JP4406311B2 - エネルギー線照射装置およびそれを用いたパタン作成方法 - Google Patents
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Description
図1は、エネルギー線として電子線を用いた場合の、本発明のエネルギー線照射装置を示す図である。図1において、本発明の電子線照射装置201は、電子線発生部202、差動排気部203、照射部204の順で配置されている。電子発生部202は、反射電極205、カソード206、ウェネルト207、アノード208を備えている。また、電子線発生部202は、バルブ218を介して排気機構としてターボ分子ポンプ220に接続され、ターボ分子ポンプ220は、図示しない荒引きポンプに接続されている。差動排気部203は、差動排気口210を有する遮蔽板212により電子線発生部202と隔絶されており、差動排気口214を有する遮蔽板216により照射部204と隔絶されている。また、差動排気部203は、バルブ222を介してターボ分子ポンプ224に接続され、ターボ分子ポンプ224は、図示しない荒引きポンプに接続されている。照射部204は、ウエハ230を保持するステージ232を備えており、ステージ232は駆動装置290に接続されている。また、照射部204は、バルブ292を介してガス供給部294に接続されている。また、照射部204は、バルブ226を介してドライポンプ228に接続されている。なお、ドライポンプ228は、必要に応じ図示しない荒引きポンプに接続されていてもよい。本発明の電子線照射装置201は、上記のように構成されており、以下、その作用について説明する。
202 電子線発生部
203 差動排気部
204 照射部
205 反射電極
206 カソード
207 ウェネルト
208 アノード
210、214、260 差動排気口
212、216 遮蔽板
218、222、226、256、258、292 バルブ
220、224、238、240、248、250 ターボ分子ポンプ
228 ドライポンプ
230 ウエハ
232 ステージ
234 電子線
236、237 差動排気機構
242 遮蔽板
244 第1のチャンバー
246 第2のチャンバー
252、254 排気口
262 バネ
264 ピアス型電子銃
266 イオン銃
268 プラズマ発生部
270 プラズマ
272 アノード
274 カソード
276、278、284 電源
280 カソード電源
282 加速電源
290 駆動装置
294 ガス供給部
296 ステージ
298 インクジェット
Claims (7)
- エネルギー線を発生するエネルギー線発生部、被照射体にエネルギー線を照射する照射部、前記エネルギー線発生部と前記照射部との間に配置された差動排気部とを備えるエネルギー線照射装置であって、
前記差動排気部が、エネルギー線の進行方向に対して斜めに横切る遮蔽板により、第1のチャンバーと第2のチャンバーを形成するように仕切られており、第1のチャンバーおよび第2のチャンバーがそれぞれ排気口を備えていることを特徴とする、エネルギー線照射装置。 - 複数の差動排気部を有することを特徴とする、請求項1に記載のエネルギー線照射装置。
- 0.1Pa以上の圧力下でエネルギー線を照射することを特徴とする、請求項1または2に記載のエネルギー線照射装置。
- 不活性ガスの存在下でエネルギー線を照射することを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のエネルギー線照射装置。
- エネルギー線の断面形状の短軸方向に被照射体を移動させることによりエネルギー線を照射することを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載のエネルギー線照射装置。
- 被照射体の移動速度を変化させることにより、被照射体に照射されるエネルギー線量を変化させることを特徴とする、請求項5に記載のエネルギー線照射装置。
- エネルギー線の照射に用いる差動排気装置であって、エネルギー線の進行方向に対して斜めに横切る遮蔽板により、前記差動排気装置が第1のチャンバーと第2のチャンバーを形成するように仕切られており、第1のチャンバーおよび第2のチャンバーがそれぞれ排気口を備えていることを特徴とする、差動排気装置。
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