JP3678450B2 - カラーフィルタの製造方法及びその方法に用いる製造装置 - Google Patents

カラーフィルタの製造方法及びその方法に用いる製造装置 Download PDF

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Description

【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、ガラス基板上に遮光層及び異なる分光特性を有する複数色の着色画素を備えたカラーフィルタの製造方法及びその方法に用いる製造装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般にカラーフィルタの断面構造は図12に示すようであり、図示のカラーフィルタは、ガラス基板GB上に遮光層としてブラックマトリクス1を形成した後、各ブラックマトリクス1の間にR(赤),G(緑),B(青)の各着色画素2をブラックマトリクス1と重なるようにパターン状に形成し、別の工程で着色画素2上に透明の保護膜3を必要に応じて形成し、さらに透明導電膜4を形成することで作製されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来の技術で述べた構造のカラーフィルタを型押し式の転写装置で作製しようとする場合、図13(a)に示すように、ブラックマトリクス1と着色画素2とが重なるところに空気が混入し、着色画素2がうまく転写できなかったり、透過光に悪影響がでたりする問題点があった。すなわち、図示のように空気層5があると白スジや色ムラが目で見えてしまうという欠陥が発生する。また、着色画素2を転写した後で、図13(b)に示すように、着色画素2の端がめくれ上がったりしてカラーフィルタがうまく形成できないという問題点もあった。これについては転写方式に限らず、着色画素をフォトリソグラフィ法で形成したカラーフィルタについても同じことが言える。
【0004】
本発明は、上記の如き問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、品質の良いカラーフィルタを得るための製造方法を提供し、合わせて製造方法に用いる製造装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本発明のカラーフィルタの製造方法は、ガラス基板上に遮光層とR,G,Bの各着色画素とを有するカラーフィルタの製造方法であって、ガラス基板上にR,G,Bの各着色画素をそれぞれ転写装置によりパターン状に形成、さらに隣り合う着色画素の境界部を覆い且つ隣り合う各着色画素の端部の上に重なるようにして前記遮光層を転写装置により形成ようにし、各転写装置として、支持フィルム上に着色材を形成してなる転写フィルムを使用し、その転写フィルムとガラス基板とを所定パターンの凸部を有する転写ローラとそれに対向する押圧ローラとの間で押圧して転写工程を行う型押し式の転写装置を使用することを特徴とするものである。ここで、隣り合う着色画素の「境界部」とは、隣り合う着色画素同士が接している場合にはその境界線の部分を言い、隣り合う着色画素の間に間隙がある場合にはその間隙を言う。また、着色画素同士の境界が不明瞭で、フィルタとして用いられる領域以外の所で徐々に色が変わるような混在領域がある場合にはその混在領域を言う。
【0006】
また、本発明のカラーフィルタの製造装置は、ガラス基板上にR,G,Bの着色画素のうちの1つを形成する第1の製造ユニットと、第1の製造ユニットで形成された着色画素以外の1つの着色画素をガラス基板上に形成する第2の製造ユニットと、第1及び第2の製造ユニットで形成されていない着色画素をガラス基板上に形成する第3の製造ユニットと、隣り合う着色画素の境界部を覆い且つ隣り合う各着色画素の端部の上に重なるように遮光層を形成する第4の製造ユニットと備え、第1〜第4の各製造ユニットは、それぞれ支持フィルム上に着色材を形成してなる転写フィルムを使用し、その転写フィルムとガラス基板とを所定パターンの凸部を有する転写ローラとそれに対向する押圧ローラとの間で押圧して転写工程を行う型押し式の転写装置で構成されていることを特徴とする。
【0007】
そして、ガラス基板上の正確な位置に着色画素と遮光層とを形成するため、ガラス基板上のアライメントマークを検出する検出カメラを備えた検出部と、検出カメラからの信号に基づいて着色画素又は遮光層を形成すべき位置を演算する演算制御部と、演算制御部での演算結果に基づいて基板の位置を調整する位置調整部を、製造ユニットの前に配設するとよい。
【0008】
【作用】
上述の構成からなる本発明のカラーフィルタの製造方法では、ガラス基板上にR,G,Bの各着色画素をそれぞれ型押し式の転写装置によりパターン状に形成し、隣り合うそれらの着色画素の境界部を覆い且つ隣り合う各着色画素の端部の上に重なるようにして遮光層を型押し式の転写装置により形成するようにしたので、遮光層と着色画素との間に空気が入ったり着色画素がめくれ上がったりするようなことがない。
【0009】
また、上記構成の製造装置では、型押し式の転写装置で構成した第1〜第3の製造ユニットにより3色の着色画素を形成し、その後で同じく型押し式の転写装置で構成した第4の製造ユニットにより遮光層を形成するので、遮光層が着色画素の端部を押さえることとなり、着色画素のめくれ上がり等の問題を回避することができる。そして、位置調整部により基板の位置合わせを行ってから着色画素や遮光層を形成することで、基板上にこれらを位置精度よく形成することができる。
【0010】
【実施例】
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明する。
【0011】
図1は本発明に係る製造方法で得られたカラーフィルタの断面構造図である。同図に示されるようにこのカラーフィルタでは、ガラス基板GB上にR,G,Bの各着色画素2がそれぞれ後述の転写装置によりパターン状に形成され、さらに隣り合う着色画素の境界部を覆い且つ隣り合う各着色画素の端部の上に重なるようにして遮光層であるブラックマトリクス1が同様な転写装置により形成されている。そして、別工程にて着色画素2上に透明の保護膜3を形成し、さらに透明導電膜4を形成することでカラーフィルタが作製されている。このようにR,G,Bの着色画素2の間に、重なるようにブラックマトリクス1を形成することで、従来のカラーフィルタのようにブラックマトリクス1と着色画素2とが重なる部分に空気が混入するようなことがない。
【0012】
ここで、別工程にて形成される保護膜3には、▲1▼透明導電膜4の表面が平滑化する、▲2▼ブラックマトリクス1及び着色画素2の耐薬品性が向上する、等の機能がある。したがって、着色画素2とブラックマトリクス1の凹凸が少なく、またこれらの耐薬品性及び耐熱性が良好で、しかも透明導電膜4を形成する時の熱が問題ない程度であれば、保護膜3を除いて透明導電膜4をブラックマトリクス1と着色画素2上に形成してもよい。これについては後述の転写方式に限らず、着色画素2をフォトリソグラフィ法で形成したカラーフィルタでも同じである。
【0013】
図2は上記のカラーフィルタを作製する製造装置の一例を示すブロック図であり、以下これにより製造工程を説明する。
【0014】
(1)同図の左からガラス基板GBが搬入され、まず第1の位置調整部D1 で基板GBの概ねの位置合わせが行われる。次に、第1色目の着色画素を形成する製造ユニットU1 で基板GBに青(B)の着色画素のパターンを形成するとともに、パターン部以外の領域にアライメントマークを形成する。ここで、第1の位置調整部D1 は固定式とし、基板GBの一定範囲内に着色画素が形成できるようにしている。すなわち、搬送ローラやストッパーのみで基板GBの位置合わせをする。ただし、後述の位置調整部により基板GBを1枚毎に位置合わせする方が精度は上がる。
(2)Bの着色画素とアライメントマークを形成された基板GBは第2の位置調整部D2 に搬送され、ここで前記アライメントマークを利用して位置合わせが行われる。具体的には、検出カメラ40からの信号に基づき、第2色目の着色画素を形成すべき位置を演算制御部43にて演算し、当該演算結果に基づいて第2の位置調整部D2 にて基板GBの位置を調整する。次に、第2色目の着色画素を形成する第2の製造ユニットU2 で基板GBに赤(R)の着色画素のパターンを形成する。
(3)続いて、第3の位置調整部D3 にて前記と同様にして基板GBの位置合わせを行った後、第3色目の着色画素を形成する第3の製造ユニットU3 で基板GBに緑(G)の着色画素のパターンを形成する。
(4)次いで、第4の位置調整部D4 にて前記と同様にして基板GBの位置合わせを行った後、遮光層を形成する第4の製造ユニットU4 により、既に形成された3色の着色画素の隣り合うものの境界部を覆い且つ隣り合う着色画素の端部の上に重なるようにして遮光層としてのブラックマトリクス(BM)のパターンを形成する。
(5)基板GB上にR,G,Bの各着色画素と遮光層とを形成した後、これらが正確に形成されたかどうかを確認する。具体的には、検査台44に基板GBを搬送し、上方に設置した検査カメラ45で外観検査を行い、不良品はリジェクト装置46にて排出する。なお、第3の製造ユニットU3 の後にこれと同様の検査装置を配置して3色の着色画素の形成状態を検査するようにしてもよい。ここで、3色の着色画素が形成された状態を検査する場合、CCDカメラにより得られる画像データは、異なる色相の着色画素や遮光層がパターン状に形成されていることに起因して凹凸のある複雑な信号波形を示すことになるので、後述する転写フィルムを検査する場合とは異なる画像処理方法を採ることになる。
【0015】
このように各製造ユニットU1 〜U4 の前に基板GBの位置を調整する位置調整部を設けてあるために、隣り合う着色画素同士がほぼ接するようにそれぞれの着色画素を正確な位置に形成することができる。また、仮に着色画素の間に隙間が生じても、その上に遮光層を形成するので隙間がカラーフィルタの性能に悪影響を及ぼすことがない。
【0016】
図3は上記製造ユニットを構成する型押し転写装置を位置調整部とともに示す概略構成図である。
【0017】
転写フィルム10としてはPETフィルム等の支持フィルム上に着色材を形成したものが使用される。支持フィルムは2色目以降の着色材が転写しやすいように3〜10μmと薄いものを使用するとよい。また、支持フィルムにクッション材層、剥離層等を積層した場合には100〜300μmの厚いものでもよいが、ここでは後述の転写ローラで吸引するために3〜10μm程度の厚みのものが適している。そして、この支持フィルムの上に着色材が3μm程度の厚みで形成される。着色材の厚みは形成するカラーフィルタの着色画素の膜厚に応じて変えてよいが一般には1〜5μm程度である。この転写フィルム10は、長尺状のものを巻き取った巻取11として供給部Aにセットされる。したがって、本実施例では、支持フィルムの片面に加熱時のみ着色材を剥離できる剥離層を形成してその上に着色材を形成するとともに、反対面には着色材が付着しない剥離層を形成した層構成の転写フィルム10を使用することが好ましい。すなわち、この転写フィルム10をロール状に巻き取っても着色材が付着しないで済むからである。なお、図示の供給部Aでは巻取11が1本であるが、さらに生産能率を向上させるのであれば、巻取11を複数セットしてもよく、さらに転写フィルム10を自動的に接続できるオートペースターを使用してもよい。
【0018】
転写フィルム10は後述の排出部Eで巻き取られることで供給部Aの巻取11から繰り出される。供給部Aからの転写フィルム10は、テンションコントロール用の第1のダンサーローラ12を経由して検査部Bに至る。ダンサーローラ12には10〜30kgの重りが設定されており、ダンサーローラ12の位置が変化することで転写フィルム10のテンションが一定に保たれる。つまり、転写フィルム10が強く引っ張られるとダンサーローラ12はテンションを小さくして設定値になるように上に移動する。逆に転写フィルム10が緩むとダンサーローラ12はテンションを大きくして設定値になるように下に移動する。
【0019】
検査部Bでは転写フィルム10の画像を入力するCCDカメラ21がセットされており、着色材の色ムラや筋、またはゴミ付きを検査することができるようになっている。この検査部Bにおける光学系の構造としては、転写フィルム10を境にしてCCDカメラ21の反対側に拡散板22をセットし、その両脇からカラーフィルタのR,G,Bの各色にピークを持つ3波長の光源23(白色蛍光灯でもハロゲンランプでもよい)を用いて拡散板22に照射する手段が採られている。この場合、3波長の光源23を用いた方がR,G,Bの各色に対して発色性がよく検査性能が良好になる。光は拡散板22で拡散され転写フィルム10を均一に照らすので、この画像をCCDカメラ21から入力し図示していない判定部にて良品、不良品を判定する。
【0020】
この時の判定画像の一例を図4及び図5に示している。横軸は転写フィルム10の巾方向であり縦軸は転写フィルム10の色の濃度である。良品と不良品の判定は、カラーフィルタのR,G,Bの各色毎に用意してある許容値±aと基準色濃度レベルmとCCDカメラ21からの入力データとを比較して行う。この場合、デジタルスイッチを用いてR,G,Bの各色毎に許容値±aは±a(r),±a(g),±a(b)として、基準色濃度レベルmはm(r),m(g),m(b)としてそれぞれセットしておく。ここで、オペレータが良品と判断したところで基準値入力スイッチを押すことにより、画像入力データを平均することで基準色濃度レベルmが各色に合わせて記憶されるようにしてもよい。
【0021】
図4は良品の場合を示す例であり、画像入力したデータは設定してある基準色濃度レベルmを中心に許容値±a以内に入っている。図5は不良品を示す例であり、画像入力したデータは設定してある基準色濃度レベルmを中心に許容値±aより外れている。左側の急峻な突起xはゴミ付きによる不良であり、右側のなだらかな凸部yは着色材の濃度ムラである。
【0022】
検査部Bで転写フィルム10が良品と判定されると、転写フィルム10はカラーフィルタ用のガラス基板GBに転写すべく、第2のダンサーローラ13を経由して転写部Cへと移動する。ここで、一般に転写フィルム10は加熱すると伸びてテンションの調整がしにくくなるので加熱はしないで常温とする。しかし、支持フィルムが厚い場合など転写フィルム10の伸びに問題なければ、転写をしやすくするためフィルム加熱部を設けて予備加熱してもよい。予備加熱する場合、転写フィルム10の加熱温度は20〜50℃程度がよい。あまり加熱するとフィルムが伸びてしまうためテンション制御がしにくくなる。この転写フィルム10の移動に併せてガラス基板GBは位置調整部Dを経て転写部Cに供給される。なお、ガラス基板GBも予備加熱をして転写部Cへ移動させてもよい。検査部Bで転写フィルム10が不良品と判定されると、後方のいずれかのローラに設置されているフィルムメータ数カウンタによって不良位置を検出し、図示していない制御装置により不良位置を記録する。そして、この記憶された不良位置データに基づき不良の転写フィルム部分は転写されずに排出部Eへと巻き取られる。
【0023】
図6は製造ユニットの前に配設された位置調整部Dを示す平面図、図7は位置調整部Dの位置調整機構を示す斜視図である。
【0024】
図6に示すように、左右方向の第1の位置決め部材である「へ」の字型の揺動板30が基板GBの進行方向に対して直交する方向に揺動することにより基板GBの概ねの位置調整を行う。第2の位置決め部材である傾斜を持った搬送ローラ群により基板は左右方向の位置決めをされる。この搬送ローラ群の対向する搬送ローラ31は徐々にその間隔を挟めてあり、基板GBが所定位置に調整されるように構成してある。このように左右方向を略位置調整された基板GBは、前の基板GBの通過後に上昇する前進方向の位置決め部材であるストッパー32で一時停止され、同時に搬送ローラ31の回転も一時停止する。この時点で基板GBは搬送ローラ31に保持され、搬送ローラ31は図示していない保持手段でローラ載置台33に保持されている。
【0025】
ローラ載置台33は図3及び図7に示すように回転台34に保持され、さらに回転台34はY方向移動部材35に保持され、Y方向移動部材35はY方向案内部材36に保持され、Y方向案内部材36はX方向移動部材37に保持され、X方向移動部材37はX方向案内部材38に保持され、X方向案内部材38は基台39に保持されている。これによりローラ載置台33のX−Y方向の移動と回転を行って基板GBの位置を調整する。
【0026】
位置合わせ用の検出カメラ40の検出信号により演算して求めた位置ズレ量に従い、X方向案内部材38に沿ってX方向移動部材37を左右方向に動かし、Y方向案内部材36に沿ってY方向移動部材35を前後方向に動かす。また、回転が必要な場合には回転台34を回動させて基板GBの進行方向の角度を変更する。このようにすることで上記演算した位置ズレ量を「0」にするか或いは許容範囲内にする。
【0027】
本実施例では、基板GBにはその進行方向を先頭としてパターン形成部の両側に「+」型のアライメントマークを設けてある。また、基板GBが停止した位置で「□」型のカメラ側のアライメントマークを形成したガラス板41が基板GBの「+」型のアライメントマーク上に位置するようにしてある。つまり、検出カメラ40から見ると、図8に示すように「□」型のアライメントマークMAと「+」型のアライメントマークMBが重なった状態になる。検出カメラ40により両マークMA,MBを検出した後、演算制御部によりαラインで横方向の位置ズレ量を演算し、βラインで縦方向の位置ズレ量を演算する。そして、位置ズレ量の許容値をそれぞれ±Δa、±Δbとした時に、a1 ≦a2 ±Δa、b1 ≦b2 ±Δbとなるように演算制御部の信号に基づき基板GBの位置を調整する。
【0028】
ここで基板GB上のアライメントマークMBの配置例としては図9(a),(b),(c)に示す3種類の形態があるが他のものでも構わない。とにかく、R,G,B別の各転写ユニットにおいてカメラ側のアライメントマーク「□」を基板GB上のR,G,B別のアライメントマーク「+」に対応させて基板GBの位置調整を行う。このようにして、R,G,B別に順番に転写することで、カラーフィルタのパターンに対応した着色画素が基板GB上に順番に形成できる。この場合、基板GB上の中央に設けるパターン形成部の両脇に図9(a)に示すようなアライメントマーク群を「ハ」の字形に配置することにより、基板GBの進行方向が目視で分かって都合がよい。また、このように「ハ」の字形に配置することで、2台の検出カメラ40の間隔は、R,G,B毎に広げていくことになるため、別のアライメントマークを誤って読み取ることがなくなる。
【0029】
上記のようにして基板GBの位置調整を完了した後、転写部Cにおける転写ローラ51の回転に同期したロータリーエンコーダによる第1のタイミング信号と、基板GBのエッジ検知を行うタイミングセンサ42(図6参照)からの第2のタイミング信号とを演算制御部に入力し、転写ローラ51と基板GBとの重ね合わせのタンミングがとれる時にストッパー32が降下して基板GBは転写部Cへ移動を開始する。
【0030】
転写部Cは転写ローラ51とその下側に押圧ローラ52とが配設されて構成されている。押圧ローラ52の前後には基板GBがスムースに搬送されるように一定間隔で搬送ローラ53があり、各ローラ53はタイミングベルトによるタイミング機構で接続され、さらにモータによる駆動機構が接続されている。このようにすることで各ローラ53は同期を取りながら駆動され、位置調整部Dのストッパー32が降下すると基板GBは一定タイミングで転写部Cへと搬送される。なお、既に位置決めされている基板GBをずらさないようにするため、搬送ローラ53の側面は基板GBの側面と接触しないようにしてある。また、押圧ローラ52には加熱手段が内蔵されている。これにより、基板GBを下部から加熱して転写に適した温度(80〜170℃の高温)に保ちながら、転写ローラ51と押圧ローラ52の間で転写フィルム10と基板GBを押圧して転写工程を行う。
【0031】
図10は転写部における転写ローラを示すもので、(a)はその正面図、(b)は(a)のX−X断面図である。
【0032】
転写ローラ51は円筒状のローラ部分53とこれに連結した支持部材54とからなり、支持部材54を回転させることでローラ部分53が回転するようになっている。ローラ部分53の外周面には図11に例示するパターンで凸部55が設けられている。図11に例示するパターンはモザイク型の場合の「R」用のパターンである。凸部55の巾は100μm程度で間隔は300μm程度である。凸部55の高さは本実施例では10〜50μm程度であるが、転写フィルム10の厚みに合わせて例えば300μm程度にしてもよい。また、支持部材54には転写ローラ51全体が上昇及び下降できるように図示していない上下動用の駆動機構が設けられている。もちろん、基板GBとローラ部分53が重なった時に、ローラ部分53に設けてある凸部55が転写フィルム10を押すことにより、凸部55に対応して基板GB上に着色画素を形成することができる。
【0033】
ローラ部分53の内部は吸引路56に連結されており、支持部材54の一方がベアリング54aを介してこの吸引路56に支持されている。吸引路56を経由してローラ部分53内のエアが外部に排出されるが、この時のエアの経路は吸引孔57、吸引室58、吸引路56の順である。そして、ローラ部分53の上側では吸引しないように吸引室58の上部にマスク部材59を配設して吸引孔57をローラ部分53の内部から塞いでいる。このマスク部材59はローラ部分53が回転しても回転しないが、その中心は吸引路56と接続されているのでエアはここを通って排出される。この吸引手段を採ることにより、転写時において、凸部55の間にある吸引孔57は転写フィルム10を吸引し、転写フィルム10をローラ部分53に吸着することになる。このように各吸引孔57で転写フィルム10を吸着すると、凸部55に対応する部分が基板GB側に張り出す状態になるために品質の良い転写が行われる。
【0034】
図3に戻るが、転写部Cにて転写工程を終了した後、転写済みの転写フィルム10は第3のダンサーローラ61を経て排出部Eの巻取ロール62に巻き取られ、基板GBは着色画素を形成されて次工程へ排出される。
【0035】
【発明の効果】
本発明は上述のように構成されているので、次に記載する効果を奏する。
【0036】
請求項1記載のカラーフィルタの製造方法によればガラス基板上にR,G,Bの各着色画素をそれぞれ型押し式の転写装置によりパターン状に形成し、隣り合うそれらの着色画素の境界部分の上に重なるようにして遮光層を型押し式の転写装置により形成するようにしたので、遮光層と着色画素との間に空気が入ったり着色画素がめくれ上がったりするようなことがなく、品質のよいカラーフィルタを提供することができる。仮に着色画素間に空気が入っても、その上に遮光層があるために、これが白スジや色ムラとして見えることはない。
【0037】
請求項2記載の製造装置では、型押し式の転写装置で構成した第1〜第3の製造ユニットにより3色の着色画素を形成し、その後で同じく型押し式の転写装置で構成した第4の製造ユニットにより遮光層を形成するので、遮光層が着色画素の端部を押さえることとなり、着色画素のめくれ上がり等の問題が回避されることから、品質のよいカラーフィルタを効率よく生産することができる。
【0038】
請求項3記載の製造装置では、位置調整部により基板の位置合わせを行ってから着色画素や遮光層を形成するようにしたことにより、基板上にこれらを位置精度よく形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係るカラーフィルタの断面構造図である。
【図2】 図1のカラーフィルタを作製する製造装置の一例を示すブロック図である。
【図3】 製造ユニットを構成する型押し転写装置を位置調整部とともに示す概略構成図である。
【図4】 転写装置の検査部における判定画像の一例を示すグラフである。
【図5】 転写装置の検査部における判定画像の一例を示すグラフである。
【図6】 位置調整部の平面図である。
【図7】 位置調整部の位置調整機構を示す斜視図である。
【図8】 基板側とカメラ側のアライメントマークを重ねた状態を検出グラフとともに示す説明図である。
【図9】 基板側のアライメントマークの配置例を示す説明図である。
【図10】 転写部における転写ローラを示すもので、(a)はその正面図、(b)は(a)のX−X断面図である。
【図11】 転写ローラの外周面に形成された凸部を示すパターン図である。
【図12】 従来のカラーフィルタの断面構造図である。
【図13】 従来のカラーフィルタの欠点を説明するための説明図である。
【符号の説明】
GB ガラス基板
1 遮光層
2 着色画素
3 保護層
4 透明導電膜
1 第1の製造ユニット
2 第2の製造ユニット
3 第3の製造ユニット
4 第4の製造ユニット
40 検出カメラ

Claims (3)

  1. ガラス基板上に遮光層とR,G,Bの各着色画素とを有するカラーフィルタの製造方法であって、ガラス基板上にR,G,Bの各着色画素をそれぞれ転写装置によりパターン状に形成、さらに隣り合う着色画素の境界部を覆い且つ隣り合う各着色画素の端部の上に重なるようにして前記遮光層を転写装置により形成ようにし、各転写装置として、支持フィルム上に着色材を形成してなる転写フィルムを使用し、その転写フィルムとガラス基板とを所定パターンの凸部を有する転写ローラとそれに対向する押圧ローラとの間で押圧して転写工程を行う型押し式の転写装置を使用することを特徴とするカラーフィルタの製造方法
  2. ガラス基板上にR,G,Bの着色画素のうちの1つを形成する第1の製造ユニットと、第1の製造ユニットで形成された着色画素以外の1つの着色画素をガラス基板上に形成する第2の製造ユニットと、第1及び第2の製造ユニットで形成されていない着色画素をガラス基板上に形成する第3の製造ユニットと、隣り合う着色画素の境界部を覆い且つ隣り合う各着色画素の端部の上に重なるように遮光層を形成する第4の製造ユニットと備え、第1〜第4の各製造ユニットは、それぞれ支持フィルム上に着色材を形成してなる転写フィルムを使用し、その転写フィルムとガラス基板とを所定パターンの凸部を有する転写ローラとそれに対向する押圧ローラとの間で押圧して転写工程を行う型押し式の転写装置で構成されていることを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
  3. ガラス基板上のアライメントマークを検出する検出カメラを備えた検出部と、検出カメラからの信号に基づいて着色画素又は遮光層を形成すべき位置を演算する演算制御部と、演算制御部での演算結果に基づいて基板の位置を調整する位置調整部を、製造ユニットの前に配設したことを特徴とする請求項2記載のカラーフィルタの製造装置。
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