JPH08236588A - 熱圧着装置 - Google Patents
熱圧着装置Info
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- JPH08236588A JPH08236588A JP4064195A JP4064195A JPH08236588A JP H08236588 A JPH08236588 A JP H08236588A JP 4064195 A JP4064195 A JP 4064195A JP 4064195 A JP4064195 A JP 4064195A JP H08236588 A JPH08236588 A JP H08236588A
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- Japan
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- thermocompression bonding
- heating tool
- flatness
- glass substrate
- bonding device
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3494—Heating methods for reflowing of solder
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/36—Assembling printed circuits with other printed circuits
- H05K3/361—Assembling flexible printed circuits with other printed circuits
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】加熱ツールの側面に歪検出センサを設けて、熱
圧着作業中の平坦度の変化を定量的に測定し、平坦度の
変化が所定値を超えた時に熱圧着作業を停止できる熱圧
着装置を提供する。 【構成】本発明の熱圧着装置は、ガラス基板などの加熱
圧着を行う熱圧着装置において、ガラス基板17などに接
する内部に発熱体であるカートリッジヒータ３を収容し
た平坦なバー状の加熱ツール２の側面に、少なくても１
つ以上の歪検出センサ14を設けたことを特徴とする。
圧着作業中の平坦度の変化を定量的に測定し、平坦度の
変化が所定値を超えた時に熱圧着作業を停止できる熱圧
着装置を提供する。 【構成】本発明の熱圧着装置は、ガラス基板などの加熱
圧着を行う熱圧着装置において、ガラス基板17などに接
する内部に発熱体であるカートリッジヒータ３を収容し
た平坦なバー状の加熱ツール２の側面に、少なくても１
つ以上の歪検出センサ14を設けたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平坦でバー状の加熱ツ
ールにより、ガラス基板などの熱圧着を行う熱圧着装置
に関する。
ールにより、ガラス基板などの熱圧着を行う熱圧着装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の熱圧着装置には図３の正面図に示
すような熱圧着ヘッド１が使用されている。この熱圧着
ヘッド１において先端に設けられたバー状の加熱ツール
２は、例えばＴＣＰ（Tape Carier Package)とガラス基
板を、エポキシ系の熱硬化形接着剤中に多数の微小導電
粒子を含ませた異方性導電膜を介して、加熱圧着するこ
とにより接続するが、この場合には 200〜 300℃に加熱
する必要がある。
すような熱圧着ヘッド１が使用されている。この熱圧着
ヘッド１において先端に設けられたバー状の加熱ツール
２は、例えばＴＣＰ（Tape Carier Package)とガラス基
板を、エポキシ系の熱硬化形接着剤中に多数の微小導電
粒子を含ませた異方性導電膜を介して、加熱圧着するこ
とにより接続するが、この場合には 200〜 300℃に加熱
する必要がある。
【０００３】したがって、この加熱ツール２は内部に発
熱体であるカートリッジヒータ３を収納すると共に、ツ
ールホルダ４により支持されていて、図示しないエアシ
リンダにより圧下される。この時のガラス基板を加熱す
る温度は、カートリッジヒータ３内に挿入した熱電対５
により監視している。しかし、この接着作業の際は高温
に維持されるバー状の加熱ツール２は、その熱応力によ
り変形（ソリ）が生じるため、ツールホルダ４に多数の
押ネジ６と引ネジ７を設けて、作業前に予め加熱ツール
２が平坦となるように調整を行う。
熱体であるカートリッジヒータ３を収納すると共に、ツ
ールホルダ４により支持されていて、図示しないエアシ
リンダにより圧下される。この時のガラス基板を加熱す
る温度は、カートリッジヒータ３内に挿入した熱電対５
により監視している。しかし、この接着作業の際は高温
に維持されるバー状の加熱ツール２は、その熱応力によ
り変形（ソリ）が生じるため、ツールホルダ４に多数の
押ネジ６と引ネジ７を設けて、作業前に予め加熱ツール
２が平坦となるように調整を行う。
【０００４】この調整完了後に連続した熱圧着作業を行
い、所定時間もしくは所定回数の熱圧着を行った後に、
再び加熱ツール２の平坦度の確認を行う。この時に平坦
度が十分でなければ、再度押ネジ６と引ネジ７により平
坦度の修正を行い、これを繰り返して平坦な加熱ツール
２により熱圧着作業を続行する。
い、所定時間もしくは所定回数の熱圧着を行った後に、
再び加熱ツール２の平坦度の確認を行う。この時に平坦
度が十分でなければ、再度押ネジ６と引ネジ７により平
坦度の修正を行い、これを繰り返して平坦な加熱ツール
２により熱圧着作業を続行する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】熱圧着作業を開始する
と、所定時間もしくは所定回数の熱圧着作業を終了する
までは、加熱ツール２の平坦度の確認が行われないため
に、もしも、この連続熱圧着作業中に加熱ツール２の平
坦度が十分に確保できなくなった場合には、ガラス基板
に熱圧着不良が生じる可能性があり、この際は品質とそ
の信頼性が低下する支障があった。
と、所定時間もしくは所定回数の熱圧着作業を終了する
までは、加熱ツール２の平坦度の確認が行われないため
に、もしも、この連続熱圧着作業中に加熱ツール２の平
坦度が十分に確保できなくなった場合には、ガラス基板
に熱圧着不良が生じる可能性があり、この際は品質とそ
の信頼性が低下する支障があった。
【０００６】本発明の目的とするところは、常時確実な
熱圧着作業を行うことができる熱圧着装置を提供するこ
とにある。
熱圧着作業を行うことができる熱圧着装置を提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
請求項１記載の発明に係る熱圧着装置は、ガラス基板な
どの加熱圧着を行う熱圧着装置において、前記ガラス基
板などに接する内部に発熱体を収容した平坦なバー状の
加熱ツールと、この加熱ツールの側面に歪検出センサを
設けたことを特徴とする。
請求項１記載の発明に係る熱圧着装置は、ガラス基板な
どの加熱圧着を行う熱圧着装置において、前記ガラス基
板などに接する内部に発熱体を収容した平坦なバー状の
加熱ツールと、この加熱ツールの側面に歪検出センサを
設けたことを特徴とする。
【０００８】請求項２記載の発明に係る熱圧着装置は、
前記歪検出センサの出力を入力して初期出力と運転中の
出力との差が設定値を超えた時に外部へ警報を発する
か、または加熱圧着を停止させる制御装置を備えたこと
を特徴とする。
前記歪検出センサの出力を入力して初期出力と運転中の
出力との差が設定値を超えた時に外部へ警報を発する
か、または加熱圧着を停止させる制御装置を備えたこと
を特徴とする。
【０００９】
【作用】請求項１記載の発明は、熱圧着装置によるガラ
ス基板などの熱圧着作業中に、常時歪検出センサによ
り、加熱ツールにおける平坦度の監視できる。請求項２
記載の発明は、加熱ツールにおける平坦度の変化は、常
に制御装置で監視され、この変化が予め設定した規定値
を超えた時に制御装置は、平坦度の確認が必要と判断し
て警報を発したり、熱圧着装置を停止させる。
ス基板などの熱圧着作業中に、常時歪検出センサによ
り、加熱ツールにおける平坦度の監視できる。請求項２
記載の発明は、加熱ツールにおける平坦度の変化は、常
に制御装置で監視され、この変化が予め設定した規定値
を超えた時に制御装置は、平坦度の確認が必要と判断し
て警報を発したり、熱圧着装置を停止させる。
【００１０】
【実施例】本発明の一実施例を図面を参照して説明す
る。なお、上記した従来技術と同じ構成部分には同一符
号を付して詳細な説明を省略する。図１の斜視図に示す
ように熱圧着装置８は、コ字状の基礎フレーム９の下部
にバックアップ10と、バキュームパッド11ａを備えた基
板ステージ11を設ける。また、上部にはエアシリンダ12
を設置して、このエアシリンダ12の先端に熱圧着ヘッド
13が装着してある。
る。なお、上記した従来技術と同じ構成部分には同一符
号を付して詳細な説明を省略する。図１の斜視図に示す
ように熱圧着装置８は、コ字状の基礎フレーム９の下部
にバックアップ10と、バキュームパッド11ａを備えた基
板ステージ11を設ける。また、上部にはエアシリンダ12
を設置して、このエアシリンダ12の先端に熱圧着ヘッド
13が装着してある。
【００１１】熱圧着ヘッド13は図２の正面図に示すよう
に、平坦でバー状の加熱ツール２に対して両側と中央の
３か所に、カートリッジヒータ３と、このカートリッジ
ヒータ３により加熱された前記加熱ツール２の温度を検
出する熱電対５が収容されている。またこの加熱ツール
２は、平坦度調整を行うための多数の押ネジ６及び引ネ
ジ７を介してツールホルダ４に取付けられている。さら
に、前記加熱ツール２の側面の３か所には、歪検出セン
サ14ａ〜14ｃが取付けられている。
に、平坦でバー状の加熱ツール２に対して両側と中央の
３か所に、カートリッジヒータ３と、このカートリッジ
ヒータ３により加熱された前記加熱ツール２の温度を検
出する熱電対５が収容されている。またこの加熱ツール
２は、平坦度調整を行うための多数の押ネジ６及び引ネ
ジ７を介してツールホルダ４に取付けられている。さら
に、前記加熱ツール２の側面の３か所には、歪検出セン
サ14ａ〜14ｃが取付けられている。
【００１２】なお、前記熱圧着ヘッド13は、図１に示す
前記エアシリンダ12により、リニアガイド15に沿って上
下動するように取付けられており、さらに、前記カート
リッジヒータ３と、熱電対５及び歪検出センサ14ａ〜14
ｃには、図示しない制御装置が電気的に接続されて構成
している。
前記エアシリンダ12により、リニアガイド15に沿って上
下動するように取付けられており、さらに、前記カート
リッジヒータ３と、熱電対５及び歪検出センサ14ａ〜14
ｃには、図示しない制御装置が電気的に接続されて構成
している。
【００１３】この制御装置は、熱電対５からの温度信号
を入力して、加熱ツール２が予め設定された温度に維持
されるように、カートリッジヒータ３へ供給する電力の
制御を行う。また、前記歪検出センサ14ａ〜14ｃが出力
する加熱ツール２における平坦度信号を入力して、この
変化が予め設定された設定値を超えた時に、警報を発す
るか、または熱圧着装置８の作業を停止するか、あるい
は警報を発して熱圧着装置８を停止させる。
を入力して、加熱ツール２が予め設定された温度に維持
されるように、カートリッジヒータ３へ供給する電力の
制御を行う。また、前記歪検出センサ14ａ〜14ｃが出力
する加熱ツール２における平坦度信号を入力して、この
変化が予め設定された設定値を超えた時に、警報を発す
るか、または熱圧着装置８の作業を停止するか、あるい
は警報を発して熱圧着装置８を停止させる。
【００１４】次に上記構成による作用について説明す
る。予めＴＣＰ16とガラス基板17は異方性導電膜18を介
して仮付けされており、このガラス基板17が図示しない
自動搬送システムにより熱圧着装置８に給送されてく
る。このガラス基板17は、熱圧着装置８のバックアップ
10及び基板ステージ11の所定位置に載置され、バキュー
ムパッド11ａにより吸着して固定される。
る。予めＴＣＰ16とガラス基板17は異方性導電膜18を介
して仮付けされており、このガラス基板17が図示しない
自動搬送システムにより熱圧着装置８に給送されてく
る。このガラス基板17は、熱圧着装置８のバックアップ
10及び基板ステージ11の所定位置に載置され、バキュー
ムパッド11ａにより吸着して固定される。
【００１５】次いで、制御装置より供給された電力によ
り発熱体のカートリッジヒータ３は加熱ツール２を加熱
するので、所定温度になった時点で加熱ツール２の平坦
度の確認を行い、この際に必要に応じて多数の押ネジ６
及び引ネジ７を調整して、加熱ツール２を基準とする平
坦度に設定する。
り発熱体のカートリッジヒータ３は加熱ツール２を加熱
するので、所定温度になった時点で加熱ツール２の平坦
度の確認を行い、この際に必要に応じて多数の押ネジ６
及び引ネジ７を調整して、加熱ツール２を基準とする平
坦度に設定する。
【００１６】ガラス基板17などの熱圧着は、エアシリン
ダ12により熱圧着ヘッド13をリニアガイド15に沿ってＴ
ＣＰ16上に下降させ、所定時間の加熱と加圧を行うが、
この加圧した際の前記歪検出センサ14ａ〜14ｃからの出
力Ｖa 〜Ｖc を初期出力として、制御装置に記憶させて
基準とする平坦度の規定値とする。所定時間の加熱と加
圧の作業が完了後は、熱圧着ヘッド13をエアシリンダ12
により上昇させると共に、図示しない自動搬送システム
によりガラス基板17などを次工程に搬送し、以降この一
連の作業を繰り返す。
ダ12により熱圧着ヘッド13をリニアガイド15に沿ってＴ
ＣＰ16上に下降させ、所定時間の加熱と加圧を行うが、
この加圧した際の前記歪検出センサ14ａ〜14ｃからの出
力Ｖa 〜Ｖc を初期出力として、制御装置に記憶させて
基準とする平坦度の規定値とする。所定時間の加熱と加
圧の作業が完了後は、熱圧着ヘッド13をエアシリンダ12
により上昇させると共に、図示しない自動搬送システム
によりガラス基板17などを次工程に搬送し、以降この一
連の作業を繰り返す。
【００１７】この加熱と加圧による熱圧着作業を連続し
て実施するが、制御装置には予め熱圧着装置８の運転開
始前に、押ネジ６及び引ネジ７により加熱ツール２の平
坦度を規定にしたがって設定し、この時に加熱ツール２
をガラス基板17などに加熱と加圧した状態での歪検出セ
ンサ14ａ〜14ｃの初期出力値Ｖａ〜Ｖｃを記憶させてあ
る。
て実施するが、制御装置には予め熱圧着装置８の運転開
始前に、押ネジ６及び引ネジ７により加熱ツール２の平
坦度を規定にしたがって設定し、この時に加熱ツール２
をガラス基板17などに加熱と加圧した状態での歪検出セ
ンサ14ａ〜14ｃの初期出力値Ｖａ〜Ｖｃを記憶させてあ
る。
【００１８】さらに、制御装置では熱圧着装置８の作業
中における歪検出センサ14ａ〜14ｃの出力値Ｖａ1 〜Ｖ
ｃ1 も監視している。もしも加熱ツール２がガラス基板
17などの加熱と加圧中において平坦度に変化が生じる
と、歪検出センサ14ａ〜14ｃの出力値Ｖａ1 〜Ｖｃ1 に
変化が起きる。
中における歪検出センサ14ａ〜14ｃの出力値Ｖａ1 〜Ｖ
ｃ1 も監視している。もしも加熱ツール２がガラス基板
17などの加熱と加圧中において平坦度に変化が生じる
と、歪検出センサ14ａ〜14ｃの出力値Ｖａ1 〜Ｖｃ1 に
変化が起きる。
【００１９】これら出力値の差で｜Ｖａ−Ｖａ1 ｜，｜
Ｖａ−Ｖｂ1 ｜，｜Ｖｃ−Ｖｃ1 ｜のいずれかが、予め
設定した許容値Ｅａ〜Ｅｃを超えた場合は、制御装置は
加熱ツール２の平坦度が設定値以上に変化したと判断し
て、警報を発して作業員に報知するか、または熱圧着装
置８を停止して熱圧着作業を中止するか、あるいは警報
を発すると共に熱圧着装置８を停止させる。
Ｖａ−Ｖｂ1 ｜，｜Ｖｃ−Ｖｃ1 ｜のいずれかが、予め
設定した許容値Ｅａ〜Ｅｃを超えた場合は、制御装置は
加熱ツール２の平坦度が設定値以上に変化したと判断し
て、警報を発して作業員に報知するか、または熱圧着装
置８を停止して熱圧着作業を中止するか、あるいは警報
を発すると共に熱圧着装置８を停止させる。
【００２０】これにより、作業員は熱圧着装置８を停止
させて、加熱ツール２の平坦度の確認を行い、押ネジ６
及び引ネジ７により加熱ツール２の平坦度の再調整を行
なった後に、熱圧着装置８を再度運転してガラス基板17
などの加熱と加圧による熱圧着作業を実施する。
させて、加熱ツール２の平坦度の確認を行い、押ネジ６
及び引ネジ７により加熱ツール２の平坦度の再調整を行
なった後に、熱圧着装置８を再度運転してガラス基板17
などの加熱と加圧による熱圧着作業を実施する。
【００２１】これによれば、加熱ツール２の平坦度が設
定値を超えるまで、熱圧着装置８により連続作業が行
え、定期的に熱圧着作業を休止して加熱ツール２におけ
る平坦度の確認作業を実施する必要がなく、この間は精
度と信頼性の高いガラス基板17などが得られる。また、
作業員は定期的な加熱ツール２の平坦度の監視と確認作
業が不要となるので、負担が大幅に軽減される。
定値を超えるまで、熱圧着装置８により連続作業が行
え、定期的に熱圧着作業を休止して加熱ツール２におけ
る平坦度の確認作業を実施する必要がなく、この間は精
度と信頼性の高いガラス基板17などが得られる。また、
作業員は定期的な加熱ツール２の平坦度の監視と確認作
業が不要となるので、負担が大幅に軽減される。
【００２２】なお、上記した一実施例においては、３個
の歪検出センサ14ａ〜14ｃを３か所に配置して、加熱ツ
ール２の長手方向の３か所における平坦度の監視を行う
ことを示している。しかし、この歪検出センサの設置数
と配置場所については、加熱ツール２の長さや形状、平
坦度が変化し易い場所、監視精度など、熱圧着作業上の
必要に応じて１か所以上とすることは、設計上適宜行え
るものであり、当然設置数の多い場合には、きめ細かな
平坦度監視ができる。
の歪検出センサ14ａ〜14ｃを３か所に配置して、加熱ツ
ール２の長手方向の３か所における平坦度の監視を行う
ことを示している。しかし、この歪検出センサの設置数
と配置場所については、加熱ツール２の長さや形状、平
坦度が変化し易い場所、監視精度など、熱圧着作業上の
必要に応じて１か所以上とすることは、設計上適宜行え
るものであり、当然設置数の多い場合には、きめ細かな
平坦度監視ができる。
【００２３】
【発明の効果】以上本発明によれば、熱圧着作業中にお
ける加熱ツールの平坦度の変化を常時監視し、許容値を
超えた場合は直ちに平坦度の修正を行うことができるの
で、常に確実な熱圧着作業を行うことができるという極
めて有用な効果を奏する。
ける加熱ツールの平坦度の変化を常時監視し、許容値を
超えた場合は直ちに平坦度の修正を行うことができるの
で、常に確実な熱圧着作業を行うことができるという極
めて有用な効果を奏する。
【図１】本発明に係る一実施例の熱圧着装置の斜視図。
【図２】本発明に係る一実施例の熱圧着ヘッドの正面
図。
図。
【図３】従来の熱圧着ヘッドの正面図。
１，13…熱圧着ヘッド，２…加熱ツール、３…カートリ
ッジヒータ、４…ツールホルダ、５…熱電対、６…押ネ
ジ、７…引ネジ、８…熱圧着装置、９…基礎フレーム、
10…バックアップ、11…基板ステージ、11ａ…バキュー
ムパッド、12…エアシリンダ、14ａ〜14ｃ…歪検出セン
サ、15…リニアガイド、16…ＴＣＰ、17…ガラス基板、
18…異方性導電膜。
ッジヒータ、４…ツールホルダ、５…熱電対、６…押ネ
ジ、７…引ネジ、８…熱圧着装置、９…基礎フレーム、
10…バックアップ、11…基板ステージ、11ａ…バキュー
ムパッド、12…エアシリンダ、14ａ〜14ｃ…歪検出セン
サ、15…リニアガイド、16…ＴＣＰ、17…ガラス基板、
18…異方性導電膜。
Claims (2)
- 【請求項１】 ガラス基板などの加熱圧着を行う熱圧着
装置において、前記ガラス基板などに接する内部に発熱
体を収容した平坦なバー状の加熱ツールと、この加熱ツ
ールの側面に歪検出センサを設けたことを特徴とする熱
圧着装置。 - 【請求項２】 前記歪検出センサの出力を入力して初期
出力と運転中の出力との差が設定値を超えた時に外部へ
警報を発するか、または加熱圧着を停止させる制御装置
を備えたことを特徴とする請求項１記載の熱圧着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4064195A JPH08236588A (ja) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | 熱圧着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4064195A JPH08236588A (ja) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | 熱圧着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08236588A true JPH08236588A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=12586193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4064195A Pending JPH08236588A (ja) | 1995-02-28 | 1995-02-28 | 熱圧着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08236588A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002151835A (ja) * | 2000-11-07 | 2002-05-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧着ヘッド及び部品圧着装置 |
-
1995
- 1995-02-28 JP JP4064195A patent/JPH08236588A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002151835A (ja) * | 2000-11-07 | 2002-05-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧着ヘッド及び部品圧着装置 |
| JP4534342B2 (ja) * | 2000-11-07 | 2010-09-01 | パナソニック株式会社 | 圧着ヘッド |
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