JPH08220337A

JPH08220337A - 転写装置

Info

Publication number: JPH08220337A
Application number: JP3034995A
Authority: JP
Inventors: Yasuhide Nakajima; 泰秀中島; Masaru Sasaki; 賢佐々木
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1995-02-20
Filing date: 1995-02-20
Publication date: 1996-08-30

Abstract

(57)【要約】【目的】転写フィルム上の着色材を精度よくカラーフ
ィルタ基板に転写でき、さらには不良の発生を防いで高
品質のカラーフィルタを製造する。【構成】転写フィルム１０を供給する供給部Ａと、型
押し部材５０により転写フィルム１０から基板ＧＢに着
色材を転写する転写部Ｄと、転写終了後に支持フィルム
を排出する排出部Ｅとを備えた転写装置において、転写
部Ｄの型押し部材５０に転写フィルム１０を吸引する吸
引機構を設ける。転写フィルム１０を型押し部材５０に
固定した状態で転写が行え、転写フィルム１０のずれを
防いで凸部５０ａに対応する着色材のみを基板ＧＢ上へ
正確に転写できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ用の
カラーフィルタにおける赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）
の各着色画素をカラーフィルタ用の基板上に形成する工
程に使用する転写装置に係り、詳しくは着色画素パター
ンに対応した型押し部材により基板上に着色材を転写す
る工程を行う転写装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、カラーフィルタの製造方法とし
て、着色画素のパターンに対応した型押し部材を用い、
転写フィルム上の着色材を選択的に加熱して基板上に転
写する方法が知られている。そして、この方法におい
て、着色材の転写を各色ごとに行った後、それら基板上
に転写した着色材を、転写時の加熱温度よりも高い温度
でまとめて加熱して基板上に定着させるようにしたもの
が転写装置とともに提案されている（例えば、特開平４
−１００００５号公報参照）。また、この公報では、基
板上に転写した各色の着色材を、定着のための加熱処理
前に検査して欠陥を修正することも示されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べた転
写法によるカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグ
ラフィ法を用いた製造方法に比べて工程が単純ではある
が、上記の公報に見られる転写装置では、基板と型押し
部材の間に転写フィルムを単に通した状態で、型押し部
材に設けたポンチ状の凸部により転写フィルムの着色材
を基板に転写するようになっているため、押圧時に転写
フィルムが微妙にずれてしまい、微細な凸部に対応する
着色材のみを正確に転写できず、精度のよいカラーフィ
ルタを製造できないという問題点があった。

【０００４】また、上記の如き転写法においては、着色
材を転写する際に基板の型押し部材に対する位置合わせ
が必要であるが、上記の公報に見られる転写装置では、
基板の固定台を調整装置により微調整するとの記載があ
るだけで、それ以上の具体的な手段については何も記載
されていない。また、従来の転写装置には基板の支持機
構に加熱手段がないため、予め基板を転写時に適した温
度より高い温度に加熱しておき、自然放熱させながら転
写に適した温度まで降下した時点で型押しして転写する
ようになることから、適切な温度までの待ち時間が必要
である上、タイミングを間違えると転写に適した温度で
転写できず失敗する場合がある。また、上記の転写装置
に開示されている検査手段は転写後の状況を検査するも
のであるので、転写フィルムそのものに不良があった場
合は基板を無駄にしてしまうという問題点がある。

【０００５】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
てなされたものであり、転写フィルム上の着色材を精度
よくカラーフィルタ基板に転写でき、さらには不良の発
生を防いで高品質のカラーフィルタを製造することので
きる転写装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る転写装置は、カラーフィルタ用の基板
上に異なる色の着色材を転写する工程を行う転写装置で
あって、支持フィルム上に着色材が設けられた転写フィ
ルムを供給する供給部と、固定台の上に前記基板を載置
した状態で下面に凸部がパターン状に形成されている型
押し部材により前記転写フィルムから前記基板に着色材
を転写する転写部と、転写終了後に支持フィルムを排出
する排出部とを具備してなり、前記転写部の型押し部材
に前記転写フィルムを吸引する吸引機構が設けられてい
ることを特徴とする。

【０００７】また、前記基板に付したアライメントマー
クに対応するアライメントマークが前記型押し部材に設
けられ、両者のアライメントマークを入力するための入
力部が前記型押し部材の上部に配設されており、入力し
たアライメントマークにより前記型押し部材に対する前
記基板の位置調整を行う調節機構が前記固定台に設けら
れている構成にするとよい。

【０００８】また、前記基板を予め加熱する基板加熱部
が前記転写部の前に設けられ、さらに転写中の基板の温
度が低下しないように前記検査部の固定台に加熱手段が
設けられている構成にするとよい。

【０００９】また、前記供給部と前記転写部との間に転
写フィルムの良品状態を検査する検査部が設けられてい
る構成にするとよい。

【００１０】

【作用】上述の構成からなる本発明の転写装置では、転
写部の型押し部材に設けた吸引機構を作動させ、基板と
型押し部材の間に位置する転写フィルムを型押し部材側
に固定した状態で転写を行うことにより、転写フィルム
のずれを防いで型押し部材の凸部に対応する着色材のみ
を基板上へ正確に転写することができる。

【００１１】そして、基板に付されたアライメントマー
クと型押し部材に設けられたアライメントマークとによ
り基板の型押し部材に対する位置合わせを行ってから転
写フィルムを型押し部材側に固定して転写を行うことに
より、位置精度よく着色材のパターン転写を行うことが
できる。

【００１２】また、転写部の前に設けた基板加熱部でカ
ラーフィルタ基板を転写に適した温度にし、さらに転写
部の固定台に設けた加熱手段により基板の温度が転写に
適した温度から低下しないように加熱するので、適切な
温度で転写が行われる。

【００１３】さらに、転写フィルムの供給部と転写部と
の間に検査部を設けた構成にすることにより、検査部に
て転写フィルムの品質状態を検査した後、良品であれば
転写部にて転写フィルムと基板とを重ね合わせて転写
し、不良品であれば転写部を通過させて排出部にて巻き
取るようにすることができる。

【００１４】

【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の実施例に
ついて説明する。

【００１５】図１は本発明に係る転写装置の一実施例を
示す概略構成図である。

【００１６】転写フィルム１０としては、ＰＥＴフィル
ム等の支持フィルム上に着色材を形成し、その上から保
護フィルムを貼付したものが使用される。ベースとなる
支持フィルムは、２色目以降の着色材が転写しやすいよ
うに３〜１０μｍと薄いものを使用するとよい。また、
支持フィルムにクッション材層、剥離層等を用いた場合
には１００〜３００μｍの厚いものでもよいが、ここで
は後述の転写部Ｄで吸引するために３〜１０μｍ程度の
厚みのものが適している。そして、この支持フィルム上
に着色材が１〜３μｍ程度の厚みで形成される。この着
色材の厚みは必要に応じて１０μｍ、２０μｍ等と変え
てよい。この転写フィルム１０は、長尺状のものを巻き
取った巻取１１として供給部Ａにセットされる。図示の
供給部Ａでは巻取１１が１本ではあるが、さらに生産性
を向上させるのであれば、巻取１１を複数セットしても
よく、さらには転写フィルム１０を自動的に接続できる
オートペースターを使用してもよい。

【００１７】転写フィルム１０は第１のニップローラ１
２により巻取１１から引っ張り出される。供給部Ａから
の転写フィルム１０は、テンションコントロール用のダ
ンサーローラ１３、ニップローラ１２を経由して検査部
Ｂに至る。テンションコントロール用のダンサーローラ
１３には１０〜３０ｋｇの重りが設定されており、ダン
サーローラ１３の位置が変化することでテンションが一
定に保たれる。つまり、転写フィルム１０が強く引っ張
られるとダンサーローラ１３は張力を小さくして設定値
になるように上に移動する。逆に転写フィルム１０が緩
むとダンサーローラ１３は張力を大きくして設定値にな
るように下に移動する。そして、転写フィルム１０は図
示していない除塵装置にて両面からエアを吹き付けら
れ、埃や塵を落とされて検査部ＢのＣＣＤカメラ２０の
前面へ移動する。これにより埃や塵を不良と間違えて判
断することがなくなる上、転写時に着色材と共に埃や塵
を貼ることがなくなる。埃や塵は着色材に付着している
訳ではないが保護フィルムを剥した時に静電気でフィル
ム縁付近の埃や塵が回り込んで着色材に付着することが
ある。

【００１８】検査部Ｂでは転写フィルム１０の画像を入
力するＣＣＤカメラ２０がセットされており、着色材の
色ムラや筋、またはゴミ付きを検査することができるよ
うになっている。この検査部Ｂにおける光学系の構造と
しては、転写フィルム１０を境にしてＣＣＤカメラ２０
の反対側に拡散板２１をセットし、その両脇からカラー
フィルタのＲ，Ｇ，Ｂの各色にピークを持つ３波長の光
源２２（白色蛍光灯でもハロゲンランプでもよい）を用
いて拡散板２１に照射する手段が採られている。この場
合、３波長の光源２２を用いた方がＲ，Ｇ，Ｂの各色に
対して発色性がよく検査機能が良好になる。光は拡散板
２１で拡散され転写フィルム１０を均一に照らすので、
この画像をＣＣＤカメラ２０から入力し図示していない
判定部にて良品、不良品を判定する。

【００１９】この時の判定画像の一例を図２及び図３に
示している。横軸は転写フィルム１０の巾方向であり縦
軸は転写フィルム１０の色の濃度である。良品と不良品
の判定は、カラーフィルタのＲ，Ｇ，Ｂの各色毎に用意
してある許容値±ａと基準色濃度レベルｍとＣＣＤカメ
ラ２０からの入力データとを比較して行う。この場合、
デジタルスイッチを用いてＲ，Ｇ，Ｂの色毎に許容値±
ａは±ａ（ｒ），±ａ（ｇ），±ａ（ｂ）として、基準
色濃度レベルｍはｍ（ｒ），ｍ（ｇ），ｍ（ｂ）として
それぞれセットしておく。ここで、オペレータが良品と
判断したところで基準値入力スイッチを押すことによ
り、画像入力データを平均することで基準色濃度レベル
ｍが各色に合わせて記憶されるようにしてもよい。

【００２０】図２は良品の場合を示す例であり、画像入
力したデータは設定してある基準色濃度レベルｍを中心
に許容値±ａ以内に入っている。図３は不良品を示す例
であり、画像入力したデータは設定してある基準色濃度
レベルｍを中心に許容値±ａより外れている。左側の急
峻な突起ｘはゴミ付きによる不良であり、右側のなだら
かな凸部ｙは着色材の濃度ムラである。

【００２１】前工程から基板加熱部Ｃに搬送されてきた
カラーフィルタ用のガラス基板ＧＢは、図示していない
前進方向の位置決め片と左右方向の位置決め片により一
旦停止させられる。そして、遠赤外線ヒータを内蔵した
加熱装置３０，３１により上部と下部から十分に加熱さ
れ、基板ＧＢは８０〜１７０℃の高温になる。ここで使
用する搬送ローラ３２は図４（ａ）又は（ｂ）に示すタ
イプのもので、基板ＧＢの中央を擦らないように、さら
に両脇の傾斜部により基板ＧＢがまっすぐに進むように
なっている。なお、図４（ａ）に示すタイプのものでも
よいが、図４（ｂ）に示すタイプの方が連結軸がないだ
け基板ＧＢの加熱効率がよい。

【００２２】検査部Ｂで転写フィルム１０が良品と判断
されると、転写フィルム１０は基板ＧＢに転写すべく、
第２のニップローラ４０を経由し、第２のダンサーロー
ラ４１からガイドローラ４２へと移動して転写部Ｄに送
られる。そして、ニップローラ４０を通る時に保護フィ
ルム１０ａは巻取ロール４３により巻き取られることで
転写フィルム１０から剥がされる。ここで転写フィルム
１０は加熱すると伸びてテンション調節がしにくくなる
ので加熱はせずに常温とする。しかし、支持フィルムが
厚い場合など転写フィルム１０の伸びに問題がなけれ
ば、転写フィルム１０の加熱部を設けて予備加熱しても
よい。予備加熱する場合、転写フィルム１０の加熱温度
は２０〜５０℃程度がよい。あまり加熱すると支持フィ
ルムが伸びてしまうためテンション制御がしにくい。こ
の転写フィルム１０の移動に併せてガラス基板ＧＢも基
板加熱部Ｃを経て次の転写部Ｄへ移動する。検査部Ｂで
転写フィルム１０が不良品と判断されると、後方の第３
のニップローラ４４に設置されているカウンタ４５によ
って不良位置を検出し、図示していない制御装置により
不良位置を記録する。そして、この記憶された不良位置
データに基づき不良の転写フィルム部分は転写されない
タイミングで排出部Ｅへと巻き取られる。

【００２３】図５は転写部Ｄの平面図、図６は図５のＸ
−Ｘ断面図、図７は図５のＹ−Ｙ断面図である。

【００２４】図において符号５０は型押し部材であり、
その下方にはカラーフィルタ基板ＧＢを載置して固定す
るための固定台５１があり、さらにその下側に固定台５
１を上下移動する支持台５２と図示していない駆動機構
がある。型押し部材５０の下面には凸部５０ａを形成し
てあり、この凸部５０ａが転写フィルム１０を押すこと
により、基板ＧＢ上にカラーフィルタの着色画素を凸部
５０ａに対応して形成することができる。凸部５０ａの
間隔はカラーフィルタの着色画素の間隔であり、本実施
例では１００μｍとしている。凸部５０ａの高さは１０
〜５０μｍ程度であるが、支持フィルムにクッション材
層、剥離層等を設けた厚い転写フィルムの場合には、こ
の転写フィルム１０の厚みに合わせて１００〜３００μ
ｍ程度にしてもよい。

【００２５】ここで、図８〜１１に示すカラーフィルタ
のパターン配置図により上記型押し部材５０の凸部５０
ａの配置について説明する。図８〜１０に示すパターン
を形成する場合、例えばＲの部分に対応する凸部５０ａ
を配置した型押し部材５０を用いれば、Ｇ，Ｂについて
も同じ型押し部材５０をずらして用いることで兼用でき
る。また、図１１に示すパターンを形成する場合、Ｇの
部分に対応する凸部５０ａを配置した型押し部材５０を
別途準備する必要があるが、Ｒ，Ｂのパターンを形成す
る型押し部材５０は兼用できる。このようにすることで
型押し部材５０の数を減らすことができる。

【００２６】また、固定台５１の下面と支持台５２の上
面とは案内ボール５３を介して向かい合っている。そし
て、案内ボール５３は固定台５１の下面に設けた半球形
の穴に入っており、固定台５１を支持台５２に対して前
後左右に移動し易い構造になっている。また、案内ボー
ル５３の表面、穴の内面等を鏡面仕上げし、さらにテフ
ロン処理して滑りやすくしてある。

【００２７】固定台５１の両サイドにはカラーフィルタ
用の基板ＧＢがスムースに搬送される間隔で搬送ローラ
５４があり、図示していないモータによる駆動機構、タ
イミングベルトによるタイミング機構で各ローラ５４の
同期を取りながら基板ＧＢを搬送する。また、搬送ロー
ラ５４の下側で固定台５１の周囲には固定台５１を左右
前後等に移動させて位置調整できる調節機構がある。こ
の調節機構は固定台５１の４辺にそれぞれ２個の案内ボ
ール５５とこれを支える受け部材５６を配置してあり、
対向する辺において一方の受け部材５６を駆動部材５７
により押圧し、他方の受け部材５６をバネ５８で支持す
るように構成されている。そして、搬送ローラ５４、調
節機構の駆動部材５７及びバネ５８は周囲にある支持枠
５９に固定されている。固定台５１の位置を調節する場
合、前後方向の２本の駆動部材５７を各々適切な量だけ
駆動すると、対向する案内ボール５５は押されてこれと
一体のバネ５８は押された量に合わせて移動する。同様
に、左右方向の２本の駆動部材５７を各々適切な量だけ
駆動すると、対向する案内ボール５５は押されてバネ５
８が押された量に合わせて移動する。

【００２８】固定台５１の上面には基板ＧＢと型押し部
材５０との位置調節を行うためのアライメント窓６０が
設けてある。アライメント窓６０の中には光源６１があ
り、アライメントマーク（後述）を付したガラス基板Ｇ
Ｂを下から照射する。一方、型押し部材５０には、固定
台５１のアライメント窓６０に対応して貫通孔６２が設
けられてあり、アライメントマーク（後述）を下面に形
成したガラス板６３がその下端に設けられている。さら
に型押し部材５０の上部にはアライメントマークを入力
して位置調整するための入力部としてＣＣＤカメラ６４
（図１参照）が配設されている。また、固定台５１には
加熱手段として電熱線６５が組み込まれており、基板加
熱部Ｃにて加熱された基板ＧＢを転写に適した温度に維
持できるようになっている。

【００２９】型押し部材５０は内部に吸引機構を有した
構造になっている。この構造を図１２及び図１３により
説明する。図１２では、ガラス基板ＧＢが図示していな
いストッパーで一時停止されて型押し部材５０の下側に
位置している。また、前述の固定台５１にて基板ＧＢは
下側より押し上げられ、転写に適した温度で加熱され維
持されている。

【００３０】型押し部材５０は吸引路７０を通して内部
のエアが外部に排出されるが、この時のエアの経路は、
フィルム側の吸引孔７１、吸引室７２、吸引口７３、吸
引路７０の順である。吸引口７３にはストッパー７４が
設けられており、このストッパー７４は、上下の円板７
４ａ，７４ｂと両者を接続する連結棒７４ｃと、これら
が落下しないようにしている上側のバネ７４ｄと、吸引
時に下側の円板７４ｂが簡単に閉じないようにする下側
のバネ７４ｅから構成されている。吸引時に転写フィル
ム１０が型押し部材５０の下側にあれば、吸引孔７１は
転写フィルム１０を吸引して吸着することになる。各吸
引孔７１で吸着すると転写フィルム１０の凸部５０ａに
対応する部分のみが基板ＧＢ側に張り出す形状になるた
めに品質の良い転写がしやすくなる。もし、転写フィル
ム１０がないと、エアは吸引ストッパー７４の下側の円
板７４ｂを吸引して吸引口７３が閉じることになる。す
なわち、通常は上側のバネ７４ｄが円板７４ａを押して
ストッパー７４が落下しないようになっており、吸引が
長く続いた時のみ下側のバネ７４ｅの力に勝って下側の
円板７４ｂが上昇して吸引口７３を閉じる。

【００３１】図１３は型押し部材５０を転写部Ｄの上方
から見たもので、吸引室７２を波線で示している。図の
右側からガラス基板ＧＢと転写フィルム１０が搬送され
てくる。ここでは、転写フィルム１０より基板ＧＢの方
が大きくなっており、基板ＧＢの周囲にあるアライメン
トマークを観察するためにはこの方が転写フィルム１０
の着色材の影響を受けなくて済む効果がある。つまり、
Ｒ，Ｇ，Ｂの色を通してアライメントマークを観察する
より、無色でアライメントマークを観察する方が位置合
わせがしやすい。吸引室７２は図に示すように１行当た
り４室で構成してあり、かつ出入口側（図では左右両
側）の吸引室７２は小さく構成してある。これは転写時
に型押し部材５０を押した時に転写フィルム１０の供給
側、排出側は比較的大きな力が加わって転写フィルム１
０がズレやすいため、吸引室７２を小さくして転写フィ
ルム１０を大きな力で吸引できるようにするためであ
り、仮に転写フィルム１０が引っ張られて吸引が外れて
も僅かな領域だけであるために全体としては比較的問題
なく品質の良い転写ができる。なお、転写フィルム１０
が来ない行（図では最上と最下の行）の吸引室７２は吸
引ストッパー７４が閉じられる。勿論、吸引室７２は１
行当たりに１室としてもよい。

【００３２】転写部Ｄにおいて、カラーフィルタ用のガ
ラス基板ＧＢは、固定台５１に設けてあるストッパー６
６で前進方向の位置決めが行われ、搬送ローラ５４の傾
斜部で左右方向の位置決めが行われて一旦停止する。こ
こでの搬送ローラも図４（ｂ）に示すものである。そし
て、型押し部材５０に設けたアライメントマークとガラ
ス基板ＧＢのアライメントマークにより基板ＧＢと型押
し部材５０の位置調節を行ってから転写を行う。

【００３３】本実施例では、図１４に示すように、型押
し部材５０側のアライメントマークＭＡを「□」型と
し、基板ＧＢ側のアライメントマークＭＢを「＋」型と
している。なお、各アライメントマークＭＡ，ＭＢの線
巾は５０μｍ、アライメントマークＭＡの一辺長さは１
０００μｍ、アライメントマークＭＢの長さは１５００
μｍである。そして、αラインで横方向の位置ズレ量を
検出し、βラインで縦方向の位置ズレ量を検出する。す
なわち、位置ズレ量の許容値をそれぞれ±Δａ、±Δｂ
とした時に、ａ₁≦ａ₂±Δａ、ｂ₁≦ｂ₂±Δｂとな
るように前後方向及び左右方向の駆動部材５７とを動か
して固定台５１を位置調節する。

【００３４】ここで基板ＧＢ側のアライメントマークＭ
Ｂの配置例としては図１５に示す３種類の形態があるが
他のものでも構わない。型押し部材５０側のアライメン
トマークＭＡの配置例は示さないが、「＋」を「□」に
置き換え、±１画素ずらして形成したものである。これ
はＲ，Ｇ，Ｂの位置合わせに対して型押し部材５０を共
通で使用するためである。これらは色毎に別々に位置合
わせされる。すなわち、Ｒ，Ｇ，Ｂのアライメントマー
クを各色の転写ごとに別々に対応させて位置調節を行
う。例として、図１６は第２色目のＧ用のアライメント
マークについて位置合わせする場合の説明図であり、
（ａ）は基板ＧＢ左側のアライメントマーク領域を、
（ｂ）は基板ＧＢ右側のアライメントマーク領域を示し
ている。具体的には、基板ＧＢ上に形成してある「＋」
状のアライメントマークＭＢのうちの中央にあるＧ用の
アライメントマークＭＢに対して、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色兼
用の型押し部材５０に形成してある「□」状のアライメ
ントマークＭＡのうちの中央にあるＧ用のアライメント
マークＭＡを合わせる。ここで正常の場合、他の色のア
ライメントマークは各々±１着色画素分ずつずれること
になるが、Ｇ色の位置合わせを行っているので特に問題
はない。なお、Ｒ，Ｂ用のアライメントマークについて
位置合わせを行うと他のアライメントマークは最大±２
画素分ずれる。ここでいう画素はカラーフィルタのＲ，
Ｇ，Ｂの１つ１つの着色画素に対応する。

【００３５】転写部Ｄでの転写動作を図１７により説明
する。まず（ａ）に示すように、基板ＧＢは転写部Ｄに
搬送される前に基板加熱部Ｃにて十分に加熱される。本
実施例では前記した如く遠赤外線ヒータを内蔵した上下
の加熱装置３０，３１を用いたが、熱風乾燥機等の他の
加熱手段でもよい。基板加熱部Ｌにて十分に加熱された
基板ＧＢは転写部Ｄに向けて搬送される。そして（ｂ）
に示すように、固定台５１に設けてあるストッパー６６
で前進方向の位置決めが行われ、搬送ローラ５４の傾斜
部で左右方向の位置決めが行われて一旦停止する。これ
に合わせて転写フィルム１０もその転写領域が型押し部
材５０の下になるように移動する。次いで（ｃ）に示す
ように、型押し部材５０が転写フィルム１０の上面に接
するように降下する。続いて（ｄ）に示すように、降下
した型押し部材５０が転写フィルム１０を吸引する。併
せて、基板ＧＢの温度が降下しないように固定台５１が
基板ＧＢの下面まで上昇して基板ＧＢと固定台５１を全
面で接触させる。この時点では転写フィルム１０と基板
ＧＢはすれすれであるが離れておりまだ接触してはいな
い。ここで前記のアライメントマークによる位置調節が
なされる。基板ＧＢと型押し部材５０との位置調節を終
えた後、（ｅ）に示すように型押し部材５０が降下し、
転写フィルム１０を上部より押しながら基板ＧＢを押圧
する。これにより、転写フィルム１０と基板ＧＢをカラ
ーフィルタパターンである凸部５０ａで密着させる。そ
して、型押し部材５０を離すことで転写フィルム１０か
ら着色材を基板ＧＢに転写する。この時、転写フィルム
１０が少し基板ＧＢ側に押されるが、そのテンション変
動は転写部Ｄの前後にある第２のダンサーローラ４１と
第３のダンサーローラ４７により調整される。そして、
転写終了後に（ｄ）、（ｃ）、（ｂ）と順に逆動作を
し、転写済みの転写フィルム１０は基板ＧＢから離れ
る。この場合、冷風等で十分温度を降下させて転写フィ
ルム１０と基板ＧＢとを剥離させるのもよい。

【００３６】そして、図１に戻るが、転写済みの転写フ
ィルム１０はガイドローラ４６、第３のダンサーローラ
４７、第３のニップローラ４４、第４のダンサーローラ
４８を経て排出部Ｅの巻取ロール４９に巻き取られる。

【００３７】

【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載の効果を奏する。

【００３８】転写部の型押し部材に転写フィルムを吸引
する吸引機構を設けた構成としたことにより、基板と型
押し部材の間に位置する転写フィルムを型押し部材側に
固定した状態で転写が行えることから、転写フィルムの
ずれを防いで型押し部材の凸部に対応する着色材のみを
基板上へ正確に転写でき、精度のよい高品質のカラーフ
ィルタを製造することができる。

【００３９】基板に付されたアライメントマークと型押
し部材に設けたアライメントマークとにより基板の型押
し部材に対する位置合わせを行ってから転写を行うこと
により、位置精度よく着色材のパターン転写を行うこと
ができることから、位置ずれのない高品質のカラーフィ
ルタを製造することができる。

【００４０】転写部の前に設けた基板加熱部でカラーフ
ィルタ基板を転写に適した温度にし、さらに転写部の固
定台に設けた加熱手段により基板の温度が転写に適した
温度から低下しないように加熱することにより、適切な
温度で転写を行うことができ、加熱不足による不良の発
生を防いで高品質のカラーフィルタを製造することがで
きる。

【００４１】転写フィルムの供給部と転写部の間に転写
フィルムの良否を判定する検査部を設けたことにより、
良品の基板に不良品の転写フィルムを転写しないように
することができ、したがって基板の無駄をなくして効率
よく着色材を転写することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る転写装置の一実施例を示す概略構
成図である。

【図２】検査部における判定画像の一例を示すグラフで
ある。

【図３】検査部における判定画像の一例を示すグラフで
ある。

【図４】基板を搬送するための搬送ローラを基板と共に
示す正面図である。

【図５】転写部の平面図である。

【図６】図５のＸ−Ｘ断面図である。

【図７】図５のＹ−Ｙ断面図である。

【図８】カラーフィルタのパターン配置図である。

【図９】カラーフィルタのパターン配置図である。

【図１０】カラーフィルタのパターン配置図である。

【図１１】カラーフィルタのパターン配置図である。

【図１２】図１の転写部における型押し部材の一部断面
図である。

【図１３】同じく型押し部材を上方から見た平面図であ
る。

【図１４】型押し部材のアライメントマークと基板のア
ライメントマークを重ねた状態を検出グラフとともに示
す説明図である。

【図１５】基板側のアライメントマークの配置例を示す
説明図である。

【図１６】型押し部材のアライメントマークと基板のア
ライメントマークをその中央のマークを対応させた状態
を示す説明図である。

【図１７】転写部での転写動作を示す工程図である。

【符号の説明】

ＧＢガラス基板Ａ供給部Ｂ検査部Ｃ基板加熱部Ｄ転写部Ｅ排出部１０転写フィルム５０型押し部材５０ａ凸部５１固定台６４ＣＣＤカメラ（入力部）６５電熱線（加熱手段）７０吸引路７１吸引孔７２吸引室７３吸引口７４ストッパーＭＡアライメントマーク（型押し部材側）ＭＢアライメントマーク（基板側）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】カラーフィルタ用の基板上に異なる色の
着色材を転写する工程を行う転写装置であって、支持フ
ィルム上に着色材が設けられた転写フィルムを供給する
供給部と、固定台の上に前記基板を載置した状態で下面
に凸部がパターン状に形成されている型押し部材により
前記転写フィルムから前記基板に着色材を転写する転写
部と、転写終了後に支持フィルムを排出する排出部とを
具備してなり、前記転写部の型押し部材に前記転写フィ
ルムを吸引する吸引機構が設けられていることを特徴と
する転写装置。
【請求項２】前記基板に付したアライメントマークに
対応するアライメントマークが前記型押し部材に設けら
れ、両者のアライメントマークを入力するための入力部
が前記型押し部材の上部に配設されており、入力したア
ライメントマークにより前記型押し部材に対する前記基
板の位置調整を行う調節機構が前記固定台に設けられて
いることを特徴とする請求項１記載の転写装置。
【請求項３】前記基板を予め加熱する基板加熱部が前
記転写部の前に設けられ、さらに転写中の基板の温度が
低下しないように前記検査部の固定台に加熱手段が設け
られていることを特徴とする請求項１又は２記載の転写
装置。
【請求項４】前記供給部と前記転写部との間に転写フ
ィルムの良品状態を検査する検査部が設けられているこ
とを特徴とする請求項１，２又は３記載の転写装置。