が、減
湿区域と再生区域とに仕切られており、ロータを回転さ
せながら減湿区域に処理空気を通過させて乾燥空気を作
り出すと共に、再生区域に高温の再生空気を通過させる
ことによって、前記吸収液や吸着材中の水分を再生空気
中に蒸発させて、連続的に減湿処理を行うように構成さ
れている。
【０００５】但しロータが高温のまま処理系統、即ち減
湿区域に移行すると、減湿しない空気がロータを通過し
て露点を上げてしまうので、再生区域から減湿区域に移
行する前の区域に、パージ区域と呼ばれる区域を設け、
再生区域、パージ区域、減湿区域の順にロータを回転さ
せ、このパージ区域に冷却用のパージ空気を通過させて
ロータの冷却を行うように構成されていることが多い。
湿区域に移行すると、減湿しない空気がロータを通過し
て露点を上げてしまうので、再生区域から減湿区域に移
行する前の区域に、パージ区域と呼ばれる区域を設け、
再生区域、パージ区域、減湿区域の順にロータを回転さ
せ、このパージ区域に冷却用のパージ空気を通過させて
ロータの冷却を行うように構成されていることが多い。
【０００６】このような乾式減湿装置を用いて低露点空
気を供給する場合、乾式減湿装置を１段で処理をする方
法と、外気処理用に別途乾式減湿装置を設けて直列２段
で処理を行う２つの方式がある。１段のシステムはイニ
シャルコストは安価であるが、消費エネルギが多いた
め、主として小さい室に低露点空気を供給する場合に用
いられている。一方２段のシステムでは、消費エネルギ
を低減するために再生系統を循環させ、２段目の乾式湿
減湿装置における再生区域からの排気を、１段目の乾式
減湿装置の再生に再利用することでエネルギの低減を図
っている。ドライルームなどに低露点の空気を供給する
場合のシステムでは、一般的にこの２段のシステムが用
いられている。
気を供給する場合、乾式減湿装置を１段で処理をする方
法と、外気処理用に別途乾式減湿装置を設けて直列２段
で処理を行う２つの方式がある。１段のシステムはイニ
シャルコストは安価であるが、消費エネルギが多いた
め、主として小さい室に低露点空気を供給する場合に用
いられている。一方２段のシステムでは、消費エネルギ
を低減するために再生系統を循環させ、２段目の乾式湿
減湿装置における再生区域からの排気を、１段目の乾式
減湿装置の再生に再利用することでエネルギの低減を図
っている。ドライルームなどに低露点の空気を供給する
場合のシステムでは、一般的にこの２段のシステムが用
いられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な乾式減湿装置を用いて減湿する場合、冷却減湿より低
露点の空気を供給できるものの、１段のシステムはもと
より、エネルギ低消費型の２段のタイプでさえ、冷却減
湿よりもエネルギの消費が多く、さらなる省エネルギが
求められている。また前記したドライルームは、ほとん
どが２４時間運転であり、エネルギの低減が運用費を含
めた設備コストに与える影響が非常に高いため、エネル
ギの低減がことさら強く求められているのが実情であ
る。
な乾式減湿装置を用いて減湿する場合、冷却減湿より低
露点の空気を供給できるものの、１段のシステムはもと
より、エネルギ低消費型の２段のタイプでさえ、冷却減
湿よりもエネルギの消費が多く、さらなる省エネルギが
求められている。また前記したドライルームは、ほとん
どが２４時間運転であり、エネルギの低減が運用費を含
めた設備コストに与える影響が非常に高いため、エネル
ギの低減がことさら強く求められているのが実情であ
る。
【０００８】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、ドライルームなど、低露点の空気を必要とする室
に低露点空気を供給するにあたり、従来よりもエネルギ
消費の少ない低露点空気供給システム、及び当該低露点
空気供給システムに使用するのに適した乾式減湿装置を
提供して、前記問題の解決を図ることを目的としてい
る。
あり、ドライルームなど、低露点の空気を必要とする室
に低露点空気を供給するにあたり、従来よりもエネルギ
消費の少ない低露点空気供給システム、及び当該低露点
空気供給システムに使用するのに適した乾式減湿装置を
提供して、前記問題の解決を図ることを目的としてい
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１によれば、吸着機能や吸収機能を有する回
転自在なロータを有し、当該ロータ端面に位置する空気
通過域が、ロータ中心から放射状に減湿区域、再生区
域、パージ区域に仕切られている乾式減湿装置を用いて
処理空気を処理して、例えばドライルームなどの目的室
に低露点の空気を供給するシステムにおいて、前記目的
室からの還気がパージ区域に導入されると共に、パージ
区域出口側の空気は再生区域寄りの部分を通過する空気
と、減湿区域寄りの部分を通過する空気とに分離され、
前記再生区域寄りの部分を通過した空気は、再生区域を
通過させる再生系統の空気に混合され、前記減湿区域寄
りの部分を通過した空気は、前記処理空気と混合される
ように構成されたことを特徴とする、低露点空気供給シ
ステムが提供される。
め、請求項１によれば、吸着機能や吸収機能を有する回
転自在なロータを有し、当該ロータ端面に位置する空気
通過域が、ロータ中心から放射状に減湿区域、再生区
域、パージ区域に仕切られている乾式減湿装置を用いて
処理空気を処理して、例えばドライルームなどの目的室
に低露点の空気を供給するシステムにおいて、前記目的
室からの還気がパージ区域に導入されると共に、パージ
区域出口側の空気は再生区域寄りの部分を通過する空気
と、減湿区域寄りの部分を通過する空気とに分離され、
前記再生区域寄りの部分を通過した空気は、再生区域を
通過させる再生系統の空気に混合され、前記減湿区域寄
りの部分を通過した空気は、前記処理空気と混合される
ように構成されたことを特徴とする、低露点空気供給シ
ステムが提供される。
【００１０】かかる低露点空気供給システムでは、再生
区域寄りの部分を通過した空気を再生区域を通過させる
再生系統の空気に混合するようにしたので、いわば高温
側で回収した熱を、ロータの再生用の熱源として再利用
できる。また同時に、減湿区域寄りの部分を通過した空
気を処理空気と混合するようにしたので、いわば低温側
の空気を処理系統に戻すことで、例えば外気の取り入れ
量を低減することが可能になっている。またパージ区域
には、目的室からの還気を導入するようにしたので、パ
ージ区域には低露点の空気が通過し、再生後のロータに
水分が移行しない。
区域寄りの部分を通過した空気を再生区域を通過させる
再生系統の空気に混合するようにしたので、いわば高温
側で回収した熱を、ロータの再生用の熱源として再利用
できる。また同時に、減湿区域寄りの部分を通過した空
気を処理空気と混合するようにしたので、いわば低温側
の空気を処理系統に戻すことで、例えば外気の取り入れ
量を低減することが可能になっている。またパージ区域
には、目的室からの還気を導入するようにしたので、パ
ージ区域には低露点の空気が通過し、再生後のロータに
水分が移行しない。
【００１１】また請求項２によれば、吸着機能や吸収機
能を有する回転自在なロータと、当該ロータの端面前後
にダクト接続のためのチャンバを各々備えた乾式の減湿
装置において、ロータ端面に位置する空気通過域が、ロ
ータ中心から放射状に減湿区域、再生区域、パージ区域
に仕切られ、パージ区域入口側に位置するチャンバに
は、前記パージ区域への入口であるパージ入口が設けら
れ、パージ区域出口側に位置するチャンバには、前記パ
ージ区域からの出口であってかつ高温側と低温側と分離
された、高温パージ出口と低温パージ出口とが設けら
れ、高温パージ出口は再生区域寄りに、低温パージ出口
は減湿区域寄りに各々配置されたことを特徴とする、乾
式減湿装置が提供される。
能を有する回転自在なロータと、当該ロータの端面前後
にダクト接続のためのチャンバを各々備えた乾式の減湿
装置において、ロータ端面に位置する空気通過域が、ロ
ータ中心から放射状に減湿区域、再生区域、パージ区域
に仕切られ、パージ区域入口側に位置するチャンバに
は、前記パージ区域への入口であるパージ入口が設けら
れ、パージ区域出口側に位置するチャンバには、前記パ
ージ区域からの出口であってかつ高温側と低温側と分離
された、高温パージ出口と低温パージ出口とが設けら
れ、高温パージ出口は再生区域寄りに、低温パージ出口
は減湿区域寄りに各々配置されたことを特徴とする、乾
式減湿装置が提供される。
【００１２】かかる乾式減湿装置によれば、パージ入口
を通じてロータ端面のパージ区域を通過した空気が、パ
ージ区域出口側に位置するチャンバから排出される際、
高温パージ出口からは、再生区域寄りの部分を通過した
相対的に高温の空気が流出し、低温パージ出口からは減
湿区域寄りの部分を通過した相対的に低温の空気が流出
する。したがって、前記低露点空気供給システムにおけ
る再生系統に高温パージ空気を混合させることや、処理
空気に低温パージ空気を混合させることが容易になる。
を通じてロータ端面のパージ区域を通過した空気が、パ
ージ区域出口側に位置するチャンバから排出される際、
高温パージ出口からは、再生区域寄りの部分を通過した
相対的に高温の空気が流出し、低温パージ出口からは減
湿区域寄りの部分を通過した相対的に低温の空気が流出
する。したがって、前記低露点空気供給システムにおけ
る再生系統に高温パージ空気を混合させることや、処理
空気に低温パージ空気を混合させることが容易になる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態を説明する。図１は、本実施の形態に係る低露
点空気供給システムの概略を示しており、本実施の形態
にかかる低露点空気供給システムは、ドライルームＲに
低露点空気を供給するシステムとして構成されている。
施の形態を説明する。図１は、本実施の形態に係る低露
点空気供給システムの概略を示しており、本実施の形態
にかかる低露点空気供給システムは、ドライルームＲに
低露点空気を供給するシステムとして構成されている。
【００１４】まず導入外気ＯＡは、外気取り入れダクト
１により導かれて、外気処理クーラ２によって冷却減湿
される。その後、再生余剰空気冷却クーラ３で冷却され
た再生余剰空気と混合されて、外気処理ファン４によっ
て、１段目の乾式減湿装置５の減湿区域５ａに導入さ
れ、例えば露点温度−１０℃まで減湿される。この１段
目の乾式減湿装置５は、減湿区域５ａと再生区域５ｂと
の２つに分割されたロータ端面を有しているタイプであ
る。
１により導かれて、外気処理クーラ２によって冷却減湿
される。その後、再生余剰空気冷却クーラ３で冷却され
た再生余剰空気と混合されて、外気処理ファン４によっ
て、１段目の乾式減湿装置５の減湿区域５ａに導入さ
れ、例えば露点温度−１０℃まで減湿される。この１段
目の乾式減湿装置５は、減湿区域５ａと再生区域５ｂと
の２つに分割されたロータ端面を有しているタイプであ
る。
【００１５】その後、１段目の乾式減湿装置５の減湿区
域５ａを通過して外気処理された空気は、ドライルーム
Ｒから還気ダクト６を通じて戻ってきた一部の還気ＲＡ
1と混合され、処理ファン７によって、プレクーラ８に
送られる。このプレクーラ８によって処理空気は冷却さ
れた後、２段目の乾式減湿装置１０のロータ１１の減湿
区域１１ａに導入されて減湿処理される。
域５ａを通過して外気処理された空気は、ドライルーム
Ｒから還気ダクト６を通じて戻ってきた一部の還気ＲＡ
1と混合され、処理ファン７によって、プレクーラ８に
送られる。このプレクーラ８によって処理空気は冷却さ
れた後、２段目の乾式減湿装置１０のロータ１１の減湿
区域１１ａに導入されて減湿処理される。
【００１６】２段目の乾式減湿装置１０は、図２〜図５
に示した構成を有しており、回転するロータ１１の両端
面にチャンバ１２、１３が配置された構成を有してい
る。そしてロータ１１の端面は、図３中の矢印に示した
ロータ１１の回転方向順に、減湿区域１１ａ、再生区域
１１ｂ、パージ区域１１ｃの３つの空気通過域に区画さ
れている。そしてチャンバ１２の外側端面には、これら
各区域に対応して、ダクトなどに接続するための減湿出
口１２ａ、再生入口１２ｂ、パージ入口１２ｃが形成さ
れている。
に示した構成を有しており、回転するロータ１１の両端
面にチャンバ１２、１３が配置された構成を有してい
る。そしてロータ１１の端面は、図３中の矢印に示した
ロータ１１の回転方向順に、減湿区域１１ａ、再生区域
１１ｂ、パージ区域１１ｃの３つの空気通過域に区画さ
れている。そしてチャンバ１２の外側端面には、これら
各区域に対応して、ダクトなどに接続するための減湿出
口１２ａ、再生入口１２ｂ、パージ入口１２ｃが形成さ
れている。
【００１７】一方前記チャンバ１３の外方端面には、図
５に示したように、減湿区域１１ａに対応して減湿入口
１３ａが、再生区域１１ｂに対応して再生出口１３ｂ
が、さらにパージ区域１１ｃに対応して、再生区域１１
ｂ寄りの部分に高温パージ出口１３ｃが、減湿区域１１
ａ寄りの部分に低温パージ出口１３ｄが各々形成されて
いる。
５に示したように、減湿区域１１ａに対応して減湿入口
１３ａが、再生区域１１ｂに対応して再生出口１３ｂ
が、さらにパージ区域１１ｃに対応して、再生区域１１
ｂ寄りの部分に高温パージ出口１３ｃが、減湿区域１１
ａ寄りの部分に低温パージ出口１３ｄが各々形成されて
いる。
【００１８】かかる構成により、図６に示したように、
処理空気Ａはチャンバ１３の減湿入口１３ａからロータ
１１の減湿区域１１ａを通過して、チャンバ１２の減湿
出口１２ａから排出され、また再生空気Ｂは、チャンバ
１２の再生入口１２ｂからロータ１１の再生区域１１ｂ
を通過して、チャンバ１３の再生出口１３ｂから排出さ
れ、そしてパージ空気Ｃは、チャンバ１２の再生入口１
２ｃからロータ１１のパージ区域１１ｃを通過して、そ
のうち再生区域１１ｂ寄りの部分を通過した高温側パー
ジ空気Ｃ1は、チャンバ１３の高温パージ出口１３ｃか
ら排出され、パージ区域１１ｃの減湿区域１１ａ寄りの
部分を通過した低温側パージ空気Ｃ2は、チャンバ１３
の低温パージ出口１３ｄから排出されるようになってい
る。
処理空気Ａはチャンバ１３の減湿入口１３ａからロータ
１１の減湿区域１１ａを通過して、チャンバ１２の減湿
出口１２ａから排出され、また再生空気Ｂは、チャンバ
１２の再生入口１２ｂからロータ１１の再生区域１１ｂ
を通過して、チャンバ１３の再生出口１３ｂから排出さ
れ、そしてパージ空気Ｃは、チャンバ１２の再生入口１
２ｃからロータ１１のパージ区域１１ｃを通過して、そ
のうち再生区域１１ｂ寄りの部分を通過した高温側パー
ジ空気Ｃ1は、チャンバ１３の高温パージ出口１３ｃか
ら排出され、パージ区域１１ｃの減湿区域１１ａ寄りの
部分を通過した低温側パージ空気Ｃ2は、チャンバ１３
の低温パージ出口１３ｄから排出されるようになってい
る。
【００１９】そして乾式減湿装置１０のロータ１１の減
湿区域１１ａで減湿されて、低露点となった空気は、そ
の後ヒータ２１、アフタークーラ２２によって、所定の
温度に調節された後、給気ＳＡとしてドライルームＲに
供給される。
湿区域１１ａで減湿されて、低露点となった空気は、そ
の後ヒータ２１、アフタークーラ２２によって、所定の
温度に調節された後、給気ＳＡとしてドライルームＲに
供給される。
【００２０】ドライルームＲからの一部の還気ＲＡ2
は、パージ系還気ダクト２３を通じ、パージ空気Ｃとし
て、乾式減湿装置１０のロータ１１のパージ区域１１ｃ
に導入され、これによってロータ１１の冷却が行われ
る。ここでの冷却が十分でないと、温度が高いままロー
タ１１が減湿区域１１ａに入ってしまい、減湿が十分に
できないことになる。
は、パージ系還気ダクト２３を通じ、パージ空気Ｃとし
て、乾式減湿装置１０のロータ１１のパージ区域１１ｃ
に導入され、これによってロータ１１の冷却が行われ
る。ここでの冷却が十分でないと、温度が高いままロー
タ１１が減湿区域１１ａに入ってしまい、減湿が十分に
できないことになる。
【００２１】そしてロータ１１のパージ区域１１ｃを通
過した空気のうち、再生区域１１ｂに近い部分を通過し
た高温側パージ空気Ｃ1は、パージ系統高温側ダクト２
４によって再生系統に導かれ、２段目の再生ファン２５
によって再生循環系統Ｐの空気に合流して混合される。
このようにして混合された空気は、その大部分が再生系
統ダクト２６を通って、２段目の再生ヒータ２７に送ら
れ、この再生ヒータ２７により、例えば１２０℃に加熱
された後、乾式減湿装置１０のロータ１１の再生に用い
られる。即ちロータ１１の再生区域１１ｂに導入され
る。なおこの再生系統の湿度は、減湿量、導入するパー
ジ空気Ｃの露点温度、および導入パージ空気量、再生空
気量と処理空気量の比によって決まる。
過した空気のうち、再生区域１１ｂに近い部分を通過し
た高温側パージ空気Ｃ1は、パージ系統高温側ダクト２
４によって再生系統に導かれ、２段目の再生ファン２５
によって再生循環系統Ｐの空気に合流して混合される。
このようにして混合された空気は、その大部分が再生系
統ダクト２６を通って、２段目の再生ヒータ２７に送ら
れ、この再生ヒータ２７により、例えば１２０℃に加熱
された後、乾式減湿装置１０のロータ１１の再生に用い
られる。即ちロータ１１の再生区域１１ｂに導入され
る。なおこの再生系統の湿度は、減湿量、導入するパー
ジ空気Ｃの露点温度、および導入パージ空気量、再生空
気量と処理空気量の比によって決まる。
【００２２】再生系統からは高温側パージ空気Ｃ1の導
入量だけ空気を排出するが、その一部は１段目の再生フ
ァン２８の作動により１段目の再生ヒータ２９を通過し
た後、昇温されて１段目の乾式減湿装置５の再生区域５
ｂに導入され、この乾式減湿装置５のロータの再生に用
いられる。そしてその後、排気ＥＡとしてシステム外に
排出される。残りは再生余剰空気循環ダクト３０を通っ
て、前出再生余剰空気冷却用クーラ３によって冷却さ
れ、外気ＯＡと混合されて１段目の乾式減湿装置５の減
湿区域５ａに導入されて減湿されるようになっている。
即ち処理空気の一部として再使用される。この外気ＯＡ
と混合される空気は、元々ドライルームＲからの還気で
あったことから、既にかなり低湿度のものとなってい
る。
入量だけ空気を排出するが、その一部は１段目の再生フ
ァン２８の作動により１段目の再生ヒータ２９を通過し
た後、昇温されて１段目の乾式減湿装置５の再生区域５
ｂに導入され、この乾式減湿装置５のロータの再生に用
いられる。そしてその後、排気ＥＡとしてシステム外に
排出される。残りは再生余剰空気循環ダクト３０を通っ
て、前出再生余剰空気冷却用クーラ３によって冷却さ
れ、外気ＯＡと混合されて１段目の乾式減湿装置５の減
湿区域５ａに導入されて減湿されるようになっている。
即ち処理空気の一部として再使用される。この外気ＯＡ
と混合される空気は、元々ドライルームＲからの還気で
あったことから、既にかなり低湿度のものとなってい
る。
【００２３】一方、ロータ１１のパージ区域１１ｃを通
過した空気のうち、減湿区域１１ａに近い部分を通過し
た低温側パージ空気Ｃ2は、パージ系統低温側ダクト３
１によって処理系統に導かれ、処理空気と混合される。
過した空気のうち、減湿区域１１ａに近い部分を通過し
た低温側パージ空気Ｃ2は、パージ系統低温側ダクト３
１によって処理系統に導かれ、処理空気と混合される。
【００２４】なお図１におけるＤ1〜Ｄ9は、風量を調節
するためダクト中に介装されたダンパであり、特にパー
ジ系統の出口空気は高温側と低温側の２系統に分かれて
いるため、パージ系統高温側ダクト２４にはダンパＤ
5、パージ系統低温側ダクト３１にはダンパＤ3を各々設
けることで、各系統の風量調節が容易に行えるようにな
っている。
するためダクト中に介装されたダンパであり、特にパー
ジ系統の出口空気は高温側と低温側の２系統に分かれて
いるため、パージ系統高温側ダクト２４にはダンパＤ
5、パージ系統低温側ダクト３１にはダンパＤ3を各々設
けることで、各系統の風量調節が容易に行えるようにな
っている。
【００２５】本実施形態にかかる低露点供給システムは
以上のように構成されており、まず乾式減湿装置１０の
ロータ１１の冷却に使用したパージ空気Ｃのうち、再生
区域１１ｂ寄りの部分を通過して高温側パージ空気Ｃ1
で回収した熱は、ロータ１１の再生用の熱源として再利
用できるので、その分再生に要するエネルギを低減する
ことができる。またパージ空気Ｃのうち、減湿区域１１
ａ寄りの部分を通過した低温側パージ空気Ｃ2は、処理
空気と混合されるので、外気ＯＡの取り入れ量を低減す
ることが可能となり、その結果外気処理のためのエネル
ギも低減させることができる。従って、ロータ１１の再
生及び外気処理に要するエネルギが、いずれも低減され
るので、全体として極めて消費エネルギの少ないシステ
ムとなっている。また前記したように、本実施形態にお
いては、再生余剰空気循環ダクト３０、再生余剰空気冷
却用クーラ３を経由して外気ＯＡと混合される空気は、
元々ドライルームＲからの還気であったことから、既に
かなり低湿度のものとなっており、この点からも外気処
理に要するエネルギの低減が図られている。
以上のように構成されており、まず乾式減湿装置１０の
ロータ１１の冷却に使用したパージ空気Ｃのうち、再生
区域１１ｂ寄りの部分を通過して高温側パージ空気Ｃ1
で回収した熱は、ロータ１１の再生用の熱源として再利
用できるので、その分再生に要するエネルギを低減する
ことができる。またパージ空気Ｃのうち、減湿区域１１
ａ寄りの部分を通過した低温側パージ空気Ｃ2は、処理
空気と混合されるので、外気ＯＡの取り入れ量を低減す
ることが可能となり、その結果外気処理のためのエネル
ギも低減させることができる。従って、ロータ１１の再
生及び外気処理に要するエネルギが、いずれも低減され
るので、全体として極めて消費エネルギの少ないシステ
ムとなっている。また前記したように、本実施形態にお
いては、再生余剰空気循環ダクト３０、再生余剰空気冷
却用クーラ３を経由して外気ＯＡと混合される空気は、
元々ドライルームＲからの還気であったことから、既に
かなり低湿度のものとなっており、この点からも外気処
理に要するエネルギの低減が図られている。
【００２６】発明者の知見では、ロータ１１のパージ区
域１１ｃを通過した空気を全て再生系統に戻す場合と比
較すれば、冷熱で７〜１５％、温熱で１５〜３０％、合
計で１０〜２０％のエネルギ消費の低減ができる。また
それに応じて１段目の乾式減湿装置５のロータの大きさ
を２／３とすることができるため、設備費の低減も実現
できる。
域１１ｃを通過した空気を全て再生系統に戻す場合と比
較すれば、冷熱で７〜１５％、温熱で１５〜３０％、合
計で１０〜２０％のエネルギ消費の低減ができる。また
それに応じて１段目の乾式減湿装置５のロータの大きさ
を２／３とすることができるため、設備費の低減も実現
できる。
【００２７】また前記システムで用いた２段目の乾式減
湿装置１０は、特にチャンバ１３にロータ１１のパージ
区域１１ｃに対応して、高温パージ出口１３ｃ、低温パ
ージ出口１３ｄを設けることで、高温側パージ空気Ｃ
1、低温側パージ空気Ｃ2を容易に分離することができ、
設置、組み入れが容易でかつコストも、従来のものと比
べて殆ど変わらない。もちろんチャンバ１２、１３の形
態については、前記システムで用いた２段目の乾式減湿
装置１０のような断面が円形のものである必要はなく、
適宜方形等の任意の形状のもの使用することができる。
湿装置１０は、特にチャンバ１３にロータ１１のパージ
区域１１ｃに対応して、高温パージ出口１３ｃ、低温パ
ージ出口１３ｄを設けることで、高温側パージ空気Ｃ
1、低温側パージ空気Ｃ2を容易に分離することができ、
設置、組み入れが容易でかつコストも、従来のものと比
べて殆ど変わらない。もちろんチャンバ１２、１３の形
態については、前記システムで用いた２段目の乾式減湿
装置１０のような断面が円形のものである必要はなく、
適宜方形等の任意の形状のもの使用することができる。
【００２８】
【発明の効果】請求項１の低露点空気供給システムによ
れば、乾式減湿装置のロータの高温側で回収した熱を、
ロータの再生用の熱源として再利用でき、同時に外気な
どの取り入れ量を低減することが可能である。したがっ
て、再生に要するエネルギ、並びに外気処理のためのエ
ネルギの双方を同時に低減させることができ、従来より
も少ないエネルギで、目的室に低露点空気を供給するこ
とができる。また目的室からの還気をパージ空気として
利用しているので、パージ区域から再生後のロータに水
分が移行することもない。
れば、乾式減湿装置のロータの高温側で回収した熱を、
ロータの再生用の熱源として再利用でき、同時に外気な
どの取り入れ量を低減することが可能である。したがっ
て、再生に要するエネルギ、並びに外気処理のためのエ
ネルギの双方を同時に低減させることができ、従来より
も少ないエネルギで、目的室に低露点空気を供給するこ
とができる。また目的室からの還気をパージ空気として
利用しているので、パージ区域から再生後のロータに水
分が移行することもない。
【００２９】請求項２の乾式減湿装置によれば、パージ
区域を通過した空気排出される際が、出口側のチャンバ
にて高温側と低温側とに分離されて排出されるから、前
記請求項１の低露点空気供給システムにおける再生系統
に高温パージ空気を混合させることや、処理空気に低温
パージ空気を混合させることが容易であり、請求項１の
低露点空気供給システムを容易かつ好適に実施すること
ができる。
区域を通過した空気排出される際が、出口側のチャンバ
にて高温側と低温側とに分離されて排出されるから、前
記請求項１の低露点空気供給システムにおける再生系統
に高温パージ空気を混合させることや、処理空気に低温
パージ空気を混合させることが容易であり、請求項１の
低露点空気供給システムを容易かつ好適に実施すること
ができる。
【図１】本発明の実施の形態にかかる低露点空気供給シ
ステムの構成の概略を示す説明図である。
ステムの構成の概略を示す説明図である。
【図２】図１の低露点空気供給システムに用いた乾式減
湿装置のパージ入口側からみた斜視図である。
湿装置のパージ入口側からみた斜視図である。
【図３】図２の乾式減湿装置のパージ入口側からみた正
面である。
面である。
【図４】図１の低露点空気供給システムに用いた乾式減
湿装置のパージ出口側からみた斜視図である。
湿装置のパージ出口側からみた斜視図である。
【図５】図２の乾式減湿装置のパージ出口側からみた正
面図である。
面図である。
【図６】図２の乾式減湿装置におけるロータの空気通過
域を示す分解斜視図である。
域を示す分解斜視図である。
１０ 乾式減湿装置 １１ ロータ １１ａ 減湿区域 １１ｂ 再生区域 １１ｃ パージ区域 １２、１３ チャンバ １２ａ 減湿出口 １２ｂ 再生入口 １２ｃ パージ入口 １３ａ 減湿入口 １３ｂ 再生出口 １３ｃ 高温パージ出口 １３ｄ 低温パージ出口 Ｃ1 高温側パージ空気 Ｃ2 低温側パージ空気 Ｄ1〜Ｄ9 ダンパ Ｒ ドライルーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 53/02 - 53/12 B01D 53/26 - 53/28
Claims (2)
- 【請求項１】 吸着機能や吸収機能を有する回転自在な
ロータを有し、当該ロータ端面に位置する空気通過域
が、ロータ中心から放射状に減湿区域、再生区域、パー
ジ区域に仕切られている乾式減湿装置を用いて処理空気
を処理して、目的室に低露点の空気を供給するシステム
において、前記目的室からの還気がパージ区域に導入さ
れると共に、パージ区域出口側の空気は再生区域寄りの
部分を通過する空気と、減湿区域寄りの部分を通過する
空気とに分離され、前記再生区域寄りの部分を通過した
空気は、再生区域を通過させる再生系統の空気に混合さ
れ、前記減湿区域寄りの部分を通過した空気は、前記処
理空気と混合されるように構成されたことを特徴とす
る、低露点空気供給システム。 - 【請求項２】 吸着機能や吸収機能を有する回転自在な
ロータと、当該ロータの端面前後にダクト接続のための
チャンバを各々備えた乾式の減湿装置において、ロータ
端面に位置する空気通過域が、ロータ中心から放射状に
減湿区域、再生区域、パージ区域に仕切られ、パージ区
域入口側に位置するチャンバには、前記パージ区域への
入口であるパージ入口が設けられ、パージ区域出口側に
位置するチャンバには、前記パージ区域からの出口であ
ってかつ高温側と低温側と分離された、高温パージ出口
と低温パージ出口とが設けられ、高温パージ出口は再生
区域寄りに、低温パージ出口は減湿区域寄りに各々配置
されたことを特徴とする、乾式減湿装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24911896A JP3316144B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 低露点空気供給システム及び乾式減湿装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24911896A JP3316144B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 低露点空気供給システム及び乾式減湿装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1076131A JPH1076131A (ja) | 1998-03-24 |
| JP3316144B2 true JP3316144B2 (ja) | 2002-08-19 |
Family
ID=17188219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24911896A Expired - Fee Related JP3316144B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 低露点空気供給システム及び乾式減湿装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3316144B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109812880A (zh) * | 2019-01-03 | 2019-05-28 | 东南大学 | 太阳能光热-光电增压空气膜溶液除湿系统及方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100535878B1 (ko) * | 1999-04-23 | 2005-12-12 | 다카사고네츠가쿠고오교 가부시키가이샤 | 건식감습장치, 청정공기제조방법 및 청정공기공급장치 |
| JP2021167675A (ja) * | 2018-07-05 | 2021-10-21 | ダイキン工業株式会社 | 加湿ユニット |
| WO2021085307A1 (ja) * | 2019-10-29 | 2021-05-06 | 五和工業株式会社 | 除湿システム |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP24911896A patent/JP3316144B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109812880A (zh) * | 2019-01-03 | 2019-05-28 | 东南大学 | 太阳能光热-光电增压空气膜溶液除湿系统及方法 |
| CN109812880B (zh) * | 2019-01-03 | 2020-06-30 | 东南大学 | 太阳能光热-光电增压空气膜溶液除湿系统及方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1076131A (ja) | 1998-03-24 |
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