JP3885963B2 - 部品ボンディング装置 - Google Patents
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Description
2 接合部材
3 ガラス基板
4 加圧具
5 ヒータ
6 スポットヒータ
7 ボンディングツール
8 バックアップツール
9 搬送ステージ
10 反射形光学検出器
11 加熱ヒータ
12A 投光部
12B 受光部
13 ツールホルダ
14 取付枠
Claims (2)
- 基板に仮圧接された部品を第1の加圧具で仮圧接する仮圧接部と、前記基板に仮圧接された前記部品を第2の加圧具で加圧して本圧接する本圧接部とを備えてなる部品ボンディング装置において、前記仮圧接部と本圧接部の間に設置され、前記本圧接部に供給される前記基板に仮圧接された部品を検出する部品検出器と、この部品検出器からの電気信号が入力され、この電気信号に基づいて前記部品の脱落の有無を検出する制御部とを備え、前記部品検出器は、検出する部品を挟んで対向配置された投光部と受光部から構成されたことを特徴とする部品ボンディング装置。
- 前記部品をテープキャリア部品としたことを特徴とする請求項1記載の部品ボンディング装置。
Priority Applications (1)
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JP2003380568A JP3885963B2 (ja) | 2003-11-10 | 2003-11-10 | 部品ボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003380568A JP3885963B2 (ja) | 2003-11-10 | 2003-11-10 | 部品ボンディング装置 |
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