JPH08234011A - カラーフィルタ基板及びその製造方法 - Google Patents
カラーフィルタ基板及びその製造方法Info
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- JPH08234011A JPH08234011A JP3745595A JP3745595A JPH08234011A JP H08234011 A JPH08234011 A JP H08234011A JP 3745595 A JP3745595 A JP 3745595A JP 3745595 A JP3745595 A JP 3745595A JP H08234011 A JPH08234011 A JP H08234011A
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- Japan
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- layer
- color filter
- substrate
- adhesive layer
- shielding layer
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 本発明のカラーフィルタ基板は、透明基板上
に、所定の形状に形成された黒鉛を有する遮光層と前記
遮光層間に配置された着色層が形成されており、遮光層
部分と透明基板との間に少なくとも接着層を設けること
を特徴とする。 【効果】 透明基板と遮光層との間に接着層を形成する
ことにより、遮光層の外的付加による剥離がなくなり、
品質の安定したカラーフィルタ基板を得ることができ
る。
に、所定の形状に形成された黒鉛を有する遮光層と前記
遮光層間に配置された着色層が形成されており、遮光層
部分と透明基板との間に少なくとも接着層を設けること
を特徴とする。 【効果】 透明基板と遮光層との間に接着層を形成する
ことにより、遮光層の外的付加による剥離がなくなり、
品質の安定したカラーフィルタ基板を得ることができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルタ基板、
特に液晶表示用に好適なカラーフィルタ基板及びその製
造方法に関する。
特に液晶表示用に好適なカラーフィルタ基板及びその製
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、カラーフィルタ基板２１は、図
４に示すように、透明基板１１上に、所定の形状に形成
された遮光層１３とこの遮光層１３間をほぼ埋めるよう
に形成された着色層１４とからが形成されている。この
着色層１４上には、透明電極１５が形成されている。
４に示すように、透明基板１１上に、所定の形状に形成
された遮光層１３とこの遮光層１３間をほぼ埋めるよう
に形成された着色層１４とからが形成されている。この
着色層１４上には、透明電極１５が形成されている。
【０００３】一般に、遮光層には、クロム等の金属膜あ
るいは黒色顔料を含有した有機樹脂を用いている。近
年、これらに代るものとして、黒鉛を用いた遮光層が注
目されている。黒鉛を有する遮光層は、厚さ１μｍ以下
と薄くても光学濃度が得られ、しかもクロムとくらべ安
価という利点がある。
るいは黒色顔料を含有した有機樹脂を用いている。近
年、これらに代るものとして、黒鉛を用いた遮光層が注
目されている。黒鉛を有する遮光層は、厚さ１μｍ以下
と薄くても光学濃度が得られ、しかもクロムとくらべ安
価という利点がある。
【０００４】この黒鉛を有する遮光層の形成方法は、ま
ず、透明基板上に水溶性樹脂層を塗布、乾燥後、フォト
リソグラフィ法により、遮光層が形成される部分の水溶
性樹脂を除去して、レジストパターンを形成する。次
に、レジストパターン上に、黒鉛４重量％、ケイ素化合
物５重量％、界面活性材０．０２重量％、残部水からな
る黒鉛塗料を塗布し、仮乾燥を行なう。その後、スルフ
ァミン酸飽和水溶液を用いてレジストを分解、除去して
遮光層を得る。
ず、透明基板上に水溶性樹脂層を塗布、乾燥後、フォト
リソグラフィ法により、遮光層が形成される部分の水溶
性樹脂を除去して、レジストパターンを形成する。次
に、レジストパターン上に、黒鉛４重量％、ケイ素化合
物５重量％、界面活性材０．０２重量％、残部水からな
る黒鉛塗料を塗布し、仮乾燥を行なう。その後、スルフ
ァミン酸飽和水溶液を用いてレジストを分解、除去して
遮光層を得る。
【０００５】そして、透明基板上に遮光層を形成した
後、基板を洗浄し、印刷法，染色法，顔料分散法等の方
法により遮光層間をほぼ埋めるようにして着色層を形成
し、カラーフィルタ基板を製造する。
後、基板を洗浄し、印刷法，染色法，顔料分散法等の方
法により遮光層間をほぼ埋めるようにして着色層を形成
し、カラーフィルタ基板を製造する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】黒鉛を有する遮光層が
形成されたカラーフィルタ基板には、以下のような問題
があった。即ち、黒鉛の透明基板に対する付着力が弱い
ため、外的付加により剥離しやすく、カラーフィルタ基
板の品質の低下を招いた。また、遮光層が剥離すること
により、発塵して基板や基板周辺のクリーン度が悪化す
ることがあった。
形成されたカラーフィルタ基板には、以下のような問題
があった。即ち、黒鉛の透明基板に対する付着力が弱い
ため、外的付加により剥離しやすく、カラーフィルタ基
板の品質の低下を招いた。また、遮光層が剥離すること
により、発塵して基板や基板周辺のクリーン度が悪化す
ることがあった。
【０００７】また、黒鉛を有する遮光層が形成されたカ
ラーフィルタ基板の製造方法においては、着色層形成前
の基板洗浄等の外的な要因による遮光層の剥離という問
題があった。
ラーフィルタ基板の製造方法においては、着色層形成前
の基板洗浄等の外的な要因による遮光層の剥離という問
題があった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
基板は、透明基板上に、所定の形状に形成された黒鉛を
有する遮光層と前記遮光層間に配置された着色層が形成
されており、遮光層部分と透明基板との間に少なくとも
接着層を設けることを特徴とする。
基板は、透明基板上に、所定の形状に形成された黒鉛を
有する遮光層と前記遮光層間に配置された着色層が形成
されており、遮光層部分と透明基板との間に少なくとも
接着層を設けることを特徴とする。
【０００９】本発明のカラーフィルタ基板の製造方法
は、透明基板上に接着層を形成する工程と、接着層上に
所定の形状に水溶性樹脂層を形成する工程と、接着層及
び水溶性樹脂層上に黒鉛塗料を塗布し乾燥して黒鉛塗料
層を形成する工程と、水溶性樹脂層を除去すると共にこ
の水溶性樹脂層上に形成された黒鉛塗料層をも除去して
遮光層を形成する工程とを含むことを特徴とする。
は、透明基板上に接着層を形成する工程と、接着層上に
所定の形状に水溶性樹脂層を形成する工程と、接着層及
び水溶性樹脂層上に黒鉛塗料を塗布し乾燥して黒鉛塗料
層を形成する工程と、水溶性樹脂層を除去すると共にこ
の水溶性樹脂層上に形成された黒鉛塗料層をも除去して
遮光層を形成する工程とを含むことを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明のカラーフィルタ基板は、透明基板と遮
光層との間に接着層を形成することにより、遮光層の外
的付加による剥離がなくなり、品質の安定したカラーフ
ィルタ基板を得ることができる。
光層との間に接着層を形成することにより、遮光層の外
的付加による剥離がなくなり、品質の安定したカラーフ
ィルタ基板を得ることができる。
【００１１】また、本発明のカラーフィルタの製造方法
は、透明基板と遮光層との間に接着層を形成する工程が
あるため、例えば着色層形成前の洗浄等の外的付加によ
る遮光層の剥離がなくなり、品質の安定したカラーフィ
ルタ基板が得られると共に、遮光層が剥離して発塵する
ことによる基板や基板周辺部のクリーン度の悪化を防止
する。
は、透明基板と遮光層との間に接着層を形成する工程が
あるため、例えば着色層形成前の洗浄等の外的付加によ
る遮光層の剥離がなくなり、品質の安定したカラーフィ
ルタ基板が得られると共に、遮光層が剥離して発塵する
ことによる基板や基板周辺部のクリーン度の悪化を防止
する。
【００１２】
【実施例】以下に本発明を実施例により具体的に示す
が、本発明はこの実施例に限定されるものではない。本
実施例のカラーフィルタ基板を、単純マトリクス型液晶
表示装置用のカラーフィルタ基板を例にして、図１を用
いて説明する。
が、本発明はこの実施例に限定されるものではない。本
実施例のカラーフィルタ基板を、単純マトリクス型液晶
表示装置用のカラーフィルタ基板を例にして、図１を用
いて説明する。
【００１３】図１に示すように、カラーフィルタ基板２
１は、透明基板１１上に接着層１２が形成され、この接
着層上に黒鉛を有する遮光層１３がストライプ形状に形
成されており、この遮光層１３の間を埋めるようにＲ
（赤）１４ａ，Ｇ（緑）１４ｂ，Ｂ（青）１４ｃの着色
層１４が形成されている。この着色層１４上には、遮光
層１３のストライプ形状と交差するように透明電極１５
がストライプ状に形成されている。前記接着層１２はア
クリル樹脂からなり、遮光層１３は、黒鉛、珪素酸化物
を主成分としてなる。
１は、透明基板１１上に接着層１２が形成され、この接
着層上に黒鉛を有する遮光層１３がストライプ形状に形
成されており、この遮光層１３の間を埋めるようにＲ
（赤）１４ａ，Ｇ（緑）１４ｂ，Ｂ（青）１４ｃの着色
層１４が形成されている。この着色層１４上には、遮光
層１３のストライプ形状と交差するように透明電極１５
がストライプ状に形成されている。前記接着層１２はア
クリル樹脂からなり、遮光層１３は、黒鉛、珪素酸化物
を主成分としてなる。
【００１４】カラーフィルタ基板２１の製造方法を図３
を用いて以下に説明する。まず、図３（ａ）に示すよう
に、透明基板であるガラス基板１１（０．７ｍｍまたは
１．１ｍｍのコーニング社製７０５９を使用）上に、ア
クリル樹脂を１μｍ以下に塗布して接着層１２を設け
る。次に、図３（ｂ）に示すように、この接着層１２上
に水溶性樹脂であるポリビニルピロリドンからなるポジ
型レジスト２２をスピンナを用いて約１μｍの膜厚に塗
布する。その後、フォトリソグラフィの工程を経て、図
３（ｃ）に示すように、遮光層１３を形成する部分に対
応するレジスト２２を除去するようにして所定のパター
ン２２ａを得る。次に図３（ｄ）に示すように、所定の
レジストパターン２２ａ上に、平均粒径０．６５μｍの
黒鉛を４重量％、珪素化合物５重量％、界面活性材０．
０２重量％、残部水からなる黒鉛塗料を、スピンナを用
いて約１μｍの膜厚に塗布し、１００℃、３０分間大気
中で仮乾燥し、黒鉛塗料層２３を得る。次に、スルファ
ミン酸飽和水溶液を用いてレジスト２２を分解し、高圧
水流を用いてレジストパターン２２ａとこのレジストパ
ターン２２ａ上に形成された黒鉛塗料層２３を除去す
る。その後、２００℃、２時間大気中にて焼成し完全に
黒鉛塗料層を乾燥して、遮光層１３を得る。この後、基
板を洗浄したが、遮光層１３の剥離はなかった。基板洗
浄後、周知の技術例えば印刷法等で遮光層１３間を埋め
るようにＲ，Ｇ，Ｂの着色層１４を形成し、その後着色
層１４上にスッパッタリング法により透明電極を形成し
て図１に示すようなカラーフィルタ基板２１を得た。
を用いて以下に説明する。まず、図３（ａ）に示すよう
に、透明基板であるガラス基板１１（０．７ｍｍまたは
１．１ｍｍのコーニング社製７０５９を使用）上に、ア
クリル樹脂を１μｍ以下に塗布して接着層１２を設け
る。次に、図３（ｂ）に示すように、この接着層１２上
に水溶性樹脂であるポリビニルピロリドンからなるポジ
型レジスト２２をスピンナを用いて約１μｍの膜厚に塗
布する。その後、フォトリソグラフィの工程を経て、図
３（ｃ）に示すように、遮光層１３を形成する部分に対
応するレジスト２２を除去するようにして所定のパター
ン２２ａを得る。次に図３（ｄ）に示すように、所定の
レジストパターン２２ａ上に、平均粒径０．６５μｍの
黒鉛を４重量％、珪素化合物５重量％、界面活性材０．
０２重量％、残部水からなる黒鉛塗料を、スピンナを用
いて約１μｍの膜厚に塗布し、１００℃、３０分間大気
中で仮乾燥し、黒鉛塗料層２３を得る。次に、スルファ
ミン酸飽和水溶液を用いてレジスト２２を分解し、高圧
水流を用いてレジストパターン２２ａとこのレジストパ
ターン２２ａ上に形成された黒鉛塗料層２３を除去す
る。その後、２００℃、２時間大気中にて焼成し完全に
黒鉛塗料層を乾燥して、遮光層１３を得る。この後、基
板を洗浄したが、遮光層１３の剥離はなかった。基板洗
浄後、周知の技術例えば印刷法等で遮光層１３間を埋め
るようにＲ，Ｇ，Ｂの着色層１４を形成し、その後着色
層１４上にスッパッタリング法により透明電極を形成し
て図１に示すようなカラーフィルタ基板２１を得た。
【００１５】本実施例のカラーフィルタ基板では、透明
電極が形成されていない部分に対応する遮光層の剥離が
防止することができる。また、本実施例のように接着層
がべたで塗られる場合は、液晶表示素子としたときの着
色層部分に対応する部分の光透過を考慮すると接着層が
透明である必要がある。また、接着層は遮光層形成後、
接着層と遮光層とを合わせた厚さが約１〜２μｍが望ま
しい。
電極が形成されていない部分に対応する遮光層の剥離が
防止することができる。また、本実施例のように接着層
がべたで塗られる場合は、液晶表示素子としたときの着
色層部分に対応する部分の光透過を考慮すると接着層が
透明である必要がある。また、接着層は遮光層形成後、
接着層と遮光層とを合わせた厚さが約１〜２μｍが望ま
しい。
【００１６】また、本実施例のカラーフィルタ基板は接
着層がべたで形成されている状態であるが、図２に示す
ように遮光層１３に対応する部分のみに接着層１２が形
成されていれば良く、遮光層１３の剥離を防止できる。
製法としては、上記製法工程の遮光層形成後に、遮光層
が形成されていない部分の接着層をＵＶアッシングを施
して削除して作成できる。この場合、接着層１２は、遮
光層１３と透明基板１１との接着のみを考慮すれば良い
ので、必ずしも透明である必要はない。
着層がべたで形成されている状態であるが、図２に示す
ように遮光層１３に対応する部分のみに接着層１２が形
成されていれば良く、遮光層１３の剥離を防止できる。
製法としては、上記製法工程の遮光層形成後に、遮光層
が形成されていない部分の接着層をＵＶアッシングを施
して削除して作成できる。この場合、接着層１２は、遮
光層１３と透明基板１１との接着のみを考慮すれば良い
ので、必ずしも透明である必要はない。
【００１７】このように少なくとも遮光層が形成される
部分のみに接着層が形成されることによって、着色層形
成前の洗浄等の外的付加による遮光層の剥離がなくな
り、品質の安定したカラーフィルタ基板が得られると共
に、遮光層が剥離して発塵することによる基板や基板周
辺部のクリーン度の悪化を防止する。
部分のみに接着層が形成されることによって、着色層形
成前の洗浄等の外的付加による遮光層の剥離がなくな
り、品質の安定したカラーフィルタ基板が得られると共
に、遮光層が剥離して発塵することによる基板や基板周
辺部のクリーン度の悪化を防止する。
【００１８】上記実施例では、接着層の材料としてアク
リル樹脂を用いたが、これに限られず、透明基板との接
着性及び遮光層との接着性の良好なものであれば良く、
他に、熱可塑性接着剤、熱硬化性接着剤、無機接着剤等
が用いることができ、具体的には尿素樹脂系、フェノー
ル樹脂系、エポキシ樹脂系、ポリウレタン系、ポリ酢酸
ビニル系、シリコーン系等を用いることができる。ま
た、透明基板と接着剤との接着性が良好でなくとも、例
えば透明基板の表面をプライマー処理を施す方法もあ
る。
リル樹脂を用いたが、これに限られず、透明基板との接
着性及び遮光層との接着性の良好なものであれば良く、
他に、熱可塑性接着剤、熱硬化性接着剤、無機接着剤等
が用いることができ、具体的には尿素樹脂系、フェノー
ル樹脂系、エポキシ樹脂系、ポリウレタン系、ポリ酢酸
ビニル系、シリコーン系等を用いることができる。ま
た、透明基板と接着剤との接着性が良好でなくとも、例
えば透明基板の表面をプライマー処理を施す方法もあ
る。
【００１９】
【発明の効果】本発明のカラーフィルタ基板は、透明基
板と遮光層との間に接着層を形成することにより、遮光
層の外的付加による剥離がなくなり、品質の安定したカ
ラーフィルタ基板を得ることができる。
板と遮光層との間に接着層を形成することにより、遮光
層の外的付加による剥離がなくなり、品質の安定したカ
ラーフィルタ基板を得ることができる。
【００２０】また、本発明のカラーフィルタの製造方法
は、透明基板と遮光層との間に接着層を形成する工程が
あるため、例えば着色層形成前の洗浄等の外的付加によ
る遮光層の剥離がなくなり、品質の安定したカラーフィ
ルタ基板が得られると共に、遮光層が剥離して発塵する
ことによる基板や基板周辺部のクリーン度の悪化を防止
する。
は、透明基板と遮光層との間に接着層を形成する工程が
あるため、例えば着色層形成前の洗浄等の外的付加によ
る遮光層の剥離がなくなり、品質の安定したカラーフィ
ルタ基板が得られると共に、遮光層が剥離して発塵する
ことによる基板や基板周辺部のクリーン度の悪化を防止
する。
【図１】本発明の実施例を示すカラーフィルタの横断面
図
図
【図２】本発明の他の実施例を示すカラーフィルタの断
面図。
面図。
【図３】図１に示すカラーフィルタの製造方法の一部を
示す図。
示す図。
【図４】従来のカラーフィルタを示す横断面図。
１１…透明基板 １２…接着層 １３…黒鉛を有する遮光層 １４…着色層 ２１…カラーフィルタ基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若井 千鶴子 神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地 株 式会社東芝横浜事業所内
Claims (2)
- 【請求項１】透明基板上に、所定の形状に形成された黒
鉛を有する遮光層と前記遮光層間に配置された着色層が
形成されているカラーフィルタ基板において、前記遮光
層部分と透明基板との間に少なくとも接着層を設けるこ
とを特徴とするカラーフィルタ基板。 - 【請求項２】透明基板上に接着層を形成する工程と、前
記接着層上に所定の形状に水溶性樹脂層を形成する工程
と、前記接着層及び水溶性樹脂層上に黒鉛塗料を塗布し
乾燥して黒鉛塗料層を形成する工程と、前記水溶性樹脂
層を除去すると共にこの水溶性樹脂層上に形成された黒
鉛塗料層をも除去して遮光層を形成する工程とを含むカ
ラーフィルタ基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3745595A JPH08234011A (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | カラーフィルタ基板及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3745595A JPH08234011A (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | カラーフィルタ基板及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08234011A true JPH08234011A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=12498000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3745595A Pending JPH08234011A (ja) | 1995-02-27 | 1995-02-27 | カラーフィルタ基板及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08234011A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010066757A (ja) * | 2008-08-13 | 2010-03-25 | Dainichiseika Color & Chem Mfg Co Ltd | カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター基板およびカラーフィルター |
-
1995
- 1995-02-27 JP JP3745595A patent/JPH08234011A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010066757A (ja) * | 2008-08-13 | 2010-03-25 | Dainichiseika Color & Chem Mfg Co Ltd | カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター基板およびカラーフィルター |
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