JP3587777B2 - 加熱処理方法及び加熱処理装置 - Google Patents
加熱処理方法及び加熱処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3587777B2 JP3587777B2 JP2000329937A JP2000329937A JP3587777B2 JP 3587777 B2 JP3587777 B2 JP 3587777B2 JP 2000329937 A JP2000329937 A JP 2000329937A JP 2000329937 A JP2000329937 A JP 2000329937A JP 3587777 B2 JP3587777 B2 JP 3587777B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- heat treatment
- substrate
- heating
- coating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は,基板の加熱処理方法と加熱処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば半導体デバイスの製造プロセスにおけるフォトグラフィー工程では,ウェハ表面にレジスト膜を形成するレジスト塗布処理,ウェハにパターンを照射して露光する露光処理,露光後パターン形状を向上させるためウェハを加熱する加熱処理,その後ウェハに対して現像を行う現像処理等が行われる。これらの処理を行う各処理装置は,露光処理装置をのぞき,一つのシステムとしてまとめられ,塗布現像処理システムを構成している。
【0003】
ここで,上記塗布現像処理システムにより所定のウェハが製造されているか否かは,一連の処理後にウェハ表面に形成された回路パターンの線幅を検査,測定することにより行われていた。また,この線幅を測定する線幅測定機は,上記塗布現像処理システム外に個別に設けられており,作業員が製造されたウェハを前記線幅測定機まで運搬して,前記線幅測定を行っていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら,ウェハの線幅測定は,一連の処理後に行われ,さらに作業員がウェハを塗布現像処理システム中から線幅測定機に搬送して行われているため,ウェハの線幅に異常が発生しても,例えば露光処理後の加熱時間を補正するまでに時間がかかっていた。そして,その間に多くのウェハが製造されるので,所定の線幅のスペックをはずされた不良品が多く製造されていた。
【0005】
発明者の知見によれば,上記露光処理後の加熱処理中,ウェハ表面の塗布膜の膜厚には,露光された露光部と露光されない未露光部との間に段差が形成されるが,この段差と上述した一連の処理後のウェハの線幅には,一貫した相関関係があることが分かった。
【0006】
本発明は,かかる点に鑑みてなされたものであり,露光処理後の加熱処理中に,一連の処理後の線幅と相関関係のあるウェハ表面の塗布膜の膜厚の段差を測定し,前記段差が所定の範囲に収まるように即座に加熱時間を補正することができる加熱処理装置及び加熱処理方法を提供して,前記問題の解決を図ることをその目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明は,塗布膜を有する基板を露光処理した後,当該基板を区画された領域ごとに加熱可能な加熱処理装置によって加熱処理する加熱処理方法において,前記基板の加熱処理中に少なくとも1回,前記区画された領域ごとに基板表面の塗布膜の膜厚の段差を測定する工程と,前記基板表面の塗布膜の膜厚の段差を測定した後,前記基板表面の塗布膜の膜厚の段差の測定値に基づき,前記区画された領域毎に,前記基板の加熱時間を制御する工程と,を有することを特徴とする加熱処理方法が提供される。
【0018】
本発明によれば,加熱処理により生じる前記基板表面の塗布膜の膜厚の段差を所定の範囲内の保つことができ,その結果,前記基板の一連の処理後における最終戦幅が所定の範囲内に保たれる。また,前記熱板の領域間に生じる前記段差のばらつきも修正されるので,基板面内の線幅の均一性が向上する。
【0019】
かかる場合,前記測定値が予め設定された許容値の範囲内にない場合にのみ、前記制御を行ってもよい。
【0020】
したがって,前記測定値に対して過敏に基板の加熱温度や加熱時間を制御することなく,必要に応じて制御することができる。
【0021】
請求項3の発明は,塗布膜を有する基板を露光処理した後,当該基板を加熱手段によって加熱する加熱処理装置であって,加熱処理中に前記基板表面の塗布膜の膜厚の段差を測定する段差測定手段を有し,前記加熱手段は,前記基板を載置し加熱する熱板を有し,前記熱板は区画された領域毎に個別に加熱時間の調節が可能であることを特徴とする,加熱処理装置である。
【0022】
本発明の加熱処理装置では,前記加熱処理装置が,前記段差測定装置を有することにより,加熱処理中に,前記段差を測定できるため,例えば一連の基板処理の最終的なパターンの線幅と相関関係のある前記段差の測定値に基づいて,加熱時間を修正し,前記段差を所定の範囲内に保つことができる。その結果,基板の一連の処理後における最終線幅が所定の範囲内に保たれる。また,前記熱板の領域間に生じる前記段差のばらつきも修正されるので,同一基板面内の線幅の均一性が向上する。
【0023】
前記段差測定手段は,前記段差を測定するためのセンサ部を有し,前記センサ部が前記基板上を移動自在であるようにしてもよい。そうすると前記センサ部が,前記基板表面の塗布膜の膜厚の段差を測定しやすい位置まで移動し測定できるので,パターンの異なる基板に対しても対応できる。
【0025】
また前記センサ部に,前記センサ部を覆う保護部材を有するようにしても良い。これにより,前記センサ部が使用されていないときに,加熱処理において蒸発した溶剤等が前記センサ部に付着し,前記センサ部が汚染されることを防止できる。
【0026】
さらに前記加熱処理装置内を排気するための排気口を有し,前記排気口が,前記基板よりも下方に配置されるようにしてもよい。そうすると加熱処理中に蒸発した溶剤等が,前記基板の下方から排気されるので,前記基板の上方に設けられた前記センサ部の汚染を防止できる。
【0031】
前記熱板は同心円状に区画されていても良い。また放射状に区画されていても良い。さらにまた,両者を組み合わせてより細分化されて区画されていてもよい。
【0032】
このように,前記熱板を同心円状に区画することにより,前記熱板の同心円状に区画された領域間に生じる前記段差のばらつきを修正することができ,同一基板面内の線幅の均一性が向上する。
【0033】
【発明の実施の形態】
図1は,本実施の形態にかかる加熱処理装置としてのポストエクスポージャーベーキング装置を有する塗布現像処理システム1の平面図であり,図2は,塗布現像処理システム1の正面図であり,図3は,塗布現像処理システム1の背面図である。
【0034】
塗布現像処理システム1は,図1に示すように,例えば25枚のウェハWをカセット単位で外部から塗布現像処理システム1に対して搬入出したり,カセットCに対してウェハWを搬入出したりするカセットステーション2と,塗布現像処理工程の中で枚葉式に所定の処理を施す各種処理装置を多段配置してなる処理ステーション3と,この処理ステーション3に隣接して設けられている露光装置52との間でウェハWの受け渡しをするインターフェイス部4とを一体に接続した構成を有している。
【0035】
カセットステーション2では,載置部となるカセット載置台5上の所定の位置に,複数のカセットCをX方向(図1中の上下方向)に一列に載置自在となっている。そして,このカセット配列方向(X方向)とカセットCに収容されたウェハWのウェハ配列方向(Z方向;鉛直方向)に対して移送可能なウェハ搬送体7が搬送路8に沿って移動自在に設けられており,各カセットCに対して選択的にアクセスできるようになっている。
【0036】
ウェハ搬送体7は,後述するように処理ステーション3側の第3の処理装置群G3に属するアライメント装置32とエクステンション装置33に対してもアクセスできるように構成されている。
【0037】
処理ステーション3では,その中心部に主搬送装置13が設けられており,主搬送装置13の周辺には各種処理装置が多段に配置されて処理装置群を構成している。該塗布現像処理システム1においては,4つの処理装置群G1,G2,G3,G4が配置されており,第1及び第2の処理装置群G1,G2は現像処理システム1の正面側に配置され,第3の処理装置群G3は,カセットステーション2に隣接して配置され,第4の処理装置群G4は,インターフェイス部4に隣接して配置されている。さらにオプションとして破線で示した第5の処理装置群G5を背面側に別途配置可能となっている。
【0038】
第1の処理装置群G1では図2に示すように,2種類のスピンナ型処理装置,例えばウェハWに対してレジストを塗布して処理するレジスト塗布装置15と,ウェハWに現像液を供給して処理する現像処理装置16が下から順に2段に配置されている。第2の処理装置群G2の場合も同様に,レジスト塗布装置17と,現像処理装置18とが下から順に2段に積み重ねられている
【0039】
第3の処理装置群G3では,図3に示すように,ウェハWを冷却処理するクーリング装置30,レジスト液とウェハWとの定着性を高めるためのアドヒージョン装置31,ウェハWの位置合わせを行うアライメント装置32,ウェハWを待機させるエクステンション装置33,レジスト塗布後のシンナー溶剤の乾燥処理を行うプリベーキング装置34,35及び現像処理後の加熱処理を施すポストベーキング装置36,37等が下から順に例えば8段に重ねられている。
【0040】
第4の処理装置群G4では,例えばクーリング装置40,載置したウェハWを自然冷却させるエクステンション・クーリング装置41,エクステンション装置42,クーリング装置43,露光処理後の加熱処理を行う本実施の形態にかかるポストエクスポージャーベーキング装置44,45,ポストベーキング装置46,47等が下から順に例えば8段に積み重ねられている。
【0041】
インターフェイス部4の中央部にはウェハ搬送体50が設けられている。このウェハ搬送体50はX方向(図1中の上下方向),Z方向(垂直方向)の移動とθ方向(Z軸を中心とする回転方向)の回転が自在にできるように構成されており,第4の処理装置群G4に属するエクステンション・クーリング装置41,エクステンション装置42,周辺露光装置51及び破線で示した露光装置52に対してアクセスできるように構成されている。
【0042】
次に,本実施の形態にかかるポストエクスポージャーベーキング装置44の構成について説明する。
【0043】
ポストエクスポージャーベーキング装置44内には,図4に示すように,ウェハWを載置し加熱する,厚みのある円盤状の熱板61が設けられている。この熱板61には,加熱の際の熱源となるヒーター62が内蔵されており,このヒータ62は,ヒーター制御装置63により加熱温度が制御される。
【0044】
一方,ウェハWの上方には,ウェハW表面の段差を測定する2つのセンサ部64がアーム66に支持されている。このセンサ部64は,ウェハW表面のレジスト膜の膜厚をLED光によって検知できるように構成されており,2つのセンサ部64によって測定された膜厚の差が,ウェハW表面の膜厚の段差として認識される。
【0045】
また,センサ部64が支持されているアーム66は,図5に示すように,Y方向(図5において上下方向)に伸びるレール67に取り付けられており,このレール67上を移動自在となっている。さらにレール67は,ケーシング60の壁に沿って設けられている2本のレール68に取り付けられており,X方向(図5において左右方向)に移動自在となっている。従って,アーム66に取り付けられたセンサ部64は,X,Y方向に移動自在となっている。
【0046】
上述したセンサ部64で測定されたウェハW表面の膜厚の段差の測定値は,図4に示したようにセンサ部64と接続されている主制御装置69に送られる。この主制御装置69には,予め所定の加熱温度と所定のタイミング(例えば,加熱開始から20秒後)におけるウェハW表面の段差の許容値とを記憶させてある。そして,前記段差の測定値が許容値の範囲内にない場合には,接続されているヒーター制御装置63を制御するように構成されている。さらにケーシング60下面には,ケーシング60内を排気するための排気口70が設けられている。一方,ケーシング60の上面には供給口71が設けられており,供給項71から所定のガス,たとえば,清浄空気や窒素ガスが供給されると,ケーシング60内にはダウンフローが形成される。
【0047】
また,ポストエクスポージャーベーキング装置44には,ウェハWを搬入出する際に,ウェハWを支持し,昇降させる昇降ピン72が設けられており,熱板61に設けられた貫通孔73を貫通して出没自在となっている。また熱板61上には,加熱処理中ウェハWを支持するためのプロキシミティピン74が,同一円周上で3ヶ所に設けられている。
【0048】
次に以上のように構成された加熱処理装置としてのポストエクスポージャーベーキング装置44の作用を,塗布現像処理システム1で行われるウェハWの塗布現像処理のプロセスと共に説明する。
【0049】
先ず,ウェハ搬送体7がカセットCから未処理のウェハWを1枚取りだし,第3の処理装置群G3に属するアライメント装置32に搬入する。次いで,アライメント装置32にて位置合わせの終了したウェハWは,主搬送装置13によって,アドヒージョン装置31,クーリング装置30,レジスト塗布装置15又17,プリベーキング装置33又は34に順次搬送され,所定の処理が施される。その後,ウェハWは,エクステンション・クーリング装置41に搬送される。
【0050】
次いで,ウェハWはエクステンション・クーリング装置41からウェハ搬送体50によって取り出され,その後,周辺露光装置51を経て露光装置52に搬送される。露光処理の終了したウェハWは,ウェハ搬送体50によりエクステンション装置42に搬送された後,主搬送装置13に保持される。次いで,このウェハWはポストエクスポージャーベーキング装置44又は45に搬送される。
【0051】
次にポストエクスポージャーベーキング装置44におけるウェハWの作用を図6のフローに従って説明する。
【0052】
先ず,前処理が終了したウェハWが,搬送体50によって,ポストエクスポージャーベーキング装置44内に搬入され,予め上昇して待機していた昇降ピン72に受け渡される。そして,昇降ピン72の下降に伴い,ウェハWが下降し,熱板61上の支持ピン74に支持される。この時,予め所定の温度に加熱された熱板61によって,ウェハWの加熱が開始される。また,加熱処理中は,ウェハ表面から発生した溶剤等を排気するため常に,ケーシング60内には既述したダウンフローが形成されている。
【0053】
次に,2つのセンサ部64が,アーム66によって,ウェハW上の所定の位置に移動し,待機する。そして,これらのセンサ部64は,所定のタイミング,例えば,加熱開始から20秒で,ウェハ表面にLED光を照射し,図7示すようなウェハW表面のレジスト膜に形成される露光部と未露光部との膜厚の段差dを測定する。その測定値は,主制御装置69に送られ,予め主記憶装置69に記憶されているウェハ表面の段差の許容値と比較される。ここで,ウェハW表面の段差の許容値は,実験等により求められた加熱処理中のウェハW表面の段差と最終線幅との相関関係から決定される。この相関関係として例えば,図8に示すように,段差が小さくなるにつれ,最終線幅も小さくなるような関係がある。そして,最終線幅の許容範囲のボーダーの値に対応する段差の値を前記段差の許容値とし,予め主制御装置69に記憶しておく。
【0054】
そこで,主制御装置69は,段差の測定値が予め記憶されている段差の許容値の範囲内にない場合は,ヒーター制御装置63にそのデータを送り,ヒータ制御装置63は,送られたデータに基づきヒータ62の設定温度を調節する。例えば,段差の測定値が,段差の許容値の範囲よりも大きい場合は,ヒーター62の設定温度を下げて,逆に段差の許容値の範囲よりも小さい場合は,ヒータ62の設定温度を上げる。一方,段差の測定値が,段差の許容値の範囲内である場合は,ヒータ制御装置63にデータは送られず,ヒータ62の設定温度は,そのまま保たれる。
【0055】
その後,段差測定の終了したセンサ部64は,再びアーム66によってウェハW上面から所定の位置に退避する。そして,ウェハWは,適切な温度で所定時間加熱される。
【0056】
加熱処理の終了したウェハWは,再び昇降ピン72に支持され上昇し,ウェハ搬送体7に受け渡された後,ポストエクスポージャーベーキング装置44から搬出される。
【0057】
以上の実施の形態によれば,ポストエクスポージャーベーキング装置44の加熱処理中に,センサ部64によって,ウェハW表面のレジスト膜の膜厚の段差を測定し,即座にヒータ62の設定温度を適切な温度に補正するため,ウェハWのいわゆる不良品を減少させ歩留まりの向上が図られる。また,測定された段差が,予め設定されている許容値の範囲内にない場合にのみヒータ62の設定温度を変更することにより,必要最小限の制御に抑えられるため,作業効率が向上する。
【0058】
また,センサ部64がアーム66によって移動自在に設けられているので,段差測定に適した位置に移動して段差を測定できる。さらに,ケーシング60内にダウンフローを形成させておくので,ウェハWから発生する溶剤等によってセンサ部64が汚染されることを防止できる。
【0059】
次に,第2の実施の形態として区画された熱板を有するポストエクスポージャーベーキング装置44について説明する。この第2の実施の形態におけるポストエクスポージャーベーキング装置44の熱板81は,図9に示すように同心円状に区画され,その区画されたエリア81a,81b,81c毎にヒータ82a,82b,82cがそれぞれ内蔵されている。これらの各ヒータ82a,82b,82cは,ヒータ制御装置83a,83b,83cによって個別に制御されるように構成されている。さらに各ヒータ制御装置83a,83b,83cは,一の主制御装置69に接続されており,この主制御装置69は,センサ部64で測定した段差に基づき各ヒータ制御装置83a,83b,83cを制御するように構成されている。
【0060】
第2の実施の形態にかかるポストエクスポージャーベーキング装置44は,第1の実施の形態にかかるポストエクスポージャーベーキング装置44と同様にして,ウェハWが搬送体50によって搬入され,熱板81上の支持ピン74に載置された後,各エリア毎のヒータ82a,82b,82cによって加熱処理される。加熱処理中,各エリアにおいて,異なるタイミング,例えば,加熱開始から,81aでは20秒後,81bでは30秒後,81cでは40秒後にセンサ部64によってウェハW表面の段差が測定される。それらの測定値は,主制御装置69に送られ,その主制御装置69において,各エリア毎に予め記憶されている段差の許容値と比較される。そして,第1の実施の形態同様,各エリアの段差の測定値が,許容値の範囲内にない場合にのみ,それぞれのヒータ制御装置83a,83b,83cにデータが送られ,ヒータ82a,82b,82cの設定温度が各エリア毎に調節される。
【0061】
この第2の実施の形態によれば,熱板81の区画されたエリア81a,81b,81c毎にウェハW表面に形成される段差を測定し,各エリア毎に加熱温度を調節するので,同一ウェハW内の最終線幅のばらつきが抑えられ,ウェハW面内の均一性が保たれる。
【0062】
前記実施の形態では,熱板81は,同心円状に区画されたエリア81a,81b,81cを有していたが,図11に示したように,熱板81が放射状に区画されたエリア81dを有していても本発明は適用される。さらにまた図12に示したように,同心円状と放射状とを組み合わせてより細分化されたエリア81e,81fに対して,個別に加熱温度や加熱時間を制御するようにすれば,より微細な調整を行うことが可能である。
【0063】
さらに以上の段差測定にあたっては,テスト用のパターンが形成されている専用のテスト用ウエハや基板を使用することで,より精度の高い測定が実施できる。このようなテスト用のウエハの段差測定に基づく制御は,ウエハのロットの切れ目や,所定の枚数の生産用ウエハに対して処理した後に行うことが好ましい。
【0064】
さらに前記実施の形態では,段差を測定した際のデータに基づいて,露光後の加熱処理の際の加熱温度,加熱時間を制御するようにしていたが,これに代えて,後処理である現像処理の現像時間を制御するようにしてもよい。
【0065】
ここで上述した実施の形態において,加熱処理が終了する際にもう一度段差を測定し,最終線幅との相関関係から適切な段差を形成しているか否か確認しても良い。また,段差の測定値に基づき,ヒータの設定温度を調節したが,その代わりに加熱時間を調節しても良い。
【0066】
また上述した実施の形態では,センサ部64がウェハWから蒸発する溶剤等によって汚染されないように,ダウンフローを形成していたが,さらに図10に示すように,センサ部64を覆う保護部材90を設けてもよい。
【0067】
先に説明した実施の形態は,半導体ウェハデバイス製造プロセスのリソグラフィー工程におけるウェハの処理システムについてであったが,半導体ウェハ以外の基板例えばLCD基板の処理システムにおいても応用できる。
【0068】
【発明の効果】
本発明によれば,まず基板の加熱処理中に,基板表面の塗布膜の膜厚の段差を測定するので,前記段差を測定するために,基板の処理を中断する必要がなくなる。また,区画された熱板の領域毎に基板表面の塗布膜の膜厚の段差が測定されるため,基板上のより細かい範囲の段差が測定できる。さらに基板表面の塗布膜の膜厚の段差の測定値に基づき,熱板の領域毎に,基板の加熱時間を制御することで,加熱処理により生じる前記段差を所定の範囲内の保つことができ,その結果,前記基板の一連の処理後における最終線幅が所定の範囲内に保たれ,歩留まりが向上する。また熱板の領域間に生じる前記段差のばらつきも修正されるので,同一基板面内の線幅の均一性が向上する。
【0074】
請求項2の発明によれば,基板表面の塗布膜の膜厚の段差の測定値が予め設定された許容値を超えた場合にのみ、基板の加熱温度や加熱時間を制御するので,余計な制御が抑制され作業効率が向上する。
【0080】
請求項3の発明によれば,基板の加熱時間を制御することで,加熱処理により生じる前記基板表面の段差が所定の範囲内の保つことができ,その結果,基板の一連の処理後における最終線幅が所定の範囲内に保たれ歩留まりが向上する。また,熱板の領域間に生じる前記段差のばらつきも修正されるので,同一基板面内の線幅の均一性が向上し,歩留まりの向上が図られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施の形態にかかるポストエクスポージャーベーキング装置を備えた塗布現像処理システムの外観を示す平面図である。
【図2】図1の塗布現像処理システムの正面図である。
【図3】図1の塗布現像処理システムの背面図である。
【図4】第1の実施の形態にかかるポストエクスポージャーベーキング装置の縦断面の説明図である。
【図5】第1に実施の形態にかかるポストエクスポージャーベーキング装置の横断面の説明図である。
【図6】第1の実施の形態にかかるポストエクスポージャーベーキング装置で行われる加熱処理のプロセスを現したフロー図である。
【図7】第1の実施の形態にかかるポストエクスポージャーベーキング装置で行われる加熱処理により生じたウェハ表面のレジスト膜の膜厚の段差の説明図である。
【図8】ウェハ表面に形成された段差と最終線幅との相関関係の一例を示した説明図である。
【図9】第2の実施の形態にかかるポストエクスポージャーベーキング装置の区画された熱板の説明図である。
【図10】第1の実施の形態におけるポストエクスポージャーベーキング装置のウェハ表面の段差を測定するセンサ部に保護部材を取り付けた場合の説明図である。
【図11】放射状に区画されたエリアを有する熱板の平面図である。
【図12】同心円状かつ放射状に区画されたエリアを有する熱板の平面図である。
【符号の説明】
1 塗布現像処理システム
44,45 ポストエクスポージャーベーキング装置
61,81 熱板
64 センサ部
69 主制御装置
W ウェハ
Claims (3)
- 塗布膜を有する基板を露光処理した後,当該基板を区画された領域毎に加熱可能な加熱処理装置によって加熱処理する加熱処理方法において,前記加熱処理中に少なくとも1回,前記区画された領域ごとに,前記基板表面の塗布膜の膜厚の段差を測定する工程と,
前記基板表面の塗布膜の膜厚の段差を測定した後,前記基板表面の塗布膜の膜厚の段差の測定値に基づき,前記区画された領域毎に,前記基板の加熱時間を制御する工程と,
を有することを特徴とする,加熱処理方法。 - 前記測定値が予め設定された許容値を超えた場合にのみ、前記区画された領域毎に,前記制御を行うことを特徴とする、請求項1に記載の加熱処理方法。
- 塗布膜を有する基板を露光処理した後,当該基板を加熱手段によって加熱する加熱処理装置であって,
加熱処理中に前記基板表面の塗布膜の膜厚の段差を測定する段差測定手段を有し,
前記加熱手段は,前記基板を載置し加熱する熱板を有し,
前記熱板は区画された領域毎に個別に加熱時間の調節が可能であることを特徴とする,加熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000329937A JP3587777B2 (ja) | 1999-11-02 | 2000-10-30 | 加熱処理方法及び加熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31228699 | 1999-11-02 | ||
JP11-312286 | 1999-11-02 | ||
JP2000329937A JP3587777B2 (ja) | 1999-11-02 | 2000-10-30 | 加熱処理方法及び加熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001196302A JP2001196302A (ja) | 2001-07-19 |
JP3587777B2 true JP3587777B2 (ja) | 2004-11-10 |
Family
ID=26567091
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000329937A Expired - Fee Related JP3587777B2 (ja) | 1999-11-02 | 2000-10-30 | 加熱処理方法及び加熱処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3587777B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4734376B2 (ja) * | 1998-07-02 | 2011-07-27 | 株式会社東芝 | 加熱装置の評価方法とパターン形成方法及び加熱装置の制御方法 |
JP2003203837A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-18 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理方法及び基板処理装置 |
JP4762743B2 (ja) * | 2006-02-09 | 2011-08-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置 |
JP2008172111A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Tokyo Electron Ltd | リフロー処理装置およびリフロー処理方法 |
KR20190079560A (ko) * | 2017-12-27 | 2019-07-05 | 주성엔지니어링(주) | 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 |
-
2000
- 2000-10-30 JP JP2000329937A patent/JP3587777B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001196302A (ja) | 2001-07-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8138456B2 (en) | Heat processing method, computer-readable storage medium, and heat processing apparatus | |
JP3792986B2 (ja) | 膜形成方法及び膜形成装置 | |
JP4328667B2 (ja) | 基板の処理膜の表面荒れを改善する方法及び基板の処理装置 | |
JPH1043666A (ja) | 塗布膜形成方法及びその装置 | |
TWI501338B (zh) | A heat treatment method and a recording medium and a heat treatment apparatus for recording a program for carrying out the heat treatment method | |
JP6789096B2 (ja) | 熱処理装置、熱処理方法及びコンピュータ記憶媒体 | |
US8168378B2 (en) | Substrate treatment system, substrate treatment method, and computer readable storage medium | |
US7938587B2 (en) | Substrate processing method, computer storage medium and substrate processing system | |
JP2006228820A (ja) | 熱処理板の温度設定方法,熱処理板の温度設定装置,プログラム及びプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP3708786B2 (ja) | レジストパターン形成方法及び半導体製造システム | |
JP2001143850A (ja) | 基板の加熱処理装置,基板の加熱処理方法,基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP4970882B2 (ja) | 基板の測定方法、プログラム、プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体及び基板の測定システム | |
TWI305934B (ja) | ||
JP3755814B2 (ja) | 熱処理方法及び熱処理装置 | |
US7425689B2 (en) | Inline physical shape profiling for predictive temperature correction during baking of wafers in a semiconductor photolithography process | |
WO2008013211A1 (en) | Substrate processing method, program, computer-readable recording medium, and substrate processing system | |
JP3587777B2 (ja) | 加熱処理方法及び加熱処理装置 | |
JP2006222354A (ja) | 熱処理板の温度設定方法,熱処理板の温度設定装置,プログラム及びプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP3311984B2 (ja) | 熱処理装置 | |
KR100684013B1 (ko) | 가열처리방법 및 가열처리장치 | |
US7977038B2 (en) | Substrate processing method, substrate processing system, and computer-readable recording medium recording program thereon | |
US6332751B1 (en) | Transfer device centering method and substrate processing apparatus | |
JP2003209050A (ja) | 基板処理方法及び基板処理装置 | |
KR101387862B1 (ko) | 기판의 처리 방법, 프로그램, 컴퓨터 기억매체 및 기판 처리 시스템 | |
JP3793063B2 (ja) | 処理方法及び処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040402 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040525 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040709 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20040803 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040810 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100820 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100820 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130820 Year of fee payment: 9 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |