JPH08171217A

JPH08171217A - 多連型露光装置

Info

Publication number: JPH08171217A
Application number: JP6334492A
Authority: JP
Inventors: Masahiro Miyashita; 正弘宮下; Hideki Okaya; 秀樹岡谷; Takahiro Nakano; 隆広中野; Michihiro Kuramochi; 道広蔵持; Takao Ito; 隆夫伊藤; Toshiyuki Aihara; 利之相原
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 1994-12-19
Filing date: 1994-12-19
Publication date: 1996-07-02

Abstract

(57)【要約】【目的】たとえ多連の各露光部の露光エリア幅が異な
っていても、各露光パターンが近接するような形で露光
し得る多連型露光装置を提供する。【構成】各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３のガラスマス
ク３の幅（被露光材Ｍの移動方向の幅：露光エリア幅）
を、それぞれＷ1、Ｗ2、Ｗ3とすると、隣接する各両面
露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の中心位置間（露光エリア幅Ｗ
1、Ｗ2、Ｗ3の中心位置間）の離間距離が、各両面露光
部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の露光エリア幅Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3の合
計値と、隣接する２つの両面露光部Ｅ１，Ｅ２等の露光
エリア幅Ｗ1，Ｗ2等の平均値との加算値となるように各
両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３を配置し、露光後の被露光
材の移動距離は、各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の露光
エリア幅Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3の合計値とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被露光材の巻出部と巻
取出の間に複数の露光部が連続配置された多連型露光装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば、高精細なテレビシャドウ
マスク、ＩＣリードフレーム等を大量生産するための露
光装置として、フープ状に巻かれたシート状の被露光材
を露光部に所定量ずつ送出しながら順次マスクのパター
ンを露光する露光装置が知られている。

【０００３】また、この種の露光装置において、被露光
材を巻出す巻出部と、この巻出部から巻出された被露光
材を巻取る巻取部との間に、複数の露光部を連続配置し
た多連型露光装置も実現されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような多
連型露光装置は、生産性を向上させることを主な目的と
して実現されたものであり、露光装置の構造上、露光エ
リアの幅よりも露光装置の幅が大きくなるため、結果と
して１回の露光を行ったときに被露光材上に形成される
各露光パターン間には、露光エリアの幅と露光装置の幅
との差、および露光装置同士のすきまに応じたすきま
（露光されない部分）が必然的に生じ（図５参照）、被
露光材の歩留まりが悪くなるという問題があった（かな
り控え目に見積もっても１割は上回る無駄があった）。

【０００５】さらに近年では、製造装置に対しては、生
産性向上に加え、多品種の製品に対しフレキシブルに対
応し得ることが要望されており、そのような要望に応え
る一つのやり方として、多連型露光装置において多種類
の製品に係る複数の露光パターンを同時に露光するとい
うことが考えられている。この場合、多種類の製品に係
る複数の露光パターン同士の幅が異なることもあり得
る。そうした場合には、同一幅の露光パターンの場合に
生じる前記のような歩留まり低下に加え、露光装置間の
間隔を一定とした場合には、さらに、狭い露光パターン
の両側には露光されない部分が大きく形成されるため、
さらに歩留まり低下が著しくなる。従来の多連型露光装
置においては、上記のような材料の歩留まり低下に関し
ては、特に考慮がなされていなかった。さらに扱う製品
の種類（特に幅の異なる製品）を変更する必要のある場
合の対処についても考慮されていなかった。

【０００６】本発明は、このような背景の下になされた
もので、その目的は、たとえ多連の各露光部の露光エリ
ア幅が異なっていても、各露光パターンが近接するよう
な形で露光し得る多連型露光装置を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、フープ状に巻付けられた被露光材を巻出
す巻出部と、該巻出部から巻出された前記被露光材を巻
取る巻取部とが複数の露光部の両側に配置され、前記巻
出部と巻取部により前記被露光材を前記複数の露光部に
所定量ずつ送出しながら前記被露光材の少なくとも一方
の面に前記複数の露光部の各マスクのパターンを露光す
る多連型露光装置であって、前記複数の各露光部による
１ショットの同時露光によって前記被露光材上に形成さ
れる各露光パターン同士の間隔を前記各マスクの露光エ
リア幅に基づき定められる所定間隔とすべく調整する露
光間隔調整手段と、前記露光間隔調整手段の調整により
生じた１ショットの同時露光後の前記各露光パターン間
のすきま部の露光を行うべく、前記各マスクの露光エリ
ア幅の大きさに基づいて前記被露光材の送出量を制御す
るすきま露光制御手段とを備え、前記被露光材上の送り
方向に実質的にすきまなく露光パターンを形成するよう
に構成されている。

【０００８】

【作用】１ショットの同時露光で被露光材上に形成され
る各露光パターンの離間距離が、露光間隔調整手段によ
って各露光エリア幅に基づく所定値に調整されると共
に、すきま露光制御手段により、１ショットの露光終了
毎に被露光材は前記離間距離に関連づけられた所定量だ
け移動されていくので、たとえ各露光部の露光エリア幅
が異なっていても、各露光パターンが近接するような形
で露光が行われることとなる。

【０００９】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。

【００１０】［第１実施例］図１は、本発明の第１実施
例による多連型両面露光装置の概略構成を示す図であ
る。図１において、被露光材Ｍを巻出す巻出部Ｏと被露
光材Ｍを巻取る巻取部Ｉとの間には、複数の両面露光部
Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，…Ｅｎが配置されている。

【００１１】巻出部Ｏと両面露光部Ｅ１とは、それら各
部を全体的に被露光材Ｍの移動方向へ移動させる移動機
構を有していないが、その他の両面露光部Ｅ２，Ｅ３，
…Ｅｎと巻取部Ｉとは、それら各部を全体的に被露光材
Ｍの移動方向へ移動して任意の位置に固定する移動・固
定機構を有しており、この移動・固定機構が１ショット
の同時露光により被露光材Ｍ上に形成される各露光パタ
ーン間の間隔を、後述の規則に従い調整する露光間隔調
整手段としての役割を果たす。すなわち、両面露光部Ｅ
２，Ｅ３，…Ｅｎと巻取部Ｉは、直動軸受１を介して、
２本のガイドレール２上に移動可能に載置され、図示省
略した駆動機構によりガイドレール２上の任意の位置に
位置決めできるように構成されている。

【００１２】駆動機構としては、例えば固定子をガイド
レール間に敷設し、可動子は各露光部の底部に設けたリ
ニアモータや、ガイドレールと平行に設けられたラック
と各露光部に固定されたモータにより回転駆動されるピ
ニオンとの組合わせ、送りねじとモータとの組合わせ等
を用いることができる。そして、この駆動機構を図示省
略したシステムコントローラにより制御することによ
り、各露光部および巻取部を所望の位置に位置決めす
る。

【００１３】なお、上記のような駆動機構は必ずしもな
くてもよく、その場合は、作業者が各露光部および巻取
部をガイドレールに沿って動かし、それぞれを所望の位
置に位置決め・固定できるようになっていればよい。固
定するためには、必要に応じクランプ機構を各露光部側
に設け、位置決めした後、このクランプ機構により固定
してもよい。

【００１４】図１において、３はガラスマスク、４はガ
ラスマスク３をＸ軸、Ｙ軸、θ方向に微小移動させてガ
ラスマスク３のアライメントを行うためのアライメント
用モータ、５はガラスマスク３上に形成されたアライメ
ントマークを読取るためのイメージセンサ、６はガラス
マスク３を被露光材Ｍの方向（Ｚ軸方向）に移動させる
Ｚ軸モータ、７は各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，…Ｅ
ｎにおける露光動作を個別に制御するコントローラであ
る。各露光部の露光動作は、前記システムコントローラ
から各コントローラ７に指令信号が入力されることによ
り開始される。

【００１５】各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，…Ｅｎ
は、上記の移動・固定機構を除いてはほぼ同様の構成と
なっており、図２に示したように、表側露光部Ｆと裏側
露光部Ｂとが被露光材Ｍを挟んで対向するように配置さ
れている。表側露光部Ｆと裏側露光部Ｂとは、同様の構
成となっており、ガラスマスク３を支持する支持機構
８、光源部９等を有している。

【００１６】各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，…Ｅｎ
は、上記の移動・固定機構を利用して、図１に示したよ
うに離間されて配置されている。以下、この離間距離、
および１ショットの露光毎に被露光材Ｍを移動する際の
移動量（インデックス量）について、図３を参照しなが
ら説明する。なお、図３は、説明の便宜上、３種類の露
光エリア幅のマスクを扱い、３つの両面露光部Ｅ１，Ｅ
２，Ｅ３によって露光を行う場合について示したもので
ある。

【００１７】図３に示したように、各両面露光部Ｅ１，
Ｅ２，Ｅ３のガラスマスク３の幅（被露光材Ｍの移動方
向の幅：露光エリア幅）を、それぞれＷ1、Ｗ2、Ｗ3と
する。この場合、隣接する各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ
３の中心位置間（露光エリア幅Ｗ1、Ｗ2、Ｗ3の中心位
置間）の離間距離は、各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の
露光エリア幅Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3の合計値と、隣接する両面
露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の露光エリア幅Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3
の平均値との加算値となるようにしている。

【００１８】すなわち、両面露光部Ｅ１，Ｅ２の中心位
置間の離間距離は、各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の露
光エリア幅Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3の合計値（Ｗ1＋Ｗ2＋Ｗ3）
と、隣接する面露光部Ｅ１，Ｅ２の露光エリア幅Ｗ1，
Ｗ2の平均値（Ｗ1＋Ｗ2）／２との加算値、すなわち
（Ｗ1＋Ｗ2＋Ｗ3）＋（Ｗ1＋Ｗ2）／２とする。

【００１９】同様に、両面露光部Ｅ２，Ｅ３の中心位置
間の離間距離は、各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の露光
エリア幅Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3の合計値（Ｗ1＋Ｗ2＋Ｗ3）と、
隣接する両面露光部Ｅ２，Ｅ３の露光エリア幅Ｗ2，Ｗ3
の平均値（Ｗ2＋Ｗ3）／２との加算値、すなわち（Ｗ1
＋Ｗ2＋Ｗ3）＋（Ｗ2＋Ｗ3）／２とする。

【００２０】このように、離間距離は各両面露光部Ｅ
１，Ｅ２，Ｅ３についての露光エリア幅が決まれば機械
的に定まるので、本発明の多連型露光装置を最初に稼動
させる場合や、扱う製品の種類が変更となり、かつこれ
に伴い露光エリア幅も変更がある場合等に、手動、また
は前記駆動機構によって、予め各両面露光部Ｅ１，Ｅ
２，Ｅ３同士の離間距離が上記のようになるよう位置決
めが行われる。前記システムコントローラにはマイコン
が内蔵されており、このマイコンには、予め作業者が各
両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の露光エリア幅Ｗ１，Ｗ
２，Ｗ３の値を例えばキーボードなどの適宜の入力手段
により入力できるようになっているとともに、入力され
たデータに基づいて上記の所定の演算等を行うプログラ
ムが予め内蔵されている。

【００２１】そして、前記駆動機構により各両面露光部
の位置決めを行う場合には、さらに各両面露光部Ｅ２，
Ｅ３の現在位置の情報が（例えば、固定された両面露光
部Ｅ１の中央位置を基準とし、この基準位置から各両面
露光部Ｅ２，Ｅ３の中央位置までの距離を、リニアエン
コーダ等の位置検出手段によって）得られ、システムコ
ントローラ（または駆動機構のコントローラ）に入力さ
れ、認識されるように構成されている。この場合には、
まず、前記システムコントローラのマイコンは指令信号
を出力し、上記演算により得られた各離間距離により定
まる各両面露光部Ｅ２，Ｅ３の目標位置へ、これら露光
部を移動させるべく、前記駆動機構を作動させる。この
際、各両面露光部Ｅ２，Ｅ３の位置の情報が位置検出手
段からシステムコントローラ（または各駆動機構のコン
トローラ）に入力されるので、この位置が前記目標位置
と一致するように制御がなされる。

【００２２】なお、手動で各両面露光部Ｅ１，Ｅ２の位
置決めを行う場合にも、適宜の位置検出手段により各両
面露光部Ｅ２，Ｅ３の位置を検知するとともに、例えば
その結果をデジタル化し、表示器により表示し、作業者
がその表示値を参照しながら位置決めするようにしても
よい。

【００２３】上記のように、まず各両面露光部Ｅ２，Ｅ
３の位置決めを行った後に、一連の露光動作（同時露光
および巻取り（送出））を開始する。そして、各両面露
光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３による１ショットの同時露光後の
インデックス量は、常時、各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ
３の露光エリア幅Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3の合計値（Ｗ1＋Ｗ2＋
Ｗ3）とする。この値も前記システムコントローラ中の
マイコンにて演算され、記憶されている。

【００２４】これをｎ台の両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ
３，…Ｅｎの場合の一般式で表すと、隣接する両面露光
部Ｅｍ-1，Ｅｍの中心位置間の離間距離Ｗ1（ｍ）は、

【数１】となり、インデックス量Ｘは、

【数２】となる。

【００２５】次に、露光動作を図３に基づいて説明す
る。今、露光エリア幅Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3の両面露光部Ｅ
１，Ｅ２，Ｅ３により、図３の右上がり斜線の部分が露
光されたものとする。この後、各両面露光部Ｅ１，Ｅ
２，Ｅ３の露光エリア幅Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3の合計値（Ｗ1＋
Ｗ2＋Ｗ3）分だけ被露光材Ｍを移動させる（巻取らせ
る）と、図３の右下がり斜線の部分が、各両面露光部Ｅ
１，Ｅ２，Ｅ３の対向位置に来て露光される。この後、
さらに、被露光材Ｍを（Ｗ1＋Ｗ2＋Ｗ3）だけ移動させ
る（巻取らせる）と、図３の網掛けの部分が、各両面露
光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の対向位置に来て露光される。

【００２６】このように、隣接する各両面露光部Ｅ１，
Ｅ２，Ｅ３の中心位置間の離間距離が、各両面露光部Ｅ
１，Ｅ２，Ｅ３の露光エリア幅Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3の合計値
と、隣接する２つの両面露光部Ｅ１，Ｅ２等の露光エリ
ア幅Ｗ1，Ｗ2等の平均値との加算値となるようにし、各
両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の露光エリア幅の合計値
（Ｗ1＋Ｗ2＋Ｗ3）分だけ被露光材Ｍを順次移動させな
がら露光することにより、たとえ各両面露光部Ｅ１，Ｅ
２，Ｅ３の露光エリア幅が異なっていたとしても、各露
光パターン間の隙間を可及的に無くすことができ、被露
光材Ｍの歩留まりが向上する。

【００２７】さらに、上記のように、移動・固定機構を
設けたので、各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３の露光エリ
ア幅（マスク幅）が変更されたときに、その変更に応じ
た適正な上記離間距離を得るための各両面露光部Ｅ１，
Ｅ２，Ｅ３の位置決め作業を容易、かつ迅速に行うこと
も可能となる。

【００２８】なお、上記の説明から推測できるように、
１回目の露光時に露光されなかった部分のうち、１回目
の露光時に各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，…Ｅｎを既
に通り過ぎてしまっている部分（例えば、図３の＃の部
分）や、被露光材Ｍの巻取り始端部、終端部近くは、通
常の巻取り方向にだけ被露光材Ｍを移動させると、露光
済のエリア同士の間に未露光エリアとして残ってしま
う。しかし、これらの部分については、通常の巻取り方
向とは逆の方向に被露光材Ｍを移動させ、未露光エリア
に対向させた露光部のみを露光させることにより、露光
するようにすればよい。

【００２９】なお、巻取り始端部、終端部の未露光エリ
アについては、たとえ上記のような制御により露光を行
わないようにしても、被露光材Ｍは、例えば全長１ｋｍ
以上の長さに及ぶものであり、始端部、終端部のこのよ
うなロスは、本発明により防ぐことができるロスに比較
すれば、小さなものであり、無視したとしても本発明が
歩留まり向上に効果のあるものであるということに変わ
りはない（従来は、例えば控え目に見積もっても全長の
１割は、従って全長１ｋｍとすれば１００ｍは無駄にな
ってしまう）。なお、このような被露光材Ｍの移動制御
は、前記のように予め蓄えられた演算結果に基づき本装
置全体の動作を制御する前記システムコントローラによ
り巻取部Ｉの巻取用モータを制御することにより行う。

【００３０】なお、上記の説明では、前記離間距離およ
びインデックス量を、全ての露光部についての露光エリ
ア幅の和を含む式（数式１および２）に基づいて決めて
いたが、必ずしもそのようにしなくてもよい。すなわ
ち、使用されるマスクの露光エリア幅の種類の数Ｐが露
光部の台数ｎとの間にｎ＝Ｐ×Ｓ（但しＳは自然数）な
る関係がある場合には、以下のようにすることができ
る。

【００３１】まず、各露光部を１〜Ｓのグループに分
け、各グループに全ての露光エリア幅が含まれるように
し、かつ、各グループ内の露光エリア幅の種類の配置の
順を一定になるように、各露光部の扱うマスクの種類を
決める。例えば、露光エリア幅としてＷ1，Ｗ2，Ｗ3の
３種類のマスクを扱い、露光部の台数が６台の場合であ
れば、図１のＥ１〜Ｅ６に対応させて、Ｗ1，Ｗ2，Ｗ
3，Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3という順になるように配置する。

【００３２】次に、隣接する（ｍ−１）番目の露光部と
ｍ番目の露光部（但し、ｎ≧ｍ≧２）との中心位置間の
離間距離Ｗ2（ｍ）を

【数３】となるように定める。但しＷ（ｍ）は露光部Ｅｍ（ｍは
２〜ｎ）に対応する露光エリア幅を示す。本例では、Ｗ
(1)＝Ｗ1，Ｗ(2)＝Ｗ2，Ｗ(3)＝Ｗ3，Ｗ(4)＝Ｗ1，Ｗ
(5)＝Ｗ2，Ｗ(6)＝Ｗ3となる。

【００３３】そして、１ショットの同時露光後のインデ
ックス量（巻取量）Ｘ2を、

【数４】となるように定める。

【００３４】例えば、上に示した例では、（Ｐ＝３，Ｓ
＝２）、および数式３により、Ｗ2（2)，Ｗ2(3)は先の
例の場合と同様、それぞれ（Ｗ1＋Ｗ2＋Ｗ3）＋（Ｗ1＋
Ｗ2）／２，（Ｗ1＋Ｗ2＋Ｗ3）＋（Ｗ2＋Ｗ3）／２とな
り、以下、Ｗ2(4)＝（Ｗ1＋Ｗ2＋Ｗ3）＋（Ｗ3＋Ｗ1）
／２，Ｗ2(5)＝（Ｗ1＋Ｗ2＋Ｗ3）＋（Ｗ1＋Ｗ2）／
２，Ｗ2(6)＝（Ｗ1＋Ｗ2＋Ｗ3）＋（Ｗ2＋Ｗ3）／２と
なる。そして、インデックス量Ｘ2＝（Ｗ1＋Ｗ2＋Ｗ3）
となる。

【００３５】この例の場合の露光動作について説明する
と、１ショットの同時露光後Ｘ2だけ被露光材Ｍを送る
ということを繰返してゆくと、４回目の露光が終了した
直後で（送り量合計３×Ｘ2）、始めの部分に先の例
（図３）の場合と同様の未露光部が残るものの、（８×
Ｘ2）の幅にわたって、前記未露光部以外はすきまなく
露光パターンが形成された状態となる。この未露光部を
露光する際のインデックス量を上記Ｘ2としたのでは、
露光部Ｅ１〜Ｅ３が既に露光済の状態の部分と対向して
しまううため、ここでのインデックス量はこれまでの送
り量（３×Ｘ2）との和が上記（８×Ｘ2）となるよう、
すなわち（５×Ｘ2）送ればよい。以下、上記の手順を
繰り返すことにより、先の例の場合と同様、被露光材Ｍ
上の露光パターンをすきまを可及的に無くすことがで
き、被露光材Ｍの歩留まりが向上する。

【００３６】上記の例の場合の（５×Ｘ2）送るところ
までを１サイクルと呼ぶことにし、上の（８×Ｘ2）を
１サイクル分のエリア（ＷＣとする）と定義すると、こ
の１サイクル分のエリアＷＣを露光エリア幅の種類の数
約Ｐ、セット数Ｓの場合の一般式で表わすと、

【数５】ＷＣ＝（Ｐ＋１）×Ｓ×Ｘ2 となる。１サイクルの露光動作中でのＸ2送る繰返し数
はＰとなり、１サイクル終了時の送り量ＷＲは

【数６】ＷＲ＝ＷＣ−Ｐ×Ｘ2 となる。

【００３７】従って、予め前記数式３，４および６の演
算を実行するプログラムを前記システムコントローラ中
のマイコンに用意しておき、露光エリアの種類の数Ｐ、
各露光エリア幅Ｗ1，Ｗ2，…，Ｗｐ、及び１つのマスク
についてのセット数Ｓを入力手段により入力すれば、シ
ステムコントローラは、例えば上記の例に示した手順に
従い露光動作を繰返すことになる。

【００３８】このように数式３〜６に基づいた手順で行
うことによるメリットとしては、数式１，２による場合
と比べ、特定の条件下では各離間距離を小さくすること
ができる点である。特に少ない種類Ｐに対し台数ｎが多
い場合、数式１，２によると、巻出部Ｏと巻取部Ｉの間
に非常に長い距離が必要になるが、数式３〜６によれば
比較的短くて済む。

【００３９】最も単純な例として、各露光部Ｅ１，…Ｅ
ｎの受持つ製品の露光エリアの幅が全て同一の場合（パ
ターンは異なっていても構わない）について示す。この
露光エリアの幅をＷ1とし、前記数式３を適用すると、
各露光部の中心位置間の離間距離Ｗ2(m)は、露光エリア
幅の種類の数Ｐ＝１なので、Ｗ2(m)＝Ｗ1＋（Ｗ1＋Ｗ1）／２＝２×Ｗ1 で一定となる。そして、１回の同時露光後の送出量（イ
ンデックス量）は、Ｘ2＝Ｗ1となる（数式４）。

【００４０】前記各離間距離２×Ｗ1とすることにより
１回目の露光後に被露光材Ｍ上に形成される各露光パタ
ーン間にできるすきま（未露光部）の幅がＷ1となるの
で、１回目の露光後に前記送出量Ｗ1だけ被露光材Ｍを
送る（巻取る）ことにより、各露光部は前記すきまの部
分に対向されることになり、この後２回目の同時露光を
行うことにより、前記１回目の各露光パターンのすきま
部分が露光されることとなる。

【００４１】数式５を適用すると、５＝ｎなので、この
２回の露光により、幅２×ｎ×Ｗ1の長さにわたって被
露光材Ｍ上にはすきまなく２×ｎ個の露光パターンが形
成されたことになるので、次に最も巻取部に近い側の露
光部Ｅｎが未露光部と対向する位置まで巻取りを行い
（具体的には数式６を適用し、２×ｎ×Ｗ1−Ｗ1の巻取
量）、以後上述の工程を繰り返す。

【００４２】但し、２×Ｗ1の大きさが各露光部の幅よ
り小さい場合には、さらにＷ1ずつ加えてゆき、露光部
の幅を上回る最小のＷ1の倍数を離間距離Ｗとして設定
する。この場合、１ショットの露光後の送出量はＷ1と
し、以後、露光済みの部分の間に未露光部分が無くなる
まで露光、Ｗ1送出を繰返し、未露光部分が無くなった
ら最終段の露光部Ｅｎが未露光部分と対向する位置まで
送り（例えばＷ＝３×Ｗ1の場合は露光、Ｗ1送りを２度
繰返した後、３×ｎ×Ｗ1−２×Ｗ1巻取るという手順と
なる）、また最初から同じ手順を繰り返すことになる。

【００４３】なお、露光エリアの種類の数Ｐとしては、
必ずしも露光エリア幅が異ならなくても構わない。例え
ば、露光エリア幅の種類は２書類であるが、一方を他方
の倍の数だけ生産したい場合、生産数の多い方をＷ1、
他方をＷ2とすると、例えばＷ1＝Ｗ1，Ｗ2＝Ｗ1，Ｗ3＝
Ｗ2として数式１，２または数式４〜６を適用すること
により対応できる。

【００４４】逆に露光パターンは異なっていても、露光
エリア幅が同じであれば、同じものとして各式を適用で
きることは言うまでもない。数式４〜６を適用する場
合、露光部の台数ｎとしては、例えば６，１２等Ｐ×Ｓ
の組合せを多数とれる数とするのが好ましい。

【００４５】さらに、他の方法があれば、すなわち、す
きまなく露光できるのであれば、離間距離、インデック
ス量の決め方に上記に限定されるものではない。

【００４６】［第２実施例］図４は、本発明の第２実施
例による多連型両面露光装置の概略構成を示す正面図，
平面図である。

【００４７】図４に示したように、第２実施例では、露
光間隔調整手段を構成する要素として、第１実施例の移
動・固定機構に代え、隣接する両面露光部Ｅ１，Ｅ２，
Ｅ３，…Ｅｎ間に、それぞれ２つのガイドローラ１０
ａ，１０ｂ、中間ローラ１１、中間ローラ１１を移動さ
せるエアシリンダ１２を有している。その他について
は、第１実施例とほぼ同様の構成を有している。ガイド
ローラ１０ａ，１０ｂは、両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ
３，…Ｅｎの被露光材Ｍの通路上の定位置に取付けられ
ているが、中間ローラ１１は、不図示の移動テーブル上
に回転可能に支持され、該移動テーブルはエアシリンダ
１２により、被露光材Ｍの巻取り方向と直交する方向に
移動可能になっている。なお、移動テーブルの移動手段
としては、エアシリンダ１２に代え、油圧シリンダ、送
りねじとモータとの組合せ等を用いることができる。

【００４８】これらガイドローラ１０ａ，１０ｂ、中間
ローラ１１、エアシリンダ１２は、数式１または数式３
に示した隣接する２つの両面露光部Ｅ１，Ｅ２等の中心
位置間の離間距離Ｗ1（ｍ）またはＷ2（ｍ）分の被露光
材Ｍのバッファ量を確保するために設けられたものであ
り、その制御は上記システムコントローラにより行われ
る。前記移動テーブルの移動量と、その移動により得ら
れる前記離間距離との関係は、上記システムコントロー
ラ中のマイコンに予め記憶されている。

【００４９】このように、隣接する２つの両面露光部Ｅ
１，Ｅ２等の間で被露光材Ｍを巻取り方向と直交する方
向に移動させて、数式１または数式３に示した隣接する
２つの両面露光部Ｅ１，Ｅ２等の中心位置間の離間距離
Ｗ1（ｍ）またはＷ2（ｍ）分の被露光材Ｍのバッファ量
を確保することにより、各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ
３，…Ｅｎ間の離間距離を可及的に小さくすることがで
き、装置全体を小型化して省スペース化を図ることが可
能となる。

【００５０】また、エアシリンダ１２を設けたので、各
両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，…Ｅｎの露光エリア幅
（マスク幅）が変更されたときに、その変更に応じた適
正な上記バッファ量を容易、かつ迅速に設定し直すこと
ができる。

【００５１】なお、第２実施例では、たとえ各両面露光
部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，…Ｅｎの露光エリア幅（マスク
幅）が変更されても各両面露光部Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，…
Ｅｎの設置位置は一定でよいため、被露光材Ｍの送り方
向のスペースは前記中間ローラ、ガイドローラの分は必
要になるものの、露光エリア幅の種類が増えた場合でも
送り方向に対して巻取部と巻出部との間を拡げる必要が
なくなるため、スペース的に有利である。また、第２実
施例においても第１実施例と同様の効果が得られること
は言うまでもない。

【００５２】本発明は、上記の各実施例に限定されるこ
となく、例えば、各両面露光部の露光エリア幅（マスク
幅）が同一の場合にも適用でき、さらに多連型片面露光
装置に適用することもできる。また、前記各実施例で
は、離間距離Ｗ１（ｍ）またはＷ２（ｍ）やインデック
ス量を設定する場合に、位置決め誤差等を考慮し、多少
の余裕量を加えてよいことは言うまでもない。

【００５３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の多連型露
光装置によれば、１ショットの同時露光で被露光材上に
形成される各露光パターンの離間距離が、各露光エリア
幅に基づく所定の値となるように構成するとともに、１
ショットの露光終了毎に被露光材を前記離間距離と関連
づけられた所定量だけ移動して露光するという操作を繰
り返すことにより、たとえ各露光部の露光エリア幅が異
なっていても、前記離間隔距離間の未露光部をすきまな
く露光できるので、各露光パターンが近接するような形
で露光が行われることとなり、被露光材の歩留まりを向
上することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による多連型露光装置の概
略構成を示す図である。

【図２】両面露光部の概略構成を示す図である。

【図３】本発明の実施例に特有な構成・動作を説明する
ための説明図である。

【図４】本発明の第２実施例による多連型露光装置の概
略構成を示す平面図である。

【図５】従来の問題点を説明するための説明図である。

【符号の説明】

Ｏ…巻出部Ｉ…巻取部Ｍ…被露光材Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３，Ｅｎ…両面露光部Ｗ1，Ｗ2，Ｗ3…露光エリア幅１…直動軸受２…ガイドレール３…ガラスマスク１０ａ，１０ｂ…ガイドローラ１１…中間ローラ１２…エアシリンダ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者蔵持道広神奈川県藤沢市鵠沼神明一丁目５番50号日本精工株式会社内 (72)発明者伊藤隆夫神奈川県藤沢市鵠沼神明一丁目５番50号日本精工株式会社内 (72)発明者相原利之神奈川県藤沢市鵠沼神明一丁目５番50号日本精工株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フープ状に巻付けられた被露光材を巻出
す巻出部と、該巻出部から巻出された前記被露光材を巻
取る巻取部とが複数の露光部の両側に配置され、前記巻
出部と巻取部により前記被露光材を前記複数の露光部に
所定量ずつ送出しながら前記被露光材の少なくとも一方
の面に前記複数の露光部の各マスクのパターンを露光す
る多連型露光装置であって、前記複数の各露光部による１ショットの同時露光によっ
て前記被露光材上に形成される各露光パターン同士の間
隔を前記各マスクの露光エリア幅に基づき定められる所
定間隔とすべく調整する露光間隔調整手段と、前記露光間隔調整手段の調整により生じた１ショットの
同時露光後の前記各露光パターン間のすきま部の露光を
行うべく、前記各マスクの露光エリア幅の大きさに基づ
いて前記被露光材の送出量を制御するすきま露光制御手
段とを備え、前記被露光材上の送り方向に実質的にすきまなく露光パ
ターンを形成するように構成したことを特徴とする多連
型露光装置。