JPH08166509A

JPH08166509A - 転写装置

Info

Publication number: JPH08166509A
Application number: JP6311898A
Authority: JP
Inventors: Yasuhide Nakajima; 泰秀中島; Masaru Sasaki; 賢佐々木
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1994-12-15
Filing date: 1994-12-15
Publication date: 1996-06-25

Abstract

(57)【要約】【目的】着色画素のパターンを形成する各着色レジス
トをカラーフィルター用の基板に転写する工程を速やか
に行えるようにする。【構成】支持フィルム１ａを供給する供給部Ａと、供
給された支持フィルム１ａ上に着色レジストを形成して
転写フィルム１を作製する着色レジスト形成部Ｂと、作
製した転写フィルム１とカラーフィルター用の基板２３
とを重ね合わせて支持フィルム１ａ上の着色レジストを
基板２３に転写する転写部（Ｆ，Ｇ，Ｈ）と、着色レジ
ストを転写した基板２３から支持フィルム１ａを剥離す
る剥離部Ｉとを具備させて構成する。これらの工程を連
続して自動的に行えるので、フィルム転写法によるカラ
ーフィルターの製造工程を速やかに行える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ用の
カラーフィルターにおけるレッド（Ｒ）、グリーン
（Ｇ）、ブルー（Ｂ）の各着色画素と遮光層とをフィル
ム転写法によりカラーフィルター用の基板上に形成する
工程に係り、詳しくは、着色画素のパターンを構成する
各着色レジストを基板に転写する転写装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のカラーフィルターの製造
方法の一つとしていわゆるフィルム転写法が知られてい
る。この方法は、支持フィルム上に透明着色レジストを
設けた転写フィルムをカラーフィルター用のガラス基板
に重ね合わせ、加熱圧着して着色レジストを基板上に転
写し、フォトマスクを介して前記着色レジストを露光し
た後、現像して着色画素のパターンを形成する一連の工
程からなり、色相の異なる着色レジストについて前記の
工程を繰り返すことによってカラーフィルターを製造す
るものである。また、支持フィルムに薄いフィルムを使
用するなどして露光時に適性ギャップが得られる場合に
あっては、支持フィルムを剥離する前に露光することも
行われている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の技術で述べたフ
ィルム転写法においては、支持フィルムに着色レジスト
を塗布してなる転写フィルムを１枚毎カラーフィルター
用のガラス基板上に載せ、その後加熱してローラで押圧
することで貼り合わせを行い、着色レジストの基板への
転写が完了した後で支持フィルムを剥している。しかし
ながらこのように１枚ずつ作業をしているのでは時間が
多くかかり生産効率が著しく低下するという問題点があ
った。

【０００４】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
てなされものであり、フィルム転写法によるカラーフィ
ルターの製造工程を速やかに行えるようにした転写装置
を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る転写装置は、支持フィルムを供給する
供給部と、供給された前記支持フィルム上に着色レジス
トを形成して転写フィルムを作製する着色レジスト形成
部と、作製した転写フィルムとカラーフィルター用の基
板とを重ね合わせて支持フィルム上の着色レジストを基
板に転写する転写部と、着色レジストを転写した前記基
板から前記支持フィルムを剥離する剥離部とを具備して
なることを特徴としている。

【０００６】また、上記の転写装置において、支持フィ
ルム上に形成した着色レジストの層を乾燥させる乾燥部
を設け、当該乾燥部を、着色レジストを内部から乾燥さ
せる第１の乾燥部と、着色レジストを外部から乾燥させ
る第２の乾燥部とで構成するのが好ましい。

【０００７】また、作製された転写フィルムを基板と重
ね合わせる前に着色レジスト上に保護フィルムを一時的
に貼り合わせる手段を設けるようにしてもよい。

【０００８】

【作用】上述の構成からなる本発明の転写装置によれ
ば、供給部から繰り出された支持フィルム上にカラーフ
ィルターの着色レジストが形成されて転写フィルムが作
製され、当該転写フィルムがそのまま転写部に送られて
カラーフィルター用の基板と重ね合わせられ、支持フィ
ルム上の着色レジストが基板に転写された後、基板から
支持フィルムが剥離される。

【０００９】着色レジストを内部から乾燥させる第１の
乾燥部と、着色レジストを外部から乾燥させる第２の乾
燥部とで乾燥部を構成することにより、支持フィルム上
に形成した着色レジストを速やかに乾燥させることがで
きる。

【００１０】作製された転写フィルムを基板と重ね合わ
せる前に保護フィルムを着色レジスト上に保護フィルム
を一時的に貼り合わせる手段を設けることにより、転写
フィルムが基板と重ね合わせられるまでの間でゴミの付
着が防止され、また転写部までの間でテンション等の制
御もできる。

【００１１】

【実施例】図１は本発明に係る転写装置の第１実施例を
示す概略構成図である。

【００１２】まず、供給部Ａから支持フィルム１ａを供
給するが、当該支持フィルム１ａは巻取２からニップロ
ーラ３で引っ張りだされ、ダンサーローラ４にてテンシ
ョンを制御されて着色レジスト形成部Ｂへと移動する。

【００１３】着色レジスト形成部Ｂでは、ガイドローラ
５に対向してダイヘッド６が配設されており、支持フィ
ルム１ａをこのガイドローラ５とダイヘッド６の間を通
過させ、塗布液である透明着色レジストをダイヘッド６
より押し出して支持フィルム１ａ上にコーティングす
る。この時、支持フィルム１ａ上に形成する着色レジス
トの厚みはガイドローラ５とダイヘッド６との間隔で決
まる。

【００１４】本実施例の転写装置では、支持フィルム上
への着色レジストの形成工程と基板への着色レジストの
転写工程を行う。そして、別工程にて、着色レジストの
パターニング露光と現像を行う。この一連の工程を１色
毎に繰り返してカラーフィルターを製造するが、２色目
以降を形成しやすいようにするため、支持フィルム１ａ
としては３〜１０μｍと薄いものを使用している。な
お、支持フィルム１ａとして１０〜２００μｍのものを
使用する場合には、支持フィルム１ａ上に着色レジスト
層に加えクッション層、剥離層等を用いることにより、
既に形成された着色画素パターンと次の着色レジストの
重なり箇所の段差部に隙間が開かないようにするとよ
い。このクッション層の形成は同様にダイヘッドで行う
か、クッション層を別フィルムとして貼り合わせるなど
の方法がある。

【００１５】着色レジストがコーティングされた支持フ
ィルム１ａは、着色レジストの層を乾燥させるために乾
燥部Ｃへと移動する。本実施例での乾燥部Ｃは、高周波
により着色レジストを内部から乾燥させる第１の乾燥部
Ｃ₁と、熱風により着色レジストを外部から乾燥させる
第２の乾燥部Ｃ₂とから構成されている。このため、支
持フィルム１ａ上に形成した着色レジストの層を速やか
に乾燥させることができるようになっている。

【００１６】このようにして作製された転写フィルム１
を汚れないようにするため、着色レジストの上から保護
フィルム１ｂを貼り付けて保護する。保護フィルム１ｂ
は巻取７からニップローラ８により引っ張りだされ、ダ
ンサーローラ９にてテンションを制御されて貼付ローラ
１０へと移動し、着色レジストを形成した転写フィルム
１と貼り合わせられる。ここで、支持フィルム１ａと保
護フィルム１ｂは上記のように巻取２，７の状態で本装
置にセットされるが、さらに生産能率を向上させるので
あれば、それぞれの巻取２，７を複数セットし、フィル
ムを自動的に接続できるオートペースターを使用しても
良い。

【００１７】テンションコントロール用のダンサーロー
ラ４，９には２０〜３０ｋｇの荷重が設定されるが、各
フィルムに応じて適切な荷重を設定するのがよい。テン
ションの制御は、ダンサーローラの位置が変化すること
でフィルムのテンションを一定に保つように行われる。
つまり、フィルムが強く引っ張られるとダンサーローラ
はテンションを小さくして設定値になるように下にさが
る。逆にフィルムが緩むとダンサーローラはテンション
を大きくするように上にあがる。

【００１８】保護フィルム１ｂを貼り付けた転写フィル
ム１は、ダンサーローラ１１でテンションを制御されな
がらニップローラ１２により引っ張られ、除塵装置１３
で両面からエアを吹き付けられることによりフィルムに
付着した埃や塵を吹き飛ばされた後、検査部ＤのＣＣＤ
カメラ１４の前面へ移動する。これにより埃や塵を不良
と間違えて判断することがなくなる上、転写時に着色レ
ジストと共に埃や塵を貼ることがなくなる。埃や塵は着
色レジストに付着している訳ではないが保護フィルム１
ｂを剥した時に起こる静電気で転写フィルム１の縁付近
の埃や塵が回り込み着色レジストに付着することがあ
る。

【００１９】検査部Ｄでは転写フィルム１の画像を入力
するＣＣＤカメラ１４がセットされており、着色レジス
トの色ムラや筋、またはゴミ付きを検査することができ
るようになっている。本実施例の検査部Ｄにおける光学
系の構造としては、転写フィルム１を境にしてＣＣＤカ
メラ１４の反対側に拡散板１５をセットし、その両脇か
らカラーフィルターのＲ，Ｇ，Ｂの各色にピークを持つ
３波長の光源１６（白色蛍光灯でもハロゲンランプでも
よい）を用いて拡散板１５に照射する手段が採られてい
る。なお、３波長光源の方がそのピークであるＲ，Ｇ，
Ｂの各色のムラ等を検査しやすい。光は拡散板１５で拡
散され転写フィルム１を均一に照らすので、この画像を
ＣＣＤカメラ１４から入力し図示しない判定部にて良品
と不良品を判定する。

【００２０】この時の判定画像の一例を図２及び図３に
示している。横軸はフィルムの巾方向であり縦軸は転写
フィルムの色の濃度である。良品と不良品の判定は、カ
ラーフィルターのＲ，Ｇ，Ｂの各色毎に用意してある許
容値±ａ₁と基準色濃度レベルｍ₁とＣＣＤカメラ１４
からの入力データとを比較して行う。この場合、デジタ
ルスイッチを用いてＲ，Ｇ，Ｂの色毎に許容値±ａ₁は
±ａ₁（ｒ）、±ａ₁（ｇ）、±ａ₁（ｂ）として、基
準色濃度レベルｍ₁はｍ₁（ｒ）、ｍ₁（ｇ）、ｍ
₁（ｂ）としてそれぞれセットしておく。ここで、オペ
レータが良品と判断したところで基準値入力スイッチを
押すことにより、画像入力データを平均することで基準
値濃度レベルｍ₁が各色に合わせて記憶されるようにし
てもよい。

【００２１】図２は良品の場合を示す例であり、画像入
力したデータは設定してある基準色濃度レベルｍ₁を中
心に許容値±ａ₁以内に入っている。図３は不良品を示
す例であり、画像入力したデータは設定してある基準色
濃度レベルｍ₁を中心に許容値±ａ₁より外れている。
左側の急峻な突起ｘ₁がゴミ付きによる不良であり、右
側のなだらかな凸部ｙ₁が着色レジストの濃度ムラであ
る。ゴミ付きの不良は立ち上がりが急峻である為に画像
を微分処理すると検出しやすく、濃度ムラは全体的にゆ
っくりと変動する為に画像を積分すると検出しやすい。

【００２２】検査部Ｄにて検査された結果が不良なら
ば、後方のニップローラ１７に設置されているカウンタ
１８によって、その不良位置が図示していない制御装置
の記憶部に記憶され、不良箇所を含む転写フィルム部分
は基板と貼り合わせないで排出部Ｊ（後述）にて巻き取
られる。また、検査後の転写フィルム１は除電装置１９
にて静電気を除去された後、剥離ローラ２０により保護
フィルム１ｂが剥される。そして、剥された保護フィル
ム１ｂはダンサーローラ２１によりテンションをコント
ロールされながら巻取ロール２２に巻き取られる。

【００２３】カラーフィルター用のガラス基板２３は搬
送ローラ２４でゆっくりと図１の左側の前工程から搬送
されてくる。この時、基板２３のカラーフィルター形成
面を下向きにして搬送する。なぜならば、空中に舞う
埃、塵等のゴミが自然に落下して基板２３に付くのを防
止する為である。そのためにここで用いる搬送ローラ２
４は図４（ａ）に示すように基板２３の下面を擦らない
ようになっており、且つ外側に傾斜面を持っていて基板
２３が真っ直ぐに進むように構成されている。もちろ
ん、図４（ｂ）に示すものでもよく、このものでは下側
からの検査、貼り合わせ等の処理がしやすい。

【００２４】前工程から搬送されたガラス基板２３は加
熱装置２５，２６を備えた第１の加熱部Ｅにて上下から
加熱される。この加熱装置２５，２６では、熱風にて基
板２３を８０℃から１７０℃程度に十分加熱する。な
お、熱風によらず、赤外線ヒータ、高周波加熱装置、電
熱線等を用いて加熱しても良い。なお、基板２３の搬送
ローラ２４に図４（ｂ）に示すタイプのものを使用する
と下からの加熱効率が良くなる。そして、検査部Ｄの結
果によって転写フィルム１が不良であれば、基板２３は
ストッパー２７により一時停止され、不良箇所のある転
写フィルム１は基板２３に転写することなく巻き取られ
るように構成されている。つまり、前述の如く不良の場
合は後方のニップローラ１７に設置されているカウンタ
１８によって不良位置を検出し、図示していない制御装
置の記憶部に不良位置を記録する。そして、この記憶さ
れた不良位置データに基づき不良箇所のある転写フィル
ム部分は転写されないタイミングで排出部Ｊにて巻き取
られる。このようにニップローラ１７にカウンタ１８を
接続しておくとニップローラ１７が転写フィルム１をし
っかりと挟み込んでいるためにカウンタ値とフィルム送
り量とのずれがなく正確に不良位置が把握できる。

【００２５】検査部Ｄでの結果が良品であれば、基板２
３は停止せずに押圧部Ｆと第２の加熱部Ｇと冷却部Ｈと
から構成される転写部に搬送される。

【００２６】押圧部Ｆで使用する押圧部材２８の一例を
図５に示す。この押圧部材２８はローラ部分２８ａの両
サイドに円盤２８ｂを有しており、駆動部による保持及
び回転をしやすくしている。ローラ部分２８ａの径は２
０ｍｍ以下にするのが好ましい。図６に示す別タイプの
押圧部材２８は、押圧時の圧力が大きい時、押圧部材２
８と基板２３との接触する面が浮くことなく接触できる
ようにローラ部分２８ａの中央部の径を少し大きめにし
てある。このため基板２３と平行に転写フィルム１を押
圧することができる。もちろん径が多少大きくなっても
よい。また、この時の基板２３と転写フィルム１との貼
り合わせの角度φ（図７（ａ）参照）は鈍角にしてい
る。このように貼り合わせ角度φを鈍角にすると、２色
目以降の着色レジストを転写する時に空気の巻き込みが
少なくなり、着色レジストを綺麗に転写することができ
る。

【００２７】本実施例の転写装置でカラーフィルターを
形成するには、基板上に１色目の着色レジストを転写し
た後、別工程でパターン露出、現像を行って１色目の着
色画素パターンを形成し、次いで、２色目の着色レジス
トをその上から転写した後、別工程でパターン露光、現
像を行って１色目の着色画素パターンを形成し、同様に
３色目の着色レジストをその上から転写した後、別工程
でパターン露光、現像を行って３色目の着色画素パター
ンを形成する。この時、２色目以降の転写時において形
成済みの着色画素パターンと次の転写フィルムとの境目
に空気が残る現象が発生するが、上記の押圧部材２８を
使用することでこの現象を解決することができる。

【００２８】図７に本発明での転写状態を従来例と比較
して示す。図７（ｂ）に示すように、従来の装置では押
圧部材２９であるローラの径が大きいため、既に着色レ
ジスト（Ｒ）が転写された基板２３の上に次の着色レジ
スト（Ｇ）を転写フィルム１から転写しようとすると、
先の着色レジスト（Ｒ）のエッジと転写フィルム１の間
に空気が残り、次の着色レジスト（Ｇ）がうまく転写で
きないことが発生していた。しかし、上記押圧部材２８
は径の小さい回転ローラであるため、図７（ａ）に示す
ように、既に転写されている着色レジスト（Ｒ）のエッ
ジと転写フィルム１との間に空気が残りにくく、空気の
巻き込みを少なくして次の着色レジスト（Ｇ）の転写を
行うことができる。

【００２９】第２の加熱部Ｇは加熱装置３１，３２で構
成されており、転写フィルム１の付いたガラス基板２３
を上下から挟持し加熱しながら搬送する。すなわち、上
側の加熱装置３１は電熱線（ニクロム線等）を内蔵した
５本の加熱ローラ３１ａにより搬送ベルト３１ｂを介し
て基板２３の上側（裏側）を加熱し、下側の加熱装置３
２は同じく電熱線（ニクロム線等）を内蔵した４本の加
熱ローラ３２ａにより搬送ベルト３２ｂを介して基板２
３の下側（表側）を加熱する。ここで、上側の加熱装置
３１における最初の加熱ローラ３１ａの中心軸と押圧部
材２８の中心軸とが平行であるように、且つ上側の加熱
装置３１の残り４本の加熱ローラ３１ａと下側の加熱装
置３２の４本の加熱ローラ３２ａとがそれぞれ対応する
ように配置してあり、これにより転写フィルム１と基板
２３を均一に押圧するようになっている。そして、対向
する４組の加熱ローラ３１ａ，３２ａは次の冷却部Ｆに
近づくに従って加熱温度が低くなるように設定されてい
る。つまり、上側の加熱装置３１における１，２本目の
加熱ローラ３１ａは８０℃から１７０℃程度の十分な加
熱温度にし、３本目以降はその加熱温度を低くしていき
５本目の加熱ローラ３１ａでは３０〜５０℃程度の加熱
温度にしている。これに合わせて下側（フィルム側）の
加熱装置３２も上記に対応する１本目の加熱ローラ３２
ａは６０〜１３０℃程度の十分な加熱温度にし、２本目
以降は順次その加熱温度を低くしていき４本目の加熱ロ
ーラ３２ａ（上側の加熱装置３１の５本目の加熱ローラ
３１ａに対応する）では３０〜５０℃程度の加熱温度に
している。このように加熱温度を設定し、フィルム側の
加熱装置３２を若干低めにしておいた方がフィルムが伸
びずに品質が安定する。また転写フィルム１が貼られた
基板２３が次の冷却部Ｆに入った時点で水滴等が発生せ
ずにスムースに送られる。なお、加熱ローラの本数、加
熱部の長さ等は必要に応じて変更すればよい。転写フィ
ルム１の種類によっても異なるが、転写フィルム１が熱
で伸び過ぎて困る場合には、フィルム側の加熱装置３２
をもっと低温、例えば２０〜３０℃に設定してもよい。
また、加熱時に押圧用の搬送ベルト３１ｂ，３２ｂが汚
れて基板２３の裏側を汚したり、転写フィルム１側から
のゴミが着色レジストを押圧して窪みができたりしない
ようにするため、各搬送ベルト３１ｂ，３２ｂ上にゴミ
取りローラ３１ｃ，３２ｃが設けられている。このゴミ
取りローラ３１ｃ，３２ｃはフリーローラの周囲に粘着
層を設けたもので、搬送ベルト３１ｂ，３２ｂに接した
状態で回転してゴミを取るようになっている。このよう
にして十分に加熱され、貼り合わせられた基板２３と転
写フィルム１は共に同速度で冷却部Ｈへと移動する。

【００３０】冷却部Ｈは冷却装置３３，３４で構成され
ており、転写フィルム１の付いた基板２３を上下から挟
持し冷却しながら搬送する。すなわち、上側の冷却装置
３３は中に冷却水を通した５本の冷却ローラ３３ａによ
り搬送ベルト３３ｂを介して基板２３の上側（裏側）を
冷却し、下側の冷却装置３４は同じく中に冷却水を通し
た５本の冷却ローラ３４ａ（上側の冷却ローラ３３ａと
それぞれ対応する）により搬送ベルト３４ｂを介して基
板１４の下側（表側）を冷却する。この場合、加熱部Ｇ
側から徐々に温度を下げていき、冷却部Ｈから基板２３
を搬出する時には、２０℃から２５℃程度にまで十分冷
却するようになっている。すなわち、１本目と２本目の
冷却ローラ３３ａ，３４ａでは冷却水を３０〜４０℃程
度の温水とし、３本目と４本目は２５〜３０℃程度の温
水とし、５本目は２０から２５℃程度としている。ま
た、冷却時に搬送ベルト３３ｂ，３４ｂが汚れて基板２
３の裏側を汚したり、転写フィルム１側からのゴミが着
色レジストを押圧して窪みができたりしないようにする
ため、搬送ベルト３３ｂ，３４ｂ上に前記と同様なゴミ
取りローラ３３ｃ，３４ｃが設けられている。また、冷
却部Ｈの後には冷風器３５が配置してある。このように
冷却することで、転写フィルム１の着色レジストはガラ
ス基板２３から剥がれにくくなり、逆に支持フィルムか
ら剥がれやすくなる。

【００３１】このように転写フィルム１の付いた基板２
３を十分冷却したところで剥離部Ｉに搬送する。本実施
例では、図１に示すように、冷風器３５の下に設けてあ
る剥離部材３６でガラス基板２３から転写フィルム１を
剥離するようにしている。この剥離部Ｉにおいては、ガ
ラス基板１と転写フィルム２３との剥離角度を鈍角にし
ており、これにより転写フィルム１から支持フィルム１
ａだけが綺麗に剥がれ、着色レジストをガラス基板２３
に転写することができる。ここで十分温度が降下してい
ないと支持フィルム１ａに着色レジストが取られてうま
く転写できない。この剥離部Ｉで使用する剥離部材３６
は図５又は図６に示す押圧部材２８と同じ形状のもので
ある。なお、図６に示すタイプの剥離部材３６は、剥離
部材３６と基板２３との接触する面が浮くことなく接触
できるようにローラ部分の中央部の径を少し大きめにし
てあるため、この剥離部材３６を使用すれば、基板２３
から平行に支持フィルム１ａを剥がせて綺麗に転写する
ことができる。もちろん径が大きくなってもよい。

【００３２】剥離部材３６で支持フィルム１ａを剥離し
た後、ガラス基板２３は搬送ローラ２４により次工程へ
送られていく。ここで、搬送ローラ２４の上方にゴミ取
りローラを設けて基板２３裏面の付着ゴミを除去するよ
うにしておけば、次工程にゴミ等を持ち込まずに済む
し、次工程が検査装置であれば、誤判定の原因となるゴ
ミ等がなくなって具合がよい。一方、転写終了後の支持
フィルム１ａは排出部Ｊにて巻き取られる。すなわち、
支持フィルム１ａはニップローラ１７で引っ張られて巻
き上げられた後、ダンサーロール３７でテンションをコ
ントロールされながら支持フィルム１ａの巻取ロール３
８に巻き取られる。このように、支持フィルム１ａの排
出部Ｊをはじめ、前記したように支持フィルム１ａの供
給部Ａ、保護フィルム１ｂの貼付部、保護フィルム１ｂ
の巻き取り部にテンションをコントロールするダンサー
ロールを設けておくと、転写前後のテンションがほぼ一
定になり、着色レジストの転写に効果的である。

【００３３】図８（ａ）〜（ｄ）は押圧部材２８の変形
例を示す図である。図８（ａ）の押圧部材４１は先端が
尖っているが、刃物ではないために多少は丸みを帯びて
いる。このタイプの押圧部材４１は構造が単純で製作が
容易であり、転写時に一番空気を巻き込みにくい。しか
し、転写フィルム上を移動する時にフィルムを擦って切
ってしまう可能性があるので、先端の丸みと転写フィル
ムの強度を勘案して使用する必要がある。図８（ｂ）の
押圧部材４２は、先端に小径の円柱部分４２ａを固定し
たものである。円柱部分４２ａは回転しないので転写フ
ィルムを擦ってしまうがフィルムが切れる程ではない。
そして、円柱部分４２ａの径を小さくすればするほど空
気を巻き込みにくくなる。また、可動部分がないのでこ
のタイプも製作が容易である。図８（ｃ）の押圧部材４
３は、保持部材４３ａ先端に回転ロール４３ｂを有して
いるために転写フィルム上の移動が滑らかである。図８
（ｄ）に示す押圧部材４４は、（ｃ）のタイプと同様に
保持部材４４ａの先端に回転ロール４４ｂを有している
とともに、背中にガイドローラ４４ｃが設けられてお
り、転写フィルムがガイドローラ４４ｂを経由して巻き
取られ、保持部材４４ａと接触しないので傷付いたり切
れたりすることがない。この何れのタイプの押圧部材を
用いても、基板上に空気の巻き込みを少なくして着色レ
ジストを転写することができる。押圧時の圧力を大きく
する時には、各先端の丸みの中央部分の径等を少し大き
めにすると効果的である。なお、これらの押圧部材は、
剥離部Ｉの剥離部材に利用することも勿論可能である。
また、転写装置を設置する室内又は領域を一定温度、一
定湿度にすることで品質も安定しやすくなる。

【００３４】図９は検査部Ｄにて使用している検査装置
の一例を示すブロック図である。この検査装置では、検
出部である２５万画素のエリアセンサを格納したＣＣＤ
カメラ１４により転写フィルム１を検査する。転写フィ
ルム１の後方よりＲＧＢのカラーフィルターの波長に合
う３波長光源１６で拡散板１５を介して照射する。転写
フィルム１の基準画像がＣＣＤカメラ１４全面に到達し
た時、つまり、作業者が良品と判断した時、図示してい
ない良品入力のボタンを押す。転写フィルム１の画像は
入力部５０を介して切り換えスイッチ（ＳＷ）により基
準メモリ５１内に格納される。次に切り換えスイッチは
検査メモリ５２に切り換えられ、一定タイミングごとに
ＣＣＤカメラ１４から転写フィルム画像が入力され、検
査メモリ５２に格納される。この後、基準メモリ５１の
内容と検査メモリ５２の内容は比較部５３にて画素毎に
比較され、予め許容値設定部５４にて設定された許容値
の上限値（ｍａｘ）及び下限値（ｍｉｎ）と判定部５５
にて比較され、上限値より大きい時、又は下限値より小
さい時に不良信号が出力される。本実施例で使用したこ
の検査装置は機構が複雑ではあるが、パターン化されて
いる画像の検査に適している。

【００３５】図１０は検査装置の他の例を示すブロック
図である。この検査装置では、複数のフォトダイオード
６０を転写フィルム１の巾方向に並列に配置し、転写フ
ィルム１の後方よりＲＧＢのカラーフィルターの波長に
合う３波長光源１６で拡散板１５を介して照射する。前
記フォトダイオード６０は転写フィルム１の着色レジス
トを透過した光を検出する。この信号を検出部６１を介
して増幅部６２に送信して一定の比率に増幅する。この
増幅部６２には転写フィルム１の着色レジストの濃度が
一定の時に、各フォトダイオード６０や検出部６１のば
らつきをニグレクトできるように、つまり、上限値比較
部６３及び下限値比較部６４に送信される信号が一定に
なるように調節器を設けてある。この増幅部６２で増幅
された信号は各比較部６３，６４に送信され、予め許容
値測定部６５にて設定された許容値の上限値（ｍａｘ）
及び下限値（ｍｉｎ）と比較され上限値より大きい時、
又は下限値より小さい時に不良信号が出力される。この
検査装置は機構も単純であるためベタの画像の検査に適
している。

【００３６】図１１は加熱部Ｇと冷却部Ｈの搬送ベルト
に付着するゴミを除去するためのゴミ取り装置であるゴ
ミ取りローラを示す拡大図である。図示の如く、本実施
例で使用したゴミ取りローラは、ローラ７１の周囲に粘
着層７２を設けて搬送ベルト７０上の塵、埃等のゴミを
取るように構成されており、搬送ベルト７０の速度に合
わせて自由に回転するようになっている。このゴミ取り
ローラは構造が単純ではあるが、粘着層７２はゴミが多
く付いてきたら交換する必要がある。

【００３７】図１２にゴミ取り装置の他の例を示す。こ
のゴミ取り装置は不織布等からなる連続的な洗浄布７３
により搬送ベルト７０のゴミを除去するものである。具
体的には、洗浄布７３の巻取部７４にはモーターが接続
され、供給部７５にはブレーキが接続されており、準備
段階では（ａ）に示すように洗浄液を噴射口７６から均
一に噴射して洗浄布７３をわずかに漏らした後、供給部
７５のブレーキを緩めて巻取部７４のモーターを回転さ
せ、洗浄布７３の濡れた部分をエアーパッド７７の下ま
で移動してきた時点で、供給部７５のブレーキをかける
とともに巻取部７４のモーターを停止させる。次いで、
（ｂ）に示すように、エアパッド７７を膨らませること
により、洗浄布７３の洗浄液で濡れた部分を搬送ベルト
７０に押し当ててゴミを取る。ここで、洗浄布７３を搬
送にベルト７０に押し当てた時に、供給部７５のブレー
キを掛け、巻取部７４のモーターをゆっくり回転させる
ようにすれば、洗浄布７３にテンションが掛かり搬送ベ
ルト７０にもっていかれない。このゴミ取り装置は図１
１に示すものより構造が複雑ではあるが、洗浄布７２の
交換頻度が少なくてすむことから使い勝手はよい。

【００３８】上記実施例においては前者のゴミ取り装置
を使用したが、後者のものを使用してもよいことは勿論
であり、その他のゴミ取り装置を適宜選択して使用して
もよい。さらに、静電除去装置や除塵装置を合わせて使
用することも不良発生の防止に効果がある。

【００３９】図１３は本発明に係る転写装置の第２実施
例を示す概略構成図である。

【００４０】本実施例の転写装置は、第１の検査部Ｄま
では、保護フィルムを用いていない点を除いて第１実施
例のものとほぼ同じ構成であるので、同じ符号を付して
説明を省略する。なお、転写フィルムの着色レジスト塗
布面に傷やごみ等が付くのを避けるため、図示はしない
が装置全体をチャンバー内に収納してある。

【００４１】搬送ローラ８０より前工程から搬送された
ガラス基板２３は、第１の検査部Ｄの結果によって転写
フィルム１が不良であればストッパー８１により停止さ
れ、不良箇所のある転写フィルム１は基板２３に転写す
ることなく巻き取られるように構成されている。つま
り、不良の場合は後方のニップローラ８３に設置されて
いるカウンタ８４によって不良位置を検出し、図示して
いない制御装置の記憶部に不良位置を記録する。そし
て、この記憶された不良位置データに基づき不良箇所の
ある転写フィルム部分は転写されないタイミングで排出
部Ｎへと巻き取られる。このようにニップローラ８３に
カウンタ８４を接続しておくとニップローラ８３が転写
フィルム１をしっかりと挟み込んでいるためにカウンタ
値とフィルム送り量とのずれがなく正確に不良位置が把
握できる。なお、搬送ローラ８０は図４に示すのと同様
で、基板２３の下面を擦らないようになっており、且つ
外側に傾斜面を持っていて基板２３が真っ直ぐに進むよ
うに構成されている。

【００４２】第１の検査部Ｄでの結果が良品であれば、
基板２３は停止せずにプレヒーター８５に搬送され、転
写フィルム１もプレヒーター８６へ移動してプレヒート
される。基板２３のプレヒーター８５では、太い２本の
ローラ８５ａと小さい３本のローラ８５ｂ内にそれぞれ
伝熱線（ニクロム線等）を入れてあり、基板２３の下部
からベルト８５ｃを介して８０℃から１７０℃程度に十
分加熱する。また、転写フィルム１のプレヒーター８６
では、遠赤外線ヒータにより転写フィルム１を上部から
２０℃から８０℃程度に加熱する。十分加熱された基板
２３と転写フィルム１は共に同速度で加熱部Ｌへと移動
する。転写フィルム１は加熱し過ぎると伸びてしまう
し、複数の材料で構成された転写フィルム１だと材料が
混ざりあってしまうことがあるので注意を要する。

【００４３】加熱された基板２３と転写フィルム１は、
加熱部Ｋと冷却部Ｌとから構成される転写部に搬送され
る。

【００４４】加熱部Ｋでは基板用のプレヒーター８５と
同じ構成の加熱装置８７が対向するように２組設けてあ
り、ここで転写フィルム１と基板２３とを重ね合わせて
上下から十分加熱しながら転写フィルム１を基板２３に
貼り合わせ、続いて転写フィルム付き基板２３は３０〜
５０℃の温水を通している上下３本ずつの温水ロール８
８の間を経由して冷却部Ｌへと移動する。

【００４５】冷却部Ｌでは太い２本のローラ８９ａと小
さい３本のローラ８９ｂ内に冷水を通して冷却する冷却
装置８９が対向するように２組設けてあり、転写フィル
ム付き基板２３を上下からベルト８９ｃを介して２０℃
から２５℃程度に十分冷却する。冷却することで転写フ
ィルム１の着色レジストは基板２３から剥がれにくくな
り、逆に支持フィルム１ａから剥がれやすくなる。

【００４６】転写フィルム付き基板２３は十分冷却され
たところで剥離部Ｍに搬送され、剥離部材９０により基
板２３から転写フィルム１が剥離される。この時に支持
フィルム１ａだけが剥がれ、転写フィルム１から着色レ
ジストを基板２３に転写することができる。ここで十分
温度が降下していないと支持フィルム１ａに着色レジス
トが取られてうまく転写できない。ここで使用する剥離
部材９０は図５又は図６に示す押圧部材２８と同じ形状
のものである。

【００４７】剥離部材９０で支持フィルム１ａを剥離し
た後、ガラス基板２３は搬送ベルト９１と押さえロール
９２の間を通過して第２の検査部Ｎに送られる。一方、
転写終了後の支持フィルム１ａはニップローラ８３で引
っ張られ、排出部Ｏにて巻き取られる。

【００４８】第２の検査部Ｎに基板２３が搬送されてく
ると、下側からストッパー９３が上昇して基板２３を所
定の前後位置で停止させる。ここでの搬送に使用する搬
送ローラ９４は図４（ｂ）に示すタイプで、連結軸がな
く左右のローラが別々に動くものであり、このため基板
２３の下方から光を照射して上方から検査することがで
きる。また、搬送ローラ９４はモータ駆動するが、スト
ッパー９３が上昇するとモーター駆動が切れるようにな
っている。

【００４９】第２の検査部Ｎでは着色レジストの転写さ
れたガラス基板２３の画像を入力するＣＣＤカメラ９５
がセットされており、着色レジストの色ムラや筋、また
はゴミ付きを検査することができるようになっている。
この第２の検査部Ｎにおける光学系の構造は前記した第
１の検査部Ｄと同様であり、基板２３を境にしてＣＣＤ
カメラ９５の反対側に拡散板９６をセットし、その両脇
からカラーフィルターのＲ，Ｇ，Ｂの各色にピークを持
つ３波長の光源９６（白色蛍光灯でもハロゲンランプで
もよい）を用いて拡散板９６に照射する手段が採られて
いる。３波長の光源９７を用いた方がそのピークである
Ｒ，Ｇ，Ｂの各色のムラ等を検査しやすい。光は拡散板
９６で拡散されガラス基板２３を均一に照らすので、こ
の画像をＣＣＤカメラ９５から入力し図示していない判
定部にて基板２３上の着色レジストの品質状態を判定す
る。

【００５０】この時の判定画像の一例を図１４及び図１
５に示している。判定画像は図２及び図３にて説明した
のとほぼ同じであるが、基板２３に着色レジストが転写
された状態であるので、許容値は転写フィルム１の検査
の時とは異なる。横軸はカラーフィルターの巾であり縦
軸は着色レジストの濃度である。良品と不良品の判定
は、カラーフィルターのＲ，Ｇ，Ｂの各色毎に用意して
ある許容値±ａ₂と基準色濃度レベルｍ₂とＣＣＤカメ
ラ９５からの入力データとを比較して行う。この場合、
デジタルスイッチを用いてＲ，Ｇ，Ｂの色毎に許容値は
ａ₂は±ａ₂（ｒ）、±ａ₂（ｇ）、±ａ₂（ｂ）とし
て、基準色濃度レベルｍ₂はｍ₂（ｒ）、ｍ₂（ｇ）、
ｍ₂（ｂ）としてそれぞれセットしておく。ここで、オ
ペレータが良品と判断したところで基準値入力スイッチ
を押すことにより、画像入力データを平均することで基
準色濃度レベルｍ₂が各色に合わせて記憶されるように
してもよい。

【００５１】図１４は良品の場合を示す例であり、画像
入力したデータは設定してある基準色濃度レベルｍ₂を
中心に許容値±ａ₂以内に入っている。なお、一定間隔
で濃度レベルが降下しているのは基板２３上に形成され
ているブラックマトリクス（ＢＭ）の部分である。図１
５は不良品の場合を示す例であり、画像入力したデータ
は設定してある基準色濃度レベルｍ₂を中心に許容値±
ａ₂より外れている。左側の急峻な突起ｘ₂はゴミ付き
による不良であり、右側のなだらかな凸部ｙ₂は着色レ
ジストの濃度ムラである。検査方法としては、基準画像
を予め記憶しておき、検査対象の基板２３が搬入される
ごとに各画素を比較して前記許容値より大きく差ができ
るかどうかで判定する。

【００５２】第２の検査部Ｎでの検査結果が良品であれ
ば図示していない良品用のデリバリへ排出され、不良品
であれば図示していない不良品用のデリバリへ排出され
る。また、ガラス基板２３が多面付けであれば、第２の
検査結果に基づき、品質に合った仕分けをして次工程へ
搬送すればよい。

【００５３】このように第１色目の着色レジストをガラ
ス基板２３に転写した後、フォトマスクを介してこの着
色レジストを露光し、現像を経て着色画素のパターンを
形成する。そして、第２色目、第３色目の着色レジスト
についても、同様に転写フィルム１の作製、転写フィル
ムからガラス基板２３上への転写、露光、現像を行うこ
とによりカラーフィルターの着色画素パターンを形成す
る。

【００５４】

【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載の効果を奏する。

【００５５】請求項１記載の転写装置は、支持フィルム
上に着色レジストを形成して転写フィルムを作製する工
程、カラーフィルター用の基板に着色レジストを転写す
る工程、着色レジストを転写した基板から支持フィルム
を剥がす工程を連続して自動的に行えることから、フィ
ルム転写法によるカラーフィルターの製造工程を速やか
に行え、生産効率を上げることができる。

【００５６】請求項２記載の転写装置は、着色レジスト
を内部から乾燥させる第１の乾燥部と、着色レジストを
外部から乾燥させる第２の乾燥部とで乾燥部を構成した
ことにより、支持フィルム上に形成した着色レジストの
層を速やかに乾燥させることができ、さらに生産効率を
高めることができる。

【００５７】請求項３記載の転写装置は、転写フィルム
を作製してから基板に着色レジストを転写するまでの間
に当該着色レジスト上に保護フィルムを一時的に貼り合
わせるようにしたので、転写フィルムを基板と重ね合わ
せる前に転写フィルムの汚れが防止されることになり、
着色レジストを汚すことなく基板に転写することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る転写装置の第１実施例を示す概略
構成図である。

【図２】検査部における判定画像の一例を示すグラフで
ある。

【図３】検査部における判定画像の一例を示すグラフで
ある。

【図４】基板を搬送する搬送ローラを基板とともに示す
正面図である。

【図５】押圧部で使用する押圧部材の一例を示す側面部
と正面図である。

【図６】押圧部材の他の例を示す側面図と正面図であ
る。

【図７】本発明での押圧部材による転写状態を従来例と
比較して示す説明図である。

【図８】押圧部材の変形例を示す図である。

【図９】検査部にて使用している検査装置の一例を示す
ブロック図である。

【図１０】検査装置の他の例を示すブロック図である。

【図１１】ゴミ取り装置を示す側面図である。

【図１２】ゴミ取り装置の他の例を示す側面図である。

【図１３】本発明に係る転写装置の第２実施例を示す概
略構成図である。

【図１４】第２実施例における第２の検査部での判定画
像の一例を示すグラフである。

【図１５】第２実施例における第２の検査部での判定画
像の一例を示すグラフである。

【符号の説明】

１転写フィルム１ａ支持フィルム１ｂ保護フィルム２３基板Ａ供給部Ｂ着色レジスト形成部Ｃ乾燥部Ｃ₁ 第１の乾燥部Ｃ₂ 第１の乾燥部Ｄ検査部（第１）Ｅ第１の加熱部Ｆ押圧部Ｇ第２の加熱部Ｈ冷却部Ｉ剥離部Ｊ排出部Ｋ加熱部Ｌ冷却部Ｍ押圧部Ｎ検査部（第２）Ｏ排出部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持フィルムを供給する供給部と、供給
された前記支持フィルム上に着色レジストを形成して転
写フィルムを作製する着色レジスト形成部と、作製した
転写フィルムとカラーフィルター用の基板とを重ね合わ
せて支持フィルム上の着色レジストを基板に転写する転
写部と、着色レジストを転写した前記基板から前記支持
フィルムを剥離する剥離部とを具備してなることを特徴
とする転写装置。
【請求項２】請求項１記載の転写装置において、支持
フィルム上に形成した着色レジストの層を乾燥させる乾
燥部を設け、当該乾燥部を、着色レジストを内部から乾
燥させる第１の乾燥部と、着色レジストを外部から乾燥
させる第２の乾燥部とで構成したことを特徴とする転写
装置。
【請求項３】請求項１又は２記載の転写装置におい
て、作製された転写フィルムを基板と重ね合わせる前に
着色レジスト上に保護フィルムを一時的に貼り合わせる
手段を設けたことを特徴とする転写装置。