JP3738114B2 - 異方性導電シートの圧着状態検査方法およびこれを用いた異方性導電シートの圧着装置 - Google Patents
異方性導電シートの圧着状態検査方法およびこれを用いた異方性導電シートの圧着装置Info
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、異方性導電シートを所定の長さにカットしたのちに加圧手段により対象物に圧着することにより、対象物に貼り付けられた異方性導電シートの圧着状態を検査する方法およびその検査方法を用いた圧着装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えば、液晶パネルの製造工程においては、ガラスパネルの透明電極上に異方性導電シート(Anisotropic Conductive Film 、以下、ACFという)を圧着手段により貼り付け、このACF上に電子部品を配置して熱と圧力を加えることにより、ACFが含有している導電粒子で電子部品の電気的接合を行うACF実装工法が用いられており、近年、このACF実装工法は、液晶実装分野だけでなく半導体実装分野などにも応用されている。このACF実装工法におけるACFを対象物に圧着する圧着装置としては、特開平7-270742号公報に記載のものが知られており、この圧着装置について以下に説明する。
【0003】
すなわち、ベーステープにACFを担持させてなるテープ状体は、供給リールから繰り出されて巻取りリールに巻き取られるように圧着装置に装着され、且つ供給リールと巻取りリールとの間に存在する一部分が加圧手段である加圧ヘッドの下方において張設されている。このテープ状体は、フィードチャックに把持されて、対象物に圧着する長さ分だけ引き出されたのちに、カッターによりACFのみに切り目を入れられ、さらに、フィードチャックにより加圧ヘッドの下方の所定の圧着位置に移送されて張設状態に保持される。
【0004】
一方、ACFにより電子部品が実装される対象物、例えば液晶パネルは、保持ステージに吸着保持されて、XYロボットにより位置認識用のカメラの対向位置に移送され、所定位置に設けられたマークがカメラで認識されることにより液晶パネルの位置が検出される。そののちに、液晶パネルは、カメラの認識に基づき位置補正されながらXYロボットにより移送されて圧着位置に位置決め静止される。続いて、加圧ヘッドが下降してテープ状体を液晶パネルの所定箇所に加圧しながら熱を加えることにより、切れ目を入れられたACFのみが液晶パネルに圧着される。ACFが剥離されたあとのベーステープは巻取りリールに巻き取られる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ACFは、張設状態において加圧ヘッドにより熱と圧力とが加えられると、延び易い性質があるため、液晶パネルなどの対象物の所定位置に所定長さで正確に圧着するのが難しく、圧着不良が生じ易い。しかも、ACFは、対象物に確実に圧着させるための熱と圧力の設定条件の最適範囲が小さいため、対象物によっては貼り付き難いことがある。もしも、ACFが圧着されていない状態で電子部品の実装が行われると、電子部品が対象物から落下して部品不良となったり、落下した電子部品に塵埃が付着して電気的に接続されないなどの二次的な不良を引き起こす。そこで、ACFの圧着工程を経た液晶パネルは、その所定位置にACFが圧着されているか否かの有無をセンサにより検査されている。
【0006】
しかしながら、上記のセンサによる検査では、ACFが所定位置に圧着されているか否かの有無を単に検出しているだけであり、ACFが正確な設定長さにカットされているか否か、或いは対象物の設定位置に正確に圧着されているか否かの判別はできず、さらに、ACFの一部がめくれた状態に貼り付けられていても、これを検知することができない。そのため、対象物の部品実装すべきスペースが小さい場合、或いは複数の部品を小さな間隔で実装するような場合には、高い寸法精度および位置精度でACFを圧着する必要があるが、上記のようにACFの長さおよび対象物に対する圧着位置などを判別できないことから、実装の信頼性が低下する。また、ACFの送り機構が正常動作していないことなどに起因して圧着不良が発生していても、これを検知する手段がないことから、この状態で圧着装置が使用され続けると、ACFの圧着不良が続出するおそれがあり、圧着装置を調整して所要の状態に復旧するのに時間がかかる問題がある。
【0007】
また、ACFは粘着性を有しているため、ACFの圧着装置を長期にわたり稼働する場合には、このACFをカットするカッターやACFを把持して引き出すフィードチャックなどを必要に応じてクリーニングする必要があり、従来では、予め設定したACFの圧着回数ごとにクリーニングを行っている。しかしながら、上記クリーニングを必要とするタイミングはACFの種類やACFの圧着長さなどにより種々異なり、圧着回数のみに基づいてクリーニングのタイミングを設定すると、正確にカットされていないACFを引き出して対象物に圧着するといったトラブルが発生する。しかも、ACFはテープ状の連続体であることから、ACFにおける不完全にカットされた箇所の後方部分も圧着時にベーステープから剥離されてしまい、圧着異常が一度発生すると、この圧着異常が連続的に発生する可能性が極めて高い。この場合には、ACFが圧着不良の多くの製品を次工程に送出する不都合が生じる。
【0008】
そこで本発明は、ACFの圧着長さや対象物の設定位置に対する位置ずれなどを正確に検査することができるACFの圧着状態検査方法およびこれを用いた圧着装置を提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、所定長さにカットして対象物に圧着された帯状の異方性導電シートの圧着状態の検査方法において、前記異方性導電シートにおける両端側の各々の角部の前記対象物に対する位置座標を検出する角部位置検出工程と、前記角部位置検出工程において二つの角部が共に検出されたか否かにより前記異方性導電シートの正確な圧着の有無を判別する有無判別検査工程と、前記角部位置検出工程において検出した二つの角部の位置座標に基づき算出した前記異方性導電シートの圧着長さを長さ許容値と比較して良否を判別する長さ検査工程と、前記二つの位置座標に基づき算出した対象物に対する前記異方性導電シートの圧着位置および圧着角度を各々の許容値と比較して良否を判別する位置検査工程とを有している。
【0010】
この異方性導電シートの圧着状態検査方法では、異方性導電シートにおける両端側の各々の角部の対象物に対する位置座標を検出しているので、異方性導電シートが一端から他端まできれいに圧着されているか否かを正確に検出することができる。さらに、位置座標に基づいて圧着されている異方性導電シートの長さを正確に検出することができるから、異方性導電シートのめくれなどの圧着不良の有無を確実に検知できる。しかも、異方性導電シートが正確な長さできれいに圧着されているか否かの検査だけでなく、本来最も重要である対象物の設定位置に対し許容範囲内のずれで正確に貼られているか否かの位置検査を行うことができる。したがって、対象物の部品実装すべきスペースが小さい場合や複数の部品を小さな間隔で実装するような場合にも、異方性導電シートが高い寸法精度および位置精度で圧着されているか否かの検査を行うことができ、この検査結果に基づき圧着装置を調整することにより、信頼性の高い実装を行うことができる。
【0011】
上記発明において、位置検査工程には、異方性導電シートの長手方向における対象物に対する位置ずれを長手方向位置ずれ許容値と比較する工程と、前記異方性導電シートの短手方向における対象物に対する位置ずれを短手方向位置ずれ許容値と比較する工程と、前記異方性導電シートの回転方向における対象物に対する位置ずれを角度位置ずれ許容値と比較する工程とを有していることが好ましい。
【0012】
それにより、異方性導電シートの対象物に対する位置ずれを極めて正確に検査することが可能となり、異方性導電シートの圧着異常状態を正確に把握できるから、復旧に要する調整時間を短縮することができるとともに、圧着不良の続出を未然に防止できる。
【0013】
一方、本発明の異方性導電シートの圧着装置は、異方性導電シートを所定の長さ分だけ間欠的に移送するシート送り手段と、前記異方性導電シートを所定の長さにカットするカット手段と、カットされた前記異方性導電シートを圧力と熱を加えて対象物に圧着する加圧手段と、前記異方性導電シートの両端側の各角部および対象物の検出手段と、前記異方性導電シートを前記加圧手段および前記検出手段の各々の対向位置に移送する移送手段と、装置全体を制御する制御部とを備え、前記制御部には、前記検出手段からの入力信号に基づいて信号処理することにより、上記発明の異方性導電シートの圧着状態検査方法における角部位置検出、前記異方性導電シートの有無判別検査、前記異方性導電シートの長さ検査および前記異方性導電シートの対象物に対する位置検査をそれぞれ実行するとともに、前記いずれかの検査において異常であると判別したときに、装置の駆動を停止させる機能を備えた構成になっている。
【0014】
この異方性導電シートの圧着装置は、異方性導電シートの圧着不良を正確に検出できるととにも、検査により何らかの異常を発見した時点で装置の駆動を停止するので、圧着不良の続出を未然に防止でき、異方性導電シートが圧着不良の対象物が次工程に送られるのを防止できる。
【0015】
上記発明において、制御部は、前記角部位置検出の結果に基き、カット手段のクリーニングを行なう必要があるか否かを判断し、必要があると判断したときに、カット手段のクリーニングを行うよう指令する機能を備えていることが好ましい。
【0016】
それにより、異方性導電シートのカットされた角部の形状等からカット手段の汚れや劣化などを自動的に検出して、そのカット手段に汚れなどが発生する毎に、このカット手段を最も適したタイミングでクリーニングすることができ、連続体である異方性導電シートの圧着不良が連続的に発生するのを未然に防止できる。しかも、カット手段は定期的に頻繁に検査する必要がなくなる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は本発明の一実施の形態に係るACFの圧着装置の内部構造を示す斜視図である。図1において、装置の上方中央部には、ACFに熱と圧力を加えて対象物にACFを圧着するための加圧手段である加圧ヘッド1が昇降可能に設置されており、この加圧ヘッド1の一方側には、テープ状体2の供給手段である供給リール3が、他方側にはテープ状体2におけるACFが剥離されたあとのベーステープ4を巻き取るための巻取りリール7がそれぞれ配置されている。
【0018】
この実施の形態のテープ状体2は、ベーステープ4にACFを担持させた2層構造になっており、周知のテープ送り手段により供給リール3から複数のガイドローラ8,9を介して間欠的に移送されて、巻取りリール7に巻き取られる。このテープ状体2は、加圧ヘッド1の両側に設けられた一対のガイドローラ9間に案内されて、加圧ヘッド1の下部において張設されている。また、加圧ヘッド1の下部には、テープ状体2を把持して設定長さ分だけ引き出すテープ送り手段としてのフィードチャック10が設けられている。
【0019】
ACFを圧着して電子部品を実装するための対象物(図示せず)は、保持ステージ11に吸着保持されて、X方向およびY方向への移動手段であるXYロボット12により任意の位置に移動される。ここで、対象物は、ACFを圧着すべき特定箇所を加圧ヘッド1側に突出させた状態で保持ステージ11に吸着保持され、XYロボット12により移送されて特定箇所が加圧ヘッド1の下方のボンディングステージ13上に載置される。ボンディングステージ13の側部には張設状態のテープ状体2におけるACFをカットするカッター18が配設されている。
【0020】
検出手段としてのカメラ14は、対象物がボンディングステージ13上に正確に位置決めされたか否かを認識する。この実施の形態では、従来装置において既存のカメラ14が対象物に圧着された帯状のACFの対角線上の二つの角部を認識する検出手段に兼用されている。
【0021】
コンソールパネルなどからなる制御部17は、所要の動作を行わせるための入力操作に基づき上述の各機構の動作を制御するとともに、データの編集を行って出力する。なお、この実施の形態では、対象物における少なくとも特定箇所が透明である場合を例示してあり、したがって、カメラ14は下方から特定箇所上のACFを透視して認識するようになっている。
【0022】
図2は、部品実装すべき対象物である液晶パネル19を示し、その液晶表示部19aを囲む表示枠19bの所定箇所にACF20が圧着されている。ここで、2点鎖線で図示したACF21は、設定された正確な位置に正確な長さのものが圧着された場合を仮定した基準のものを仮想して示してある。液晶パネル19には、ACF20を圧着すべき箇所の両側の所定位置にそれぞれ位置検出用マーク22,23が付されている。この実施の形態では、圧着されたACF20の対角線上の二つの角部をカメラ14で撮像して画像認識したのちに、その二つの角部の位置座標に基づいてACF20の長さおよび圧着位置を制御部17で演算して算出するようになっている。
【0023】
そこで、圧着されたACF20の対角線上の二つの角部20a,20b間の長さをL、仮定の基準ACF21の対角線上の二つの角部21a,21b間の長さをLr、左側の位置検出用マーク22を基点としたときのACF20の二つの角部20a,20bの位置座標をそれぞれ(X1,Y1 ),(X2,Y2 )、左側の位置検出用マーク22を基点としたときの基準ACF21の二つの角部21a,21bの位置座標をそれぞれ(Xr1,Yr1 ),(Xr2,Yr2 )、左側の位置検出用マーク22からACF20のセンター位置SまでのX方向およびY方向の距離をそれぞれX0,Y0 、左側の位置検出用マーク22から基準ACF20のセンター位置SrまでのX方向およびY方向の距離をXr,Yr、ACF20における基準ACF21に対する回転方向のずれをDv、ACF20と基準ACF21の各々のセンター位置S,SrのX方向およびY方向のそれぞれのずれをDx,Dy(図示せず)とする。また、図示していないが、ACF20と基準ACF21の長さのずれをDIとする。
【0024】
つぎに、上記ACFの圧着装置の全体の動作を、制御部17による制御処理を示した図3のフローチャートに基づき説明する。ここでは、図2に例示した液晶パネル19を部品実装の対象物として説明する。先ず、保持ステージ11がXYロボット12によりパネル受取位置に向け移動されて、パネル受取位置に停止した保持ステージ11上に液晶パネル19が吸着保持される(ステップS1)。この液晶パネル19の保持ステージ11への受渡しは、図示しないロボットまたは作業員の手作業により行われる。つぎに、XYロボット12により保持ステージ11がカメラ14に向け移動されて、液晶パネル19の二つの位置検出用マーク22,23がカメラ14で撮像され、この画像信号を取り込んだ制御部17が画像認識処理により液晶パネル19の位置を検出する(ステップS2)。この場合、液晶パネル19をその右側のマーク23がカメラ14の真上で対向するよう位置決めして、このマーク23を画像認識したのちに、液晶パネル19をその左側のマーク22がカメラ14の真上で対向するよう位置決めして、このマーク22を画像認識する。
【0025】
続いて、保持ステージ11がXYロボット12によりボンディングステージ13に向け移動されて、液晶パネル19の実装すべき箇所がボンディングステージ13上の所定の圧着位置に位置決めされる(ステップS3)。この液晶パネル19の位置決めは、制御部17が二つのマーク22,23の認識により検出した液晶パネル19の位置に基づき補正しながらXYロボット12を制御することにより行われる。この液晶パネル19の位置決めと並行して、テープ状体2がフィードチャック10に把持されて所定の長さ分だけ引き出されたのちに、カッター18によりACF20のみの所定の長さ位置に切れ目が入れられ、この切れ目を入れられたACF20はフィードチャック10により再び引き出されて加圧ヘッド1の真下の圧着位置に移送される(ステップS4)。
【0026】
そののちに、加圧ヘッド1が下降してテープ状体2を液晶パネル19に圧力を加えて押し付けるとともに、熱を加えてACF20を液晶パネル19に圧着する(ステップS5)。ACF20の圧着が終了したならば、保持ステージ11がXYロボット12により移動されて液晶パネル19が再びカメラ14の上方位置に移送され、この液晶パネル19に圧着されたACF20の対角線上の二つの角部20a,20bがカメラ14により撮像されて、その画像信号が制御部17に入力される。制御部17は、画像認識処理により二つの角部20a,20bの位置座標(X1,Y1 ),(X2,Y2 )を検出する(ステップS6)。ここで、カメラ14は、液晶パネル19における予め設定された範囲のみを撮像し、制御部17は、二つの角部20a,20bの画像信号が共に入力されたか否かにより、ACF20が予め設定された範囲内に圧着されているか否かの判別を行う(ステップS7)。
【0027】
制御部17は、いずれか一方の角部20aまたは20bを画像認識できなかった場合に、ACF20が正しく貼られていないと判断して、カッター28のクリーニングを行うよう制御する(ステップS15)。これは、ACF20がカッター18の汚れなどにより正確にカットされなかった場合に尖った形状の角部20a,20bが得られないことから、ACF20の角部20a,20bを画像認識できなくなるからである。このようにACF20のカットされた角部20a,20bの形状からカッター18の汚れなどを自動的に検出するので、カッター18に汚れなどが発生する毎に、このカッター18を最も適したタイミングでクリーニングすることができ、カッター18を定期的に頻繁に検査する必要がなくなる。
【0028】
また、制御部17は、カッター18のクリーニングを指令するとともに、コンソールパネルに検査異常を表示し(ステップS16)たのちに、装置の駆動をエラー停止させる(ステップS17)。それにより、連続体であるACF20の圧着不良が連続的に発生するのを未然に防止することができ、ACF20の圧着が不良の液晶パネル19が次工程に送られるのを防止できるとともに、ACF20の圧着不良をこれが発生した時点で異常表示により確認することができ、圧着装置を復旧するための調整時間を短縮することができる。
【0029】
ステップS7におけるACF20の有無検査において、二つの角部20a,20bを共に画像認識できた場合には、圧着したACF20と基準ACF21との長さのずれDIを算出する(ステップS8)。すなわち、制御部17は、先に検出した二つの角部20a,20bの位置座標(X1,Y1 ),(X2,Y2 )に基づき角部20a,20b間の長さLを算出する。この長さLは、(1)式を演算することにより算出される。さらに、制御部17は、(2)式を演算することにより、理論値である基準AFC21の二つの角部21a,21b間の長さLrを算出し、この算出した2種の長さL,Lrに基づき(3)式を演算することにより、圧着したACF20と基準ACF21との長さのずれDIを算出する。
【0030】
【数1】
【0031】
【数2】
【0032】
【数3】
【0033】
制御部17は、長さのずれDIを算出したならば、このずれDIと予め設定されている長さ許容値KIとを比較して、ACF20が所定の長さで正しく貼られているか否かを判別する(ステップS9)。すなわち、制御部17は、ずれDIが長さ許容値KIよりも小さい場合に正常と判断し、大きい場合に長さが異常であると判断して検査異常を表示し(ステップS16)、装置の駆動をエラー停止させる(ステップS17)。このように、ACF20の二つの角部20a,20bを検出して長さ検査を行うことにより、ACF20が一端から他端まできれいに貼られいるか否かを正確に検査することができ、ACF20の長さを正確に求めることができる。また、ACF20の長さ検査を行うことにより、ACF20の圧着時のめくれが存在しないか否かを検査することもできる。
【0034】
長さ検査が正常であれば、制御部17は、ACF20の液晶パネル19に対する各種の位置ずれDx,Dy,Dvを算出する(ステップS10)。ACF20の基準ACF21に対するX方向の位置ずれDxは(4)式を演算することにより算出し、Y方向の位置ずれDyは(5)式を演算することにより算出し、ACF20の基準ACF21に対する回転方向の位置ずれDvは(6)式を演算することにより算出する。
【0035】
【数4】
【0036】
【数5】
【0037】
【数6】
【0038】
つぎに、制御部17は、算出したX方向の位置ずれDxと予め設定されているACF長手方向許容値Kxとを比較して、ACF20がX方向に許容値以内の小さな位置ずれで圧着されているか否かを判別する(ステップS11)。すなわち、制御部17は、X方向の位置ずれDxがACF長手方向許容値Kxよりも小さい場合に正常と判断し、大きい場合にX方向の圧着位置が異常であると判断して検査異常を表示し(ステップS16)、装置の駆動をエラー停止させる(ステップS17)。
【0039】
さらに、制御部17は、算出したY方向の位置ずれDyと予め設定されているACF長手方向許容値Kyとを比較して、ACF20がY方向に許容値以内の小さな位置ずれで圧着されているか否かを判別する(ステップS12)。すなわち、制御部17は、Y方向の位置ずれDyがACF短手方向許容値Kyよりも小さい場合に正常と判断し、大きい場合にY方向の圧着位置が異常であると判断して検査異常を表示し(ステップS16)、装置の駆動をエラー停止させる(ステップS17)。
【0040】
続いて、制御部17は、算出した回転方向の位置ずれDvと予め設定されているACF回転方向許容値Kvとを比較して、ACF20が回転方向に許容値Kv以内の小さな位置ずれで圧着されているか否かを判別する(ステップS13)。
【0041】
すなわち、制御部17は、回転方向の位置ずれDvがACF回転方向許容値Kvよりも小さい場合に正常と判断し、大きい場合に回転方向の圧着位置が異常であると判断して検査異常を表示し(ステップS16)、装置の駆動をエラー停止させる(ステップS17)。
【0042】
以上のACF20の各種の位置ずれDx,Dy,Dvは、液晶パネル19の位置検出用マーク22を基点としたACF20の二つの角部20a,20bの位置座標(X1,Y1 ),(X2,Y2 )に基づき算出しているから、ACF20が正確な長さできれいに圧着されているか否かの検査だけでなく、本来最も重要である液晶パネル19の設定位置に対し正確に貼られているか否かの位置検査を行うことができる。
【0043】
上述の種々の検査の結果が全て正常であるならば、予め設定した枚数のACF20の圧着が終了したか否かを判別して(ステップS14)、終了でない場合には、ステップS3にリターンして、液晶パネル19の次の圧着箇所を圧着位置に移動させて上述の処理をACF20の圧着枚数だけ繰り返す。全てのACF20の圧着が完了したならば、生産完了した液晶パネル19を搬出位置に移動させて、次工程に送出する(ステップS18)。
【0044】
なお、図3におけるステップS7、S9,S11〜S13に示した5種類の検査工程は、これを全て行う必要がなく、必要に応じて適当に選択して組み合わせてもよい。また、ACF20を検出するための二つの角部20a,20bは検査の使用目的に応じて任意であるが、上記実施の形態のように、対角線上の二つを選択するのが好ましい。さらに、図3のステップS3〜ステップS6の処理をACF20の圧着枚数だけ繰り返して全てのACF20の圧着を先ず終了させて、その圧着時毎に検出したACFF20の二つの角部20a,20bの位置座標(X1,Y1 ),(X2,Y2 )を記憶させておき、ステップS7〜ステップS13の検査工程を圧着したACF20の枚数だけ繰り返すようにしてもよい。
【0045】
この実施の形態では、ACF20の位置決め精度を向上するために設けられた既存のカメラ14を、ACF20の圧着状態の検査用に兼用して構成されているとともに、従来においてACF20の有無を検出するために設けられていた図1に2点鎖線で示すセンサー5が不要となり、構成を簡略化してコストを低減できる。
【0046】
【発明の効果】
以上のように本発明の異方性導電シートの圧着状態検査方法によれば、異方性導電シートにおける両端側の各々の角部の対象物に対する位置座標を検出するので、異方性導電シートが一端から他端まで確実に圧着されているか否かを正確に検出することができ、圧着されている異方性導電シートの長さを正確に検出することができる。また、異方性導電シートの正確に検出した長さの検査を行うことにより、異方性導電シートのめくれなどの圧着不良の有無を確実に検知できる。
【0047】
しかも、本来最も重要である対象物の設定位置に対し異方性導電シートが許容範囲内のずれで正確に貼られているか否かの位置検査を行うことができる。したがって、対象物の部品実装すべきスペースが小さい場合や複数の部品を小さな間隔で実装するような場合にも、異方性導電シートが高い寸法精度および位置精度で圧着されているか否かの検査を行うことができ、この検査結果に基づき圧着装置を調整することにより、信頼性の高い実装を行うことができる。
【0048】
また、本発明の異方性導電シートの圧着装置によれば、異方性導電シートの圧着不良を正確に検出できるとともに、検査により何らかの異常を発見した時点で装置の駆動を停止するので、圧着不良の続出を未然に防止でき、異方性導電シートが圧着不良の対象物が次工程に送られるのを確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係る異方性導電シートの圧着装置の内部構造を示す斜視図。
【図2】異方性導電シートを圧着した対象物を示す平面図。
【図3】本発明の一実施の形態に係る異方性導電シートの圧着状態検査方法の信号処理を示すフローチャート。
【符号の説明】
1 加圧ヘッド(加圧手段)
10 フィードチャック(シート移送手段)
12 XYロボット(移送手段)
14 カメラ(検出手段)
17 制御部
18 カッター(カット手段)
19 液晶パネル(対象物)
20 異方性導電シート
20a,20b 異方性導電シートの角部
Claims (4)
- 所定長さにカットして対象物に圧着された帯状の異方性導電シートの圧着状態の検査方法であって、
前記異方性導電シートにおける両端側の各々の角部の前記対象物に対する位置座標を検出する角部位置検出工程と、
前記角部位置検出工程において二つの角部が共に検出されたか否かにより前記異方性導電シートの正確な圧着の有無を判別する有無判別検査工程と、
前記角部位置検出工程において検出した二つの角部の位置座標に基づき算出した前記異方性導電シートの圧着長さを長さ許容値と比較して良否を判別する長さ検査工程と、
前記二つの位置座標に基づき算出した対象物に対する前記異方性導電シートの圧着位置および圧着角度を各々の許容値と比較して良否を判別する位置検査工程とを有する異方性導電シートの圧着状態検査方法。 - 位置検査工程は、異方性導電シートの長手方向における対象物に対する位置ずれを長手方向位置ずれ許容値と比較する工程と、前記異方性導電シートの短手方向における対象物に対する位置ずれを短手方向位置ずれ許容値と比較する工程と、前記異方性導電シートの回転方向における対象物に対する位置ずれを角度位置ずれ許容値と比較する工程とを有している請求項1に記載の異方性導電シートの圧着状態検査方法。
- 異方性導電シートを所定の長さ分だけ間欠的に移送するシート送り手段と、
前記異方性導電シートを所定の長さにカットするカット手段と、
カットされた前記異方性導電シートを圧力と熱を加えて対象物に圧着する加圧手段と、
前記異方性導電シートの両端側の各角部および対象物の検出手段と、
前記異方性導電シートを前記加圧手段および前記検出手段の各々の対向位置に移送する移送手段と、
装置全体を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記検出手段からの入力信号に基づいて信号処理することにより、請求項1に記載の異方性導電シートの圧着状態検査方法における角部位置検出、前記異方性導電シートの有無判別検査、前記異方性導電シートの長さ検査および前記異方性導電シートの対象物に対する位置検査をそれぞれ実行するとともに、前記いずれかの検査において異常であると判別したときに、装置の駆動を停止させる機能を備えている異方性導電シートの圧着装置。 - 制御部は、前記角部位置検出の結果に基き、カット手段のクリーニングを行なう必要があるか否かを判断し、必要があると判断したときに、カット手段のクリーニングを行うよう指令する機能を備えている請求項3に記載の異方性導電シートの圧着装置。
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