JPH08226927A - 走査型プローブ顕微鏡用探針のクリーニング装置 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡用探針のクリーニング装置Info
- Publication number
- JPH08226927A JPH08226927A JP7032237A JP3223795A JPH08226927A JP H08226927 A JPH08226927 A JP H08226927A JP 7032237 A JP7032237 A JP 7032237A JP 3223795 A JP3223795 A JP 3223795A JP H08226927 A JPH08226927 A JP H08226927A
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- JP
- Japan
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- probe
- filament
- control electrode
- thermions
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 探針のクリーニングを効率よく十分に行なう
ことができる走査型プローブ顕微鏡用探針のクリーニン
グ装置を提供すること。 【構成】 探針ホルダ４とフィラメント６の間には、中
央部に開口が開けられた制御電極９が、この開口を通し
て探針３がフィラメント６に対して直接対面するように
配置されており、フィラメント６に対して同電位または
負の電圧（０〜−５００Ｖ位）が制御電極用電源１０に
より制御電極９に印加される。この制御電極９により、
フィラメント６で発生した熱電子ｅは探針３へ向けて集
束され、大部分の熱電子ｅは探針３を照射する。探針３
は多量の熱電子ｅを受けて高温に加熱され、探針表面に
吸着あるいは付着していた汚染分子は取り除かれる。従
来、探針の加熱に必要な電力は数１０ワット以上であっ
たが、本発明においては１０ワット以下ですむ。
ことができる走査型プローブ顕微鏡用探針のクリーニン
グ装置を提供すること。 【構成】 探針ホルダ４とフィラメント６の間には、中
央部に開口が開けられた制御電極９が、この開口を通し
て探針３がフィラメント６に対して直接対面するように
配置されており、フィラメント６に対して同電位または
負の電圧（０〜−５００Ｖ位）が制御電極用電源１０に
より制御電極９に印加される。この制御電極９により、
フィラメント６で発生した熱電子ｅは探針３へ向けて集
束され、大部分の熱電子ｅは探針３を照射する。探針３
は多量の熱電子ｅを受けて高温に加熱され、探針表面に
吸着あるいは付着していた汚染分子は取り除かれる。従
来、探針の加熱に必要な電力は数１０ワット以上であっ
たが、本発明においては１０ワット以下ですむ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は、走査型トンネル顕微
鏡などの探針に熱電子を照射し、探針を加熱して探針の
クリーニングを行なう走査型プローブ顕微鏡用探針のク
リーニング装置に関する。
鏡などの探針に熱電子を照射し、探針を加熱して探針の
クリーニングを行なう走査型プローブ顕微鏡用探針のク
リーニング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】 図１は、従来の走査型トンネル顕微鏡
の探針をクリーニングする装置を示したものである。
の探針をクリーニングする装置を示したものである。
【０００３】クリーニング室１の内部は排気装置２によ
り排気される。汚染された探針３は探針ホルダ４に保持
され、探針ホルダ４は探針ホルダ取付部５に固定されて
いる。フィラメント６は加熱電源７により加熱され、ま
た、フィラメントに対して正の電圧が加速電源８により
探針ホルダ４を介して探針３に印加されるので、フィラ
メント６で発生した熱電子ｅは探針３に向けて加速さ
れ、探針３は熱電子ｅの電子衝撃により加熱されてクリ
ーニングされる。
り排気される。汚染された探針３は探針ホルダ４に保持
され、探針ホルダ４は探針ホルダ取付部５に固定されて
いる。フィラメント６は加熱電源７により加熱され、ま
た、フィラメントに対して正の電圧が加速電源８により
探針ホルダ４を介して探針３に印加されるので、フィラ
メント６で発生した熱電子ｅは探針３に向けて加速さ
れ、探針３は熱電子ｅの電子衝撃により加熱されてクリ
ーニングされる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】 フィラメント６で発
生した熱電子ｅは探針３を照射するが、大部分の熱電子
ｅは探針３と同電位にある探針ホルダ４を照射し、探針
３の加熱は十分に行なわれない。そのため、フィラメン
ト６に多量の電流を流して熱電子ｅを多く発生させ、且
つ探針ホルダ４に正の高電圧を印加して、探針３に高エ
ネルギーの多量の熱電子を照射し、探針を高い温度に加
熱している。このような加熱においては、電力の消費量
は多大なものとなる。
生した熱電子ｅは探針３を照射するが、大部分の熱電子
ｅは探針３と同電位にある探針ホルダ４を照射し、探針
３の加熱は十分に行なわれない。そのため、フィラメン
ト６に多量の電流を流して熱電子ｅを多く発生させ、且
つ探針ホルダ４に正の高電圧を印加して、探針３に高エ
ネルギーの多量の熱電子を照射し、探針を高い温度に加
熱している。このような加熱においては、電力の消費量
は多大なものとなる。
【０００５】また、探針ホルダ４の加熱によって探針ホ
ルダ４からガスが放出し、クリーニング室１内の真空度
は著しく低下してしまう。
ルダ４からガスが放出し、クリーニング室１内の真空度
は著しく低下してしまう。
【０００６】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、探針のクリーニングを効率よく十分
に行なうことができる走査型プローブ顕微鏡用探針のク
リーニング装置を提供することにある。
ので、その目的は、探針のクリーニングを効率よく十分
に行なうことができる走査型プローブ顕微鏡用探針のク
リーニング装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の走査型プローブ顕微鏡用探針のクリーニング装置
は、排気された真空室と、保持手段により保持されて前
記真空室の中に配置された走査型プローブ顕微鏡用探針
と、電子を発生する電子発生源と、前記探針と電子発生
源の間に電子加速電圧を印加する手段と、前記電子発生
源から発生した電子を前記探針に集束させる手段とを備
えている。
発明の走査型プローブ顕微鏡用探針のクリーニング装置
は、排気された真空室と、保持手段により保持されて前
記真空室の中に配置された走査型プローブ顕微鏡用探針
と、電子を発生する電子発生源と、前記探針と電子発生
源の間に電子加速電圧を印加する手段と、前記電子発生
源から発生した電子を前記探針に集束させる手段とを備
えている。
【０００８】
【実施例】 図２は本発明の実施例である走査型トンネ
ル顕微鏡の探針をクリーニングする装置を示したもので
あり、図１と同一番号を付したものは同一構成要素を示
す。以下、この装置について詳しく説明する。
ル顕微鏡の探針をクリーニングする装置を示したもので
あり、図１と同一番号を付したものは同一構成要素を示
す。以下、この装置について詳しく説明する。
【０００９】数アンペアの電流が加熱電源７によりフィ
ラメント６に流され、フィラメント６は加熱される。ま
た、フィラメント６に対して１００〜１０００（Ｖ）位
の正の電圧が加速電源８により探針３に印加される。こ
のため、フィラメント６で発生した熱電子ｅは、探針３
および探針ホルダ４の方向に引き寄せられる。
ラメント６に流され、フィラメント６は加熱される。ま
た、フィラメント６に対して１００〜１０００（Ｖ）位
の正の電圧が加速電源８により探針３に印加される。こ
のため、フィラメント６で発生した熱電子ｅは、探針３
および探針ホルダ４の方向に引き寄せられる。
【００１０】探針ホルダ４とフィラメント６の間には、
中央部に開口が開けられた制御電極９が、この開口を通
して探針３がフィラメント６に対して直接対面するよう
に配置されており、フィラメント６に対して同電位また
は負の電圧（０〜−５００Ｖ位）が制御電極用電源１０
により制御電極９に印加される。この制御電極９によ
り、フィラメント６で発生した熱電子ｅは探針３へ向け
て集束され、大部分の熱電子ｅは探針３を照射する。探
針３は多量の熱電子ｅを受けて高温に加熱され、探針表
面に吸着あるいは付着していた汚染分子は取り除かれ
る。従来、探針の加熱に必要な電力は数１０ワット以上
であったが、本発明においては１０ワット以下ですむ。
中央部に開口が開けられた制御電極９が、この開口を通
して探針３がフィラメント６に対して直接対面するよう
に配置されており、フィラメント６に対して同電位また
は負の電圧（０〜−５００Ｖ位）が制御電極用電源１０
により制御電極９に印加される。この制御電極９によ
り、フィラメント６で発生した熱電子ｅは探針３へ向け
て集束され、大部分の熱電子ｅは探針３を照射する。探
針３は多量の熱電子ｅを受けて高温に加熱され、探針表
面に吸着あるいは付着していた汚染分子は取り除かれ
る。従来、探針の加熱に必要な電力は数１０ワット以上
であったが、本発明においては１０ワット以下ですむ。
【００１１】制御電極９の形状は、図３に示すように、
探針側からフィラメント側へ向けて開いてゆくラッパ状
にしてもよい。また、図４に示すように、フィラメント
を探針の横に配置し、熱電子を探針の側面方向から照射
する場合でも、フィラメントと探針の間に制御電極９を
配置し、フィラメントから電子を探針３へ集束させるよ
うにすれば良い。
探針側からフィラメント側へ向けて開いてゆくラッパ状
にしてもよい。また、図４に示すように、フィラメント
を探針の横に配置し、熱電子を探針の側面方向から照射
する場合でも、フィラメントと探針の間に制御電極９を
配置し、フィラメントから電子を探針３へ集束させるよ
うにすれば良い。
【００１２】また、走査型トンネル顕微鏡の試料室の中
にクリーニング装置を配置し、探針のクリーニングを行
ってもよい。
にクリーニング装置を配置し、探針のクリーニングを行
ってもよい。
【００１３】
【発明の効果】 本発明においては、電子発生源から発
生した電子を探針に集束させる手段を備えているので、
探針のクリーニングを効率よく十分に行なえる。
生した電子を探針に集束させる手段を備えているので、
探針のクリーニングを効率よく十分に行なえる。
【図１】従来の探針のクリーニング装置を示したもので
ある。
ある。
【図２】本発明の実施例として示した探針のクリーニン
グ装置を示したものである。
グ装置を示したものである。
【図３】ラッパ状の制御電極を示した図である。
【図４】熱電子を探針の側面に照射するクリーニング装
置を示したものである。
置を示したものである。
１ クリーニング室 ２ 排気装置 ３ 探針 ４ 探針ホルダ ５ 探針ホルダ取付部 ６ フィラメント ７ 加熱電源 ８ 加速電源 ９ 制御電極 １０ 制御電極用電源
Claims (1)
- 【請求項１】 排気された真空室と、保持手段により保
持されて前記真空室の中に配置された走査型プローブ顕
微鏡用探針と、電子を発生する電子発生源と、前記探針
と電子発生源の間に電子加速電圧を印加する手段と、前
記電子発生源から発生した電子を前記探針に集束させる
手段とを備えた走査型プローブ顕微鏡用探針のクリーニ
ング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03223795A JP3273873B2 (ja) | 1995-02-21 | 1995-02-21 | 走査型プローブ顕微鏡用探針のクリーニング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03223795A JP3273873B2 (ja) | 1995-02-21 | 1995-02-21 | 走査型プローブ顕微鏡用探針のクリーニング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08226927A true JPH08226927A (ja) | 1996-09-03 |
| JP3273873B2 JP3273873B2 (ja) | 2002-04-15 |
Family
ID=12353385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03223795A Expired - Fee Related JP3273873B2 (ja) | 1995-02-21 | 1995-02-21 | 走査型プローブ顕微鏡用探針のクリーニング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3273873B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7278296B2 (en) | 2003-10-02 | 2007-10-09 | Jeol Ltd. | Scanning probe microscope |
| JP2011095266A (ja) * | 2010-12-10 | 2011-05-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡を備えたプローバ装置及びプローバ装置の探針クリーニング方法 |
-
1995
- 1995-02-21 JP JP03223795A patent/JP3273873B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7278296B2 (en) | 2003-10-02 | 2007-10-09 | Jeol Ltd. | Scanning probe microscope |
| JP2011095266A (ja) * | 2010-12-10 | 2011-05-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡を備えたプローバ装置及びプローバ装置の探針クリーニング方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3273873B2 (ja) | 2002-04-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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