JPH08220325A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
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- JPH08220325A JPH08220325A JP2157395A JP2157395A JPH08220325A JP H08220325 A JPH08220325 A JP H08220325A JP 2157395 A JP2157395 A JP 2157395A JP 2157395 A JP2157395 A JP 2157395A JP H08220325 A JPH08220325 A JP H08220325A
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- color filter
- color
- substrate
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- coating
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Abstract
(57)【要約】
【目的】色素層の薄膜化、大型基板対応、高コントラス
ト化等の市場要求に対し、塗布面内膜厚均一性の劣化、
塗布ムラ等を防止するカラーフィルターの製造方法を提
供すること。 【構成】基板上に顔料などの着色剤を分散したカラーフ
ォトレジストを均一膜厚に塗布し、該塗布膜をパターニ
ングする工程を所定色数について所要回数繰り返すこと
によりカラーフィルターを製造する方法において、一方
のノズルからの加圧した清浄気体により、他方のノズル
から吐出されるカラーフォトレジストを噴霧して塗布す
る２流体スプレーを用いてカラーフォトレジストを基板
上にスプレー塗布する。
ト化等の市場要求に対し、塗布面内膜厚均一性の劣化、
塗布ムラ等を防止するカラーフィルターの製造方法を提
供すること。 【構成】基板上に顔料などの着色剤を分散したカラーフ
ォトレジストを均一膜厚に塗布し、該塗布膜をパターニ
ングする工程を所定色数について所要回数繰り返すこと
によりカラーフィルターを製造する方法において、一方
のノズルからの加圧した清浄気体により、他方のノズル
から吐出されるカラーフォトレジストを噴霧して塗布す
る２流体スプレーを用いてカラーフォトレジストを基板
上にスプレー塗布する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置等
のカラーディスプレイ装置に内蔵されるカラーフィルタ
ーの製造方法に関する。
のカラーディスプレイ装置に内蔵されるカラーフィルタ
ーの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶ディスプレイ用カラーフィルターの
製造に関しては、色素層の薄膜化、大型基板対応、高コ
ントラスト化等の市場要求がある。一般にカラー液晶表
示装置用カラーフィルターの製造工程として、まず基板
上に顔料などの着色料を均一に分散したカラーフォトレ
ジストを、例えばスピンコート法にて均一膜厚に塗布
し、乾燥させてから、該塗布膜面側に所定パターンを有
するフォトマスクを配置して活性光で露光し、専用現像
液で現像し、水洗後乾燥させる。以上のパターニング工
程を所定色数について所要回数繰り返すことによりカラ
ーフィルターを作成する。
製造に関しては、色素層の薄膜化、大型基板対応、高コ
ントラスト化等の市場要求がある。一般にカラー液晶表
示装置用カラーフィルターの製造工程として、まず基板
上に顔料などの着色料を均一に分散したカラーフォトレ
ジストを、例えばスピンコート法にて均一膜厚に塗布
し、乾燥させてから、該塗布膜面側に所定パターンを有
するフォトマスクを配置して活性光で露光し、専用現像
液で現像し、水洗後乾燥させる。以上のパターニング工
程を所定色数について所要回数繰り返すことによりカラ
ーフィルターを作成する。
【０００３】この工程において従来より用いられている
カラーフォトレジストは、塗布、パターニング後のカラ
ーフィルター層中の顔料固形分比が23〜37重量％程度と
なるものであり、カラー液晶表示装置等に用いるカラー
フィルターとして必要な色特性を得るためには１〜２μ
ｍの色素部膜厚が必要とされていた。ところで前記市場
要求を満たす薄膜のカラーフィルターを製造する、すな
わち色特性を満たし且つ0.5〜1.0μｍの膜厚のものを製
造するに当たっては、上記顔料固形分比が50重量％以上
となることが必要である。しかしながら、従来からの既
知技術であるスピンコート法により顔料固形分比が50重
量％以上となるように顔料分散フォトレジストのコーテ
ィングを行うと、面内膜厚均一性が従来よりも悪化す
る、すなわちコーティングされた顔料分散フォトレジス
トの膜厚の面内の場所による変動幅が従来よりも増すと
いう問題が生じていた。
カラーフォトレジストは、塗布、パターニング後のカラ
ーフィルター層中の顔料固形分比が23〜37重量％程度と
なるものであり、カラー液晶表示装置等に用いるカラー
フィルターとして必要な色特性を得るためには１〜２μ
ｍの色素部膜厚が必要とされていた。ところで前記市場
要求を満たす薄膜のカラーフィルターを製造する、すな
わち色特性を満たし且つ0.5〜1.0μｍの膜厚のものを製
造するに当たっては、上記顔料固形分比が50重量％以上
となることが必要である。しかしながら、従来からの既
知技術であるスピンコート法により顔料固形分比が50重
量％以上となるように顔料分散フォトレジストのコーテ
ィングを行うと、面内膜厚均一性が従来よりも悪化す
る、すなわちコーティングされた顔料分散フォトレジス
トの膜厚の面内の場所による変動幅が従来よりも増すと
いう問題が生じていた。
【０００４】また、30cm角を越える大型基板に対応する
うえでもスピンコート方式による塗布ではレジスト膜厚
の不均一性、基板周辺部の厚膜化（いわゆるエッジビー
ド）、基板裏面へのレジスト回り込み等の諸問題が発生
していた。更に、カラーフィルターの高コントラスト化
のために顔料粒径を微細化することによっても、顔料の
チキソ性が顕在化し、レジスト膜厚の均一性劣化、基板
中央部の滴下ムラ、すなわちレジスト液が最初に滴下さ
れて付着する基板中央部を中心に発生する塗布膜厚の不
均一、等の問題が発生した。
うえでもスピンコート方式による塗布ではレジスト膜厚
の不均一性、基板周辺部の厚膜化（いわゆるエッジビー
ド）、基板裏面へのレジスト回り込み等の諸問題が発生
していた。更に、カラーフィルターの高コントラスト化
のために顔料粒径を微細化することによっても、顔料の
チキソ性が顕在化し、レジスト膜厚の均一性劣化、基板
中央部の滴下ムラ、すなわちレジスト液が最初に滴下さ
れて付着する基板中央部を中心に発生する塗布膜厚の不
均一、等の問題が発生した。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な問題点を解消し、大型で薄膜化したカラーフィルター
の製造を可能にする方法を提供しようとするものであ
る。
な問題点を解消し、大型で薄膜化したカラーフィルター
の製造を可能にする方法を提供しようとするものであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に顔料
などの着色料を分散したカラーフォトレジストを均一膜
厚に塗布し、該塗布膜をパターニングする工程を所定色
数について所要回数繰り返すことによりカラーフィルタ
ーを製造する方法において、一方のノズルからの加圧し
た清浄気体により、他方のノズルから吐出されるカラー
フォトレジストを噴霧して塗布する２流体スプレーを用
いてカラーフォトレジストを基板上にスプレー塗布する
ことを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルターの製
造方法である。
などの着色料を分散したカラーフォトレジストを均一膜
厚に塗布し、該塗布膜をパターニングする工程を所定色
数について所要回数繰り返すことによりカラーフィルタ
ーを製造する方法において、一方のノズルからの加圧し
た清浄気体により、他方のノズルから吐出されるカラー
フォトレジストを噴霧して塗布する２流体スプレーを用
いてカラーフォトレジストを基板上にスプレー塗布する
ことを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルターの製
造方法である。
【０００７】また前記方法において、カラーフィルター
層中の顔料固形分比が50重量％以上となるカラーフォト
レジストを、0.5〜1.0μｍの厚さに塗布することを特徴
とするカラーフィルターの製造方法であり、さらに言え
ば、前記方法において、基板が30cm角以上の大型であっ
ても良く、また前記方法において、平均粒径を0.1μｍ
以下に微細化した顔料を用いることを特徴とするカラー
フィルターの製造方法である。また前記方法において、
カラーフォトレジストに代えて熱硬化性あるいは光硬化
性の着色剤を用い、リフトオフ方式によりパターニング
するカラーフィルターの製造方法に関するものである。
層中の顔料固形分比が50重量％以上となるカラーフォト
レジストを、0.5〜1.0μｍの厚さに塗布することを特徴
とするカラーフィルターの製造方法であり、さらに言え
ば、前記方法において、基板が30cm角以上の大型であっ
ても良く、また前記方法において、平均粒径を0.1μｍ
以下に微細化した顔料を用いることを特徴とするカラー
フィルターの製造方法である。また前記方法において、
カラーフォトレジストに代えて熱硬化性あるいは光硬化
性の着色剤を用い、リフトオフ方式によりパターニング
するカラーフィルターの製造方法に関するものである。
【０００８】ここで、以下に本発明にるカラーフィルタ
ーの製造方法に用いるスプレーコート方式のカラーフォ
トレジスト塗布装置の概要を図面を用いて説明する。図
１は、本発明に用いる２流体スプレー方式によるノズル
ユニット１を示す図である。ノズルユニット１は、先端
に吐出口をもつ一対のノズル１２が互いに適切な位置に
向かい合って固定されている。なお、一方のノズル１２
ａからは、注入口１３ａより加圧した上で供給される、
例えばN2もしくは清浄空気のような清浄気体が吐出さ
れ、またもう一方のノズル１２ｂからは、注入口１３ｂ
より供給されるフォトレジストが吐出されるものであ
る。次いで、カラーフォトレジストの塗布時、ノズル１
２ｂより吐出したカラーフォトレジストは、１２ａより
吐出した清浄気体により霧状に拡散され、下方すなわち
基板上に噴霧して塗布される。この塗布時に、基板上へ
の塗布ムラを解消するために、以下の（１）及び（２）
に示されるような手法によりノズルユニット１部分が基
板２上を均一に移動する構成とする。
ーの製造方法に用いるスプレーコート方式のカラーフォ
トレジスト塗布装置の概要を図面を用いて説明する。図
１は、本発明に用いる２流体スプレー方式によるノズル
ユニット１を示す図である。ノズルユニット１は、先端
に吐出口をもつ一対のノズル１２が互いに適切な位置に
向かい合って固定されている。なお、一方のノズル１２
ａからは、注入口１３ａより加圧した上で供給される、
例えばN2もしくは清浄空気のような清浄気体が吐出さ
れ、またもう一方のノズル１２ｂからは、注入口１３ｂ
より供給されるフォトレジストが吐出されるものであ
る。次いで、カラーフォトレジストの塗布時、ノズル１
２ｂより吐出したカラーフォトレジストは、１２ａより
吐出した清浄気体により霧状に拡散され、下方すなわち
基板上に噴霧して塗布される。この塗布時に、基板上へ
の塗布ムラを解消するために、以下の（１）及び（２）
に示されるような手法によりノズルユニット１部分が基
板２上を均一に移動する構成とする。
【０００９】（１）Ｘ−Ｙ駆動コーティング：図２にお
いて、基板２固定用のステージ３と、そこに固定された
支柱４に支えられたＸ方向駆動モーター５、Ｙ方向駆動
モーター６、駆動用ボールスクリュー７等よりなるＸ−
Ｙ駆動装置８があり、Ｘ−Ｙ駆動装置８に設置されたノ
ズルユニット１をＸ、Ｙ両方向に往復移動させながらカ
ラーフォトレジストの噴霧を行い、基板２上へのコーテ
ィングを行うものである。 （２）スピン駆動コーティング：図３において、公転カ
ップ１１およびその上の一点を回転軸として回転する自
転ヘッド１０を各々逆方向に、かつ公転カップ１１より
も自転ヘッド１０の方を速く回転させる。これにより、
自転ヘッド１０上に置かれた基板２は複雑な動きをし、
偏りなくノズルユニット１直下を通過するようになる。
この基板上に、支柱４に支えられ固定されたノズルユニ
ット１からカラーフォトレジストを噴霧してコーティン
グを行うものである。
いて、基板２固定用のステージ３と、そこに固定された
支柱４に支えられたＸ方向駆動モーター５、Ｙ方向駆動
モーター６、駆動用ボールスクリュー７等よりなるＸ−
Ｙ駆動装置８があり、Ｘ−Ｙ駆動装置８に設置されたノ
ズルユニット１をＸ、Ｙ両方向に往復移動させながらカ
ラーフォトレジストの噴霧を行い、基板２上へのコーテ
ィングを行うものである。 （２）スピン駆動コーティング：図３において、公転カ
ップ１１およびその上の一点を回転軸として回転する自
転ヘッド１０を各々逆方向に、かつ公転カップ１１より
も自転ヘッド１０の方を速く回転させる。これにより、
自転ヘッド１０上に置かれた基板２は複雑な動きをし、
偏りなくノズルユニット１直下を通過するようになる。
この基板上に、支柱４に支えられ固定されたノズルユニ
ット１からカラーフォトレジストを噴霧してコーティン
グを行うものである。
【００１０】
【作用】本発明の２流体ノズルと移動機構の組み合わせ
によるカラーフィルターの製造方法によれば、従来見ら
れた塗布膜厚の均一性の劣化、裏面へのレジストの回り
込み、塗布ムラ、基板周辺部の厚膜化等が解消され、薄
膜でも必要な色特性をもち、均一な膜面をもつ塗布基板
を得ることができる。
によるカラーフィルターの製造方法によれば、従来見ら
れた塗布膜厚の均一性の劣化、裏面へのレジストの回り
込み、塗布ムラ、基板周辺部の厚膜化等が解消され、薄
膜でも必要な色特性をもち、均一な膜面をもつ塗布基板
を得ることができる。
【００１１】
【実施例】以下に本発明の方法による実施例を示す。 ＜実施例１＞以下の処方によるアクリル系顔料分散感光
剤を調製する。 Ａ；顔料10重量部 顔料はカラーインデックス（C.I.）ナンバーで示す。 内訳 赤色：C.I.赤色顔料177及びC.I.黄色顔料139 緑色：C.I.緑色顔料36及びC.I.黄色顔料139 青色：C.I.青色顔料15 Ｂ；以下の組成からなるアニオン性アクリル系共重合体
10重量部 メチルメタクリレート 2重量部 メタクリル酸 1重量部 ヒドロキシメタクリレート 2重量部 ブチルメタクリレート 2重量部 シクロヘキシルアクリレート3重量部 Ｃ；多官能アクリルモノマー（東亞合成化学工業（株）
製、商品名「アロニックスＭ−３００」）
10重量部 Ｄ；光重合開始剤（チバガイギー社製、商品名「イルガ
ギュアー９０７」）0.5重量部 Ｅ；有機溶剤 120重量部 以上Ａ〜Ｅを充分混合練肉してなる光重合型顔料分散感
光剤を各色準備した。
剤を調製する。 Ａ；顔料10重量部 顔料はカラーインデックス（C.I.）ナンバーで示す。 内訳 赤色：C.I.赤色顔料177及びC.I.黄色顔料139 緑色：C.I.緑色顔料36及びC.I.黄色顔料139 青色：C.I.青色顔料15 Ｂ；以下の組成からなるアニオン性アクリル系共重合体
10重量部 メチルメタクリレート 2重量部 メタクリル酸 1重量部 ヒドロキシメタクリレート 2重量部 ブチルメタクリレート 2重量部 シクロヘキシルアクリレート3重量部 Ｃ；多官能アクリルモノマー（東亞合成化学工業（株）
製、商品名「アロニックスＭ−３００」）
10重量部 Ｄ；光重合開始剤（チバガイギー社製、商品名「イルガ
ギュアー９０７」）0.5重量部 Ｅ；有機溶剤 120重量部 以上Ａ〜Ｅを充分混合練肉してなる光重合型顔料分散感
光剤を各色準備した。
【００１２】これらを顔料／不揮発性固形分比60％に調
製したものを用い、まず赤色の感光剤を２流体ノズル
（（株）いけうち製、商品名「AKI04」）を使用して一
方の供給口からN2または清浄空気を加圧値5.0kg／cm2に
て、他方の供給口から上記の感光剤を加圧値0.5kg／c
m2、平均薬液吐出量0.25ml／秒にて吐出し、基板２とノ
ズル間の距離を300〜400mmとしてコーティングを行っ
た。
製したものを用い、まず赤色の感光剤を２流体ノズル
（（株）いけうち製、商品名「AKI04」）を使用して一
方の供給口からN2または清浄空気を加圧値5.0kg／cm2に
て、他方の供給口から上記の感光剤を加圧値0.5kg／c
m2、平均薬液吐出量0.25ml／秒にて吐出し、基板２とノ
ズル間の距離を300〜400mmとしてコーティングを行っ
た。
【００１３】この際、図３に示すような移動機構により
基板を移動しながら噴霧することにより塗布ムラを解消
する方策を採った。基板２を自転ヘッド１０の上に戴置
した後、公転カップ１１およびその上に設置された自転
ヘッド１０を図に示すように互いに逆方向に、それぞれ
20rpm、30rpmの回転速度で回転させながらノズルユニッ
ト１からフォトレジストの噴霧を行った。これを乾燥
後、活性光でパターン露光し、アルカリ現像液で現像
し、水洗後150℃で5分間乾燥した。以下同様にして緑
色、青色を所定の位置にパターン露光、現像した。この
ようにして薄膜（0.8μｍ）で必要な色特性を持ったカ
ラーフィルター基板を、面内膜厚均一性にすぐれ、塗布
ムラ、基板周辺部の厚膜化等を起こさずに得ることがで
きた。
基板を移動しながら噴霧することにより塗布ムラを解消
する方策を採った。基板２を自転ヘッド１０の上に戴置
した後、公転カップ１１およびその上に設置された自転
ヘッド１０を図に示すように互いに逆方向に、それぞれ
20rpm、30rpmの回転速度で回転させながらノズルユニッ
ト１からフォトレジストの噴霧を行った。これを乾燥
後、活性光でパターン露光し、アルカリ現像液で現像
し、水洗後150℃で5分間乾燥した。以下同様にして緑
色、青色を所定の位置にパターン露光、現像した。この
ようにして薄膜（0.8μｍ）で必要な色特性を持ったカ
ラーフィルター基板を、面内膜厚均一性にすぐれ、塗布
ムラ、基板周辺部の厚膜化等を起こさずに得ることがで
きた。
【００１４】＜実施例２＞また、上記＜実施例１＞と同
様の条件及び方法により、大型基板（460×608mm）につ
いて実施したところ同等の効果が確認された。
様の条件及び方法により、大型基板（460×608mm）につ
いて実施したところ同等の効果が確認された。
【００１５】＜実施例３＞同様に、含まれる顔料の平均
粒径を 0.07μｍにまで微細化した高コントラスト対応
レジストについても上記＜実施例１＞と同様の製造工程
にて行い、同等の効果が確認された。
粒径を 0.07μｍにまで微細化した高コントラスト対応
レジストについても上記＜実施例１＞と同様の製造工程
にて行い、同等の効果が確認された。
【００１６】＜実施例４＞さらに、光重合成分を除去し
た顔料分散着色剤に対しても同等の効果が見られたた
め、ポジレジストにて成膜しパターン露光、現像した上
から上記の着色剤を用いて本発明によるコーティングを
行い、リフトオフ法にて前記ポジレジストを溶解除去す
ることで着色剤のネガパターンを得るパターニングを行
ったところ、膜厚均一性に優れたカラーフィルターが得
られた。
た顔料分散着色剤に対しても同等の効果が見られたた
め、ポジレジストにて成膜しパターン露光、現像した上
から上記の着色剤を用いて本発明によるコーティングを
行い、リフトオフ法にて前記ポジレジストを溶解除去す
ることで着色剤のネガパターンを得るパターニングを行
ったところ、膜厚均一性に優れたカラーフィルターが得
られた。
【００１７】
【発明の効果】本発明の方法によれば、薄膜化のため顔
料成分比率を高めたカラーフォトレジストを用いても従
来見られた塗布膜厚の均一性の劣化等はみられず、均一
な膜面をもつ塗布基板を得られる効果がある。このた
め、大型の基板や、顔料粒径を微細化した高コントラス
ト対応レジストにおいても同様の効果が得られ、さら
に、光重合成分を除去した着色剤を用いてリフトオフ方
式にてパターン化を行うこともできる。
料成分比率を高めたカラーフォトレジストを用いても従
来見られた塗布膜厚の均一性の劣化等はみられず、均一
な膜面をもつ塗布基板を得られる効果がある。このた
め、大型の基板や、顔料粒径を微細化した高コントラス
ト対応レジストにおいても同様の効果が得られ、さら
に、光重合成分を除去した着色剤を用いてリフトオフ方
式にてパターン化を行うこともできる。
【００１８】
【図１】本発明に用いるノズルユニットの一例を示す説
明図である。
明図である。
【図２】本発明のカラーフィルターの製造方法の一例の
要部を示す説明図である。
要部を示す説明図である。
【図３】本発明のカラーフィルターの製造方法の他の例
の要部を示す説明図である。
の要部を示す説明図である。
１ ノズルユニット ２ 基板 ３ ステージ ４ 支柱 ５ Ｘ方向駆動モーター ６ Ｙ方向駆動モーター ７ 駆動用ボールスクリュー ８ Ｘ−Ｙ駆動装置 ９ 薬液及び加圧ガス供給ユニット １０ 自転ヘッド １１ 公転カップ １２ ノズル １３ 注入口
Claims (5)
- 【請求項１】基板上に顔料などの着色料を分散したカラ
ーフォトレジストを均一膜厚に塗布し、該塗布膜をパタ
ーニングする工程を所定色数について所要回数繰り返す
ことによりカラーフィルターを製造する方法において、
一方のノズルからの加圧した清浄気体により、他方のノ
ズルから吐出されるカラーフォトレジストを噴霧して塗
布する２流体ノズルスプレーを用いてカラーフォトレジ
ストを基板上にスプレー塗布することを特徴とする液晶
表示装置用カラーフィルターの製造方法。 - 【請求項２】カラーフィルター層中の顔料固形分比が50
重量％以上となるカラーフォトレジストを、0.5〜1.0μ
ｍの厚さに塗布することを特徴とする請求項１記載のカ
ラーフィルターの製造方法。 - 【請求項３】基板が30cm角以上の大型である、請求項１
または２記載のカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項４】平均粒径を0.1μｍ以下とした顔料を用い
ることを特徴とする請求項１、２、または３記載のカラ
ーフィルターの製造方法。 - 【請求項５】カラーフォトレジストに代えて、熱硬化性
あるいは光硬化性の着色剤を用い、パターニングがリフ
トオフ方式である請求項１、２、３、または４記載のカ
ラーフィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2157395A JPH08220325A (ja) | 1995-02-09 | 1995-02-09 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2157395A JPH08220325A (ja) | 1995-02-09 | 1995-02-09 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08220325A true JPH08220325A (ja) | 1996-08-30 |
Family
ID=12058779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2157395A Pending JPH08220325A (ja) | 1995-02-09 | 1995-02-09 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08220325A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006065306A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-03-09 | Schott Ag | パターン付き光学フィルタ層を基板上に作製する方法 |
| JP2007011324A (ja) * | 2005-06-03 | 2007-01-18 | Fujifilm Holdings Corp | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタおよび画像記録材料 |
| US8618193B2 (en) | 2005-06-03 | 2013-12-31 | Fujifilm Corporation | Pigment-containing heat-curable composition, color filter, image-recording material, and method of producing color filter |
-
1995
- 1995-02-09 JP JP2157395A patent/JPH08220325A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006065306A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-03-09 | Schott Ag | パターン付き光学フィルタ層を基板上に作製する方法 |
| US7704683B2 (en) | 2004-07-15 | 2010-04-27 | Schott Ag | Process for producing patterned optical filter layers on substrates |
| JP2007011324A (ja) * | 2005-06-03 | 2007-01-18 | Fujifilm Holdings Corp | カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタおよび画像記録材料 |
| US8618193B2 (en) | 2005-06-03 | 2013-12-31 | Fujifilm Corporation | Pigment-containing heat-curable composition, color filter, image-recording material, and method of producing color filter |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040309 |