JPH08193821A

JPH08193821A - 表面検査装置

Info

Publication number: JPH08193821A
Application number: JP668395A
Authority: JP
Inventors: Kazushi Kobashi; 一志小橋; Takayuki Nakabayashi; 孝行中林; Hiroshi Maruki; 浩丸喜; Motohiro Yamane; 基宏山根
Original assignee: Furukawa Electric Co Ltd; Kansai Electric Power Co Inc
Current assignee: Furukawa Electric Co Ltd; Kansai Electric Power Co Inc
Priority date: 1995-01-19
Filing date: 1995-01-19
Publication date: 1996-07-30

Abstract

(57)【要約】【目的】被検査物の微細な外傷、異物付着等を検査す
る。【構成】支持部材により支持されている被検査物
（２）の長手方向に沿って移動する移動手段（１０、１
２、２０）、移動手段の移動に伴って移動すると共に被
検査物の回りを回転する回転機構（５０）、移動手段と
回転機構との間に介在されて被検査物の中心と回転機構
の中心とを合致させる継手手段（５６）、回転機構に配
設されて被検査物の表面を撮像する撮像手段（９５、９
６、９７、９８、９９、１００）を備えた構成としたも
のである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被検査物として例え
ば、電力ケーブルの接続時における接続部分の表面を検
査する表面検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、電力ケーブルの接続工程におい
て、平滑に仕上げたケーブル絶縁体加工表面に外傷或い
は付着異物がある場合、ケーブル絶縁体の電気性能を低
下させる虞があるため、表面検査によりこれらの欠陥を
検出して除去することが品質管理上極めて重要である。
従来、平滑に仕上げたケーブル絶縁体加工表面に微細な
異物や傷が存在しないことを確認する検査方法として
は、作業者の目視が主流で、凹面鏡等を使用して拡大し
たり、ケーブル表面に平行光線を投光したり、拡大レン
ズを取り付けたＣＣＤカメラで画像をモニタに映し出し
たりして検査していた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、超高圧ケー
ブルとなると、数百ミクロン程度の微細な傷や異物等が
ケーブルの絶縁性能上問題となるため、作業者が目視に
より傷や異物の有無の判定をしていたのでは検査に多大
な時間が掛かる上に、正確且つ確実な判定が行えないと
いう問題がある。特に、都市の地下ケーブルの接続作業
においては作業環境が悪く、検査が困難である。また、
検査の際にかえってケーブルの絶縁体表面に異物を付着
させたり傷を付ける原因にもなっている。

【０００４】また、単にＣＣＤカメラを用いて電力ケー
ブルの絶縁体表面検査を自動的に行う場合には以下のよ
うな問題がある。ＣＣＤカメラによりケーブルの絶縁体
表面を自動検査する場合、絶縁体が半透明であることか
ら、傷の判別が困難であり、傷と異物との両方を確実に
捕らえようとすると、カメラと照明とをケーブルに対し
て約４５度の角度に配置し、且つ保持しなければなら
ず、これらの調整が面倒であり作業に手間がかかるばか
りでなく、傷、異物の判定をその陰の大きさで行うため
に、原理的にケーブル円周上で感度のバラツキが生じ
る。

【０００５】長尺円筒体状のケーブルは、クリート等の
支持部材で固定されて支持されているためにケーブルの
絶縁体表面に対してのカメラの焦点合わせが困難であ
り、ただ単に焦点を合わせるだけであるならばオートフ
ォーカスでも可能であるが、検査表面が平面でなく曲面
即ち、円周面であるためにカメラと絶縁体表面とのなす
角度を一定に保持しないと感度のバラツキが生じる。

【０００６】ケーブル絶縁体表面の円周方向の検査範囲
を小さくすることで検査のバラツキは或程度低減される
が、カメラとケーブル、及び照明とケーブルとのなす角
度が変わると、検査範囲から照明がずれてしまう。更
に、レーザセンサを使用してケーブルの芯出しを行う場
合、検査すべきケーブルの絶縁体表面が半透明であるた
めに照射したレーザ光の一部が絶縁体内へ透過吸収され
てしまい、測定の信頼性が低い。

【０００７】また、被検査物が乾式複写機の感光ドラム
や金属圧延ローラ等である場合、表面に付着異物、外傷
等による凹凸があって平滑でない場合にも、複写不良、
圧延加工品の表面不良の原因となるので、精度及び信頼
性の高い表面検査装置の実現が望まれていた。本発明
は、上述の点に鑑みてなされたもので、被検査物の微細
な傷、異物付着等の有無とその大きさを正確に検査する
ことが可能な表面検査装置を提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明によれば、支持部材により支持されている被検
査物の長手方向に沿って移動する移動手段と、前記移動
手段の移動に伴って移動すると共に前記被検査物の回り
を回転する回転機構と、前記移動手段と前記回転機構と
の間に介在されて前記被検査物の中心と前記回転機構の
中心とを合致させる継手機構と、前記回転機構に配設さ
れて前記被検査物の表面を撮像する撮像手段とを備えた
構成としたものである。

【０００９】請求項２では、前記継手手段は、前記移動
手段に上下方向に垂直に移動可能に設けられた第１の支
持手段と、前記第１の支持手段に設けられ前記回転機構
を水平方向に移動可能な第２の支持手段とを備えた構成
としたものである。請求項３では、前記回転機構は、超
音波センサを備え、前記被検査物の位置を検出するよう
にしたものである。

【００１０】請求項４では、前記撮像手段は、前記被検
査物の表面に対して所定の入射角で配置されたカメラ
と、前記カメラの反対側に前記被検査物の表面に対して
所定の照射角で配置された照明手段とを備えた構成とし
たものである。

【００１１】

【作用】支持部材により支持されている被検査物の長手
方向に沿って移動手段を移動させるように配置して継手
手段により被検査物と回転機構との軸芯を合わせ、回転
機構を被検査物の回りに回転させながら当該被検査物の
表面を撮像する。そして、この撮像した画像により被検
査物の表面の傷や異物付着を検査する。

【００１２】継手手段は、回転機構を、移動手段に対し
て第１の支持手段により上下方向に垂直に移動させ、第
２の支持手段により水平方向に移動させることにより、
回転機構と被検査物との軸芯合わせを行う。回転機構
は、超音波センサにより、電力ケーブルの表面までの距
離を測定して軸芯合わせを行う。

【００１３】撮像手段は、被検査物の表面に対して所定
の入射角で配置されたカメラと、このカメラの反対側に
被検査物の表面に対して所定の照射角で配置された照明
手段とにより、被検査物の表面を撮影する。

【００１４】

【実施例】以下本発明の一実施例を添付図面に基づいて
詳述する。図１乃至図３に示すように表面検査装置１
は、基台１０、この基台１０上を検査すべき被検査物例
えば、電力ケーブル２の長手方向（以下「Ｚ軸方向」と
いう）に沿って水平に移動可能に載置された移動台（ス
テージ）２０、この移動台２０の前端に上下方向（以下
「Ｙ軸方向」という）に垂直に移動可能に設けられた支
持板３０、この支持板３０の前面に左右方向（以下「Ｘ
軸方向」という）に水平に移動可能に設けられた支持板
４０、この支持板４０の前面略中央に中心軸（以下「θ
軸」という）を中心として回転可能に装着された回転機
構５０等により構成されている。尚、各図面は、煩雑を
避けるために各部材を固定するためのねじ類を大部分省
略して描いてある。

【００１５】基台１０は、Ｚ軸方向に沿って左右両側に
レール１１、１１が設けられており、一側のレール１１
の内側近傍には移動機構１２（図１）の送りねじ１３が
Ｚ軸方向に沿って配置され、両端が回転可能に軸支され
ている。そして、この送りねじ１３の後端にはプーリ１
４が取り付けられている。また、ステージ１１の後端側
略中央には駆動用のモータ例えば、サーボモータ１５
（図３）が設置されており、当該モータ１５の回転軸に
固定されたプーリ１６と送りねじ１３のプーリ１４との
間にはタイミングベルト１７が掛回されている。

【００１６】移動台２０は、前端に垂直に配置された支
持板２１の下部が固定され、図３に示すように下面の左
右両側に設けられたＬＭガイド２２、２２を介して基台
１０のレール１１、１１上にＺ軸方向に水平に摺動可能
に載置されている。また、移動台２０の下面にはブラケ
ット２３が垂設されており（図１）、当該ブラケット２
３の下端に穿設されたねじ孔に送りねじ１３が螺合して
いる。これにより、移動台２０は、送りねじ１３の回転
に応じて基台１０上をＺ軸方向に移動する。支持板２１
の中央には大径の孔２１ａが穿設されており、当該孔２
１ａには電力ケーブル２が遊貫する円筒体２４がＺ軸方
向に沿って水平に貫通して固定されている。

【００１７】支持板３０は、図１及び図２に示すように
後面の左右両側がＬＭガイド３１、３１を介して移動台
２０の支持板２１の前面にＹ軸方向に垂直に移動可能に
支持されており、中央に穿設された大径の孔３０ａには
円筒体２４が遊貫している。この円筒体２４の前端は、
支持板４０の後面近傍に位置している。そして、支持板
２１と支持板３０との間には送り機構３２（図１）が設
けられており、支持板２１の前面一側には送りねじ３３
がＹ軸方向に配設され、両端が回転可能に支持されてい
る。一方、支持板３０の後面にはブラケット３４が固定
されており、当該ブラケット３４に穿設されたねじ孔に
送りねじ３３が螺合している。そして、送りねじ３３の
上端にはプーリ３５が固定されている。

【００１８】支持板２１の上部には駆動用モータ例え
ば、ステップモータ３６が取り付けされており、当該モ
ータ３６の回転軸に固定されたプーリ３７と送りねじ３
３に固定されたプーリ３５との間にはタイミングベルト
３８が掛回されている。これにより支持板３０は、モー
タ３６の回転に応じて回転する送りねじ３３によりＹ軸
方向に垂直に移動する。

【００１９】支持板４０は、図１及び図２に示すように
後面の上下両側がＬＭガイド４１、４１を介して支持板
３０の前面にＸ軸方向に水平に移動可能に支持されてお
り、中央には電力ケーブル２が遊貫する大径の孔４０ａ
が穿設されている。支持板３０と支持板４０との間には
送り機構４２が設けられており、支持板３０の前面上部
には送りねじ４３がＸ軸方向に配設され、両端が回転可
能に支持されている。一方、支持板４０の後面にはブラ
ケット４４が固定されており、当該ブラケット４４に穿
設されたねじ孔に送りねじ４３が螺合している。

【００２０】支持板３０の上部には駆動用モータ例え
ば、ステップモータ４６（図２）が装着されており、当
該モータ４６の回転軸と送りねじ４３の基端とは、カッ
プリングにより連結されている。これにより支持板４０
は、モータ４６の回転に応じて回転する送りねじ４３に
よりＸ軸方向に水平に移動する。この支持板４０の前面
には孔４０ａと合致して電力ケーブル２が遊貫する円筒
体４９がＺ軸方向に水平に配設され、その後端が孔４０
ａの外周縁に固定されている。

【００２１】回転機構５０の円筒体５１（図１）は、支
持板４０に固定された円筒体４９の外側にベアリングを
介して回転自在に装着され、後端には大径のリング状の
プーリ５２（図２）が外嵌固定されている。一方、支持
板４０には駆動用モータ例えば、サーボモータ５３が固
定されており、その回転軸にはプーリ５４が固定されて
いる。そして、これらのプーリ５２と５４との間にはタ
イミングベルト５５が掛回されている。これにより円筒
体５１は、モータ５３の回転に応じて回転する。そし
て、支持板３０と当該支持板３０をＹ軸方向に駆動する
送り機構３２、支持板４０と当該支持板４０をＸ軸方向
に駆動する送り機構４２、支持板４０に固定された円筒
体４９等により移動台２０に対して回転機構５０をＸ
軸、Ｙ軸方向に移動自在に支持する継手機構５６が構成
される。

【００２２】円筒体５１の前端には、ロータ（支持板）
５７が固定されており（図１）、当該ロータ５７の中央
には円筒体４９と合致する大径の孔５７ａが穿設されて
いる。ロータ５７の前面には孔５７ａの外側にブラケッ
ト５８が固定されており、当該ブラケット５８の前端に
はロータ５７の孔５７ａに合致して電力ケーブル２が遊
貫する円筒体５９が支持されている。

【００２３】円筒体５１にはロータ５７に設けられた後
述する各センサ等のケーブルを支持する巻取ドラム６０
が設けられており、円筒体５１の正、逆回転に応じて前
記ケーブルを巻き取り、又は巻き戻して支持する。ま
た、移動台２０の上面一側には巻取ドラム６０と対応し
てブラケット６１を介してケーブルベア６２が固定され
ており（図２）、巻取ドラム６０から前記ケーブルを移
動台２０の外方に延出させて制御装置１１０（図４）に
導く。

【００２４】基台１０と移動台２０との間には移動台２
０のＺ軸方向への移動位置を検出する位置検出センサ６
５（図３）が設けられている。この位置検出センサ６５
は、移動台２０の支持部２１の一側下端に固定されたセ
ンサドグ６６と、当該センサドグ６６を検出する透過型
の光電センサ６７とにより構成されている。また、支持
台４０と回転機構５０の円筒体５１との間には円筒体５
１の回転位置を検出する位置検出センサ６８（図１）が
設けられている。位置検出センサ６８は、円筒体５１に
固定されたセンサドグ６９と、当該センサドグ６９を検
出する透過型の光電センサ７０とにより構成されてい
る。また、移動台２０の円筒体２４の後端には、電力ケ
ーブル２の当該円筒体２４への挿入時の位置ずれを検出
するための例えば、透過型の光電センサ７２が複数例え
ば、４個設けられている。

【００２５】ロータ５７の前面には、孔５７ａの中心を
通るＹ軸上の当該孔５７ａの両側、且つ中心に臨んで超
音波センサ７７、７８（図３）が配設されている。これ
らの超音波センサ７７、７８は、孔５７ａ内を遊貫する
ケーブル２の芯出しをするためのものであり、上下（Ｙ
軸方向）両側からケーブル２の外導２ｂが削り取られて
裸出された絶縁体２ａ（図１）の表面までの距離を測定
する。

【００２６】ロータ５７の前面にはセンサ７５、７６の
僅かに前側位値にブラケットを介して孔５７ａの左右両
側に支持板８０、８１（図３）が夫々ＬＭガイド８２、
８２、８３、８３を介してＸ軸方向に水平に移動可能に
設けられている。ハンドル８４、８５は、夫々基端がロ
ータ５７の前面左右位置に支持板８０、８１の各側面に
臨んで夫々ブロックを介して水平に回転可能に軸支され
ており、各先端のねじ部は、支持板８０、８１の対向す
る各端面に設けられたねじ孔に螺合されている。そし
て、ハンドル８４、８５を回転させることにより支持板
８０、８１をＸ軸方向に水平に移動し得るようになって
いる。

【００２７】ロータ５７の左右両端には、ストッパ８
６、８７が、各支持板８０、８１の裏面にはストッパ８
６、８７と対向してブロック８８、８９が夫々固定され
ており、支持板８０、８１の外方への移動を規制するよ
うになっている。また、ロータ５７と各支持板８０、８
１との間にはこれらの支持板８０、８１を所望の位置に
固定するためのクランプ９０、９１が設けられている。

【００２８】支持板８０、８１の前面には夫々カメラユ
ニット９５、９６及び照明装置９７、９８が配設されて
いる。これらのカメラユニット９５、９６は、検査すべ
きケーブル絶縁体２ａの表面に対して４５°の入射角を
なして配置され、照明装置９７、９８は、カメラユニッ
ト９５、９６の反対側で絶縁体２ａの表面に対して４５
°の照射角をなして配置されている。これらのカメラユ
ニット９５、９６及び照明装置９７、９８は、夫々位置
決め調節可能とされている。カメラユニット９５、９６
としては例えば、ＣＣＤシャッタカメラが使用され、照
明装置９７、９８としては例えば、ＣＣＤカメラ用ライ
トガイドが使用されている。

【００２９】支持板８１、８２にはロータ５７の孔５７
ａの中心を通るＸ軸上の当該孔５７ａの左右両側、且つ
中心に臨んで超音波センサ７５、７６が配設されてい
る。これらの超音波センサ７５、７６は、孔５７ａ内を
遊貫するケーブル２の芯出しをするためのものであり、
左右（Ｘ軸方向）両側からケーブル２の外導２ｂが削り
取られて裸出された絶縁体２ａ（図１）の表面までの距
離を測定する。

【００３０】ブラケット５８の前端上下位置には夫々ラ
ンプハウスブラケットを介してランプハウス９９、１０
０が配設されている（図３）。そして、これらのランプ
ハウス９９、１００内には夫々照明用のランプ（図示せ
ず）が収納されており、導光部材１０１、１０２を介し
て照明装置９７、９８に照明用の光を供給する。これに
より照明装置９７、９８がケーブル表面を照明する。

【００３１】前記位置検出センサ６５、６８、７２、超
音波センサ７５〜７８、駆動用モータ１５、３６、４
６、５３、カメラユニット９５、９６、照明用ランプ等
は、制御装置１１０（図４）に接続される。制御装置１
１０は、ロータ５７を回転させてケーブルの検査すべき
絶縁体２ａの廻りを回転させながら、且つ長手方向（Ｚ
軸方向）に移動させて絶縁体２ａの全表面を検査する。
制御装置１１０は、カメラユニット９５、９６により撮
像した映像を画像処理して傷、異物付着の良否の判定を
行う。図４に制御装置１１０の操作盤１１１の一例を示
す。

【００３２】以下に作用を説明する。先ず、図１に２点
鎖線で示すように電力ケーブル２の外導２ｂを剥ぎ取ら
れて検査すべき絶縁体２ａを表面検査装置１の円筒体２
４の後方から挿入し、装置内の円筒体４９、前端の円筒
体５９を遊貫させる。ケーブル２は、絶縁体２ａが剥ぎ
取られて裸出された導体２ｃに保護管３を装着され、当
該保護管３と外導２ｂとが夫々クリート（図示せず）に
より略水平に支持されている。尚、このとき超音波セン
サ７５、７６、カメラユニット９５、９６、照明装置９
７、９８が設けられている支持板８０、８１は、クラン
プ９０、９１が緩められてハンドル８４、８５によりス
トッパ８６、８７に当接係止される位置まで後退されて
いる。前記各クリートは、夫々ステージ（移動台）に載
置されており、ハンドル操作により上下左右に移動可能
とされており、ケーブル２の位置を調節し得るようにな
っている。

【００３３】表面検査装置１の円筒体２４に設けられた
４個のセンサ７２によりケーブル２の挿入時の位置ずれ
が検出され、これらのセンサ７２の検出値が同じ値とな
るように前記クリートを上下左右に調節して表面検査装
置１の中心にケーブル２の中心を略合致（±１〜２mm程
度の範囲）させる。この作業は、例えば、ケーブル２の
検査すべき絶縁体２ａの長さが４００mm程度の場合に
は、前端（０位置）、略中央位置（前端から約２００mm
の位置）、後端位置（前端から約４００mmの位置）の３
箇所で行う。

【００３４】上述のようにして表面検査装置１にケーブ
ル２をセットした後、駆動用モータ１５（図３）により
送りねじ１３（図１）を回転させて移動台２０を前進さ
せ、カメラユニット９５、９６を絶縁体２ａの前端位置
まで移動させる。次いで、ハンドル８４、８５により支
持板８０、８１を絶縁体２ａに向けてストッパ８５、８
６の係止位置から所定距離前進させ、当該各位置におい
てクランプ９０、９１を締め付けて固定する。支持板８
０、８１が当該位置に固定された状態において、カメラ
ユニット９５、９６の各焦点は、絶縁体２ａの表面に合
焦され、照明装置９７、９８は、夫々前記各焦点位置を
照明する。そして、制御装置１１０の電源スイッチをオ
ンにし、モニタ（図示せず）の電源スイッチをオンにす
る。

【００３５】表面検査装置１は、超音波センサ７５、７
６によりケーブル２の中心に対するＸ軸方向のずれを、
超音波センサ７７、７８によりケーブル２の中心に対す
るＹ軸方向のずれを検出する。制御装置１１０は、超音
波センサ７５、７６からの信号により、そのずれ量に応
じてモータ４６（図２）を駆動して支持板４０を左右に
移動させてＸ軸方向の位置合わせを行い、超音波センサ
７７、７８からの信号により、そのずれ量に応じてモー
タ３６（図１）を駆動して支持板３０を上下に移動させ
てＹ軸方向の位置合わせを行い、カメラユニット９５、
９６とケーブル２の軸芯合わせを自動で行う。

【００３６】ところで、カメラユニット９５による検査
ウインドウの大きさは、図５に示すように例えば、長さ
Ｗ（＝5.5 mm ）、幅Ｈ（＝2.2 mm ）とされており、こ
の大きさ（Ｗ×Ｈ）の検査ウインドウ内に認められる
傷、異物付着等の１つの固まりの大きさを計測して、良
否を判定する。そして、検査点への移動量は、例えば、
ケーブル軸方向に１ピッチの送りを5.0 mm、回転方向
（θ方向）に１ピッチの送りを2.0 mmとして、約１０％
のオーバラップをさせている。カメラユニット９６につ
いても同様である。

【００３７】次いで、制御装置１１０は、モータ５４
（図２）を所定の回転角度ずつ順次正回転させ、回転機
構５０をθ方向に図３に示す０°位置から１ピッチ（2.
0 mm）づつ順次１８０°まで回転させ、左右２台のカメ
ラユニット９５、９６（図３）により各ステップ毎にケ
ーブル２の絶縁体２ａの左右両側の表面を夫々撮像して
画像処理を行い、微細な傷、異物付着の有無を検査す
る。そして、傷や異物付着を検出した場合には、その位
置、大きさを判定して記録する。

【００３８】検出した傷、異物の良否の判定は、例え
ば、傷の場合には、１００μｍ×３０μｍ以上、異物の
場合には１００μｍの丸以上の大きさのものを不良とす
る。そして、傷、異物付着などの固まり毎に面積の計算
を行う。尚、カメラでの傷、異物の区別が出来ないの
で、傷の面積を基準にして良否の判定を行う。また、１
ウインドウの中に１つでも判定基準から外れる大きさの
面積のものがあれば、当該ウインドウは不良として処理
する。この際１ウインドウの中の傷の面積の合算はしな
い。

【００３９】制御装置１１０は、θ方向の０°位置から
１８０°位置まで検査を行った後、モータ１５（図３）
を駆動して移動台２０をケーブル２の軸方向（Ｚ軸方
向）に１ピッチ（5.0 mm）移動させ、超音波センサ７５
〜７８により夫々カメラユニット９５、９６とケーブル
２との軸芯合わせを行う。次いで、制御装置１１０は、
モータ５４（図２）を所定の回転角度ずつ順次逆回転さ
せ、回転機構５０を前記１８０°位置から１ピッチづつ
順次０°位置まで逆方向に回転させ、左右２台のカメラ
ユニット９５、９６（図３）により各ステップ毎に絶縁
体２ａの左右両側の表面を夫々撮像して画像処理を行
い、微細な傷、異物付着の有無を検査する。そして、傷
や異物付着を検出した場合には、その位置、大きさを判
定して記録する。このような操作を繰り返して行い、ケ
ーブル２の絶縁体２ａの全表面の検査を行う。

【００４０】因みに、θ方向の１ピッチの送りを2.0 m
m、ケーブル軸方向（Ｚ軸方向）の送りを5.0mmとし、絶
縁体２ａの直径を１００mm、検査長さを４００mmとした
場合の検査点数は、周方向に７９回、長手方向に８０回
となり、約６３２０回となる。また、検査に要する時間
は、約３２分である。これによりケーブル２の絶縁体２
ａの微細な傷、異物付着の検査を短時間に、且つ正確に
行うことが可能となる。

【００４１】制御装置１１０は、不良となった個所の位
置（θ、ケーブル軸方向位置）と不良の大きさのデータ
を取り込み、同時にビデオに録画する。そして、傷、異
物付着の不良位置と不良の大きさのデータは、全検査終
了後必要に応じて一括プリントアウトできるようになっ
ている。また、不良個所の再確認を行う場合には、手動
によりカメラユニットを当該位置に移動させて行う。

【００４２】尚、上記説明では、制御装置１１０を手動
で操作し、手動運転によりケーブル２の絶縁体２ａの表
面の検査を行う場合について記述したが、制御装置１１
０は、自動運転でも同様の検査を行うことが出来るよう
になっている。また、上記実施例では、被検査物として
電力ケーブルの接続部を選定し、その表面を検査する場
合について記述したが、これに限るものではなく、他の
例えば、前述したような乾式複写機の感光ドラムや金属
圧延ロール等の表面の付着異物、外傷などを検査するこ
ともできる。

【００４３】尚、被検査物の位置を検出するセンサは、
被検査物が例えば、電力ケーブルである場合には絶縁体
による影響を少なくして測定精度を高めるために超音波
センサを使用することが好ましい。また、被検査物が他
の例えば、乾式複写機の感光ドラムや、金属圧延ローラ
等のように光の反射が良好なものである場合には、超音
波センサに限るものではなく、光センサ等を使用しても
良い。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、支
持部材により支持されている被検査物の長手方向に沿っ
て移動する移動手段と、前記移動手段の移動に伴って移
動すると共に前記被検査物の回りを回転する回転機構
と、前記移動手段と前記回転機構との間に介在されて前
記被検査物の中心と前記回転機構の中心とを合致させる
継手機構と、前記回転機構に配設されて前記被検査物の
表面を撮像する撮像手段とを備えたことにより、迅速
に、且つ正確に被検査物表面の傷、異物付着等を検出す
ることが可能となり、作業能率の大幅な向上、検査の信
頼性の向上が図られる。

【００４５】請求項２では、継手手段を、移動手段に上
下方向に垂直に移動可能に設けられた第１の支持手段
と、前記第１の支持手段に設けられ前記回転機構を水平
方向に移動可能な第２の支持手段とにより構成すること
により、簡単な構造で、正確、且つ迅速に被検査物と検
査装置との軸芯合わせを行うことが出来る。請求項３で
は、回転機構に設けた超音波センサで被検査物の位置を
測定することにより、正確に、且つ迅速に回転機構と被
検査物との軸芯合わせを行うことが可能となる。

【００４６】請求項４では、被検査物の表面に対して所
定の入射角で配置されたカメラと、前記カメラの反対側
に前記被検査物の表面に対して所定の照射角で配置され
た照明手段とにより被検査物の表面を検査することによ
り、迅速、且つ正確に表面の傷、異物付着を検査するこ
と、及びその判定を行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る表面検査装置の一実施例を示す一
部断面側面図である。

【図２】図１の一部断面平面図である。

【図３】図１の正面図である。

【図４】制御装置の制御盤の正面図である。

【図５】図３のカメラユニットによる検査ウインドウの
大きさ及びこの検査ウインドウの回転方向及びケーブル
長手方向への送りを示す説明図である。

【符号の説明】

１表面検査装置２電力ケーブル（被検査物）２ａ絶縁部２ｂ外導２ｃ導体１０基台１２移動機構２０移動台３０、４０支持板５０回転機構５６継手機構５７ロータ１５、３７、４６、５４モータ６０巻取ドラム６５、６８位置検出センサ７５〜７８超音波センサ９５、９６カメラユニット９７、９８照明装置１１０制御装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者丸喜浩東京都千代田区丸の内２丁目６番１号古河電気工業株式会社内 (72)発明者山根基宏東京都千代田区丸の内２丁目６番１号古河電気工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持部材により支持されている被検査物
の長手方向に沿って移動する移動手段と、前記移動手段の移動に伴って移動すると共に前記被検査
物の回りを回転する回転機構と、前記移動手段と前記回転機構との間に介在されて前記被
検査物の中心と前記回転機構の中心とを合致させる継手
機構と、前記回転機構に配設されて前記被検査物の表面を撮像す
る撮像手段とを備えたことを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】前記継手手段は、前記移動手段に上下方
向に垂直に移動可能に設けられた第１の支持手段と、前
記第１の支持手段に設けられ前記回転機構を水平方向に
移動可能な第２の支持手段とを備えたことを特徴とする
請求項１記載の表面検査装置。
【請求項３】前記回転機構は、超音波センサを備え、
前記被検査物の位置を検出することを特徴とする請求項
１記載の表面検査装置。
【請求項４】前記撮像手段は、前記被検査物の表面に
対して所定の入射角で配置されたカメラと、前記カメラ
の反対側に前記被検査物の表面に対して所定の照射角で
配置された照明手段とを備えたことを特徴とする請求項
１記載の表面検査装置。