JPH08233789A - 超音波検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 間隙部５を取囲む壁面１上に配置され、間隙
部を介してのみ到達可能な構成部品１の超音波検査方
法、及び超音波検査装置を提供する。 【解決手段】 超音波検査ヘッド２３を搭載するキャリ
ア２１を間隙部５の内部に送込んで、超音波検査ヘッド
２３の構成部品１に対する位置合せを行い、超音波検査
ヘッド２３を、キャリア２１の送込み方向に対してほぼ
垂直方向に、キャリア２１から構成部品１に向けて突出
させた後、超音波を構成部品１に対して発射し、超音波
検査の終了後、超音波検査ヘッド２３をキャリア２１の
内部に引戻して、次の検査を行う位置へ移動する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、間隙部を取囲む壁
面上に配置され、間隙部を介してのみ到達可能な構成部
品の超音波検査方法、及びそのために使用される超音波
検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在まで、上述の様な位置に配置された
構成部品（例えば固定ボルトなど）については、検査機
器を当該構成部品の位置に到達させることが困難なため
に、設置工事の後、繰返して検査が行われることはなか
った。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、最新の安全規
則では、一定の工業設備に対しては、この様な部品に対
しても、検査が義務付けられている。本発明の目的は、
間隙部を介してのみ到達可能な構成部品の超音波検査方
法、及びそのために使用される超音波検査装置を提供す
ることにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】以上の目的は、請求項１
に記載された超音波検査方法、及び請求項２から請求項
７までに記載された超音波検査装置により達成される。

【０００５】即ち、本発明に基づく超音波検査方法は、
間隙部を取囲む壁面上に配置され、間隙部を介してのみ
到達可能な構成部品の超音波検査方法であって、下記特
徴を備える。

【０００６】ａ．超音波検査ヘッドを搭載するキャリア
を間隙部の内部に送込んで、超音波検査用ヘッドの前記
構成部品に対する位置合せを行い、 ｂ．超音波検査ヘッドを、キャリアの送込み方向に対し
てほぼ垂直方向に、キャリアから前記構成部品に向けて
突出させた後、超音波を前記構成部品に対して発射し、 ｃ．超音波検査の終了後、超音波検査ヘッドをキャリア
の内部に引戻して、次に検査を行う位置へ移動する。

【０００７】また、本発明に基づく超音波検査装置は、
内筒が外筒に対して軸方向上方に突き出た、二つの円筒
の間に形成された間隙部の内部で、上記の超音波検査方
法を実施するための超音波検査装置装置であって、下記
特徴を備える。

【０００８】ａ．外筒の軸方向上方に位置し、内筒上に
配置された環状のレールと、 ｂ．環状のレールに沿って走行するキャリッジと、 ｃ．キャリッジに取付けられたスライド部材と、 ｄ．スライド部材の内部を貫通し、スライド部材に対し
て移動可能で、その先端部が外筒の軸方向上方に位置す
るガイドレールと、 ｅ．間隙部の内部に送込み可能で、且つ、ガイドレール
に沿って移動可能な探触子と、 ｆ．探触子の先端に位置するエンドピースに接続され、
探触子の移動方向に対して直角方向に移動可能なサイド
レールと、 ｇ．サイドレールの少なくとも一方の端部に備えられ、
サイドレールの軸方向に、サイドレールに対して移動可
能なキャリアと、 ｈ．キャリアに搭載された超音波検査ヘッドと、 ｉ．キャリアに対する超音波検査ヘッドの動きを制御す
る制御手段とを備える。

【０００９】また、本発明に基づく別の超音波検査装置
は、円弧状の断面を有する複数のシェルを互いに間隔を
開けて配置することによって構成された外筒と、外筒に
対して軸方向上方に突き出た内筒との間に形成された間
隙部の内部で、上記の超音波検査方法を実施するための
装置であって、 ａ．上記の構成に加えて、外筒の軸方向下方に位置し、
内筒上に配置された環状の第二のレールを備えるととも
に、 ｂ．上記のガイドレールに代って、スライド部材の内部
を貫通し、スライド部材に対して移動可能で、その先端
部が第二のキャリッジを介して、環状の第二のレールに
支持されているガイドレールとを備える。

【００１０】また、本発明に基づく超音波検査装置に使
用する超音波検査ヘッドは、キャリア、カバープレー
ト、環状のダイアフラム、一端にフランジ付きブッシュ
を他端にフランジを備えたベローズ、及び、少なくとも
１つの超音波発振器で構成され、 ａ．キャリアは開口部を有し、 ｂ．カバープレートは、キャリアの開口部の上端にはめ
込まれ、 ｃ．ダイアフラムの外縁部は、カバープレートによっ
て、キャリアの開口部の上端の周縁部に固定され、 ｄ．ベローズの一端に位置するフランジ付きブッシュ
は、カバープレートに対向するとともに、ダイアフラム
の内縁部に接続され、 ｅ．ベローズの他端に位置するフランジの内部には、超
音波発振器が収納され、 ｆ．ダイアフラムとカバープレートとの間に形成された
空間部は、加圧及び減圧することが可能であり、 ｇ．ベローズの内部空間は、開口部を介して前記空間部
と接続されている。

【００１１】超音波検査ヘッドの構造を上記の様にした
結果、超音波検査用ヘッドを完全にキャリア内に収納す
ることができるので、狭い間隙部で使用する場合にも、
キャリアの厚さをかなり大きく設計することが可能であ
る。このため、装置の堅牢性に優れている。超音波検査
用ヘッドが位置合わせの位置（超音波検査用ヘッドと検
査対象物が同一の検査面となる位置）に到達した後、超
音波検査用ヘッドを、検査対象物の方向に向けて突出さ
せるためにも、上記の様な堅牢性が必要とされる。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１から図８に示された実施態様
の例を用いて、本発明に基づく超音波検査方法、及び超
音波検査装置の詳細について説明する。

【００１３】図１に、工業用核施設（図示せず）のコア
部に属する内筒２の概観透視図を示す。この内筒２に組
込まれた構成部品１の検査が本発明の目的である。内筒
２は、その下部を外筒４によって取り囲まれており、内
筒２と外筒４の間には環状の間隙部５が形成されてい
る。外筒４は、中空円筒状の形状を有し、コア部に組込
まれた構成部品１ための熱遮蔽の機能を担っている。ま
た、図１の切断部分に示す様に、外筒４の内側部の内筒
２には構成部品１が組込まれている。この実施態様にお
いては、この構成部品１は六角穴付ボルト（図７に拡大
図として示されている）としている。この六角穴付ボル
トは、内筒２の壁面に埋込まれている。

【００１４】この様な構成部品１を検査するために、外
筒４に対して軸方向上方に突出た内筒２の上に、環状の
レール７が配置されている。キャリッジ８は、その上に
搭載した駆動機構９によって、この環状のレール７に沿
って走行する。キャリッジ８には、スライド部材１０が
取付けられている。スライド部材１０には、ガイドレー
ル１１が貫通している。ガイドレール１１の先端部５１
は、外筒４の軸方向上部まで延びている。ガイドレール
１１は、ラック状の歯１２を有し、ラック状の歯１２に
噛合っている駆動装置１３によって、所定の距離だけ、
キャリッジ８に対して移動可能である。

【００１５】可撓性を有する探触子１４は、ガイドレー
ル１１の湾曲部に配置されている駆動装置１５によっ
て、ガイドレール１１に沿って移動が可能である。電源
は、ケーブル１６を介して、探触子１４の基端側に供給
される。探触子１４の先端側には、エンドピース１７が
着脱可能に取付けられている（図３、図６）。

【００１６】キャリッジ８は、二つの部分８ａ、８ｂか
ら構成されており、それらは、互いにスライド部材１０
によって結合されている。図１に示す様に、スライド部
材１０は、ガイドレール１１及び探触子１４と共に、キ
ャリッジ８の構成部分８ａ、８ｂから、昇降ギア４３
（図３）を用いて取外すことができる。

【００１７】組立て状態では、スライド部材１０とキャ
リッジ８の構成部分８ａ、８ｂとは、スライド部材１０
に設けられた穴４４にピン４５を取付けることにより接
続されている。上記の様に、キャリッジ８を３個の部分
から構成したことによって、キャリッジについて様々な
設計変更が可能となっている。例えば、キャリッジに、
別にもう一つスライド部材を取り付けて、このスライド
部材に別のガイドレール１１（及び探触子１４）を貫通
させることも、容易にできる。この様にすれば、内筒２
あるいは外筒４について、別にもう一つの検査を同時に
実施することができる。

【００１８】更に、図６の拡大図に示す様に、エンドピ
ース１７にはサイドレール１８が取付けられている。こ
のサイドレール１８は、矢印１９の方向に、駆動装置
（図示せず）によって移動可能である。サイドレール１
８の両方の先端部には、それぞれ、ガイド２０があり、
ガイド２０にはキャリア２１が保持され、キャリア２１
は矢印２２の方向に移動可能である。各キャリア２１に
は超音波検査ヘッド２３が搭載されている。（超音波検
査ヘッド部分を含む拡大図については図７、図８を参
照）。キャリア２１には、超音波検査ヘッド２３から所
定の間隔を開けてカメラ２４が搭載されている。超音波
検査ヘッド２３とカメラ２４は、共に、サイドレール１
８の長手方向に平行する対象軸２５上に配置されてい
る。

【００１９】更に、図６の拡大図に示す様に、サイドレ
ール１８及びキャリア２１は、超音波検査ヘッド２３を
検査対象となる構成部品１に対して同一線上２６に位置
合わせするための手段を備える。図１に示した構造（キ
ャャリッジ８、ガイドレール１１、探触子１４など）に
よって、キャリア２１を環状の間隙部５に送込んだ後、
更に、カメラ２４を検査対象物１（この実施態様では、
六角穴付ボルトである）に対して位置合わせを行った
後、キャリア２１を、矢印２２の方向に、（カメラ２４
とキャリア２１との間隔に相当する）所定の距離だけ移
動する。これによって、図６に示す様に、線２６に対す
る正確な位置合わせが達成される。

【００２０】この様にして位置合わせを行った後、キャ
リア２１を、矢印２７（図４、図６）の方向に移動する
操作が行われ、キャリア２１を、内筒２の壁面（この壁
面に検査対象物１が取付けられている）に接触させる。
このために、遠隔操作式のプランジャ４７（図４）が使
用される。このプランジャ４７を、ガイドレール１１、
１１ａに対して押当てることが可能であり、その結果、
キャリア２１を、キャリア２１が壁面に突当たるまで移
動させることができる。六角穴付ボルト１は、亀裂を探
すための音波の経路となるが、六角穴付ボルト１の頭部
には、ディスク２８（図７、図８）が取付けられてい
る。このため、六角穴付ボルト１の頭部の六角穴の底面
のみを介して、超音波検査を行うことができる。

【００２１】図８に示す超音波ヘッド部分の拡大断面図
に示す様に、キャリア２１には超音波ヘッド２３が搭載
されている。超音波ヘッド２３は、キャリア２１、カバ
ープレート２９、ダイアフラム３０、ベローズ３１、少
なくとも一つの超音波発振器（図示せず）、及び接触子
３２から構成されている。キャリア２１は開口部を有
し、ベローズ３１は、（カバープレート２９側の）一端
にフランジ付きブッシュ３６を、他端にフランジ３７を
備えている。カバープレート２９は、キャリア（２１）
の開口部の上端にはめ込まれている。ダイアフラム３０
の外縁部３３は、カバープレート２９によって、キャリ
ア２１の開口部の上端に形成されたショルダー部３４に
固定され、ダイアフラム３０の内縁部３５には、（ベロ
ーズ３１の）ブッシュ３６が固定されている。（ベロー
ズ３１の）フランジ３７の内部には、、、少なくとも一
つの、超音波発振器が収納されている。フランジ３７
の、検査対象物側に面する側には、弾性材料で造られた
接触子３２が取付けられている。

【００２２】キャリア２１に設けられた開口部の、カバ
ープレート２９とダイアフラム３０との間には、空間部
３９が形成されている。ベローズ３１の内部空間は、開
口部３８を介して前記空間部３９と接続されている。空
間部３９及びベローズ３１の内部空間に対して、加圧及
び減圧することが可能であり、図７及び図８の左半分は
加圧時の状態を表し、右半分は減圧時の状態を表す。

【００２３】図の右半分に示す様に、減圧時の状態にお
いては超音波ヘッド２３の全体がキャリア２１の内部に
収納されている。キャリア２１は、この状態で環状の間
隙部の中に送込まれるので、送込まれる際、超音波ヘッ
ド２３が損傷を受けることはない。キャリア２１が検査
対象物に到達した後、空間部３９を加圧する。これによ
って、図の左半分に示す様に、フランジ３７（少なくと
も一つの超音波発振器を収納している）が、検査対象物
の方向に突出され、接触子３２を六角穴付ボルト１の頭
部の六角穴の底に押付ける。

【００２４】ダイアフラム３０及びベローズ３１を使用
しているので、超音波検査ヘッド２３を、キャリア２１
の厚さ以上の距離、突出させることが可能である。ダイ
アフラム３０及びベローズ３１は、個別にシールする必
要がないので、シールについての問題は発生しない。ベ
ローズ３１がフレキシブルであるので、接触子３２は六
角穴付ボルト１の頭部の六角穴の中心に、自動的に調芯
される。

【００２５】検査終了の後、空間部３９を減圧する。こ
れによって、超音波検査ヘッド２３が後退して、再び、
図の右半分の状態に戻る。この後、図１に示す様に、キ
ャリア２１を、キャリッジ８及び駆動機構９によって、
次の検査対象物の位置に移動し、次いで、サイドレール
１８及びキャリア２１によって、位置合わせを行う。

【００２６】図２は、図１とは異なる形態の工業用核施
設（図示せず）のコア部に属する内筒２の概観透視図を
示す。

【００２７】内筒２は、その下部を外筒４ａによって取
り囲まれている。外筒４ａは、円弧状の断面を有する複
数のシェル４ｂを互いに間隔を開けて配置することによ
って構成されており、コア部に組込まれた構成部品のた
めの熱遮蔽の機能を担っている。内筒２と外筒４ａの間
には環状の間隙部５ａが形成されているが、この環状の
間隙部５ａは、シェル４ｂが互いに間隔を開けて配置さ
れているので、所々で途切れている。

【００２８】図２に示す施設の場合には、ガイドレール
１１ａを、外筒４ａの軸方向下方まで延長することがで
きる。外筒の軸方向下方の内筒２の上には、環状の第二
のレール７ａが配置されている。第二のキャリッジ５２
は、構成部分８ｃ、８ｄを結合部材４０によって互いに
結合することにより構成され、環状の第二のレール７ａ
に沿って走行すことができる。ガイドレール１１ａの先
端は、この結合部材４０を介して、環状の第二のレール
７ａに支持されている。キャリッジ８、結合部材４０、
及び両者を接続しているガイドレール１１ａは、駆動装
置９及び駆動装置９ａによって、内筒２の回りを移動す
る。

【００２９】ガイドレール１１ａには、先に図１の説明
において述べたものと同様な状態で、探触子１４が組み
込まれている。キャリッジ８及びサイドレール１８は、
シェル４ｂで仕切られた環状の間隙部５ａの中を、矢印
４１（図２）の方向へ移動する。

【００３０】環状の間隙部５ａに面して配置されている
構成部品１（この例では六角穴付ボルト）の検査は、先
に図１、図６、図７及び図８の説明において述べたもの
と同様に行われる。

【００３１】同様に、図１に示された実施態様と同様
に、ガイドレール１１ａは、スライド部材１０及び結合
部材４０と共に、キャリッジの構成部分８ａ、８ｂ、あ
るいは第二のキャリッジの構成部分８ｃ、８ｄから、分
離することができる。

【００３２】図１及び図２のいずれの場合にも、較正試
料４２（図５）を、ガイドレール１１ａ、１１ｂに取付
ける。超音波検査ヘッド２３を搭載したキャリア２１
を、較正用試料４２に向い合う位置に移動して、精度の
較正を行うことができる。

【００３３】図５は、較正用試料４２の取付け部付近の
ガイドレール１１（１１ａ）の断面図を示す。ガイドレ
ール１１（１１ａ）から舌状片４９が分岐し、ガイドレ
ール１１本体側と舌状片４９の間にスロット４８が形成
されている。較正用試料４２は、舌状片４９に取付けら
れている。超音波検査ヘッド２３を搭載したキャリア２
１は、探触子１４によって引上げられて、スロット２１
の中に収容され、較正用試料４２に対する位置合わせが
行われる。

【図面の簡単な説明】

【図１】工業用核施設のコア部に組込まれた構成部品、
及び本発明に基づく超音波検査装置の実施態様を示す概
観透視図。

【図２】工業用核施設のコア部に組込まれた構成部品、
及び本発明に基づく超音波検査装置の別の実施態様を示
すを示す概観透視図。

【図３】図１に示した超音波検査装置のガイドレール及
び探触子の部分を説明する図。

【図４】図２に示した超音波検査装置の矢印IIの箇所の
断面図。

【図５】較正用試料の取付け部付近における、本発明に
基づく超音波検査装置のガイドレール及び探触子の断面
図。

【図６】本発明に基づく超音波検査装置の、エンドピー
ス及びサイドレールの部分を拡大して示した組立図。

【図７】本発明に基づく超音波検査装置の超音波検査ヘ
ッドを用いて、内筒に取付けられたた検査対象物の超音
波検査を行う状態を説明する部分断面図。

【図８】図７に示した超音波検査ヘッド及び検査対象物
の拡大断面図。

【符号の説明】

１・・・構成部品（六角穴付ボルト）、２・・・内筒、
４、４ａ、・・・外筒、４ｂ・・・外筒を構成するシェ
ル、５、５ａ・・・環状の間隙部、７・・・環状のレー
ル、７ａ・・・環状の第二の環状レール、８・・・キャ
リッジ、８ａ、８ｂ・・・キャリッジの構成部分、８
ｃ、８ｄ・・・第二のキャリッジの構成部分、９、９ａ
・・・駆動機構、１０・・・結合部材、１１、１１ａ・
・・ガイドレール、１２・・・ラック状の歯、１３・・
・駆動機構、１４・・・探触子、１５・・・駆動機構、
１６・・・ケーブル、１７・・・エンドピース、１８・
・・サイドレール、２０・・・ガイド、２１・・・キャ
リア、２３・・・超音波検査ヘッド、２４・・・カメ
ラ、２８・・・ディスク、２９・・・カバープレート、
３０・・・ダイアフラム、３１・・・ベローズ、３２・
・・接触子、３３・・・ダイアフラムの外縁部、３４・
・・キャリアのショルダー部、３５・・・ダイアフラム
の内縁部、３６・・・フランジ付きブッシュ、３７・・
・フランジ、３８・・・開口部、３９・・・空間部、４
０・・・結合部材、４２・・・較正用試料、４３・・・
昇降ギア、４４・・・穴、４５・・・ピン、４７・・・
プランジャ、４８・・・スロット、４９・・・舌状片、
５１・・・ガイドレールの先端部、５２・・・第二のキ
ャリッジ。

フロントページの続き (72)発明者 レオンハルト・クニーリーム ドイツ連邦共和国、デー − 64711 エ アバハ、ローベルト − コホ − シュ トラ−セ ３

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 間隙部（５，５ａ）を取囲む壁面上に配
   置され、間隙部を介してのみ到達可能な構成部品（１）
   の超音波検査方法であって、 ａ．超音波検査ヘッド（２３）を搭載するキャリア（２
   １）を間隙部（５，５ａ）の内部に送込んで、超音波検
   査ヘッド（２３）の前記構成部品（１）に対する位置合
   せを行い、 ｂ．超音波検査ヘッド（２３）を、キャリア（２１）の
   送込み方向に対してほぼ垂直方向に、キャリア（２１）
   から前記構成部品（１）に向けて突出させた後、超音波
   を前記構成部品（１）に対して発射し、 ｃ．超音波検査の終了後、超音波検査ヘッド（２３）を
   キャリア（２１）の内部に引戻して、次の検査を行う位
   置へ移動する、 ことを特徴とする超音波検査方法。
2. 【請求項２】 内筒（２）が外筒（４）に対して軸方向
   上方に突き出た、二つの円筒の間に形成された間隙部
   （５）の内部で、請求項１の方法を実施するための装置
   であって、 ａ．外筒（４）の軸方向上方に位置し、内筒（２）上に
   配置された環状のレール（７）と、 ｂ．環状のレール（７）に沿って走行するキャリッジ
   （８）と、 ｃ．キャリッジ（８）に取付けられたスライド部材（１
   ０）と、 ｄ．スライド部材（１０）の内部を貫通し、スライド部
   材（１０）に対して移動可能で、その先端部が外筒
   （４）の軸方向上方に位置するガイドレール（１１）
   と、 ｅ．間隙部（５）の内部に送込み可能で、且つ、ガイド
   レール（１１）に沿って移動可能な探触子（１４）と、 ｆ．探触子（１４）の先端に位置するエンドピース（１
   ７）に接続され、探触子（１４）の移動方向に対して直
   角方向に移動可能なサイドレール（１８）と、 ｇ．サイドレール（１８）の少なくとも一方の端部に備
   えられ、サイドレール（１８）の軸方向に、サイドレー
   ル（１８）に対して移動可能なキャリア（２１）と、 ｈ．キャリア（２１）に搭載された超音波検査ヘッド
   （２３）と、 ｉ．キャリア（２１）に対する超音波検査ヘッド（２
   ３）の動きを制御する制御手段と、 を備えたことを特徴とする超音波検査装置。
3. 【請求項３】 円弧状の断面を有する複数のシェル（４
   ｂ）を互いに間隔を開けて配置することによって構成さ
   れた外筒（４ａ）と、外筒（４ａ）に対して軸方向上方
   に突き出た内筒（２）との間に形成された間隙部（５
   ａ）の内部で、請求項１の方法を実施するための装置で
   あって、 ａ．外筒（４ａ）の軸方向上方に位置し、内筒（２）上
   に配置された環状のレール（７）と、 ｂ．環状のレール（７）に沿って走行するキャリッジ
   （８）と、 ｃ．キャリッジ（８）に取付けられたスライド部材（１
   ０）と、 ｄ．外筒（４ａ）の軸方向下方に位置し、内筒（２）上
   に配置された環状の第二のレール（７ａ）と、 ｅ．スライド部材（１０）の内部を貫通し、スライド部
   材（１０）に対して移動可能で、その先端部が第二のキ
   ャリッジ（５２）を介して、環状の第二のレール（７
   ａ）に支持されているガイドレール（１１）と、 ｆ．間隙部（５）の内部に送込み可能で、且つ、ガイド
   レール（１１）に沿って移動可能な探触子（１４）と、 ｇ．探触子（１４）の先端に位置するエンドピース（１
   ７）に接続されて、探触子（１４）の移動方向に対して
   直角方向に移動可能なサイドレール（１８）と、 ｈ．サイドレール（１８）の少なくとも一方の端部に備
   えられ、サイドレール（１８）の軸方向に、サイドレー
   ル（１８）に対して移動可能なキャリア（２１）と、 ｉ．キャリア（２１）に搭載された超音波検査ヘッド
   （２３）と、 ｊ．キャリア（２１）に対する超音波検査ヘッド（２
   ３）の動きを制御する手段と、 を備えたことを特徴とする超音波検査装置。
4. 【請求項４】 ａ．前記ガイドレール（１１、１１ａ）
   は、外筒（４、４ａ、４ｂ）の上方の内筒（２）に対向
   する位置に、較正用試料（４２）を備えた舌状片（４
   ９）を備え、 ｂ．前記超音波検査ヘッド（２３）は、較正用試料（４
   ２）に対して位置合わせすることができる、 ことを特徴とする請求項２あるいは請求項３のいずれか
   に記載の超音波検査装置。
5. 【請求項５】 ａ．前記キャリッジ（２１）は、２つの
   構成部分（８ａ、８ｂ）から構成され、 ｂ．これら２つの構成部分（８ａ、８ｂ）は、前記スラ
   イド部材（１０）によって結合される、 ことを特徴とする請求項２あるいは請求項３のいずれか
   に記載の超音波検査装置。
6. 【請求項６】 ａ．前記キャリア（２１）には、前記超
   音波検査ヘッド（２３）から所定の間隔を開けてカメラ
   （２４）が搭載され、 ｂ．このカメラ（２４）と前記超音波検査ヘッド（２
   ３）とは、前記サイドレール（１８）の軸方向の対象軸
   （２５）上に配置される、 ことを特徴とする請求項２あるいは請求項３のいずれか
   に記載の超音波検査装置。
7. 【請求項７】 キャリア（２１）、カバープレート（２
   ９）、環状のダイアフラム（３０）、一端にフランジ付
   きブッシュ（３６）を他端にフランジ（３７）を備えた
   ベローズ（３１）、及び、少なくとも１つの超音波発振
   器で構成され、 ａ．キャリア（２１）は開口部を有し、 ｂ．カバープレート（２９）は、キャリア（２１）の開
   口部の上端にはめ込まれ、 ｃ．ダイアフラム（３０）の外縁部（３３）は、カバー
   プレート（２９）によって、キャリア（２１）の開口部
   の上端の周縁部に固定され、 ｄ．ベローズ（３１）の一端に位置するフランジ付きブ
   ッシュ（３６）は、カバープレート（２９）に対向する
   とともに、ダイアフラム（３０）の内縁部（３５）に接
   続され、 ｅ．ベローズ（３１）の他端に位置するフランジ（３
   ７）の内部には、超音波発振器が収納され、 ｆ．ダイアフラム（３０）とカバープレート（２９）と
   の間に形成された空間部（３９）は、加圧及び減圧する
   ことが可能であり、 ｇ．ベローズ（３１）の内部空間は、開口部（３８）を
   介して前記空間部（３９）と接続される、 ことを特徴とする超音波検査ヘッド。