KR100948116B1 - 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치, 검사 시스템, 및 검사방법 - Google Patents

전극 간의 본딩 패턴 검사 장치, 검사 시스템, 및 검사방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치, 검사 시스템, 및 검사 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 본딩 패턴 검사 장치는 글래스 패널이 이동하면서 본딩 패턴의 전체 영역에 대한 스캔 영상(scan image)을 획득하는 라인 스캔 카메라(line scan camera); 상기 라인 스캔 카메라의 초점을 조정하도록 상기 라인 스캔 카메라를 수직 방향으로 이동시키는 초점 조정 부재; 상기 라인 스캔 카메라를 상기 초점 조정 부재에 고정 지지하는 지지 홀더; 상기 초점 조정 부재를 고정 지지하는 지지 부재; 상기 글래스 패널의 하부에 위치되고 또한 상기 지지 부재에 고정 장착되며, 상기 글래스 패널에 조명을 제공하는 조명 부재; 상기 글래스 패널의 상부에 위치되고 또한 상기 지지 부재에 고정 장착되며, 상기 라인 스캔 카메라의 스캔 시작 위치 또는 스캔 시작 위치 및 스캔 종료 위치를 알려주는 센서; 상기 스캔 영상을 디스플레이하는 표시장치; 및 상기 표시장치에 디스플레이된 상기 스캔 영상을 기초로 상기 본딩 패턴의 일치 여부를 검사하는 검사 디바이스를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본딩 패턴, 검사 장치, 검사 시스템, 스캔 영상, 라인 스캔 카메라

Description

전극 간의 본딩 패턴 검사 장치, 검사 시스템, 및 검사 방법{Apparatus, System and Method of Checking Bonding Patterns Between Electrodes}
본 발명은 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치, 검사 시스템, 및 검사 방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 TCP 또는 FPC와 같은 복수의 전원 공급 필름의 전원 전극 및 평판 디스플레이(PDP) 또는 액정 디스플레이(LCD)용 글래스 패널 상에 형성된 패널 전극 간의 본딩 패턴을 검사하기 위해, 글래스 패널을 이동하면서 복수의 전원 공급 필름 전체에 대한 전원 전극 및 패널 전극 간의 본딩 패턴의 영상(image)을 획득하여, 사용자의 선택에 따라 전원 전극과 패널 전극 간의 본딩 패턴을 신속하고 정밀하게 검사하는 검사 장치, 검사 시스템, 및 검사 방법에 관한 것이다.
통상적으로 PDP 또는 LCD를 제조하기 위해서는 PDP 또는 LCD 글래스 패널(glass panel)(이하 통칭하여 "글래스 패널"이라 합니다) 상에 테이프 캐리어 패키징(Tape Carrier Packaging: 이하 "TCP"라 함) 필름 및 연성 인쇄회로기판(Flexible Printed Circuit: 이하 "FPC"라 함) 필름(이하 TCP 필름과 FPC 필름을 통칭하여 "전원 공급 필름"이라 합니다)을 공급한다, 그 후, 후속 공정으로 ACF 등 을 이용하여 전원 공급 필름 상에 형성된 복수의 전원 공급용 전극 패턴(이하 "전원 전극 패턴"이라 합니다)이 글래스 패널 상에 형성된 전극 패턴(이하 "패널 전극 패턴"이라 합니다)과 얼라인된 상태에서 전원 공급 필름을 글래스 패널에 본딩한다. 또 다른 종래 기술에서는, ACF 등을 이용하여 글래스 패널 상에 공급하여 본딩한 후, 후속 공정으로 전원 공급 필름을 글래스 패널 상에 공급하여 미리 본딩된 ACF 등을 이용하여 전원 공급 필름을 글래스 패널에 본딩한다.
도 1a는 종래 기술에 따른 PDP 패널 또는 LCD 제조용 글래스 패널 상에 전원 공급 필름을 공급하는 전원 공급 필름 공급 장치의 개략적인 평면도를 도시한 도면이다. 좀 더 구체적으로, 도 1a에 도시된 종래 기술에 따른 전원 공급 필름 공급 장치는 본 발명의 출원인이 2007년 12월 6일자에 "작업물 공급 및 정렬 장치"라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원 제 10-2007-0126239호(이하 "'239 출원"이라 합니다)로 출원된 명세서에 종래 기술로 기술되어 있다. 본 발명의 명세서에서는 설명의 편의상 '239 출원에 종래 기술로 개시된 한 쌍의 전원 공급 필름 공급 장치 중 하나의 전원 공급 필름 공급 장치만을 도시하고 있음을 유의하여야 한다.
도 1a를 참조하면, 종래 기술에 따른 전원 공급 필름 공급 장치(150)는 전원 공급 필름 공급부재(160); 인덱스 유닛(170); 상기 전원 공급 필름 공급부재(160)로부터 공급된 전원 공급 필름을 픽업(pick-up)하여 인덱스 유닛(170) 상으로 전달하는 이송장치(180)로 구성된다. 이하에서는, 종래 기술에 따른 전원 공급 필름 공급 장치(150)의 각각의 구성요소를 기술한다.
먼저, 종래 기술에 따른 전원 공급 필름 공급 장치(150)를 구성하는 전원 공 급 필름 공급부재(160)는 복수개의 TCP/FPC(140/142)와 보호필름(미도시)으로 이루어진 복수개의 전원 공급 필름(144)이 각각 감겨진 한 쌍의 좌우 공급롤(162a,162b)을 구비한다. 전원 공급 필름(144)은 좌우 공급롤(162a,162b)로부터 한 쌍의 좌우 회수롤(164a,164b)까지 연결되어 있다. 전원 공급 필름(144) 상에 각각 인쇄된 복수개의 TCP/FPC(140/142)는 좌우 회수롤(164a,164b) 전방에 제공되는 한 쌍의 좌우 커팅 부재(166a,166b)에 의해 각각 커팅된다. 복수개의 TCP/FPC(140//142)가 커팅된 후 남은 보호필름(미도시)은 좌우 회수롤(164a,164b) 상에 감겨서 회수된다. 한편, 커팅된 TCP/FPC(140/142)는 예를 들어, 로봇 암(robot arm)과 같은 이송장치(180)에 의해 픽업되어 인덱스 유닛(170) 상으로 이송된다. 도 1a의 실시예에서는, 예를 들어 좌측 공급롤(162a) 상의 TCP/FPC(140/142)가 모두 사용되면, 우측 공급롤(162b)을 사용하여 TCP/FPC(140/142)를 계속 공급하도록 하여 후속 공정의 중단없이 TCP/FPC(140/142)를 공급할 수 있다.
한편, 인덱스 유닛(170)은 이송장치(180)에 의해 이송된 TCP/FPC(140/142)를 전달받아 TCP/FPC(140/142)가 본딩될 대상물인 글래스 패널(122) 상으로 공급하기 위한 복수개의 지그(jig)(172, 174,176,178)를 구비한다. 글래스 패널(122)은 스테이지(190) 상에 패널 공급 장치(미도시)에 의해 미리 공급된다.
도 1a를 계속 참조하면, 이송장치(180) 및 인덱스 유닛(170)에 의해 TCP/FPC(140/142)가 글래스 패널(122) 상의 네모로 표시된 1번 위치로 제공된다. 그 후, TCP/FPC(140/142)가 공지의 얼라인 조정 장치(미도시) 및 얼라인용 카메 라(1,2)에 의해 얼라인이 행해진다. TCP/FPC(140/142)와 글래스 패널(122) 간의 얼라인이 완료되면, TCP/FPC(140/142)는 가압착 장치(pre-pressure bonding device: 미도시)에 의해 가압착된다. 그 후, 글래스 패널(122)은 리니어 모션 가이드와 같은 이동부재(미도시) 또는 공지의 얼라인 조정 장치(미도시)에 의해 1번 위치에서 2번 위치(도 1a에서는 우측방향)로 이동한다. 그 후, 후속적으로 공급된 제 2 TCP/FPC(140/142)가 글래스 패널(122)의 2번 위치로 제공된 후, 얼라인용 카메라(3,4)를 이용하여 얼라인 조정 장치(미도시)에 의해 글래스 패널(122)과의 얼라인이 행해지고 제 2 TCP/FPC(140/142)의 가압착 공정이 이루어진다. 2번 위치에 제 2 TCP/FPC(140/142)가 공급되는 동안, 1번 위치의 TCP/FPC(140/142)는 본딩 장치(미도시)에 의해 본딩이 이루어진다. 이 경우, 글래스 패널(122) 상에는 ACF 공급 장치(미도시)에 의해 ACF(미도시)가 미리 공급되어 본딩되어 있다. 상술한 방법으로, 복수의 TCP/FPC(140/142)에 대한 공급, 얼라인, 가압착 및 본딩 공정이 글래스 패널(122) 상에서 순차적으로 행해진다.
도 1b는 도 1a에 도시된 전원 공급 필름 공급 장치에 의해 공급된 하나의 TCP/FPC의 평면도를 도시한 도면이고, 도 1c는 TCP/FPC의 전원 전극 과 패널 전극 간의 본딩 패턴을 도시한 도면이다.
도 1b 및 도 1c를 참조하면, 하나의 TCP/FPC(140/142) 상에 형성된 전원 전극 패턴(144)은 복수개의 전원 전극(146 또는 146a,146b,146c)을 구비한다. 또한, 글래스 패널(122) 상에 형성된 패널 전극 패턴(124)은 복수개의 패널 전극(126a,126b,126c)을 구비한다. 도 1b에 도시된 하나의 TCP/FPC(140/142) 상에 형 성된 전원 전극 패턴(144)은 23개의 전원 전극(146)을 구비하는 것으로 예시적으로 도시되어 있지만, 당업자라면 하나의 TCP/FPC(140/142) 상에 형성된 전원 전극 패턴(144)이 구비하는 전원 전극(146)의 수가 필요에 따라 증가 또는 감소될 수 있다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다. 또한, 도 1c를 참조하면, 설명의 편의상 3개의 전원 전극(146a,146b,146c)과 3개의 패널 전극(126a,126b,126c)이 ACF(110)에 의해 본딩된 본딩 패턴(147a,147b,147c)을 예시하고 있다. 참조부호 112는 ACF(110) 내에 제공되는 도전볼(conductive ball)을 나타내며, 참조부호 148은 얼라인용 마크(align marks)를 나타낸다.
도 2a는 상술한 도 1b 및 도 1c에 도시된 종래 기술에 따른 전원 전극과 패널 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치, 검사 시스템, 및 그에 따른 검사 방법을 도시한 도면이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 종래 기술에 따른 전원 전극과 패널 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치 및 검사 시스템의 개략적인 평면도를 도시한 도면이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 종래 기술에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(200)은 글래스 패널(222)의 하부에 제공되며, 상기 글래스 패널(222)의 얼라인 상태를 확인하기 위한 얼라인 카메라(205); 복수의 패널 전극과 복수의 전원 전극 간의 본딩 패턴의 각각의 영역에 대한 정지 영상(still image)을 개별적으로 또는 선택적으로 획득하는 에리어 카메라(area camera)(230); 상기 에리어 카메라(230)의 초점을 조정하도록 상기 에리어 카메라(230)를 수직 방향으로 이동시키는 초점 조정 부재(240); 상기 에리어 카메라(230)를 상기 초점 조정 부재(240)에 고정 지지하는 지지 홀더(support holder)(242); 상기 에리어 카메라(230) 및 초점 조정 부재(240)를 글래스 패널(222) 상에서 이동시키는 이동 부재(210); 상기 이동 부재(210)를 수평방향으로 이동시키는 액추에이터(미도시); 상기 글래스 패널(222)의 하부에 위치되고 또한 상기 이동 부재(210)에 고정 장착되며, 상기 글래스 패널(222)에 조명을 제공하는 조명 부재(212); 및 상기 본딩 패턴의 각각의 영역에 대한 정지 영상을 디스플레이하는 표시장치(미도시)로 구성된다. 상술한 종래 기술에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(200)에서 에리어 카메라(230); 초점 조정 부재(240); 조명 부재(212); 및 표시장치(미도시)가 검사 장치(201)를 구성한다. 이하에서는 종래 기술에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(200)의 각각의 구성요소의 기능 및 동작과 검사 방법을 상세히 기술한다.
다시 도 2a 및 도 2b를 참조하면, 종래 기술에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(200)에서는 글래스 패널(222) 상에 복수의 TCP(240) 또는 복수의 FPC(242)의 본딩이 완료되면, 글래스 패널(222)이 장착된 스테이지(290)가 본딩 패턴 검사 장치(201) 쪽으로 이동한다. 그 후, 글래스 패널(222) 상의 본딩 패턴을 검사하기 전에, 글래스 패널(222)은 그 하부에 제공되는 얼라인 카메라(205)에 의해 얼라인 상태가 확인된다. 얼라인 카메라(205)는 예를 들어 고체촬상소자(CCD) 카메라 또는 비전 카메라(vision camera)로 구현될 수 있다. 얼라인 카메라(205)에 의해 글래스 패널(222)의 얼라인 상태가 양호한 것으로 확인되면, 글래스 패널(222)은 각각의 TCP/FPC(240/242)의 복수의 패널 전극(126a,126b,126c)과 복수의 전원 전극(146a,146b,146c) 간의 본딩 패턴(147a,147b,147c)(도 1c 참조)을 검사하기 위한 위치로 이동한다.
한편, 종래 기술에서는 에리어 카메라(230)가 글래스 패널(222) 상에 형성된 복수의 본딩 패턴(147a,147b,147c) 상으로 이동한다. 그 후, 에리어 카메라(230)가 복수의 본딩 패턴(147a,147b,147c) 각각의 영역에 대한 정지 영상(still image)을 개별적으로 또는 선택적으로 획득한다. 여기서 '개별적'이란 용어는 예를 들어, 3개의 본딩 패턴(147a,147b,147c) 각각의 영역에 대해 3개의 영상을 획득한다는 것을 의미하고, '선택적'이란 용어는 사용자의 선택에 따라 3개의 본딩 패턴(147a,147b,147c) 중 예를 들어 본딩 패턴(147b) 영역에 대한 영상만을 획득한다는 것을 의미한다. 좀 더 구체적으로, 예를 들어 상술한 도 1b에 도시된 하나의 TCP/FPC(140/142) 상에 형성된 23개의 전원 전극(146)에 대해 본딩 패턴을 검사하는 경우, 23개의 전원 전극(146) 각각에 대한 정지영상을 획득하기 위해서는 상당한 패턴 검사 시간(tact time)이 요구된다. 특히, 예를 들어 도 1의 경우 글래스 패널(122/222) 상에는 15개의 TCP(140)가 형성되어 있으므로, 복수의 TCP 본딩 패턴 각각의 영역에 전체에 대한 영상(image)을 개별적으로 획득하기 위해서는 에리어 카메라(230)가 전체 345(15 x 23)개의 정지 영상을 촬영하여야 한다. 그 결과, 상당히 긴 패턴 검사 시간(tact time)이 요구된다. 이러한 문제점을 해결하기 위해, 에리어 카메라(230)가 예를 들어 15개의 TCP(140) 각각 또는 선택된 일부에 대해 예를 들어 2번째 및 14번째 본딩 패턴에 대한 영역만을 선택적으로 촬영하여 표시장치(미도시: 예를 들어, 컴퓨터 모니터) 상에 디스플레이되도록 프로그램될 수 있다. 이러한 본딩 패턴에 대한 정지 영상을 선택적으로 획득하는 경우, 선택된 본팅 패턴의 일치 여부(양호 또는 불량)의 검사 완료까지 요구되는 시간은 TCP(140) 의 수에 비례하여 증가한다. 구체적으로, 종래 기술에서는 TCP(140)의 수가 20개일 경우 예를 들어 2개의 TCP(140)를 선택하고, 선택된 2개의 TCP(140) 각각에 대해 복수의 본딩 패턴 중 2개의 본딩 패턴에 대한 정지 영상을 선택적으로 획득하는데 걸리는 시간은 대략 6 내지 7초이고, 그 후 해당 본팅 패턴의 일치 여부를 검사하는데 요구되는 시간을 포함한 전체 시간(tact time)은 대략 30초이다.
상술한 바와 같이 종래 기술의 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(200)에서는 에리어 카메라(230)가 글래스 패널(222) 상에 형성된 복수의 본딩 패턴 상으로 이동 및 정지를 반복하면서, 본딩 패턴 각각의 영역에 대한 정지 영상을 개별적으로 또는 선택적으로 획득하여야 한다. 따라서, 전원 전극과 패널 전극 간의 본딩 패턴의 영상 획득 및 일치 여부를 검사하는데 상당한 시간이 소요된다는 문제점을 갖는다.
한편, 종래 기술의 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(200)에서는 본딩 패턴 영역에 대해 획득되는 영상의 선명도를 높이기 위해 글래스 패널(222)에 조명을 제공하는 조명 부재(212)가 사용된다. 이러한 조명 부재(212)는 예를 들어, 통상적인 LED 광원이 사용된다. 이러한 LED 광원으로 구현되는 조명 부재(212)를 사용하여 획득된 본딩 패턴 영역에 대한 정지 영상의 일 실시예가 도 2c에 예시적으로 도시되어 있다.
도 2c를 참조하면, LED 광원으로 구현되는 조명 부재(212)를 사용하는 경우, 패널 전극(226)과 전원 전극(246) 간의 본딩 패턴(247)은 전원 전극(246)의 일측 엣지가 돌출부(convex portion)(146c) 및 오목부(concave portion)(246d)가 반복적 으로 나타나는 상당한 심한 굴곡 형상(significantly curved shape)을 가지게 된다. 이 경우, 패널 전극(226)과 전원 전극(246) 간의 본딩 패턴(247)의 일치 여부를 판단함에 있어서, 전원 전극(246)의 돌출부(246c)를 기준으로 하는 경우 패널 전극(226)과 전원 전극(246) 간의 본딩 패턴(247)이 양호한 것으로 판단될 수 있다. 반면에, 전원 전극(246)의 오목부(246d)를 기준으로 하는 경우 패널 전극(226)과 전원 전극(246) 간의 본딩 패턴(247)이 불량한 것으로 판단될 수 있다. 이러한 문제점은 조명 부재(212)로 사용되는 LED 광원의 낮은 조도에 기인한다.
따라서, 본딩 패턴(247)에서 전원 전극(246)의 돌출부(146c) 및 오목부(246d)가 심한 굴곡 형상(curved shape)을 갖지 않도록 조명 부재(212)로 높은 조도의 광원이 사용될 필요가 있다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 글래스 패널을 이동하면서 복수의 전원 공급 필름 전체에 대한 전원 전극 및 패널 전극 간의 본딩 패턴의 영상(image)을 획득하여, 사용자의 선택에 따라 전원 전극과 패널 전극 간의 본딩 패턴의 신속한 검사를 가능하게 하는 검사 장치, 검사 시스템, 및 검사 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 전원 전극의 엣지부가 심한 굴곡 형상을 갖지 않도록 높은 조도의 광원으로 구현된 조명 부재를 사용하여, 전원 전극과 패널 전극 간의 높은 본딩 패턴 검사 정밀도를 갖는 검사 장치, 검사 시스템, 및 검사 방법을 제공하기 위한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명의 제 1 특징에 따르면, 글래스 패널 상의 복수의 전원 전극 및 복수의 패널 전극 간의 본딩 패턴을 검사하는 검사 장치에 있어서, 상기 글래스 패널이 이동하면서 상기 본딩 패턴의 전체 영역에 대한 스캔 영상(scan image)을 획득하는 라인 스캔 카메라(line scan camera); 상기 라인 스캔 카메라의 초점을 조정하도록 상기 라인 스캔 카메라를 수직 방향으로 이동시키는 초점 조정 부재; 상기 라인 스캔 카메라를 상기 초점 조정 부재에 고정 지지하는 지지 홀더; 상기 초점 조정 부재를 고정 지지하는 지지 부재; 상기 글래스 패널의 하부에 위치되고 또한 상기 지지 부재에 고정 장착되며, 상기 글래스 패널에 조명을 제공하는 조명 부재; 상기 글래스 패널의 상부에 위치되고 또한 상기 지지 부재에 고정 장착되며, 상기 라인 스캔 카메라의 스캔 시작 위치 또는 스캔 시작 위치 및 스캔 종료 위치를 알려주는 센서; 상기 스캔 영상을 디스플레이하는 표시장치; 및 상기 표시장치에 디스플레이된 상기 스캔 영상을 기초로 상기 본딩 패턴의 일치 여부를 검사하는 검사 디바이스를 포함하고, 상기 센서는 상기 라인 스캔 카메라의 상기 스캔 시작 위치 및 상기 스캔 종료 위치를 알려주도록 미리 프로그램되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따르면, 글래스 패널 상의 복수의 전원 전극 및 복수의 패널 전극 간의 본딩 패턴을 검사하는 검사 시스템에 있어서, 상기 글래스 패널의 하부에 제공되며, 상기 글래스 패널의 얼라인 상태를 확인하기 위한 얼라인 카메라; 상기 글래스 패널이 이동하면서 상기 본딩 패턴의 전체 영역에 대한 스캔 영상(scan image)을 획득하는 라인 스캔 카메라(line scan camera); 상기 라인 스캔 카메라의 초점을 조정하도록 상기 라인 스캔 카메라를 수직 방향으로 이동시키는 초점 조정 부재; 상기 라인 스캔 카메라를 상기 초점 조정 부재에 고정 지지하는 지지 홀더; 상기 초점 조정 부재를 고정 지지하는 지지 부재; 상기 글래스 패널이 장착된 스테이지를 수평방향으로 이동시키는 액추에이터; 상기 스테이지의 수평방향 이동을 가이드하는 가이드 부재; 상기 글래스 패널의 하부에 위치되고 또한 상기 지지 부재에 고정 장착되며, 상기 글래스 패널에 조명을 제공하는 조명 부재; 상기 글래스 패널의 상부에 위치되고 또한 상기 지지 부재에 고정 장착되며, 상기 라인 스캔 카메라의 스캔 시작 위치 또는 스캔 시작 위치 및 스캔 종료 위치를 알려주는 센서; 상기 스캔 영상을 디스플레이하는 표시장치; 및 상기 표시장치에 디스플레이된 상기 스캔 영상을 기초로 상기 본딩 패턴의 일치 여부를 검사하는 검사 디바이스를 포함하고, 상기 센서는 상기 라인 스캔 카메라의 상기 스캔 시작 위치 및 상기 스캔 종료 위치를 알려주도록 미리 프로그램되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 특징에 따르면, 글래스 패널 상의 복수의 전원 전극 및 복수의 패널 전극 간의 본딩 패턴을 검사하는 검사 방법에 있어서, 상기 본딩 패턴이 형성된 상기 글래스 기판이 장착된 스테이지를 정지 상태의 라인 스캔 카메라 하부에서 수평방향으로 이동시키는 단계; 상기 라인 스캔 카메라가 상기 본딩 패턴 전체를 스캔하여 스캔 영상을 획득하는 단계; 상기 본딩 패턴에 대한 상기 스캔 영상을 디스플레이하는 단계; 상기 스캔 영상을 기초로 상기 본딩 패턴의 전체 또는 일부의 일치 여부를 검사하는 단계; 및 상기 검사 단계에서의 검사 결과에 따라 상기 본딩 패턴의 양호 또는 불량 여부를 판단하는 단계를 포함하고, 상기 스캔 영상 획득 단계는 센서가 상기 본딩 패턴에 대한 스캔 종료 위치를 알려주는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 4 특징에 따르면, 글래스 패널 상의 복수의 전원 전극 및 복수의 패널 전극 간의 본딩 패턴을 검사하는 검사 방법에 있어서, 상기 본딩 패턴이 형성된 상기 글래스 기판이 장착된 스테이지를 얼라인 대기 위치로 이동시키는 단계; 얼라인 카메라에 의해 상기 글래스 기판의 얼라인 상태를 확인하는 단계; 상기 얼라인 상태 확인 단계에서 상기 글래스 기판이 얼라인된 것으로 확인되면, 상기 스테이지를 상기 본딩 패턴 검사 대기 위치로 이동시키는 단계; 상기 본딩 패턴의 검사 준비가 완료되면, 상기 스테이지를 정지 상태의 상기 라인 스캔 카메라의 하부에서 이동시키는 단계; 센서가 스캔 시작 위치를 알리는 트리거 신호(trigger signal)를 상기 라인 스캔 카메라에 전송하는 단계; 상기 라인 스캔 카메라가 상기 트리거 신호를 수신하면, 상기 본딩 패턴 전체를 스캔하여 스캔 영상을 획득하는 단계; 상기 본딩 패턴에 대한 상기 스캔 영상을 표시장치 상에 디스플레이하는 단계; 상기 스캔 영상을 기초로 상기 본딩 패턴의 전체 또는 일부의 일치 여부를 검사하는 단계; 상기 검사 단계에서의 검사 결과에 따라 상기 본딩 패턴의 양호 또는 불량 여부를 판단하는 단계; 및 상기 본딩 패턴의 검사 완료를 통지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 본딩 패턴에 대한 전체 스캔 영상 획득 시간 및 본팅 패턴의 일치 여부에 대한 검사 시간을 포함한 전체 검사 시간(tact time)이 종래 기술에 비해 현저하게 줄어든다.
2. 조명 부재로 높은 조도의 메탈 할라이드 광원이 사용되므로, 전원 전극의 일측 엣지의 굴곡 형상이 상당히 개선된다. 따라서, 높은 선명도의 스캔 영상 획득이 가능하여 패턴의 일치 여부를 판단하는 정확도가 높아진다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 기술한다.
도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 전원 전극과 패널 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치 및 검사 시스템을 도시한 도면이고, 도 3b는 도 3a에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 전원 전극과 패널 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치 및 검사 시스템의 개략적인 평면도를 도시한 도면이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(300)은 글래스 패널(322)의 하부에 제공되며, 상기 글래스 패널(322)의 얼라인 상태를 확인하기 위한 얼라인 카메라(305); 복수의 패널 전극과 복수의 전원 전극 간의 본딩 패턴의 전체 영역에 대한 스캔 영상(scan image)을 획득하는 라인 스캔 카메라(line scan camera)(330); 상기 라인 스캔 카메라(330)의 초점을 조정하도록 상기 라인 스캔 카메라(330)를 수직 방향으로 이동시키는 초점 조정 부재(340); 상기 라인 스캔 카메라(330)를 상기 초점 조정 부재(340)에 고정 지지하는 지지 홀더(342); 상기 초점 조정 부재(340)를 고정 지지하는 지지 부재(310); 상기 글래스 패널(322)이 장착된 스테이지(390)를 수평방향으로 이동시키는 액추에 이터(미도시); 상기 스테이지(390)의 수평방향 이동을 가이드하는 가이드 부재(392); 상기 글래스 패널(322)의 하부에 위치되고 또한 상기 지지 부재(310)에 고정 장착되며, 상기 글래스 패널(322)에 조명을 제공하는 조명 부재(312); 상기 글래스 패널(322)의 상부에 위치되고 또한 상기 지지 부재(310)에 고정 장착되며, 상기 라인 스캔 카메라(330)의 스캔 시작 위치 또는 스캔 시작 위치 및 스캔 종료 위치를 알려주는 센서(350); 상기 스캔 영상을 디스플레이하는 표시장치(355)(도 5 참조); 및 상기 표시장치(355)에 디스플레이된 상기 스캔 영상을 기초로 상기 본딩 패턴의 일치 여부를 검사하는 검사 디바이스(365)(도 5 참조)로 구성된다.
상술한 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(300)의 구성요소 중 얼라인 카메라(305), 라인 스캔 카메라(330), 초점 조정 부재(340); 액추에이터(미도시), 조명 부재(312), 및 센서(350)의 동작은 제어장치(controller)(370)(도 5 참조)에 의해 제어된다. 이러한 제어장치(370)는 예를 들어, 프로그램가능 논리 제어장치(Programmable Logic Controller: PLC)로 구현될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(300)에서 라인 스캔 카메라(330); 초점 조정 부재(340); 지지 홀더(342); 지지 부재(310);조명 부재(312); 센서(350), 표시장치(355)(도 5 참조), 및 검사 디바이스(365)(도 5 참조)가 본 발명의 검사 장치(301)를 구성한다. 여기서, 표시장치(355)는 예를 들어 컴퓨터 모니터로 구현될 수 있으며, 검사 디바이스(365)는 퍼스널 컴퓨터(PC) 또는 마이크로프로세서(microprocessor)로 구현될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(300)의 각각의 구성요소의 기능 및 동작을 상세히 기술한다.
다시 도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(300)에서는 글래스 패널(322) 상에 복수의 TCP(340) 또는 복수의 FPC(342)의 본딩이 완료되면, 글래스 패널(322)이 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치(301) 쪽으로 이동한다. 그 후, 글래스 패널(322) 상의 본딩 패턴을 검사하기 전에, 글래스 패널(322)은 그 하부에 제공되는 얼라인 카메라(305)에 의해 얼라인 상태가 확인된다. 얼라인 카메라(305)는 예를 들어 CCD 카메라 또는 비전 카메라(vision camera)로 구현될 수 있다. 얼라인 카메라(305)에 의해 글래스 패널(322)의 얼라인 상태가 양호한 것으로 확인되면, 글래스 패널(322)은 각각의 TCP/FPC(340/342)의 복수의 패널 전극(126a,126b,126c)과 복수의 전원 전극(146a,146b,146c) 간의 본딩 패턴(147a,147b,147c)(도 1c 참조)을 검사하기 위한 위치로 이동한다.
한편, 본 발명의 실시예에서는 라인 스캔 카메라(330)가 정지한 상태에서, 스테이지(390)가 액추에이터(미도시)에 의해 가이드 부재(392) 상에서 이동한다. 가이드 부재(392)는 리니어 모션 가이드(Linear motion guide: LM 가이드)로 구현될 수 있다. 이 경우, 라인 스캔 카메라(330)는 스테이지(390)가 이동함에 따라 글래스 패널(322) 상에 형성된 복수의 본딩 패턴 전체에 대한 영상(image)을 스캔한다. 본 발명에 사용되는 라인 스캔 카메라는 예를 들어, 캐나다 온타리오주 워털루에 소재하는 달사 코포레이션(Dalsa Corporation)의 라인 스캔 카메라(모델명: P2- 21-01K40, 해상도: 1024K)로 구현될 수 있다. 본 발명에 사용되는 라인 스캔 카메라(330)는 예를 들어, 피사체인 글래스 패널(322)을 연속적으로 이동하면서 글래스 패널(322) 상에 형성된 복수의 본딩 패턴 전체에 대한 선명한 영상을 획득하는 것이 가능하다.
상술한 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(300)에서 라인 스캔 카메라(330)는 본딩 패턴 전체를 스캔하도록 미리 프로그램된다. 또한, 센서(350)는 라인 스캔 카메라(330)의 스캔 시작 위치를 알려주도록 미리 프로그램된다. 이 경우, 센서(350)가 본딩 패턴을 식별하지 못하는 경우, 라인 스캔 카메라(330)의 스캔 동작이 종료되도록 미리 프로그램된다. 아울러, 센서(350)는 라인 스캔 카메라(330)의 스캔 시작 위치 및 종료 위치를 알려주도록 미리 프로그램될 수도 있다. 예를 들어, 라인 스캔 카메라(330)에 의해 스캔될 본딩 패턴의 전체 수가 300개인 경우, 센서(350)가 제 1번째 본딩 패턴을 감지하면 라인 스캔 카메라(330)의 스캔 동작이 시작되고 제 300번째 본딩 패턴을 감지하면 라인 스캔 카메라(330)가 제 300번째 본딩 패턴의 스캔 동작 후에 스캔 동작을 종료하도록 미리 프로그램될 수도 있다.
상술한 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(300)에서는, 라인 스캔 카메라(330)가 본딩 패턴 전체를 스캔하여 스캔 영상을 획득한다. 그 후, 사용자의 선택에 따라 본딩 패턴의 전체 스캔 영상 또는 일부 스캔 영상(예를 들어, 전체 스캔 영상 중 복수의 TCP(340) 또는 복수의 FPC(342) 각각에 대해 2번째 및 10번째 본딩 패턴의 스캔 영상)이 표시장치(355)(예를 들어 컴퓨터 모니터 등) 상에 디스플레이된다. 이러한 본딩 패턴의 전체 스캔 영상 또는 일부 스캔 영상의 디스플레이는 미리 정해진 프로그램에 의해 수행될 수 있다. 그 후, 사용자의 선택에 따라 검사 디바이스(365)는 본딩 패턴의 전체 스캔 영상 또는 일부 스캔 영상을 기초로 하여 본딩 패턴을 검사한다. 검사 디바이스(365)는 본딩 패턴의 검사가 자동으로 수행되거나 또는 사용자에 의해 수동으로 수행될 수 있도록 미리 프로그램된다.
도 3c는 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템을 사용하여 획득된 스캔 영상의 일부가 표시장치 상에 디스플레이된 것을 예시한 도면이다.
도 3c를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(300)의 검사 디바이스(365)는 본딩 패턴의 검사를 수행한다. 좀 더 구체적으로, 검사 디바이스(365)는 표시장치(355) 상에 디스플레이된 스캔 영상(360)에 나타난 복수의 패널 전극(326)과 복수의 패널 전극(326) 상에 본딩된 복수의 전원 전극(346) 간의 일치 정도 여부에 따라 "양호" 및 "불량"을 결정한다. 이러한 패널 전극(326)과 전원 전극(346) 간의 일치 정도 여부는 하나의 패널 전극(326)의 일측 엣지(326c)와 하나의 전원 전극(346)의 일측 엣지(346c) 간의 거리(distance)에 의해 정해진다. 예를 들어, 일측 엣지(326c)와 일측 엣지(346c) 간의 거리가 하나의 패널 전극(326) 폭(width)의 15% 이하인 경우, 검사 디바이스(365)는 패널 전극(326)과 전원 전극(346)의 일치 여부를 "양호"로 결정할 수 있다. 만일 엣지(326c)와 엣지(346c) 간의 거리가 예를 들어 패널 전극(326) 폭의 15%보다 큰 경 우, 검사 디바이스(365)는 패널 전극(326)과 전원 전극(346)의 일치 여부를 "불량"으로 결정할 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템(300)에 사용되는 조명 부재(312)는 예를 들어, 높은 조도를 제공하는 메탈 할라이드(metal halide) 광원으로 구현될 수 있다. 이러한 메탈 할라이드광원으로 구현되는 조명 부재(312)를 사용하는 경우에 획득된 본딩 패턴에 대한 스캔 영상이 도 3c에 예시적으로 도시되어 있다. 도 3c에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따라 획득된 본딩 패턴에 대한 스캔 영상(360)에 나타난 일측 엣지의 볼록부 및 오목부의 굴곡 형상은 도 2c에 도시된 종래 기술에 따른 본딩 패턴(247)의 볼록부 및 오목부의 굴곡 형상에 비해 상당히 개선되었음을 알 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치에 의해 수행되는 검사 방법을 예시한 플로우차트이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 방법(400)은 복수의 본딩 패턴이 형성된 글래스 기판(322)이 장착된 스테이지(390)를 정지 상태의 라인 스캔 카메라(330) 하부에서 수평방향으로 이동시키는 단계(410); 라인 스캔 카메라(330)가 상기 복수의 본딩 패턴 전체를 스캔하여 스캔 영상(360)을 획득하는 단계(420); 상기 복수의 본딩 패턴에 대한 스캔 영상(360)을 디스플레이하는 단계(430); 상기 복수의 본딩 패턴에 대한 스캔 영상(360)을 기초로 상기 복수의 본딩 패턴의 전체 또는 일부의 일치 여부를 검사하는 단계(440); 및 상기 검사 단계(440)에서의 검사 결과에 따라 상기 복수의 본딩 패턴의 양호 또 는 불량 여부를 판단하는 단계(450)를 포함한다.
상술한 본 발명의 패턴 검사 방법(400)의 스캔 영상 획득 단계(420)에서는 센서(350)가 복수의 본딩 패턴에 대한 스캔 시작 위치를 알려준다. 또한, 스캔 영상 획득 단계(420)에서 센서(350)는 복수의 본딩 패턴에 대한 스캔 동작의 종료 위치를 알려줄 수도 있다.
한편, 본 발명의 패턴 검사 방법(400)의 검사 단계(440)에서는 사용자의 선택에 따라 복수의 본딩 패턴 전체에 대한 일치 여부가 검사되거나 또는 복수의 본딩 패턴 중 일부만에 대한 일치 여부가 검사될 수 있다. 각각의 본딩 패턴에 대한 일치 여부는 검사 디바이스(365)에 의해 행해진다. 이를 위해, 검사 디바이스(365)는 스캔 영상(360)에 나타난 패널 전극(326)과 전원 전극(346) 간의 일치 비율(match proportion)을 연산(calculation)하고 일치 비율에 따른 양호 및 불량 판정을 수행하도록 미리 프로그램되어 있다. 즉, 검사 단계(440)에서의 연산 결과, 일치 비율의 양(예를 들어, 85% 이상 또는 미만)에 따라 판단 단계(450)에서 본딩 패턴의 양호 또는 불량 여부가 판단된다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템에 의해 수행되는 검사 방법을 예시한 도면이다.
도 3 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 방법(500)은 복수의 본딩 패턴이 형성된 글래스 기판(322)이 장착된 스테이지(390)를 얼라인 대기 위치로 이동시키는 단계(505); 얼라인 카메라(305)에 의해 글래스 기판(322)의 얼라인 상태를 확인하는 단계(510); 상기 얼라인 상태 확인 단 계(520)에서 글래스 기판(322)이 얼라인된 것으로 확인되면, 스테이지(390)를 복수의 본딩 패턴 검사 대기 위치로 이동시키는 단계(515); 복수의 본딩 패턴 검사 준비가 완료되면, 스테이지(390)를 정지 상태의 라인 스캔 카메라(330)의 하부에서 이동시키는 단계(520); 센서(350)가 스캔 시작 위치를 알리는 트리거 신호(trigger signal)를 라인 스캔 카메라(330)에 전송하는 단계(525); 상기 라인 스캔 카메라(330)가 상기 트리거 신호(trigger signal)를 수신하면, 상기 복수의 본딩 패턴 전체를 스캔하여 스캔 영상(360)을 획득하는 단계(530); 상기 복수의 본딩 패턴에 대한 스캔 영상(360)을 표시장치(355) 상에 디스플레이하는 단계(535); 상기 복수의 본딩 패턴에 대한 스캔 영상(360)을 기초로 상기 복수의 본딩 패턴의 전체 또는 일부의 일치 여부를 검사하는 단계(540); 상기 검사 단계(540)에서의 검사 결과에 따라 상기 복수의 본딩 패턴의 양호 또는 불량 여부를 판단하는 단계(545); 및 상기 복수의 본딩 패턴의 검사 완료를 통지하는 단계(550)를 포함한다.
상술한 본 발명의 패턴 검사 방법(500)의 스캔 영상 획득 단계(530)에서는 센서(350)의 트리거 신호에 따라 복수의 본딩 패턴에 대한 스캔 동작을 시작한다. 또한, 스캔 영상 획득 단계(530)에서 센서(350)는 복수의 본딩 패턴에 대한 스캔 종료 위치를 알려줄 수도 있다.
한편, 본 발명의 패턴 검사 방법(500)의 검사 단계(540)에서는 사용자의 선택에 따라 복수의 본딩 패턴 전체에 대한 일치 여부가 검사되거나 또는 복수의 본딩 패턴 중 일부만에 대한 일치 여부가 검사될 수 있다. 여부는 검사 디바이스(365)에 의해 행해진다. 이를 위해, 검사 디바이스(365)는 스캔 영상(360)에 나 타난 패널 전극(326)과 전원 전극(346) 간의 일치 비율(match proportion)을 연산(calculation)하고 일치 비율에 따른 양호 및 불량 판정을 수행하도록 미리 프로그램되어 있다. 즉, 검사 단계(540)에서의 연산 결과, 일치 비율의 양(예를 들어, 85% 이상 또는 미만)에 따라 판단 단계(545)에서 본딩 패턴의 양호 또는 불량 여부가 판단된다.
한편, 검사 완료 통지 단계(550)에서 복수의 본딩 패턴 검사가 완료 및 검사 결과가 통지된다. 검사 결과 본딩 패턴이 양호한 경우, 제어장치(370)는 스테이지(390) 상의 글래스 패널(322)을 후속 공정 라인(예를 들어, PCB 조립 공정 라인)으로 이송한다. 만일, 검사 결과 본딩 패턴의 일부가 불량한 경우 제어장치(370)는 스테이지(390) 상의 글래스 패널(322)을 후속 공정 라인(예를 들어, 불량한 본딩 패턴을 수리하기 위한 리페어(repair) 공정 라인)으로 이송한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 라인 스캔 카메라(330)가 정지된 상태에서 스테이지(390) 상의 글래스 패널(322)이 지속적으로 이동하면서 복수의 본딩 패턴 전체가 스캔되므로, 스캔 영상을 획득하는데 요구되는 시간이 상당히 감소된다. 또한, 사용자의 선택에 따라 스캔된 본딩 패턴의 스캔 영상 전체 또는 일부에 대해 본딩 패턴의 일치 여부가 판단되므로, 본딩 패턴의 일치 여부 판단에 소요되는 전체 검사 시간(tact time)도 상당히 감소된다. 구체적으로, 종래 기술과 동일한 조건 하에서 본딩 패턴의 일치 여부 판단에 소요되는 전체 검사 시간(즉, 상술한 바와 같이 TCP(340)의 수가 20개일 경우, 20개의 TCP(340) 전체를 스캔하여 스캔 영상을 획득하는데 필요한 시간과 그 중 선택된 2개의 TCP(340)의 복수의 본딩 패턴 중 2개의 본딩 패턴에 대한 스캔 영상을 기초로 본딩 패턴의 일치 여부를 검사하는데 요구되는 시간을 포함한 전체 검사 시간)은 대략 20초이다. 특히, TCP의 수가 증가될수록 상술한 시간 단축 효과가 명확하게 나타난다. 좀 더 구체적으로, 만일 TCP의 수가 40개인 경우(즉, TCP의 수가 2배 증가될 경우), 종래 기술에서는 전체 검사 시간(즉, 정지 영상 획득 시간 + 4개의 TCP 각각에 형성된 2개의 본딩 패턴에 대한 정지 영상을 기초로 본딩 패턴의 일치 여부를 검사하는데 요구되는 시간)이 대략 60초(30초 x 2배)가 요구된다. 그러나, 본 발명에서는 스캔 카메라(330)에 의해 연속적으로 스캔 영상을 획득되고 또한 4개의 TCP 각각에 형성된 2개의 본딩 패턴에 대한 스캔 영상을 기초로 본딩 패턴의 일치 여부 검사도 거의 동시에 이루어질 수 있으므로, 전체 검사 시간이 대략 1초 내지 2초 정도 증가되어 대략 21초 내지 22초 정도가 소요된다. 따라서, 검사용 TCP의 수 및 본딩 패턴의 수가 증가할 수록, 본 발명에 따른 전체 검사 시간이 종래 기술에 비해 급격히 감소한다는 것이 용이하게 이해될 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 조명 부재로 메탈 할라이드 광원이 사용되어, 스캔 영상의 선명도가 현저하게 개선된다. 그 결과, 본딩 패턴의 일치 여부 판단시에 발생하는 있는 오류가 발생이 상당히 줄어든다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아 니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
도 1a는 종래 기술에 따른 PDP 패널 또는 LCD 제조용 글래스 패널 상에 전원 공급 필름을 공급하는 전원 공급 필름 공급 장치의 개략적인 평면도를 도시한 도면이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 전원 공급 필름 공급 장치에 의해 공급된 하나의 TCP/FPC의 평면도를 도시한 도면이다.
도 1c는 TCP/FPC의 전원 전극 과 패널 전극 간의 본딩 패턴을 도시한 도면이다.
도 2a는 도 1b 및 도 1c에 도시된 종래 기술에 따른 전원 전극과 패널 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치, 검사 시스템, 및 그에 따른 검사 방법을 도시한 도면이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 종래 기술에 따른 전원 전극과 패널 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치 및 검사 시스템의 개략적인 평면도를 도시한 도면이다.
도 2c는 LED 광원으로 구현되는 조명 부재를 사용하여 획득된 본딩 패턴 영역에 대한 정지 영상의 일 실시예를 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 전원 전극과 패널 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치 및 검사 시스템을 도시한 도면이다.
도 3b는 도 3a에 도시된 본 발명의 실시예에 따른 전원 전극과 패널 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치 및 검사 시스템의 개략적인 평면도를 도시한 도면이다.
도 3c는 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템을 사용 하여 획득된 스캔 영상의 일부가 표시장치 상에 디스플레이된 것을 예시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 장치에 의해 수행되는 검사 방법을 예시한 플로우차트이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 전극 간의 본딩 패턴 검사 시스템에 의해 수행되는 검사 방법을 예시한 도면이다.

Claims (28)

  1. 글래스 패널 상의 복수의 전원 전극 및 복수의 패널 전극 간의 본딩 패턴을 검사하는 검사 장치에 있어서,
    상기 글래스 패널이 이동하면서 상기 본딩 패턴의 전체 영역에 대한 스캔 영상(scan image)을 획득하는 라인 스캔 카메라(line scan camera);
    상기 라인 스캔 카메라의 초점을 조정하도록 상기 라인 스캔 카메라를 수직 방향으로 이동시키는 초점 조정 부재;
    상기 라인 스캔 카메라를 상기 초점 조정 부재에 고정 지지하는 지지 홀더;
    상기 초점 조정 부재를 고정 지지하는 지지 부재;
    상기 글래스 패널의 하부에 위치되고 또한 상기 지지 부재에 고정 장착되며, 상기 글래스 패널에 조명을 제공하는 조명 부재;
    상기 글래스 패널의 상부에 위치되고 또한 상기 지지 부재에 고정 장착되며, 상기 라인 스캔 카메라의 스캔 시작 위치 또는 스캔 시작 위치 및 스캔 종료 위치를 알려주는 센서;
    상기 스캔 영상을 디스플레이하는 표시장치; 및
    상기 표시장치에 디스플레이된 상기 스캔 영상을 기초로 상기 본딩 패턴의 일치 여부를 검사하는 검사 디바이스
    를 포함하고,
    상기 센서는 상기 라인 스캔 카메라의 상기 스캔 시작 위치 및 상기 스캔 종료 위치를 알려주도록 미리 프로그램되는
    본딩 패턴 검사 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 본딩 패턴 검사 장치는 상기 라인 스캔 카메라, 상기 초점 조정 부재, 상기 조명 부재, 및 상기 센서의 동작을 제어하는 제어장치(controller)를 추가로 포함하는 본딩 패턴 검사 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제어장치는 프로그램가능 논리 제어장치(Programmable Logic Controller: PLC)로 구현되고,
    상기 검사 디바이스는 퍼스널 컴퓨터(PC) 또는 마이크로프로세서(microprocessor)로 구현되는
    본딩 패턴 검사 장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서는 상기 본딩 패턴을 식별하지 못하는 경우 상기 라인 스캔 카메라의 스캔 동작이 종료되도록 미리 프로그램되는
    본딩 패턴 검사 장치.
  5. 삭제
  6. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    사용자의 선택에 따라 상기 본딩 패턴의 전체 스캔 영상 또는 일부 스캔 영상이 상기 표시장치 상에 디스플레이되는 본딩 패턴 검사 장치.
  7. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검사 디바이스는 상기 본딩 패턴 검사 동작을 자동으로 수행하거나 또는 사용자가 수동으로 수행할 수 있는 미리 프로그램되는 본딩 패턴 검사 장치.
  8. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 본딩 패턴의 일치 여부가 상기 패널 전극의 일측 엣지와 상기 전원 전극의 일측 엣지 간의 거리(distance)에 의해 판단되는 본딩 패턴 검사 장치.
  9. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 조명 부재가 메탈 할라이드(metal halide) 광원으로 구현되는 본딩 패턴 검사 장치.
  10. 글래스 패널 상의 복수의 전원 전극 및 복수의 패널 전극 간의 본딩 패턴을 검사하는 검사 시스템에 있어서,
    상기 글래스 패널의 하부에 제공되며, 상기 글래스 패널의 얼라인 상태를 확인하기 위한 얼라인 카메라;
    상기 글래스 패널이 이동하면서 상기 본딩 패턴의 전체 영역에 대한 스캔 영상(scan image)을 획득하는 라인 스캔 카메라(line scan camera);
    상기 라인 스캔 카메라의 초점을 조정하도록 상기 라인 스캔 카메라를 수직 방향으로 이동시키는 초점 조정 부재;
    상기 라인 스캔 카메라를 상기 초점 조정 부재에 고정 지지하는 지지 홀더;
    상기 초점 조정 부재를 고정 지지하는 지지 부재;
    상기 글래스 패널이 장착된 스테이지를 수평방향으로 이동시키는 액추에이터;
    상기 스테이지의 수평방향 이동을 가이드하는 가이드 부재;
    상기 글래스 패널의 하부에 위치되고 또한 상기 지지 부재에 고정 장착되며, 상기 글래스 패널에 조명을 제공하는 조명 부재;
    상기 글래스 패널의 상부에 위치되고 또한 상기 지지 부재에 고정 장착되며, 상기 라인 스캔 카메라의 스캔 시작 위치 또는 스캔 시작 위치 및 스캔 종료 위치를 알려주는 센서;
    상기 스캔 영상을 디스플레이하는 표시장치; 및
    상기 표시장치에 디스플레이된 상기 스캔 영상을 기초로 상기 본딩 패턴의 일치 여부를 검사하는 검사 디바이스
    를 포함하고,
    상기 센서는 상기 라인 스캔 카메라의 상기 스캔 시작 위치 및 상기 스캔 종료 위치를 알려주도록 미리 프로그램되는
    본딩 패턴 검사 시스템.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 본딩 패턴 검사 시스템은 상기 라인 스캔 카메라, 상기 초점 조정 부재, 상기 조명 부재, 및 상기 센서의 동작을 제어하는 제어장치(controller)를 추가로 포함하는 본딩 패턴 검사 시스템.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 얼라인 카메라는 CCD 카메라 또는 비전 카메라로 구현되고,
    상기 제어장치는 프로그램가능 논리 제어장치(Programmable Logic Controller: PLC)로 구현되며,
    상기 검사 디바이스는 퍼스널 컴퓨터(PC) 또는 마이크로프로세서(microprocessor)로 구현되고,
    상기 가이드 부재는 LM 가이드로 구현되는
    본딩 패턴 검사 시스템.
  13. 제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서는 상기 본딩 패턴을 식별하지 못하는 경우 상기 라인 스캔 카메라의 스캔 동작이 종료되도록 미리 프로그램되는
    본딩 패턴 검사 시스템.
  14. 삭제
  15. 제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    사용자의 선택에 따라 상기 본딩 패턴의 전체 스캔 영상 또는 일부 스캔 영상이 상기 표시장치 상에 디스플레이되는 본딩 패턴 검사 시스템.
  16. 제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검사 디바이스는 상기 본딩 패턴 검사 동작을 자동으로 수행하거나 또는 사용자가 수동으로 수행할 수 있는 미리 프로그램되는 본딩 패턴 검사 시스템.
  17. 제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 본딩 패턴의 일치 여부가 상기 패널 전극의 일측 엣지와 상기 전원 전극의 일측 엣지 간의 거리(distance)에 의해 판단되는 본딩 패턴 검사 시스템.
  18. 제 10항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 조명 부재가 메탈 할라이드(metal halide) 광원으로 구현되는 본딩 패턴 검사 시스템.
  19. 글래스 패널 상의 복수의 전원 전극 및 복수의 패널 전극 간의 본딩 패턴을 검사하는 검사 방법에 있어서,
    상기 본딩 패턴이 형성된 상기 글래스 기판이 장착된 스테이지를 정지 상태의 라인 스캔 카메라 하부에서 수평방향으로 이동시키는 단계;
    상기 라인 스캔 카메라가 상기 본딩 패턴 전체를 스캔하여 스캔 영상을 획득하는 단계;
    상기 본딩 패턴에 대한 상기 스캔 영상을 디스플레이하는 단계;
    상기 스캔 영상을 기초로 상기 본딩 패턴의 전체 또는 일부의 일치 여부를 검사하는 단계; 및
    상기 검사 단계에서의 검사 결과에 따라 상기 본딩 패턴의 양호 또는 불량 여부를 판단하는 단계
    를 포함하고,
    상기 스캔 영상 획득 단계는 센서가 상기 본딩 패턴에 대한 스캔 종료 위치를 알려주는 단계를 추가로 포함하는
    본딩 패턴 검사 방법.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 스캔 영상 획득 단계는 상기 센서가 상기 본딩 패턴에 대한 스캔 시작 위치를 알려주는 단계를 포함하는 본딩 패턴 검사 방법.
  21. 삭제
  22. 제 19항 또는 제 20항에 있어서,
    상기 검사 단계에서는 사용자의 선택에 따라 상기 본딩 패턴 전체에 대한 일치 여부가 검사되거나 또는 상기 본딩 패턴 중 일부만에 대한 일치 여부가 검사되는 본딩 패턴 검사 방법.
  23. 제 22항에 있어서,
    상기 본딩 패턴의 일치 여부가 상기 패널 전극의 일측 엣지와 상기 전원 전극의 일측 엣지 간의 거리(distance)에 의해 판단되는 본딩 패턴 검사 방법.
  24. 글래스 패널 상의 복수의 전원 전극 및 복수의 패널 전극 간의 본딩 패턴을 검사하는 검사 방법에 있어서,
    상기 본딩 패턴이 형성된 상기 글래스 기판이 장착된 스테이지를 얼라인 대기 위치로 이동시키는 단계;
    얼라인 카메라에 의해 상기 글래스 기판의 얼라인 상태를 확인하는 단계;
    상기 얼라인 상태 확인 단계에서 상기 글래스 기판이 얼라인된 것으로 확인되면, 상기 스테이지를 상기 본딩 패턴 검사 대기 위치로 이동시키는 단계;
    상기 본딩 패턴의 검사 준비가 완료되면, 상기 스테이지를 정지 상태의 상기 라인 스캔 카메라의 하부에서 이동시키는 단계;
    센서가 스캔 시작 위치를 알리는 트리거 신호(trigger signal)를 상기 라인 스캔 카메라에 전송하는 단계;
    상기 라인 스캔 카메라가 상기 트리거 신호를 수신하면, 상기 본딩 패턴 전체를 스캔하여 스캔 영상을 획득하는 단계;
    상기 본딩 패턴에 대한 상기 스캔 영상을 표시장치 상에 디스플레이하는 단계;
    상기 스캔 영상을 기초로 상기 본딩 패턴의 전체 또는 일부의 일치 여부를 검사하는 단계;
    상기 검사 단계에서의 검사 결과에 따라 상기 본딩 패턴의 양호 또는 불량 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 본딩 패턴의 검사 완료를 통지하는 단계
    를 포함하는 본딩 패턴 검사 방법.
  25. 제 24항에 있어서,
    상기 스캔 영상 획득 단계에서 상기 트리거 신호는 상기 본딩 패턴에 대한 스캔 시작 위치를 알려주는 신호인 본딩 패턴 검사 방법.
  26. 제 25항에 있어서,
    상기 스캔 영상 획득 단계는 상기 센서가 상기 본딩 패턴에 대한 스캔 종료 위치를 알려주는 단계를 추가로 포함하는 본딩 패턴 검사 방법.
  27. 제 24항 내지 제 26항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 검사 단계에서는 사용자의 선택에 따라 상기 본딩 패턴 전체에 대한 일치 여부가 검사되거나 또는 상기 본딩 패턴 중 일부만에 대한 일치 여부가 검사되는 본딩 패턴 검사 방법.
  28. 제 27항에 있어서,
    상기 본딩 패턴의 일치 여부가 상기 패널 전극의 일측 엣지와 상기 전원 전극의 일측 엣지 간의 거리(distance)에 의해 판단되는 본딩 패턴 검사 방법.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100760827B1 (ko) * 2005-12-29 2007-09-27 주식회사 인지디스플레이 Ｌｃｄ 탑샤시용 탭 검사장치 및 검사방법
KR100768120B1 (ko) * 2006-02-17 2007-10-17 (주)알티에스 패널 검사 장치
KR20070121473A (ko) * 2006-06-22 2007-12-27 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시소자 결함 검사장치 및 그 제어방법

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