JPH0825095B2 - 放電加工装置 - Google Patents
放電加工装置Info
- Publication number
- JPH0825095B2 JPH0825095B2 JP62158665A JP15866587A JPH0825095B2 JP H0825095 B2 JPH0825095 B2 JP H0825095B2 JP 62158665 A JP62158665 A JP 62158665A JP 15866587 A JP15866587 A JP 15866587A JP H0825095 B2 JPH0825095 B2 JP H0825095B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- machining
- electrode
- vibrating body
- workpiece
- feed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は放電加工装置に於ける電極又は被加工体の送
り装置に関する。
り装置に関する。
従来の電極又は被加工体の送り装置は、回転モータの
回転をラックピニオン等により直線運動に変換し、且つ
歯車等により減速して伝えるようにしたものである。こ
のようなモータの回転を伝達装置を介在させて電極又は
被加工体に伝えるため応答速度が悪く誤差が大きい欠点
がある。特に、正逆回転する場合はバックラッシュがあ
り送り精度を悪くする欠点がある。
回転をラックピニオン等により直線運動に変換し、且つ
歯車等により減速して伝えるようにしたものである。こ
のようなモータの回転を伝達装置を介在させて電極又は
被加工体に伝えるため応答速度が悪く誤差が大きい欠点
がある。特に、正逆回転する場合はバックラッシュがあ
り送り精度を悪くする欠点がある。
本発明は従来の欠点を除去するために提案されたもの
で、電極と被加工体とを加工間隙を介して対向配置し、
加工間隙に加工液を供給した状態で、電極と被加工体間
に間歇的な電圧パルスを印加して繰返し放電を発生させ
ると共に両者間に一軸方向の相対的な加工送りを与えて
加工を行う放電加工装置に於て、前記加工送りを与える
送り装置として、前記一軸方向に移動する進行波を生ず
るように設けられた複数個の電歪材若しくは磁歪材の振
動素子と、一方の面が前記複数個の振動素子に接着固定
された板状の振動体と、電極、電極支持部、被加工体支
持部のいずれかを前記板状振動体の他方の面に圧接させ
る手段と、隣接する前記振動素子に位相差を有する高周
波を供給して前記板状振動体に前記一軸方向の進行波を
生じさせる高周波電源とからなる送り装置を設けたこと
を特徴とする。
で、電極と被加工体とを加工間隙を介して対向配置し、
加工間隙に加工液を供給した状態で、電極と被加工体間
に間歇的な電圧パルスを印加して繰返し放電を発生させ
ると共に両者間に一軸方向の相対的な加工送りを与えて
加工を行う放電加工装置に於て、前記加工送りを与える
送り装置として、前記一軸方向に移動する進行波を生ず
るように設けられた複数個の電歪材若しくは磁歪材の振
動素子と、一方の面が前記複数個の振動素子に接着固定
された板状の振動体と、電極、電極支持部、被加工体支
持部のいずれかを前記板状振動体の他方の面に圧接させ
る手段と、隣接する前記振動素子に位相差を有する高周
波を供給して前記板状振動体に前記一軸方向の進行波を
生じさせる高周波電源とからなる送り装置を設けたこと
を特徴とする。
以下図面の一実施例により本発明を説明する。第１図
に於て１は細孔加工用のパイプ電極で、先端を被加工体
２に対向し、パイプ内をポンプ３により供給される加工
液を流通させて先端から加工間隙に噴流し、加工用電源
４によりパイプ電極１と被加工体２間に間歇的な電圧パ
ルスを印加して繰返し放電パルスを発生させると共にパ
イプ電極１に該電極１の軸方向の加工送りを与えて穿孔
加工する。５は板状の振動体で、一方の面に複数個の電
歪材６が接着固定されている。この複数個の電歪材６
は、例えば、後述の第２図及び第３図に示した複数個の
電歪材13を円環状に接着固定して回転する進行波を形成
させる円環形の振動体12を、開環して板状振動体５とし
た如き態様のもので、パイプ電極１の軸方向に沿って設
けられ、高周波電圧の印加によって超音波振動する。そ
して隣接する電歪材６に供給する高周波に位相差をもた
せることにより各電歪材６は位相差をもって超音波振動
し、この位相差を有する超音波振動により板状振動体５
にパイプ電極１の軸方向の進行波が発生する。進行波の
振幅を増大させて効率を高めるように、振動体５の電極
１との接触面には多数の切欠き5aやマイクロ溶接による
微細凹凸が形成されている。この接触面にパイプ電極１
をピンチローラ７により圧接し、振動体５の進行波によ
って軸方向に摩擦駆動する。８はパイプ電極１の先端部
を位置決めして案内するガイドである。９は電極１と被
加工体２間の電圧を検出する抵抗、10は検出信号電圧を
該電圧に比例する超音波周波数の高周波信号に変換する
Ｖ−Ｆ変換器、11は変換された高周波信号から例えば90
°の位相差を有する２相信号を形成する位相分離器であ
り、この位相差を有する高周波を隣接する電歪材６に供
給する。各電歪材６は高周波信号によって伸縮し、振動
体５に定在波の合成による進行波を発生し、この波動は
表面切欠き5aにより振幅増幅されて圧接するパイプ電極
１に作用し摩擦により電極１に送りを与えるようにな
る。この送り制御によりパイプ電極先端と被加工体２が
対向する加工間隙の調整制御が行なわれるが、加工間隙
が広がった状態に於ては、間隙の電圧は高く抵抗９によ
り検出される信号電圧が上昇し、Ｖ−Ｆ変換器10の超音
波周波数が高く、位相分離器11から各電歪材６に加わる
周波数が増大するから振動体５の振動速度が高まりパイ
プ電極１の送り速度を高めて加工間隙を狭めるよう制御
する。反対に送り過ぎて間隙が狭まったときは検出信号
電圧が低下するから、比例的にＶ−Ｆ変換出力の周波数
が減少し、振動体５の振動速度が低下し、パイプ電極１
の送り速度を下げて加工間隙を正常間隙に戻すよう制御
する。この送り制御により加工間隙は常に正常値に制御
され、安定したパルス放電が繰返されることによって高
速度の穿孔加工が行なえる。
に於て１は細孔加工用のパイプ電極で、先端を被加工体
２に対向し、パイプ内をポンプ３により供給される加工
液を流通させて先端から加工間隙に噴流し、加工用電源
４によりパイプ電極１と被加工体２間に間歇的な電圧パ
ルスを印加して繰返し放電パルスを発生させると共にパ
イプ電極１に該電極１の軸方向の加工送りを与えて穿孔
加工する。５は板状の振動体で、一方の面に複数個の電
歪材６が接着固定されている。この複数個の電歪材６
は、例えば、後述の第２図及び第３図に示した複数個の
電歪材13を円環状に接着固定して回転する進行波を形成
させる円環形の振動体12を、開環して板状振動体５とし
た如き態様のもので、パイプ電極１の軸方向に沿って設
けられ、高周波電圧の印加によって超音波振動する。そ
して隣接する電歪材６に供給する高周波に位相差をもた
せることにより各電歪材６は位相差をもって超音波振動
し、この位相差を有する超音波振動により板状振動体５
にパイプ電極１の軸方向の進行波が発生する。進行波の
振幅を増大させて効率を高めるように、振動体５の電極
１との接触面には多数の切欠き5aやマイクロ溶接による
微細凹凸が形成されている。この接触面にパイプ電極１
をピンチローラ７により圧接し、振動体５の進行波によ
って軸方向に摩擦駆動する。８はパイプ電極１の先端部
を位置決めして案内するガイドである。９は電極１と被
加工体２間の電圧を検出する抵抗、10は検出信号電圧を
該電圧に比例する超音波周波数の高周波信号に変換する
Ｖ−Ｆ変換器、11は変換された高周波信号から例えば90
°の位相差を有する２相信号を形成する位相分離器であ
り、この位相差を有する高周波を隣接する電歪材６に供
給する。各電歪材６は高周波信号によって伸縮し、振動
体５に定在波の合成による進行波を発生し、この波動は
表面切欠き5aにより振幅増幅されて圧接するパイプ電極
１に作用し摩擦により電極１に送りを与えるようにな
る。この送り制御によりパイプ電極先端と被加工体２が
対向する加工間隙の調整制御が行なわれるが、加工間隙
が広がった状態に於ては、間隙の電圧は高く抵抗９によ
り検出される信号電圧が上昇し、Ｖ−Ｆ変換器10の超音
波周波数が高く、位相分離器11から各電歪材６に加わる
周波数が増大するから振動体５の振動速度が高まりパイ
プ電極１の送り速度を高めて加工間隙を狭めるよう制御
する。反対に送り過ぎて間隙が狭まったときは検出信号
電圧が低下するから、比例的にＶ−Ｆ変換出力の周波数
が減少し、振動体５の振動速度が低下し、パイプ電極１
の送り速度を下げて加工間隙を正常間隙に戻すよう制御
する。この送り制御により加工間隙は常に正常値に制御
され、安定したパルス放電が繰返されることによって高
速度の穿孔加工が行なえる。
以上のようにパイプ電極１の送り制御は、各電歪素子
６の位相差をもった超音波振動により振動体５に生じる
進行波によって、該振動体５に圧接する電極１を直接摩
擦駆動して行われるから、極めて応答性の高い送り制御
をすることができる。しかも振動周波数制御によって、
減速機を必要とすることなく、低速でも高トルクをもっ
て安定に駆動することができ、加工の進行に応答性良く
追従した精密な送り制御をすることができる。又従来の
モータを利用した送り装置に比較して単純構造で、小型
軽量に構成でき、放電加工機の送り装置として極めて有
効である。
６の位相差をもった超音波振動により振動体５に生じる
進行波によって、該振動体５に圧接する電極１を直接摩
擦駆動して行われるから、極めて応答性の高い送り制御
をすることができる。しかも振動周波数制御によって、
減速機を必要とすることなく、低速でも高トルクをもっ
て安定に駆動することができ、加工の進行に応答性良く
追従した精密な送り制御をすることができる。又従来の
モータを利用した送り装置に比較して単純構造で、小型
軽量に構成でき、放電加工機の送り装置として極めて有
効である。
第２図は電極１に回転も与えられるようにした実施例
で、軸方向の送り装置は第１図のものと同一である。12
は円環形振動体、13がその底面に接着固定した複数個の
電歪材、12は振動体12の上面に圧接する円環形移動体
で、固定ねじ15によって貫通するパイプ電極１が固定さ
れている。振動体12は廻り止めされ、且つ上下方向に摺
動案内面によりを移動自在に設けてある。16は電極１の
先端部を位置決めして支持案内するセラミックス等の絶
縁性ガイドであって被加工体２の上面に直接固定されて
いる。
で、軸方向の送り装置は第１図のものと同一である。12
は円環形振動体、13がその底面に接着固定した複数個の
電歪材、12は振動体12の上面に圧接する円環形移動体
で、固定ねじ15によって貫通するパイプ電極１が固定さ
れている。振動体12は廻り止めされ、且つ上下方向に摺
動案内面によりを移動自在に設けてある。16は電極１の
先端部を位置決めして支持案内するセラミックス等の絶
縁性ガイドであって被加工体２の上面に直接固定されて
いる。
第３図は振動体12の底面に接着固定した複数個の電歪
材13の平面図であり、合計８個の電歪材が円環状に設け
られており、各電歪材13を矢印方向に伸縮するように分
極励起する。電極a,b,c,dを結線して高周波電源E1に接
続し、電極e,f,g,hを結線して90°位相差の高周波電源E
2に接続する。高周波電源E1，E2によって各電歪材が伸
縮し、これにより振動体12には円周方向に時間と共に一
定方向に移動する超音波進行波が発生し、この振動体12
に圧接する移動体14が接触摩擦力によって回転する。こ
の回転する移動体14にねじ結合15したパイプ電極１が矢
印のように回転し、回転しながら振動体５による下方へ
の送りが与えられる。電極１の回転により加工間隙に発
生する加工屑の排除が良好に行なわれ安定放電加工によ
り高速度の加工が、又回転により真円度を高めた穿孔加
工ができる。
材13の平面図であり、合計８個の電歪材が円環状に設け
られており、各電歪材13を矢印方向に伸縮するように分
極励起する。電極a,b,c,dを結線して高周波電源E1に接
続し、電極e,f,g,hを結線して90°位相差の高周波電源E
2に接続する。高周波電源E1，E2によって各電歪材が伸
縮し、これにより振動体12には円周方向に時間と共に一
定方向に移動する超音波進行波が発生し、この振動体12
に圧接する移動体14が接触摩擦力によって回転する。こ
の回転する移動体14にねじ結合15したパイプ電極１が矢
印のように回転し、回転しながら振動体５による下方へ
の送りが与えられる。電極１の回転により加工間隙に発
生する加工屑の排除が良好に行なわれ安定放電加工によ
り高速度の加工が、又回転により真円度を高めた穿孔加
工ができる。
尚、以上は穿孔加工の実施例について説明したが、加
工形状電極を用いた型彫加工に於ても、その電極又は被
加工体に追従送り、寄せ加工送り、回転等を行なう送り
装置として利用することができる。励振用の高周波とし
ては20K〜50KHzの超音波領域の高周波が用いられる。超
音波振動子には電歪材に代えて磁歪材を用いることがで
き、超音波信号を磁気変換して励磁すれば同様に制御で
きる。又送り信号はNC装置から加え、NC制御信号によっ
て超音波電源を制御しながら振動体の振動制御を行なう
ことによりプログラム制御の送りを与えることができ
る。又パイプ電極１の振動体５との接触面に第４図に示
すように摩擦材17を設けることによって駆動力の伝達効
率を向上させることができる。又これは摩擦層を形成し
た移動体を振動体５に圧接して設け、この移動体に電
極、支持部等を固着して移動させることができる。
工形状電極を用いた型彫加工に於ても、その電極又は被
加工体に追従送り、寄せ加工送り、回転等を行なう送り
装置として利用することができる。励振用の高周波とし
ては20K〜50KHzの超音波領域の高周波が用いられる。超
音波振動子には電歪材に代えて磁歪材を用いることがで
き、超音波信号を磁気変換して励磁すれば同様に制御で
きる。又送り信号はNC装置から加え、NC制御信号によっ
て超音波電源を制御しながら振動体の振動制御を行なう
ことによりプログラム制御の送りを与えることができ
る。又パイプ電極１の振動体５との接触面に第４図に示
すように摩擦材17を設けることによって駆動力の伝達効
率を向上させることができる。又これは摩擦層を形成し
た移動体を振動体５に圧接して設け、この移動体に電
極、支持部等を固着して移動させることができる。
以上の通り、本発明によれば、電歪材若しくは磁歪材
の振動素子を一軸方向（加工送り方向）に沿って移動す
る進行波が生ずるように複数個設け、該複数個の振動素
子の板状の振動体の一方の面を接着固定し、該振動体の
他方の面に電極、電極支持部、被加工体支持部のいずれ
かを圧接した状態で、隣接する前記振動素子に位相差を
有する高周波を供給して前記振動体に前記一軸方向の進
行波を生じさせ、該進行波によって電極又は被加工体を
直接駆動するようにしたことにより、電極又は被加工体
の加工送りのために従来は設けられていたモータの回転
を減速したり直線運動に変換する伝達装置を不要とする
ことができ、又、低速度で高トルクの送り駆動力を得る
ことができるから、加工間隙を一定の微小間隙に維持す
る加工の進行に追従した加工送りを極めて応答性高く精
度良く与えることができ、精度の良い放電加工を能率良
く行うことができる。又、本発明の送り装置は小型、軽
量に構成できるから、高精度を要求される放電加工装置
の電極支持ヘッドに設けるのに適しており、又、構造が
単純であって回転部分がないから故障もなく安定した加
工送りを与えることができる。
の振動素子を一軸方向（加工送り方向）に沿って移動す
る進行波が生ずるように複数個設け、該複数個の振動素
子の板状の振動体の一方の面を接着固定し、該振動体の
他方の面に電極、電極支持部、被加工体支持部のいずれ
かを圧接した状態で、隣接する前記振動素子に位相差を
有する高周波を供給して前記振動体に前記一軸方向の進
行波を生じさせ、該進行波によって電極又は被加工体を
直接駆動するようにしたことにより、電極又は被加工体
の加工送りのために従来は設けられていたモータの回転
を減速したり直線運動に変換する伝達装置を不要とする
ことができ、又、低速度で高トルクの送り駆動力を得る
ことができるから、加工間隙を一定の微小間隙に維持す
る加工の進行に追従した加工送りを極めて応答性高く精
度良く与えることができ、精度の良い放電加工を能率良
く行うことができる。又、本発明の送り装置は小型、軽
量に構成できるから、高精度を要求される放電加工装置
の電極支持ヘッドに設けるのに適しており、又、構造が
単純であって回転部分がないから故障もなく安定した加
工送りを与えることができる。
第１図は本発明の一実施例図、第２図は他の実施例図、
第３図はその一部の拡大説明図、第４図は又他の実施例
図である。 １……パイプ電極 ２……被加工体 ４……加工用電源 ５……振動体 ６……電歪材 ７……ピンチローラ ９……電圧検出抵抗 10……Ｖ−Ｆ変換器 11……位相分離器
第３図はその一部の拡大説明図、第４図は又他の実施例
図である。 １……パイプ電極 ２……被加工体 ４……加工用電源 ５……振動体 ６……電歪材 ７……ピンチローラ ９……電圧検出抵抗 10……Ｖ−Ｆ変換器 11……位相分離器
Claims (1)
- 【請求項１】電極と被加工体とを加工間隙を介して対向
配置し、加工間隙に加工液を供給した状態で、電極と被
加工体間に間歇的な電圧パルスを印加して繰返し放電を
発生させると共に両者間に一軸方向の相対的な加工送り
を与えて加工を行う放電加工装置に於て、前記加工送り
を与える送り装置として、前記一軸方向に移動する進行
波を生ずるように設けられた複数個の電歪材若しくは磁
歪材の振動素子と、一方の面が前記複数個の振動素子に
接着固定された板状の振動体と、電極、電極支持部、被
加工体支持部のいずれかを前記板状振動体の他方の面に
圧接させる手段と、隣接する前記振動素子に位相差を有
する高周波を供給して前記板状振動体に前記一軸方向の
進行波を生じさせる高周波電源とからなる送り装置を設
けたことを特徴とする放電加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62158665A JPH0825095B2 (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 | 放電加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62158665A JPH0825095B2 (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 | 放電加工装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH012829A JPH012829A (ja) | 1989-01-06 |
| JPS642829A JPS642829A (en) | 1989-01-06 |
| JPH0825095B2 true JPH0825095B2 (ja) | 1996-03-13 |
Family
ID=15676677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62158665A Expired - Fee Related JPH0825095B2 (ja) | 1987-06-25 | 1987-06-25 | 放電加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0825095B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8525064B2 (en) | 2009-11-12 | 2013-09-03 | Denso Corporation | Electric discharge machine and method of producing nozzle body using the same |
| JP2011104689A (ja) * | 2009-11-16 | 2011-06-02 | Denso Corp | 放電加工機および放電加工機を用いたノズルボディの製造方法 |
| JP5780110B2 (ja) * | 2011-10-21 | 2015-09-16 | 株式会社デンソー | 放電加工装置およびその制御方法 |
| JP2014058374A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Ricoh Co Ltd | 穿孔装置、用紙処理装置及び画像形成装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5727622A (en) * | 1980-07-17 | 1982-02-15 | Inoue Japax Res Inc | Electric discharge processing device |
| JPS61257716A (ja) * | 1985-05-13 | 1986-11-15 | Inoue Japax Res Inc | 型彫加工可能なワイヤカツト放電加工装置 |
-
1987
- 1987-06-25 JP JP62158665A patent/JPH0825095B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS642829A (en) | 1989-01-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9339888B2 (en) | Bonding apparatus | |
| JPH02237722A (ja) | 放電穿孔装置及び非電導性表層を有する電導性加工材の穿孔方法 | |
| JP3253812B2 (ja) | 放電加工装置 | |
| EP0979700A2 (en) | Elliptical vibration cutting method and elliptical vibration cutting apparatus | |
| US3292838A (en) | Rotating sonic welder | |
| JPH0825095B2 (ja) | 放電加工装置 | |
| JPH012829A (ja) | 放電加工装置 | |
| US7259496B2 (en) | Tunable vibratory actuator | |
| JP2559231B2 (ja) | 放電加工装置 | |
| US20040137830A1 (en) | Lapping method and lapping machine | |
| JPH012830A (ja) | 放電加工装置 | |
| JP2007152539A (ja) | 超音波加工装置 | |
| JPH0829455B2 (ja) | ワイヤカット放電加工装置 | |
| JP4522055B2 (ja) | 超音波モータの駆動方法および駆動装置 | |
| JP7311098B2 (ja) | 振動切削装置、振動装置および切削方法 | |
| JPWO2005049255A1 (ja) | 機械加工装置 | |
| JP2006062017A (ja) | 加振装置 | |
| JP2006198758A (ja) | 超音波振動テーブル | |
| JPH0192001A (ja) | 超音波振動切削方法およびその装置 | |
| JP7285005B2 (ja) | 機械振動加工装置及び機械振動加工方法 | |
| JPH0496665A (ja) | ワイヤカット放電加工機のワイヤ電極供給装置 | |
| JP2697415B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置のワイヤ電極送り装置 | |
| JPH01107677A (ja) | 超音波パルスモータ | |
| JP2981951B2 (ja) | ワイヤボンデイング装置 | |
| Wu et al. | A Study of Ultrsonic Elliptic Vibrating Shoe Type Centerless Grinding |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |