JP4703467B2 - 基板処理装置、基板処理方法、及び基板の製造方法 - Google Patents
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Description
10 回転テーブル
11 支持ピン
12 案内ピン
13 回転軸
14 ,16 プーリ
15 ベルト
17 モータ
20a,20b ノズル
21a,21b マニホールド
22a,22b,23a,23b,24a,24b 制御弁
30 液回収チャンバ
31 液回収通路
Claims (6)
- 処理液を基板へ供給するノズルと、
前記ノズルと処理液供給源との間の通路に設けられた第1の開閉手段と、
前記ノズルと前記第1の開閉手段との間の通路から分岐した通路に設けられ、前記ノズル内の圧力を大気開放する第2の開閉手段と、
前記第2の開閉手段が設けられた通路より前記第1の開閉手段側において、前記ノズルと前記第1の開閉手段との間の通路から分岐した通路に設けられた第3の開閉手段とを備え、
前記第2の開閉手段及び前記第3の開閉手段を閉じ、前記第1の開閉手段を開いて前記ノズルを処理液供給源へ接続して、前記ノズルから処理液を基板へ供給した後、
前記第1の開閉手段を閉じ前記第3の開閉手段を開いて前記ノズルを処理液供給源から切り離し、前記第2の開閉手段を開いて前記ノズル内の圧力を大気開放し、前記ノズル内の処理液を自重により落下させると共に、前記ノズルと前記第1の開閉手段との間の通路内の処理液を前記第3の開閉手段を通して排出させることを特徴とする基板処理装置。 - 前記ノズル、前記第1の開閉手段、前記第2の開閉手段、及び前記第3の開閉手段を複数備え、
複数の第1の開閉手段が複数のノズルを異なった処理液供給源へ別々に接続し、
複数のノズルが複数の処理液を基板へ別々に供給し、
各ノズルと各第1の開閉手段との間の通路内の処理液を各第3の開閉手段を通して別々に排出させることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 処理液を基板へ供給するノズルと処理液供給源との間の通路に第1の制御弁を設け、
ノズルと第1の制御弁との間の通路から分岐した通路に、ノズル内の圧力を大気開放する第2の制御弁を設け、
第2の制御弁が設けられた通路より第1の制御弁側において、ノズルと第1の制御弁との間の通路から分岐した通路に第3の開閉手段を設け、
第2の制御弁及び第3の制御弁を閉じ、第1の制御弁を開いてノズルを処理液供給源へ接続して、ノズルから処理液を基板へ供給した後、
第1の制御弁を閉じ第3の制御弁を開いてノズルを処理液供給源から切り離し、第2の制御弁を開いてノズル内の圧力を大気開放し、ノズル内の処理液を自重により落下させると共に、ノズルと第1の制御弁との間の通路内の処理液を第3の制御弁を通して排出することを特徴とする基板処理方法。 - ノズル、第1の制御弁、第2の制御弁、及び第3の制御弁を複数設け、
複数の第1の制御弁により複数のノズルを異なった処理液供給源へ別々に接続し、複数のノズルから複数の処理液を基板へ別々に供給し、
各ノズルと各第1の制御弁との間の通路内の処理液を各第3の制御弁を通して別々に排出することを特徴とする請求項3に記載の基板処理方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の基板処理装置を用いて基板の処理を行うことを特徴とする基板の製造方法。
- 請求項3又は請求項4に記載の基板処理方法を用いて基板の処理を行うことを特徴とする基板の製造方法。
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