JPH0824874B2 - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置Info
- Publication number
- JPH0824874B2 JPH0824874B2 JP63201996A JP20199688A JPH0824874B2 JP H0824874 B2 JPH0824874 B2 JP H0824874B2 JP 63201996 A JP63201996 A JP 63201996A JP 20199688 A JP20199688 A JP 20199688A JP H0824874 B2 JPH0824874 B2 JP H0824874B2
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- JP
- Japan
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- coating
- head
- flexible support
- support
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はプラスチックフイルム、紙、金属箔等を形成
してなる可撓性支持体（以下、ウエブという）に、写真
感光液、磁性液、表面保護液等の塗布液を塗布する塗布
装置に関するものである。
してなる可撓性支持体（以下、ウエブという）に、写真
感光液、磁性液、表面保護液等の塗布液を塗布する塗布
装置に関するものである。
（従来技術） 従来、ウエブに塗布液を塗布する塗布装置としては、
ロール型塗布装置、ビード型塗布装置、スライドコート
型塗布装置、エクストルージョン型塗布装置等がある
が、何れの塗布装置も前記ウエブの巾より広い巾方向寸
法を持ち、且つ塗布液が塗布される塗布部分の巾は前記
ウエブの巾より狭く、前記ウエブの塗布面両端部には数
mm乃至十数mmの塗布液が塗布されない部分が生じる。
ロール型塗布装置、ビード型塗布装置、スライドコート
型塗布装置、エクストルージョン型塗布装置等がある
が、何れの塗布装置も前記ウエブの巾より広い巾方向寸
法を持ち、且つ塗布液が塗布される塗布部分の巾は前記
ウエブの巾より狭く、前記ウエブの塗布面両端部には数
mm乃至十数mmの塗布液が塗布されない部分が生じる。
従って、特にエクストルージョン型塗布装置の様に、
塗布ヘッドを走行している前記ウエブに押しつけながら
塗布液を加圧塗布する場合には、前記ウエブと前記塗布
ヘッドとの間隙が極めて狭いので、前記ウエブ両端の塗
布液未塗布部と前記塗布ヘッドとが接触してしまう。
塗布ヘッドを走行している前記ウエブに押しつけながら
塗布液を加圧塗布する場合には、前記ウエブと前記塗布
ヘッドとの間隙が極めて狭いので、前記ウエブ両端の塗
布液未塗布部と前記塗布ヘッドとが接触してしまう。
そこで、前記塗布ヘッドは前記未塗布部のウエブ表面
を削り取り、削り取られた該削りカスは前記塗布ヘッド
の塗布部エッジ両端に付着する。また、前記ウエブ表面
に付着していた異物も前記塗布ヘッドの塗布部エッジに
捕捉される。
を削り取り、削り取られた該削りカスは前記塗布ヘッド
の塗布部エッジ両端に付着する。また、前記ウエブ表面
に付着していた異物も前記塗布ヘッドの塗布部エッジに
捕捉される。
そして、この様に前記塗布部両端に堆積した付着物は
前記ウエブの両端を押上げるので、前記ウエブに塗布さ
れる塗布液の巾方向の塗布厚みが均一にならず、前記ウ
エブの両端近傍の塗布層が圧塗りになってしまうという
問題があった。
前記ウエブの両端を押上げるので、前記ウエブに塗布さ
れる塗布液の巾方向の塗布厚みが均一にならず、前記ウ
エブの両端近傍の塗布層が圧塗りになってしまうという
問題があった。
そこで、上記問題点を解消するため特開昭61−257268
号公報に開示されている様に、可撓性帯状支持体に塗布
液を塗布する直前に該支持体面の塗布液が施されるべき
部分の両側端外側の塗布液が施されない部分に予め溶剤
を塗布する塗布方法や、特開昭61−257263号公報に開示
されている様に、塗布装置の塗布巾規制板の位置に対応
するドクターエッジ頂角部分を面取りした塗布装置等が
提案されている。
号公報に開示されている様に、可撓性帯状支持体に塗布
液を塗布する直前に該支持体面の塗布液が施されるべき
部分の両側端外側の塗布液が施されない部分に予め溶剤
を塗布する塗布方法や、特開昭61−257263号公報に開示
されている様に、塗布装置の塗布巾規制板の位置に対応
するドクターエッジ頂角部分を面取りした塗布装置等が
提案されている。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、前記特開昭61−257268号公報に開示さ
れた様に溶媒等をプレコートする塗布方法では、ウエブ
の走行に伴うバタツキ、蛇行等の外乱により、前記溶媒
が前記ウエブ表面の塗布部に侵入したり、或いは前記ウ
エブ裏面に裏回りしたりし易く、塗布ムラの一因となり
易い。又、前記プレコート層はバックエッジ、ドクター
エッジ部（何れもヘッド先端部）で幅が広がるが、未塗
布部の幅が狭くなったり、前記ドクターエッジの掻き落
とし力が強くなると、前記溶媒の濡れ幅を適切に制御し
にくい等の問題があった。
れた様に溶媒等をプレコートする塗布方法では、ウエブ
の走行に伴うバタツキ、蛇行等の外乱により、前記溶媒
が前記ウエブ表面の塗布部に侵入したり、或いは前記ウ
エブ裏面に裏回りしたりし易く、塗布ムラの一因となり
易い。又、前記プレコート層はバックエッジ、ドクター
エッジ部（何れもヘッド先端部）で幅が広がるが、未塗
布部の幅が狭くなったり、前記ドクターエッジの掻き落
とし力が強くなると、前記溶媒の濡れ幅を適切に制御し
にくい等の問題があった。
そこで、この様な滲み出しが、例えば磁気記録媒体の
製造工程において発生すると、非磁性支持体を走行させ
ている搬送ロールに磁性塗布液が付着し、前記支持体を
汚すと共に、その後の表面処理工程におけるカレンダー
ロールをも汚すことになる。その結果、表面処理工程後
の前記支持体表面に異物による傷跡が付き、磁気記録特
性を低下させるといった問題が生じる。
製造工程において発生すると、非磁性支持体を走行させ
ている搬送ロールに磁性塗布液が付着し、前記支持体を
汚すと共に、その後の表面処理工程におけるカレンダー
ロールをも汚すことになる。その結果、表面処理工程後
の前記支持体表面に異物による傷跡が付き、磁気記録特
性を低下させるといった問題が生じる。
また、前記特開昭61−257263号公報に開示されている
様に塗布装置の塗布巾規制板の位置に対応するドクター
エッジ頂角部分を面取りした塗布装置では、前記未塗布
部とバックエッジとの接触を避けることができず、前記
バックエッジによる支持体の削れや異物の捕捉といった
問題が生じた。
様に塗布装置の塗布巾規制板の位置に対応するドクター
エッジ頂角部分を面取りした塗布装置では、前記未塗布
部とバックエッジとの接触を避けることができず、前記
バックエッジによる支持体の削れや異物の捕捉といった
問題が生じた。
そこで、本発明の目的は上記塗布装置における問題点
を解決し、塗布厚みが均一で表面性の良い塗布層を形成
すると共に塗布液の滲み出しが起こり難い塗布装置を提
供することにある。
を解決し、塗布厚みが均一で表面性の良い塗布層を形成
すると共に塗布液の滲み出しが起こり難い塗布装置を提
供することにある。
（課題を解決するための手段） 本発明に係る上記目的は、連続的に走行する可撓性支
持体表面に塗布ヘッドのスロット先端部を押し付けなが
ら塗布液を加圧塗布する塗布装置において、前記可撓性
支持体の未塗布部に対応する前記塗布ヘッド先端部両端
面のみに、前記塗布ヘッドの先端中央部から両端方向に
向かって前記支持体より離れる方向に形成された傾斜部
又は段差部を設けたことを特徴とする塗布装置により達
成される。
持体表面に塗布ヘッドのスロット先端部を押し付けなが
ら塗布液を加圧塗布する塗布装置において、前記可撓性
支持体の未塗布部に対応する前記塗布ヘッド先端部両端
面のみに、前記塗布ヘッドの先端中央部から両端方向に
向かって前記支持体より離れる方向に形成された傾斜部
又は段差部を設けたことを特徴とする塗布装置により達
成される。
以下、添付図面に基づいて本発明の一実施態様を詳細
に説明する。
に説明する。
（実施態様） 第１図は、本発明の一実施態様に基づく塗布装置にお
けるエクストルージョン型塗布ヘッド１の斜視図であ
る。
けるエクストルージョン型塗布ヘッド１の斜視図であ
る。
前記塗布ヘッド１は、可撓性支持体２の巾よりも広い
巾方向寸法を有しており、該巾方向に亘って塗布液を吐
出するスロット３を構成するバックエッジ４とドクター
エッジ５が形成されている。前記スロット３は、前記塗
布ヘッド１の内部に形成された液溜まり（図示せず）に
連通しており、該液溜まりに設けられた塗布液供給口９
より供給された塗布液は、前記スロット３の巾方向に亘
って均一な圧力で吐出される。
巾方向寸法を有しており、該巾方向に亘って塗布液を吐
出するスロット３を構成するバックエッジ４とドクター
エッジ５が形成されている。前記スロット３は、前記塗
布ヘッド１の内部に形成された液溜まり（図示せず）に
連通しており、該液溜まりに設けられた塗布液供給口９
より供給された塗布液は、前記スロット３の巾方向に亘
って均一な圧力で吐出される。
また、該スロット３の巾方向両端部には、塗布巾を設
定して塗布液が吐出されないようにする規制板６が嵌め
られている。従って、前記可撓性支持体２の塗布面両側
端には、それぞれ未塗布部が形成される。
定して塗布液が吐出されないようにする規制板６が嵌め
られている。従って、前記可撓性支持体２の塗布面両側
端には、それぞれ未塗布部が形成される。
そして、前記未塗布部に対応する前記バックエッジ４
及びドクターエッジ５の先端部両端面には、それぞれ該
塗布ヘッド１の中央部から両端方向に前記可撓性支持体
２より離れる方向に傾斜する傾斜面7,8が設けられてい
る。そこで、走行する前記可撓性支持体２表面に前記塗
布ヘッド１のスロット先端部を押し付けながら塗布液を
塗布して塗布層10を形成する際、前記可撓性支持体２と
前記塗布ヘッド１の傾斜面7,8との間には楔状の空間が
形成されるので前記未塗布部の範囲では前記可撓性支持
体２が前記塗布ヘッド１のバックエッジ４及びドクター
エッジ５に接触することがない。
及びドクターエッジ５の先端部両端面には、それぞれ該
塗布ヘッド１の中央部から両端方向に前記可撓性支持体
２より離れる方向に傾斜する傾斜面7,8が設けられてい
る。そこで、走行する前記可撓性支持体２表面に前記塗
布ヘッド１のスロット先端部を押し付けながら塗布液を
塗布して塗布層10を形成する際、前記可撓性支持体２と
前記塗布ヘッド１の傾斜面7,8との間には楔状の空間が
形成されるので前記未塗布部の範囲では前記可撓性支持
体２が前記塗布ヘッド１のバックエッジ４及びドクター
エッジ５に接触することがない。
そこで、前記可撓性支持体２の未塗布部が前記バック
エッジ４及びドクターエッジ５によって削り取られた
り、前記可撓性支持体２表面に付着していた異物が前記
塗布ヘッド１のバックエッジ４及びドクターエッジ５の
両端に捕捉されたりするのを防ぐことができるので、前
記塗布ヘッド１の両端に堆積した付着物が前記可撓性支
持体２の両端を押上げて前記可撓性支持体２に塗布され
る塗布液の巾方向の塗布厚みを不均一にするのを防止す
ることが出来る。
エッジ４及びドクターエッジ５によって削り取られた
り、前記可撓性支持体２表面に付着していた異物が前記
塗布ヘッド１のバックエッジ４及びドクターエッジ５の
両端に捕捉されたりするのを防ぐことができるので、前
記塗布ヘッド１の両端に堆積した付着物が前記可撓性支
持体２の両端を押上げて前記可撓性支持体２に塗布され
る塗布液の巾方向の塗布厚みを不均一にするのを防止す
ることが出来る。
次に、本発明の他の実施態様に基づく塗布装置におけ
るエクストルージョン型塗布ヘッド11を第２図に示す。
るエクストルージョン型塗布ヘッド11を第２図に示す。
該エクストルージョン型塗布ヘッド11は、上記実施態
様におけるエクストルージョン型塗布ヘッド１とほぼ同
様のバックエッジ４、ドクターエッジ５及び規制板６等
により構成されている。
様におけるエクストルージョン型塗布ヘッド１とほぼ同
様のバックエッジ４、ドクターエッジ５及び規制板６等
により構成されている。
そして、可撓性支持体２の塗布液未塗布部に対応する
前記バックエッジ４及びドクターエッジ５の先端部両端
面には、それぞれ前記傾斜面7,8の代わりに、前記可撓
性支持体２との間に間隙を形成する段差部12,13が設け
られている。そこで、上記実施態様におけるエクストル
ージョン型塗布ヘッド１と同様に、前記未塗布部の範囲
では前記可撓性支持体２が前記塗布ヘッド11のバックエ
ッジ４及びドクターエッジ５に接触することがないの
で、前記可撓性支持体２に塗布される塗布液の巾方向の
塗布厚みを不均一にするのを防止することが出来る。
前記バックエッジ４及びドクターエッジ５の先端部両端
面には、それぞれ前記傾斜面7,8の代わりに、前記可撓
性支持体２との間に間隙を形成する段差部12,13が設け
られている。そこで、上記実施態様におけるエクストル
ージョン型塗布ヘッド１と同様に、前記未塗布部の範囲
では前記可撓性支持体２が前記塗布ヘッド11のバックエ
ッジ４及びドクターエッジ５に接触することがないの
で、前記可撓性支持体２に塗布される塗布液の巾方向の
塗布厚みを不均一にするのを防止することが出来る。
尚、上記実施態様において形成された傾斜面及び段差
部の形状は、本発明の趣旨に基づき種々の形状を採りう
ることはいうまでもない。
部の形状は、本発明の趣旨に基づき種々の形状を採りう
ることはいうまでもない。
また、塗布装置も上記エクストルージョン型塗布ヘッ
ドに限らず、連続的に走行する可撓性支持体表面に塗布
ヘッドのスロット先端部を押し付けながら塗布液を加圧
塗布する塗布装置であれば、他の塗布装置を用いること
もできる。
ドに限らず、連続的に走行する可撓性支持体表面に塗布
ヘッドのスロット先端部を押し付けながら塗布液を加圧
塗布する塗布装置であれば、他の塗布装置を用いること
もできる。
（発明の効果） 以上述べたように、本発明の塗布装置では、可撓性支
持体の未塗布部に対応する塗布ヘッド先端部両端面のみ
に、前記塗布ヘッドの先端中央部から両端方向に向かっ
て前記支持体より離れる方向に形成された傾斜部又は段
差部を設けたので、前記可撓性支持体の未塗布部表面と
塗布ヘッド先端部両端面との間には間隙が形成される。
持体の未塗布部に対応する塗布ヘッド先端部両端面のみ
に、前記塗布ヘッドの先端中央部から両端方向に向かっ
て前記支持体より離れる方向に形成された傾斜部又は段
差部を設けたので、前記可撓性支持体の未塗布部表面と
塗布ヘッド先端部両端面との間には間隙が形成される。
そこで、前記可撓性支持体の未塗布部が前記塗布ヘッ
ド先端によって削り取られたり、前記可撓性支持体表面
に付着していた異物が前記塗布ヘッドの両端に捕捉され
たりするのを防ぐことができるので、前記塗布ヘッドの
両端に堆積した付着物が前記可撓性支持体の両端を押上
げて前記可撓性支持体に塗布される塗布液の巾方向の塗
布厚みを不均一にするのを防止することが出来る。
ド先端によって削り取られたり、前記可撓性支持体表面
に付着していた異物が前記塗布ヘッドの両端に捕捉され
たりするのを防ぐことができるので、前記塗布ヘッドの
両端に堆積した付着物が前記可撓性支持体の両端を押上
げて前記可撓性支持体に塗布される塗布液の巾方向の塗
布厚みを不均一にするのを防止することが出来る。
従って、塗布厚みが均一で表面性の良い塗布層を形成
すると共に塗布液の滲み出しの無い良好な塗布装置を提
供することが出来る。
すると共に塗布液の滲み出しの無い良好な塗布装置を提
供することが出来る。
以下、本発明の一実施例により本発明の効果をより明
確にする。
確にする。
（実施例） 〔実施例１〕 下記第１表に示す組成成分の磁性塗布液をボールミル
に入れて10.5時間混合分散して塗布液を調製した。こう
して得られた磁性塗布液の粘度をリングコーン型粘度計
により測定したところ剪断速度が700sec-1においては1.
9poiseを示した。
に入れて10.5時間混合分散して塗布液を調製した。こう
して得られた磁性塗布液の粘度をリングコーン型粘度計
により測定したところ剪断速度が700sec-1においては1.
9poiseを示した。
前記塗布液を第１図に示す本発明のエクストルージョ
ン型ヘッドから成る塗布装置によって、厚さ37μ，巾50
0mmのポリエチレンテレフタレート支持体上に、塗布量:
17cc/m2,塗布速度:200m/分，塗布部張力:10kg/500mm
幅，塗布巾:490mmとなるように塗布した。
ン型ヘッドから成る塗布装置によって、厚さ37μ，巾50
0mmのポリエチレンテレフタレート支持体上に、塗布量:
17cc/m2,塗布速度:200m/分，塗布部張力:10kg/500mm
幅，塗布巾:490mmとなるように塗布した。
そして、上記塗布条件により長さ6000mの磁気記録媒
体を作成し、前記支持体両端の未塗布部における削れ発
生状況を観察及び塗布層の平均厚みに対する塗布層側端
部の圧塗り度を測定した。その結果を第２表に示す。但
し、前記エクストルージョン型ヘッド両端部の傾斜面は
角度５゜と成るように加工した。
体を作成し、前記支持体両端の未塗布部における削れ発
生状況を観察及び塗布層の平均厚みに対する塗布層側端
部の圧塗り度を測定した。その結果を第２表に示す。但
し、前記エクストルージョン型ヘッド両端部の傾斜面は
角度５゜と成るように加工した。
第１表 組成 ・γ−Fe2O3 300重量部 （長径方向の平均粉径0.5μ,Hc320Oe） ・塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体 40重量部 （共重合比87:13,重合度450） ・導電性カーボン 20重量部 ・ステアリン酸 ７重量部 ・シリコンオイル ３重量部 ・溶媒 キシロール 300重量部 メチルイソブチルケトン 400重量部 〔実施例２〕 第２図に示す本発明のエクストルージョン型ヘッドか
ら成る塗布装置によって、前記実施例１と同様の塗布条
件により長さ6000mの磁気記録媒体を作成し、前記支持
体両端の未塗布部における削れ発生状況を観察及び塗布
層の平均厚みに対する塗布層側端部の圧塗り度を測定し
た。その結果を第２表に示す。但し、前記エクストルー
ジョン型ヘッド両端部の段差部は高さ0.05mmと成るよう
に加工した。
ら成る塗布装置によって、前記実施例１と同様の塗布条
件により長さ6000mの磁気記録媒体を作成し、前記支持
体両端の未塗布部における削れ発生状況を観察及び塗布
層の平均厚みに対する塗布層側端部の圧塗り度を測定し
た。その結果を第２表に示す。但し、前記エクストルー
ジョン型ヘッド両端部の段差部は高さ0.05mmと成るよう
に加工した。
〔比較例１〕 特開昭57−84771号公報に記載されている塗布ヘッド
先端が未加工のエクストルージョン型ヘッドから成る塗
布装置によって、前記実施例１と同様の塗布条件により
長さ6000mの磁気記録媒体を作成し、前記支持体両端の
未塗布部における削れ発生状況の観察及び塗布層の平均
厚みに対する塗布層側端部の圧塗り度を測定した。その
結果を第２表に示す。
先端が未加工のエクストルージョン型ヘッドから成る塗
布装置によって、前記実施例１と同様の塗布条件により
長さ6000mの磁気記録媒体を作成し、前記支持体両端の
未塗布部における削れ発生状況の観察及び塗布層の平均
厚みに対する塗布層側端部の圧塗り度を測定した。その
結果を第２表に示す。
〔比較例２〕 特開昭61−257263号公報に記載に記載されているドク
ターエッジ頂角部分に面取りしたエクストルージョン型
ヘッドから成る塗布装置によって、前記実施例１と同様
の塗布条件により長さ6000mの磁気記録媒体を作成し、
前記支持体両端の未塗布部における削れ発生状況の観察
及び塗布層の平均厚みに対する塗布層側端部の圧塗り度
を測定した。その結果を第２表に示す。
ターエッジ頂角部分に面取りしたエクストルージョン型
ヘッドから成る塗布装置によって、前記実施例１と同様
の塗布条件により長さ6000mの磁気記録媒体を作成し、
前記支持体両端の未塗布部における削れ発生状況の観察
及び塗布層の平均厚みに対する塗布層側端部の圧塗り度
を測定した。その結果を第２表に示す。
第２表から明らかなように、本発明における塗布装置
を用いた実施例１及び実施例２では、従来の塗布装置を
用いた比較例１及び比較例２に比べて、未塗布部におけ
る削れの発生及び塗布層の平均厚みに対する塗布層側端
部の圧塗り度が改善されている。
を用いた実施例１及び実施例２では、従来の塗布装置を
用いた比較例１及び比較例２に比べて、未塗布部におけ
る削れの発生及び塗布層の平均厚みに対する塗布層側端
部の圧塗り度が改善されている。
第１図は本発明の一実施態様に基づく塗布装置における
エクストルージョン型塗布ヘッドの斜視図、第２図は本
発明の他の実施態様に基づく塗布装置におけるエクスト
ルージョン型塗布ヘッドの斜視図である。 （図中の符号） 1,11……エクストルージョン型塗布ヘッド ２……可撓性支持体、３……スロット ４……バックエッジ、５……ドクターエッジ ６……規制板、7,8……傾斜面 ９……給液口、10……塗布層 12,13……段差部。
エクストルージョン型塗布ヘッドの斜視図、第２図は本
発明の他の実施態様に基づく塗布装置におけるエクスト
ルージョン型塗布ヘッドの斜視図である。 （図中の符号） 1,11……エクストルージョン型塗布ヘッド ２……可撓性支持体、３……スロット ４……バックエッジ、５……ドクターエッジ ６……規制板、7,8……傾斜面 ９……給液口、10……塗布層 12,13……段差部。
Claims (1)
- 【請求項１】連続的に走行する可撓性支持体表面に塗布
ヘッドのスロット先端部を押し付けながら塗布液を加圧
塗布する塗布装置において、前記可撓性支持体の未塗布
部に対応する前記塗布ヘッド先端部両端面のみに、前記
塗布ヘッドの先端中央部から両端方向に向かって前記支
持体より離れる方向に形成された傾斜部又は段差部を設
けたことを特徴とする塗布装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63201996A JPH0824874B2 (ja) | 1988-08-15 | 1988-08-15 | 塗布装置 |
| DE3926943A DE3926943C2 (de) | 1988-08-15 | 1989-08-14 | Auftragvorrichtung |
| US07/666,461 US5099786A (en) | 1988-08-15 | 1991-03-05 | Application device |
| US07/779,903 US5203922A (en) | 1988-08-15 | 1991-10-21 | Application device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63201996A JPH0824874B2 (ja) | 1988-08-15 | 1988-08-15 | 塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0252069A JPH0252069A (ja) | 1990-02-21 |
| JPH0824874B2 true JPH0824874B2 (ja) | 1996-03-13 |
Family
ID=16450211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63201996A Expired - Fee Related JPH0824874B2 (ja) | 1988-08-15 | 1988-08-15 | 塗布装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5099786A (ja) |
| JP (1) | JPH0824874B2 (ja) |
| DE (1) | DE3926943C2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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