JPH07306164A - 疵検査装置 - Google Patents
疵検査装置Info
- Publication number
- JPH07306164A JPH07306164A JP6124192A JP12419294A JPH07306164A JP H07306164 A JPH07306164 A JP H07306164A JP 6124192 A JP6124192 A JP 6124192A JP 12419294 A JP12419294 A JP 12419294A JP H07306164 A JPH07306164 A JP H07306164A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspected
- illumination
- flaw inspection
- illuminating
- flaw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Abstract
(57)【要約】
〔目的〕 操作が簡単で検査時間が短縮できると共に検
査精度を向上でき、しかも疵と異物の付着などによる汚
れとの弁別が可能な疵検査装置を提供する。 〔構成〕 検査対象の物体(W) の表面を照明する照明装
置と、照明された物体の表面を撮影する単一又は複数の
撮影装置(CM)と、この撮影装置から離れた箇所に設置さ
れこの撮影装置で撮影された物体の表面の像を表示する
表示装置(DP)から構成されている。上記照明装置は、上
記離れた箇所で発せられる指令に従い検査対象の物体の
上空に形状された環状の軌道(G) に沿って移動すること
によりこの軌道の中心の直下を中心とする物体の表面を
異なる方向から照明する単一の照明器具(L) を備えてい
る。
査精度を向上でき、しかも疵と異物の付着などによる汚
れとの弁別が可能な疵検査装置を提供する。 〔構成〕 検査対象の物体(W) の表面を照明する照明装
置と、照明された物体の表面を撮影する単一又は複数の
撮影装置(CM)と、この撮影装置から離れた箇所に設置さ
れこの撮影装置で撮影された物体の表面の像を表示する
表示装置(DP)から構成されている。上記照明装置は、上
記離れた箇所で発せられる指令に従い検査対象の物体の
上空に形状された環状の軌道(G) に沿って移動すること
によりこの軌道の中心の直下を中心とする物体の表面を
異なる方向から照明する単一の照明器具(L) を備えてい
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧延鋼板などの物体の
表面に発生する疵の有無や大きさなどを検査するのに使
用される疵検査装置に関するものである。
表面に発生する疵の有無や大きさなどを検査するのに使
用される疵検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、圧延鋼板などの物体の表面に発生
する疵の有無や大きさなどの目視による検査は製造や加
工の現場で行われきた。このような現場は、騒音、塵
埃、高温などの点で悪環境にあるため、現場には照明装
置とテレビカメラなどの撮影装置を設置しておき、その
撮像を遠隔の環境の良い検査室に設置した表示装置に表
示することによって目視検査を行う遠隔検査システムが
開発されている。また、特開平３ー118451号公報に開示
されているように、光ファイバーを通して筒状体の内面
に光を照射し、その反射光を電気信号に変換し、この電
気信号を基準値と比較することによって疵あるいはゴミ
や油などの付着等による汚れを自動的に検査する検査装
置も知られている。
する疵の有無や大きさなどの目視による検査は製造や加
工の現場で行われきた。このような現場は、騒音、塵
埃、高温などの点で悪環境にあるため、現場には照明装
置とテレビカメラなどの撮影装置を設置しておき、その
撮像を遠隔の環境の良い検査室に設置した表示装置に表
示することによって目視検査を行う遠隔検査システムが
開発されている。また、特開平３ー118451号公報に開示
されているように、光ファイバーを通して筒状体の内面
に光を照射し、その反射光を電気信号に変換し、この電
気信号を基準値と比較することによって疵あるいはゴミ
や油などの付着等による汚れを自動的に検査する検査装
置も知られている。
【０００３】上記従来の疵検査装置では、照明装置と撮
影装置との位置関係が固定されているため、検査対象の
疵の位置や向きや形状によっては、識別が困難な場合が
生じる。検査作業者が現場で目視検査を行う際は状況に
応じて観察の方向を変えていることをヒントにすれば、
遠隔検査の場合には状況に応じて撮影装置の位置を変更
すればよいかと思われる。しかしながら、撮影装置の位
置を変えると撮影対象までの距離が変化するため、位置
の変更と連動してピント合わせも行わなければならず操
作が複雑になるだけでなく、検査時間が長引くという問
題がある。従って、本発明の一つの目的は、簡単な操作
による検査時間の短縮と、検査精度の向上とを実現でき
る疵の検査装置を提供することにある。
影装置との位置関係が固定されているため、検査対象の
疵の位置や向きや形状によっては、識別が困難な場合が
生じる。検査作業者が現場で目視検査を行う際は状況に
応じて観察の方向を変えていることをヒントにすれば、
遠隔検査の場合には状況に応じて撮影装置の位置を変更
すればよいかと思われる。しかしながら、撮影装置の位
置を変えると撮影対象までの距離が変化するため、位置
の変更と連動してピント合わせも行わなければならず操
作が複雑になるだけでなく、検査時間が長引くという問
題がある。従って、本発明の一つの目的は、簡単な操作
による検査時間の短縮と、検査精度の向上とを実現でき
る疵の検査装置を提供することにある。
【０００４】また、上記特許公報からも示唆されるよう
に、疵も汚れも物体の表面に存在する異物として観察さ
れるが両者の区別が困難であるため、清掃処理によって
除去可能でそれほど大きな欠陥とはいえない汚れを除外
しながらより重要な疵の有無や形状だけの検査を行うこ
とは一般に困難である。従って、本発明の他の目的は、
ゴミや油の付着などによる汚れと区別して疵のみを検査
できる疵の検査装置を提供することにある。
に、疵も汚れも物体の表面に存在する異物として観察さ
れるが両者の区別が困難であるため、清掃処理によって
除去可能でそれほど大きな欠陥とはいえない汚れを除外
しながらより重要な疵の有無や形状だけの検査を行うこ
とは一般に困難である。従って、本発明の他の目的は、
ゴミや油の付着などによる汚れと区別して疵のみを検査
できる疵の検査装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】検査対象の物体の表面を
照明する照明装置と、照明された物体の表面を撮影する
単一又は複数の撮影装置と、この撮影装置から離れた箇
所に設置されかつこの撮影装置で撮影された物体の表面
の像を表示する表示装置とを備えている。そして、上記
照明装置は、上記離れた箇所で発せられる指令に従い検
査対象の物体の上空に形成された環状の軌道に沿って移
動することによりこの軌道の中心の直下を中心とする物
体の表面を異なる方向から照明する単一の照明器具を備
えている。
照明する照明装置と、照明された物体の表面を撮影する
単一又は複数の撮影装置と、この撮影装置から離れた箇
所に設置されかつこの撮影装置で撮影された物体の表面
の像を表示する表示装置とを備えている。そして、上記
照明装置は、上記離れた箇所で発せられる指令に従い検
査対象の物体の上空に形成された環状の軌道に沿って移
動することによりこの軌道の中心の直下を中心とする物
体の表面を異なる方向から照明する単一の照明器具を備
えている。
【０００６】
【作用】疵は、一般に不規則な三次元形状を呈してい
る。このため、個々の疵の形状に応じて目視に最適とな
るように照明の向きを変化させることにより、その有無
や形状を高精度で識別できる。また、不規則な三次元形
状を呈している疵の明るさや、その陰影の大きさや位置
が照明の向きに応じて変化する。このように、照明の方
向を変化させることにより多くの視覚情報が取得でき
る。例えば、陰影を含む異物の像の形状が照明の向きに
依存して変化するか否かによって油汚れなどの平面的な
異物から容易な弁別できる。また、照明器具の移動経路
が検査中の物体の表面を中心とする二次元的な環状軌道
であるため、照明の方向を左右だけでなく前後にわたっ
ても変更でき、検査の精度が一層向上する。さらに、環
状の軌道が予め形成されているため、多関節アームの操
作などによる場合に比べて遙に簡単な操作によって照明
方向を変更でき、検査時間が短縮される。
る。このため、個々の疵の形状に応じて目視に最適とな
るように照明の向きを変化させることにより、その有無
や形状を高精度で識別できる。また、不規則な三次元形
状を呈している疵の明るさや、その陰影の大きさや位置
が照明の向きに応じて変化する。このように、照明の方
向を変化させることにより多くの視覚情報が取得でき
る。例えば、陰影を含む異物の像の形状が照明の向きに
依存して変化するか否かによって油汚れなどの平面的な
異物から容易な弁別できる。また、照明器具の移動経路
が検査中の物体の表面を中心とする二次元的な環状軌道
であるため、照明の方向を左右だけでなく前後にわたっ
ても変更でき、検査の精度が一層向上する。さらに、環
状の軌道が予め形成されているため、多関節アームの操
作などによる場合に比べて遙に簡単な操作によって照明
方向を変更でき、検査時間が短縮される。
【０００７】
【実施例】図１は、本発明の一実施例の疵検査装置の構
成を示す図である。図１（Ａ）を参照すれば、ローラー
などの適宜な搬送機構によって搬送される検査対象の鋼
板Ｗの上方に、テレビジョンカメラＣＭが鋼板Ｗの表面
を視野に入れながら保持棒Ｈによって保持されている。
このテレビジョンカメラＣＭを中心とする円環状のガイ
ドフレームＧが鋼板Ｗの上空に設置されている。このガ
イドフレームＧにはスライダＳが摺動自在に保持されて
おり、このスライダＳには投光機ＬとモータＭが保持さ
れている。投光機ＬはテレビジョンカメラＣＭの視野の
中心を向いている。モータＭの回転軸に軸着されたプー
リーの外周面は、ガイドフレームＧの外周面と摩擦接触
しており、モータＭの回転に伴いスライダＳがガイドフ
レームＧに沿って移動する。この結果、投光機Ｌが鋼板
の表面の周りに円軌道を描いて移動し、鋼板Ｗに対する
照明の方向が変化する。ガイドフレームＧが円環状であ
るため、鋼板Ｗの検査対象の表面と投光機Ｌとの距離が
常に一定に保たれ、従って照明の照度も一定に保たれ
る。
成を示す図である。図１（Ａ）を参照すれば、ローラー
などの適宜な搬送機構によって搬送される検査対象の鋼
板Ｗの上方に、テレビジョンカメラＣＭが鋼板Ｗの表面
を視野に入れながら保持棒Ｈによって保持されている。
このテレビジョンカメラＣＭを中心とする円環状のガイ
ドフレームＧが鋼板Ｗの上空に設置されている。このガ
イドフレームＧにはスライダＳが摺動自在に保持されて
おり、このスライダＳには投光機ＬとモータＭが保持さ
れている。投光機ＬはテレビジョンカメラＣＭの視野の
中心を向いている。モータＭの回転軸に軸着されたプー
リーの外周面は、ガイドフレームＧの外周面と摩擦接触
しており、モータＭの回転に伴いスライダＳがガイドフ
レームＧに沿って移動する。この結果、投光機Ｌが鋼板
の表面の周りに円軌道を描いて移動し、鋼板Ｗに対する
照明の方向が変化する。ガイドフレームＧが円環状であ
るため、鋼板Ｗの検査対象の表面と投光機Ｌとの距離が
常に一定に保たれ、従って照明の照度も一定に保たれ
る。
【０００８】図１（Ｂ）を参照すれば、鋼板Ｗが搬送さ
れる作業現場から離れた良好な環境の検査室内などに制
御卓ＣＮが設置されており、この制御卓上にテレビジョ
ン受像機ＤＰが設置されている。テレビジョン受像機Ｄ
Ｐには、現場に設置されたテレビジョンカメラＣＭで撮
影され、同軸ケーブルＣＢ１を通して転送されてくる物
体の表面の検査画像が表示される。制御卓ＣＮに設置さ
れた操作桿Ｊの先端部はその根元部分の廻りに円環状の
軌道を描いて移動可能となっている。この操作桿Ｊの操
作によって投入される照明方向変更指令は、コンソール
ＣＮ内でモータＭの回転に関する指令に変換され、多芯
ケーブルＣＢ２を通して現場に設置されているモータＭ
に転送される。この回転指令を受けた現場設置のモータ
Ｍは、時計廻りや反時計廻りの回転によって投光機Ｌを
移動させる。図１には投光機Ｌが右側後方に位置する状
態が例示されている。
れる作業現場から離れた良好な環境の検査室内などに制
御卓ＣＮが設置されており、この制御卓上にテレビジョ
ン受像機ＤＰが設置されている。テレビジョン受像機Ｄ
Ｐには、現場に設置されたテレビジョンカメラＣＭで撮
影され、同軸ケーブルＣＢ１を通して転送されてくる物
体の表面の検査画像が表示される。制御卓ＣＮに設置さ
れた操作桿Ｊの先端部はその根元部分の廻りに円環状の
軌道を描いて移動可能となっている。この操作桿Ｊの操
作によって投入される照明方向変更指令は、コンソール
ＣＮ内でモータＭの回転に関する指令に変換され、多芯
ケーブルＣＢ２を通して現場に設置されているモータＭ
に転送される。この回転指令を受けた現場設置のモータ
Ｍは、時計廻りや反時計廻りの回転によって投光機Ｌを
移動させる。図１には投光機Ｌが右側後方に位置する状
態が例示されている。
【０００９】図１（Ｃ）に例示するように、検査対象の
鋼板Ｗの表面に凹状の疵が存在するものとすれば、テレ
ビジョン受像機ＤＰの表示画面上には、右側後方からの
照明光線を受けた明るい平坦部分ｃと、一層明るい傾斜
部分ａと、暗い傾斜部分ｂとが表示される。この状態か
ら、ガイドフレームＧに沿って投光機Ｌを180 o 移動さ
せて左前方に位置させると、表示画面には、傾斜部分
ａ，ｂの明暗がそれぞれ反転する。このように、投光機
の位置によって表示画面中の異物の明暗がどのように変
化するかによっても、疵の形状を一層的確に確認でき
る。
鋼板Ｗの表面に凹状の疵が存在するものとすれば、テレ
ビジョン受像機ＤＰの表示画面上には、右側後方からの
照明光線を受けた明るい平坦部分ｃと、一層明るい傾斜
部分ａと、暗い傾斜部分ｂとが表示される。この状態か
ら、ガイドフレームＧに沿って投光機Ｌを180 o 移動さ
せて左前方に位置させると、表示画面には、傾斜部分
ａ，ｂの明暗がそれぞれ反転する。このように、投光機
の位置によって表示画面中の異物の明暗がどのように変
化するかによっても、疵の形状を一層的確に確認でき
る。
【００１０】凸形状の疵も照明の方向を変えることによ
って陰影などを含む異物の形状が変化する。異物が油汚
れなどの平面的な異物であれば、照明の方向を変化させ
ても形状は殆ど変化しないことなどから、立体的な疵か
ら弁別可能である。このような利点は、撮影装置の位置
を変更しただけでは得られない利点である。
って陰影などを含む異物の形状が変化する。異物が油汚
れなどの平面的な異物であれば、照明の方向を変化させ
ても形状は殆ど変化しないことなどから、立体的な疵か
ら弁別可能である。このような利点は、撮影装置の位置
を変更しただけでは得られない利点である。
【００１１】なお、必要に応じて、図１（Ｂ）の表示画
面に例示するように、現在設定中の照明の方向を直観的
に把握するために、操作桿Ｊの状態から検出したガイド
フレームＧ上の投光機Ｌの現在位置をテレビジョンカメ
ラＣＭの撮像画面と合成してガイドフレームの像上の輝
点などによって表示する構成としてもよい。あるいはま
た、操作桿Ｊの代わりにリング状のハンドルを使用する
こともできる。さらに、投光機Ｌの現在位置を知るため
に、現場にテレビジョンカメラをもう１台設置して投光
機Ｌを撮影し、その撮像を検査用の表示画面上に組み込
んで表示したり、別個の表示装置に表示する構成とする
こともできる。
面に例示するように、現在設定中の照明の方向を直観的
に把握するために、操作桿Ｊの状態から検出したガイド
フレームＧ上の投光機Ｌの現在位置をテレビジョンカメ
ラＣＭの撮像画面と合成してガイドフレームの像上の輝
点などによって表示する構成としてもよい。あるいはま
た、操作桿Ｊの代わりにリング状のハンドルを使用する
こともできる。さらに、投光機Ｌの現在位置を知るため
に、現場にテレビジョンカメラをもう１台設置して投光
機Ｌを撮影し、その撮像を検査用の表示画面上に組み込
んで表示したり、別個の表示装置に表示する構成とする
こともできる。
【００１２】また、照射照度が常に一定となるようにガ
イドフレームＧを円環状とする構成を例示した。しかし
ながら、空間的な制限などからガイドフレームＧの形状
を楕円状や矩形状にすることもできる。また、投光機Ｌ
の光量を光量を最大給電量に対する調整可能な給電比率
として記憶しておき、この記憶中の給電比率を常時設定
する構成を採用することもできる。
イドフレームＧを円環状とする構成を例示した。しかし
ながら、空間的な制限などからガイドフレームＧの形状
を楕円状や矩形状にすることもできる。また、投光機Ｌ
の光量を光量を最大給電量に対する調整可能な給電比率
として記憶しておき、この記憶中の給電比率を常時設定
する構成を採用することもできる。
【００１３】さらに、撮影された像を作業者が目視検査
する場合を例にとって本発明を説明した。しかしなが
ら、撮影された物体の表面の像を識別する装置を付加す
ることによって自動識別を行わせ、ある程度大きな疵が
識別された場合にはブザーの鳴動などによってその旨を
作業者に通知し、最終的には作業者が目視検査によって
確認するというような自動検査と目視による検査とを組
合せた構成を採用することもできる。この場合、自動識
別状態のもとでは、照明方向を固定しておく他に、識別
装置が所定の識別アルゴリズムに従って照明方向に関す
る指令を発するようにすることもできる。
する場合を例にとって本発明を説明した。しかしなが
ら、撮影された物体の表面の像を識別する装置を付加す
ることによって自動識別を行わせ、ある程度大きな疵が
識別された場合にはブザーの鳴動などによってその旨を
作業者に通知し、最終的には作業者が目視検査によって
確認するというような自動検査と目視による検査とを組
合せた構成を採用することもできる。この場合、自動識
別状態のもとでは、照明方向を固定しておく他に、識別
装置が所定の識別アルゴリズムに従って照明方向に関す
る指令を発するようにすることもできる。
【００１４】また、作業者による目視検査を行わずに自
動識別のみを行う場合にも、本発明を適用できる。この
場合、照明方向に関する指令は識別装置から所定の識別
アルゴリズムに従って現場側のモータＭに発せられる。
また、この構成では、自動識別装置を環境の悪い物体の
製造や加工の現場に設置することもできる。
動識別のみを行う場合にも、本発明を適用できる。この
場合、照明方向に関する指令は識別装置から所定の識別
アルゴリズムに従って現場側のモータＭに発せられる。
また、この構成では、自動識別装置を環境の悪い物体の
製造や加工の現場に設置することもできる。
【００１５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の疵
検査装置は、照明の方向を遠隔操作によって変更する構
成であるから、撮影装置の位置を変更する場合に比べて
簡単な操作のもとにより高精度の検査が可能になるとい
う効果が奏される。
検査装置は、照明の方向を遠隔操作によって変更する構
成であるから、撮影装置の位置を変更する場合に比べて
簡単な操作のもとにより高精度の検査が可能になるとい
う効果が奏される。
【００１６】また、本発明の疵検査装置は、照明の方向
の変更に伴う陰影を含む異物の形状の変化の様子から立
体的な疵を平面的な汚れから区別しながら検査できると
いう利点もある。この場合、照明器具の移動経路が検査
中の物体の表面を中心とする二次元的な環状軌道である
ため、照明の方向を左右だけでなく前後にわたっても変
更でき、検査の精度が一層向上する。
の変更に伴う陰影を含む異物の形状の変化の様子から立
体的な疵を平面的な汚れから区別しながら検査できると
いう利点もある。この場合、照明器具の移動経路が検査
中の物体の表面を中心とする二次元的な環状軌道である
ため、照明の方向を左右だけでなく前後にわたっても変
更でき、検査の精度が一層向上する。
【００１７】さらに、本発明の疵検査装置では、環状の
軌道が予め形成されているため、多関節アームの操作な
どによる場合に比べて遙かに簡単な操作によって照明方
向を変更でき、検査時間が短縮される。
軌道が予め形成されているため、多関節アームの操作な
どによる場合に比べて遙かに簡単な操作によって照明方
向を変更でき、検査時間が短縮される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の構成を示す図である。
L 投光機( 照明器具) G ガイドフレーム M モータ CM テレビジョンカメラ( 撮影装置 ) DP テレビジョン受像機( 表示装置 ) CN 制御卓 J 現場側のモータに照明方向に関する指令を発す
る操作桿 CB1,CB2 ケーブル
る操作桿 CB1,CB2 ケーブル
Claims (6)
- 【請求項１】 検査対象の物体の表面を照明する照明装
置と、照明された物体の表面を撮影する単一又は複数の
撮影装置と、この撮影装置から離れた箇所に設置されか
つこの撮影装置で撮影された物体の表面の像を表示する
表示装置とを備えた疵検査装置において、 前記照明装置は、前記離れた箇所で発せられる指令に従
い前記検査対象の物体の上空に形成された環状の軌道に
沿って移動することによりこの軌道の中心の直下を中心
とする前記物体の表面を異なる方向から照明する単一の
照明器具を備えたことを特徴とする疵検査装置。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記環状の軌道は円環状の軌道であることを特徴とする
疵検査装置。ことを特徴とする - 【請求項３】 請求項１又は２において、 前記照明装置と前記撮影装置は、前記検査対象の物体の
製造又は加工現場に配置され、前記表示装置はこの製造
又は加工現場から離れた検査室内に設置されたことを特
徴とする疵検査装置。 - 【請求項４】 請求項１乃至３のそれぞれにおいて、 前記照明装置の位置によって決定される異なる照明方向
に関する情報を前記撮影装置の映像と組合せて前記表示
装置に表示する手段を更に備えたことを特徴とする疵検
査装置。 - 【請求項５】 請求項１乃至４のそれぞれにおいて、 前記撮影装置で撮影された物体の表面の像を識別する識
別装置を更に備えたことを特徴とする疵検査装置。 - 【請求項６】 検査対象の物体の表面を照明する照明装
置と、照明された物体の表面を撮影する撮影装置と、こ
の撮影装置で撮影された物体の表面の像を識別する識別
装置とを備えた疵検査装置において、 前記照明装置は、前記識別装置から発せられる指令に従
い前記検査対象の物体の上空に形成された環状の軌道に
沿って移動することにより前記物体の表面を異なる方向
から照明する単一の照明器具を備えたことを特徴とする
疵検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6124192A JPH07306164A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 疵検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6124192A JPH07306164A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 疵検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07306164A true JPH07306164A (ja) | 1995-11-21 |
Family
ID=14879270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6124192A Withdrawn JPH07306164A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 疵検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07306164A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014025809A (ja) * | 2012-07-26 | 2014-02-06 | Jfe Steel Corp | 疵検出方法および疵検出装置 |
| CN105973898A (zh) * | 2016-06-17 | 2016-09-28 | 苏州玻色智能科技有限公司 | 一种智能终端触摸屏保护盖板的检测装置 |
| CN106066334A (zh) * | 2016-06-17 | 2016-11-02 | 苏州玻色智能科技有限公司 | 一种用于智能终端触摸屏保护盖板的检测装置的检测机构 |
| US20170089840A1 (en) * | 2015-09-30 | 2017-03-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Inspection apparatus, and article manufacturing method |
| CN108982531A (zh) * | 2017-06-02 | 2018-12-11 | 柯尼卡美能达株式会社 | 筒状物的检查装置 |
-
1994
- 1994-05-13 JP JP6124192A patent/JPH07306164A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014025809A (ja) * | 2012-07-26 | 2014-02-06 | Jfe Steel Corp | 疵検出方法および疵検出装置 |
| US20170089840A1 (en) * | 2015-09-30 | 2017-03-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Inspection apparatus, and article manufacturing method |
| CN105973898A (zh) * | 2016-06-17 | 2016-09-28 | 苏州玻色智能科技有限公司 | 一种智能终端触摸屏保护盖板的检测装置 |
| CN106066334A (zh) * | 2016-06-17 | 2016-11-02 | 苏州玻色智能科技有限公司 | 一种用于智能终端触摸屏保护盖板的检测装置的检测机构 |
| CN108982531A (zh) * | 2017-06-02 | 2018-12-11 | 柯尼卡美能达株式会社 | 筒状物的检查装置 |
| CN108982531B (zh) * | 2017-06-02 | 2021-06-15 | 柯尼卡美能达株式会社 | 筒状物的检查装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4724056B2 (ja) | 検査装置 | |
| US20110128368A1 (en) | Hole Inspection Method and Apparatus | |
| JP5481484B2 (ja) | ３次元物体を２次元平面画像に光学的に変換する装置および方法 | |
| JP2006220498A (ja) | レンズ検査装置 | |
| JPH07306164A (ja) | 疵検査装置 | |
| KR20160121716A (ko) | 하이브리드 조명 기반 표면 검사 장치 | |
| JPH1062354A (ja) | 透明板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
| JPH05149885A (ja) | 管内検査装置 | |
| JP2009103494A (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH07306162A (ja) | 疵検査装置 | |
| JPS61202109A (ja) | 管の内面検査装置 | |
| JP2001033394A (ja) | 非接触式表面検査方法および非接触式表面検査装置 | |
| CN1177217C (zh) | 制动主缸体光电检测仪 | |
| JPH07306163A (ja) | 疵検査装置 | |
| JPH0295205A (ja) | 内面画像入力装置 | |
| JP5128344B2 (ja) | オイルシールの検査装置 | |
| JP2962125B2 (ja) | 円筒形物体表面画像検査装置における照明方法 | |
| JP4481094B2 (ja) | 金属リングの側縁検査装置 | |
| JP2013185831A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JP3054227B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPH05307007A (ja) | 表面検査方法 | |
| JPH11194098A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH063279A (ja) | ハードディスク又はウエハーの検査方法及び検査装置 | |
| JPH0329737Y2 (ja) | ||
| JP3082755U (ja) | 回転体表面検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010731 |