JP2000056481A - 露光装置の位置合せ方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】被露光部材に対してマスクを正確に位置合せで
きる露光装置の位置合せ方法を提供することにある。 【解決手段】帯状の被露光部材５をその長手方向に間欠
的に走行し、被露光部材５を露光位置Ｑに順次導き、露
光位置において被露光部材５とガラスマスク８ａ，８ｂ
とを位置合せする露光装置の位置合せ方法において、被
露光部材５に露光位置に対する位置合せ用の位置合せマ
ーク３６を付す第１の工程と、前記露光位置で被露光部
材に付された位置合せマーク３６とガラスマスク８ａ，
８ｂに付されたマスクアライメントマークとをワークア
ライメントカメラ２８−１，２８−２によって読取る第
２の工程と、前記読取り情報に基づいてガラスマスク８
ａ，８ｂを位置合せする第３の工程とを具備することを
特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、帯状の被露光部
材をその長手方向に間欠的に走行し、被露光部材を露光
位置に順次導き、露光位置において被露光部材とマスク
とを位置合せする露光装置の位置合せ方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】高精細なテレビシャドウマスクやＩＣリ
ードフレーム等を大量生産するための露光装置として、
フープ状に巻回された薄い鋼板等の帯状の被露光部材を
露光位置に所定量ずつ送り出しながら順次マスクのパタ
ーンを露光する露光装置が知られている。

【０００３】特に、被露光部材の位置決め精度向上に対
する要求が大きくなってきており、そのような要求に対
処するものとして以下のようなものもある。図９〜図１
３は、従来の両面露光装置の概略的構成を示すもので、
１は繰出しボビン２及びブレーキ等の弛み防止機構２ａ
を備えた繰出し部であり、３は巻取りボビン４及び巻取
りモータ４ａを備えた巻取り部である。繰出しボビン２
には帯状の被露光部材５が巻回されており、被露光部材
５は繰出しボビン２から繰り出され、巻取りボビン４に
巻き取られるようになっている。特にこの従来の両面露
光装置には被露光部材５の両側縁には長手方向に等間隔
に位置合せマーク５ａが形成されている。

【０００４】繰出し部１と巻取り部３との間には被露光
部材５の走行路６を挟んで上下に露光部７ａ，７ｂが被
露光部材５を介して対向するように配置されており、露
光時には、これら露光部７ａ，７ｂがＺ軸駆動機構によ
りそれぞれ被露光部材５の方向へ移動され、各露光部７
ａ，７ｂに取付けられたガラスマスク８ａ，８ｂが被露
光部材５にそれぞれ密着された状態で露光が行われるよ
うになっている。

【０００５】ガラスマスク８ａ，８ｂは後述するアライ
メント機構９ａ，９ｂに支持され、Ｘ軸方向、Ｙ軸方
向、θ方向（Ｘ，Ｙ平面内での回転方向）に微少移動可
能に支持されている。

【０００６】また、繰出し部１と露光部７ａ，７ｂとの
間には被露光部材５を挟持搬送する一対の繰出側送りロ
ーラ１０が設けられ、この繰出側送りローラ１０は被露
光部材５の走行方向と直角方向に延長するガイドレール
１１ａに支承され、ボールねじ機構等の駆動機構によっ
て繰出側送りローラ１０がガイドレール１１ａに沿って
移動し、被露光部材５を幅方向（被露光部材５の走行方
向と直角方向）に移動調整できるようになっている。

【０００７】また、露光部７ａ，７ｂと巻取り部３との
間には被露光部材５を挟持搬送する一対の巻取側送りロ
ーラ１２が設けられ、この巻取側送りローラ１２は被露
光部材５の走行方向と直角方向に延長するガイドレール
１１ｂに支承され、ボールねじ機構等の駆動機構によっ
て巻取側送りローラ１２がガイドレール１１ｂに沿って
移動し、被露光部材５を幅方向（被露光部材５の走行方
向と直角方向）に移動調整できるようになっている。

【０００８】巻取側送りローラ１２の一方には巻取量カ
ウントエンコーダ１３が設けられ、被露光部材５の間欠
走行の送り量を検出し、この検出信号はコントローラ２
９を介して巻取り部３の巻取りモータ４ａに入力される
ようになっている。すなわち、巻取量カウントエンコー
ダ１３からの信号に基づいて被露光部材５の送り量が制
御される。さらに、巻取側送りローラ１２の近傍には被
露光部材５の一側部におけるエッジを検出するエッジポ
ジショナのラインセンサ１４が被露光部材５の走行方向
に離間して２か所設けられ、被露光部材５の幅方向のず
れを検出するようになっている。

【０００９】前記上下の露光部７ａ，７ｂのガラスマス
ク８ａ，８ｂの一側の前後にはマスク・マスクアライメ
ントマークＭが付されている。このマスク・マスクアラ
イメントマークＭは、上部のガラスマスク８ａが例えば
黒丸マークで、下部のガラスマスク８ｂが白抜きマーク
であり、白抜きマークの中心に黒丸マークが位置するよ
うにマスクアライメントすることにより、マスク相互の
位置決めを行うようになっており、前記マスク・マスク
アライメントマークＭに対向する上部にはマスクアライ
メントカメラ２８ａが設けられている。

【００１０】さらに、露光部７ａのガラスマスク８ａの
他側にはガラスマスク８ａ及び被露光部材５に対向する
マスクアライメントカメラ２８ｂが設置されており、ガ
ラスマスク８ａに設けられたマスク・マスクアライメン
トマークＭと被露光部材５の位置合せマーク５ａを検出
するようになっている。マスクアライメントカメラ２８
ａ及び２８ｂの検出信号はアライメント機構９ａ，９ｂ
に入力されるようになっている。

【００１１】次に、前記アライメント機構９ａ，９ｂに
ついて説明すると、１５は矩形状のアライメントベース
であり、このアライメントベース１５の一方の面にはア
ライメントステージ１６が設けられ、このアライメント
ステージ１６にガラスマスク８ａ，８ｂが固定されてい
る。アライメントベース１５の他方の面にはステージ駆
動機構１７が設けられている。

【００１２】ステージ駆動機構１７は、Ｘ方向アライメ
ント駆動モータ１８（その先端のロッド１８ａがＸ方向
に伸縮する。ロッド１８ａの先端はステージ駆動継手１
９に当接）と、このＸ方向アライメント駆動モータ１８
によってＸ方向に駆動されるステージ駆動継手１９及び
ステージ駆動継手１９をＸ方向アライメント駆動モータ
１８と逆方向に押圧する予圧シリンダ２０（その先端の
伸縮部２０ａはステージ駆動継手１９に当接）とからな
るＸ方向駆動ユニット２１と、Ｙ方向アライメント駆動
モータ２２（その先端のロッド２２ａがＹ方向に伸縮。
ロッド２２ａの先端はステージ駆動継手１９に当接）
と、このＹ方向アライメント駆動モータ２２によってＹ
方向に駆動されるステージ駆動継手２３及びステージ駆
動継手２３をＹ方向アライメント駆動モータ２２と逆方
向に押圧する予圧シリンダ２４（その先端の伸縮部２４
ａはステージ駆動継手１９に当接）とからなるＹ方向駆
動ユニット２５とから構成されている。

【００１３】前記Ｘ方向及びＹ方向のステージ駆動継手
１９，２３は、アライメントベース１５に設けられた貫
通孔２６を貫通する連結軸２７によってアライメントス
テージ１６に連結されている。そして、ステージ駆動機
構１７によってアライメントベース１５に対しアライメ
ントステージ１６をＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ方向に微動
してガラスマスク８ａ，８ｂをアライメントできるよう
になっている。

【００１４】次に、前述のように構成された両面露光装
置における位置合せ方法について説明する。予め、ガラ
スマスク８ａと８ｂとのアライメントはマスクアライメ
ントカメラ２８ａ，２８ｂ及びアライメント機構９ａ，
９ｂとにより位置合わせされた状態となっている。巻取
り部３の巻取りボビン４が一定の回転角だけ回転する
と、繰出しボビン２に巻回されている被露光部材５は一
定量だけ繰り出されて露光部７ａ，７ｂと対向する露光
位置Ｑに位置決めされる。

【００１５】このときの被露光部材５の送り量は、巻取
量カウントエンコーダ１３によって検出され、被露光部
材５の走行方向と直角方向の位置ずれは被露光部材５の
一側部におけるエッジを検出するエッジポジショナのラ
インセンサ１４によって検出される。巻取量カウントエ
ンコーダ１３の検出信号に基づきコントローラ２９は巻
取りモータ４ａを制御し、所定量被露光部材５を送る。
エッジポジショナのラインセンサ１４の検出信号は、繰
出側送りローラ１０及び巻取側送りローラ１２の駆動機
構に入力され、繰出側送りローラ１０及び巻取側送りロ
ーラ１２をガイドレール１１ａ，１１ｂに沿って移動し
て被露光部材５の幅方向（図９のＹ方向）の微調整を行
う。

【００１６】また、被露光部材５が露光位置Ｑに位置決
めされると、マスクアライメントカメラ２８ｂによって
被露光部材５に付された位置合せマーク５ａとがガラス
マスク８ａのマスク・マスクアライメントマークＭとの
ずれを検出し、その検出信号はアライメント機構９ａ，
９ｂに入力され、ガラスマスク８ａ，８ｂをＸ軸方向、
Ｙ軸方向、θ方向に微動して被露光部材５の位置合せマ
ーク５ａに対してガラスマスク８ａ，８ｂの位置合せを
行い、位置合せ後、露光部７ａ，７ｂによって被露光部
材５に対する露光が行われる。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】前記従来技術のうち、
エッジポジショナのラインセンサ１４や被露光部材５の
位置合わせマークを用いた位置補正を行わないものの場
合、図１４に示すように、被露光部材５に露光したと
き、その露光パターン３０ａが被露光部材５の送り方向
に、露光パターン３０ａ同士の間に隙間Δｘ1 または重
なってΔｘ2 のようにずれたり、送り方向と直角方向に
Δｙのようにずれることがある。特に、露光パターン３
０ａがΔｘ1 のようにずれて露光パターン３０ａ同士の
間に隙間ができ、白抜けが起こると、後工程のエッチン
グ時に被露光部材５が切れてしまう虞がある。

【００１８】これは、送り量の高精度化を図っても限界
がある。すなわち、被露光部材５の送り量を巻取量カウ
ントエンコーダ１３によって検出しているが、被露光部
材５と巻取側送りローラ１２との間でスリップが発生し
た場合、被露光部材５の実際の送り量を正確に把握する
ことができない。また、生産性を上げるために被露光部
材５を高速送りするとスリップしやすく、誤差が大きく
なるという問題がある。すなわち、孔の大きさを適切に
選択することによりガラスマスク８ａのマークがくるよ
うにすることはできても孔の位置のずれが大きいとマス
クの位置合わせに余分な時間を要するという問題が生
じ、高速送りの利点が十分に活かされない。

【００１９】これに対し、前記図９〜図１３のもので
は、エッジポジショナやアライメント機構などを使用す
ることにより、位置の補正をすることはできる。しかし
ながら、従来、マスクアライメントカメラ２８ｂによっ
て被露光部材５に予め付された位置合せマーク５ａを検
出し、その検出信号をアライメント機構９ａ，９ｂに入
力してガラスマスク８ａ，８ｂをＸ軸方向、Ｙ軸方向、
θ方向に微動して被露光部材５の位置合せを行っている
が、被露光部材５に予め付された位置合せマーク５ａの
精度については何ら検証手段がなく、位置合せ精度を完
全に被露光部材５の位置合せマーク５ａに依存してい
た。

【００２０】つまり、被露光部材５が露光位置Ｑにイン
デックスされた後、その位置合せマーク５ａをマスクア
ライメントカメラ２８ｂによって検出し、その検出結果
に基づいてガラスマスク８ａ，８ｂをアライメント機構
９ａ，９ｂによってアライメントしているが、誤差が累
積されてガラスマスク８ａ，８ｂを追従できない場合が
生じる。

【００２１】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、高速送りしても被露
光部材に対してマスクを正確に位置合せでき、隣同士の
露光パターンの隙間が開き過ぎたり、重なるのを防止で
き、生産性の向上が図れる露光装置の位置合せ方法を提
供することにある。

【００２２】

【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するために、請求項１は、帯状の被露光部材をその
長手方向に間欠的に走行し、被露光部材を露光位置に順
次導き、露光位置において被露光部材とマスクとを位置
合せする露光装置の位置合せ方法において、前記被露光
部材に前記露光位置に対する位置合せ用の位置合せマー
クを前記間欠的な走行の１ピッチ毎に付す第１の工程
と、前記露光位置で前記被露光部材に付された位置合せ
マークのうち、前記露光位置に対応する２つの位置合せ
マークと前記マスクに付された基準マークとを読取り手
段によって読取る第２の工程と、前記読取り手段の読取
り情報に基づいて前記マスクを位置合せするとともに、
前記間欠的走行の送り方向のずれ量から次回の走行の送
り量に加えるべき補正量を算出する第３の工程とを具備
することを特徴とする。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の各実施の形態を
図面に基づいて説明するが、従来と同一構成部分は同一
番号を付して説明を省略する。図１〜図５は第１の実施
形態を示し、図１は露光装置の概略的平面図、図２は同
じく側面図、図３はガラスマスクと被露光部材との関係
を示す平面図、図４はブロック図、図５は作用説明図で
ある。

【００２４】露光装置の繰出し部１と露光部７ａ，７ｂ
との間には走行路６を走行する被露光部材５の一側縁に
対向して位置合せマーク付与手段としての孔明け機３０
が設置されている。この孔明け機３０は、前記走行路６
より下部にＸＹ方向に移動可能にＸＹテーブル３１が設
けられ、このＸＹテーブル３１上には被露光部材５の側
縁部を通過して走行路６の上方に突出する支柱３２が立
設されている。この支柱３２にはパンチ３３を有する孔
明けヘッド３４が設けられている。さらに、パンチ３３
に対向するＸＹテーブル３１の上面にはパンチ受け台３
５が設けられ、パンチ３３の下降によって被露光部材５
に２ｍｍφ程度の貫通する孔からなる位置決めマーク３
６（Ｈ₀ 、Ｈ₁ 、Ｈ₂ 、Ｈ₃ ………）が付されるように
なっている。

【００２５】孔明け機３０のＸＹテーブル３１の駆動部
３７はコントローラ２９に接続されており、コントロー
ラ２９には被露光部材５の一側縁部のエッジを検出する
孔明け機用エッジセンサ３９からの検出信号が入力され
るようになっている。

【００２６】また、図５に示すように、ガラスマスク８
ａの一側縁で、被露光部材５の位置決めマーク３６と対
向する位置には基準マークとしての前後２か所にマスク
アライメントマーク３８ａ，３８ｂが付されている。こ
のマスクアライメントマーク３８ａ，３８ｂは０．２ｍ
ｍφ程度の黒丸であり、それぞれの中心のＸ方向位置
は、露光位置Ｑの両端の延長線上に位置し、Ｙ方向位置
は露光位置Ｑの下端から互いに等しい位置にある。そし
て、マスクアライメントマーク３８ａ，３８ｂと位置決
めマーク３６とが重なり合ったとき、位置決めマーク３
６の中にマスクアライメントマーク３８ａ，３８ｂが入
り、マスクアライメントマーク３８ａ，３８ｂに対して
位置決めマーク３６のずれ、つまり被露光部材５の送り
方向のずれ量および幅方向（送り方向と直角方向）のず
れ量がワークアライメントカメラ２８−１，２８−２に
よって検出できるようになっている。

【００２７】次に、図５に基づいて露光装置の位置合せ
方法について説明する。まず、予めマスクアライメント
カメラ２８ａ，２８ｂとアライメント機構９ａ，９ｂと
により、ガラスマスク８ａとガラスマスク８ｂとは位置
合わせしておく。図５（ａ）に示すように、被露光部材
５には孔明け機３０によって被露光部材５の露光位置Ｑ
のＸ軸方向幅に等しい送りピッチＰだけコントローラ２
９から送りをかけるように指令された場合の実際の送り
量に対応する間隔を存して予め位置決めマークＨ₀ 、Ｈ
₁ が明けられており、この被露光部材５は走行路６に沿
って間欠的に走行され、被露光部材５が露光部７ａ，７
ｂに対向する露光位置３０にインデックスされる。

【００２８】そして、位置決めマークＨ₀ に対してマス
クアライメントマーク３８ａが対向し、位置決めマーク
Ｈ₁ に対してマスクアライメントマーク３８ｂが対向し
たところで、不図示のＺ軸駆動機構によりアライメント
機構９ａ，９ｂをＺ軸方向に動かし、ガラスマスク８ａ
と８ｂとを密着し、ワークアライメントカメラ２８−１
によって位置決めマークＨ₀ とマスクアライメントマー
ク３８ａとを撮像し、同時にワークアライメントマーク
２８−２によって位置決めマークＨ₁ とマスクアライメ
ントマーク３８ｂとを撮像する。そして、その結果に基
づきコントローラ２９に内蔵された演算器により位置決
めマークＨ₀ のＸＹ方向の交点、すなわち中心座標とマ
スクアライメントマーク３８ａの中心座標とのＸ方向及
びＹ方向のずれ量及び位置決めマークＨ₁ のＸＹ方向の
交点、すなわち中心座標とマスクアライメントマーク３
８ｂの中心座標とのＸ方向及びＹ方向のずれ量を求め、
さらにこれらの結果から位置決めマークＨ₀ の中心とマ
スクアライメントマーク３８ａの中心を一致させ、かつ
位置決めマークＨ₁ の中心とマスクアライメントマーク
３８ｂの中心のＹ座標を一致させるためにガラスマスク
８ａを移動させるべきＸ，Ｙ及びθの値を算出する。次
にガラスマスク８ａと８ｂとを離間させた後、アライメ
ント機構９ａ，９ｂによってガラスマスク８ａ，８ｂを
算出された量だけＸＹθ方向にアライメントする。

【００２９】再び、ガラスマスク８ａと８ｂとを密着
し、ワークアライメントカメラ２８−１及び２８−２に
よって位置決めマークＨ₀ とマスクアライメントマーク
３８ａとの中心のずれ、位置決めマークＨ₁ の中心とマ
スクアライメントマーク３８ｂの中心のＸ軸方向のずれ
がないことを確認し、ずれが許容値以上残っていた場合
は前記アライメント動作を繰り返す。マスクアライメン
トマーク３８ｂに対する位置決めマークＨ₁ のずれ量ｄ
１（位置決めマークＨ₁ のＸＹ方向の交点に対してマス
クアライメントマーク３８ｂの中心のＸ方向ずれ量）を
密着後の測定値に基づき算出した後に露光部７ａ，７ｂ
によって被露光部材５に露光する（Ａ₁ は第１回目の露
光パターンを示す）。マスクアライメントマーク３８ｂ
のずれ量ｄ１はワークアライメントカメラ２８−２から
コントローラ２９の記憶部に入力され、次の送り量の補
正（図５の例ではｄ１だけ元の指令値Ｐより差し引かれ
る。）がなされるとともに、孔明け機３０によって被露
光部材５の位置決めマークＨ₂ を明ける。

【００３０】次に、図５（ｂ）に示すように、位置決め
マークＨ₂ を明けた後、コントローラ２９から巻取り部
３の巻取りモータ４ａにＰ−ｄ１だけ巻取るよう指令が
入力されることにより、巻取り部３によって被露光部材
５を１ピッチ走行すると、被露光部材５が露光部７ａ，
７ｂに対向する露光位置３０にインデックスされる。し
たがって、位置決めマークＨ₁ はマスクアライメントマ
ーク３８ａに対向し、位置決めマークＨ₂ はマスクアラ
イメントマーク３８ｂに対向する。このとき、前記のよ
うに補正を加えているので、前回の露光パターンと今回
の露光位置との隙間を略無くすことができる（図５
（ｂ）のΔが略ｄ１と一致する。

【００３１】後は、僅かにか残る誤差（Ｘ方向はΔとｄ
１の差分。Ｙ方向及びθ方向はエッジポジショナで対応
し切れない誤差分。）を図５（ｃ）に示すように、ワー
クアライメントカメラ２８−１，２８−２及びアライメ
ント機構９ａ，９ｂによってガラスマスク８ａ，８ｂを
ＸＹθ方向にアライメントすることにより、位置決めマ
ークＨ₁ のＸＹ方向の交点に対してマスクアライメント
マーク３８ａの中心が同図に示すように正確にｄ１だけ
右側に位置し、かつＹ方向は位置決めマークＨ₁ とマス
クアライメントマーク３８ａ、位置決めマークＨ₂ とマ
スクアライメントマーク３８ｂともずれないよう調整す
る。

【００３２】次に、ワークアライメントカメラ２８−２
によって得られるマスクアライメントマーク３８ｂに対
する位置決めマークＨ₂ のずれ量ｄ2 （位置決めマーク
Ｈ₂のＸＹ方向の交点に対してマスクアライメントマー
ク３８ｂのずれ量）を測定値に基づき算出した後に露光
部７ａ，７ｂによって被露光部材５に露光する（Ａ₂は
第２回目の露光パターンを示す）。

【００３３】マスクアライメントマーク３８ｂのずれ量
ｄ２はワークアライメントカメラ２８−２からコントロ
ーラ２９の記憶部に入力され、次の送り量の補正がなさ
れるとともに、孔明け機３０によって被露光部材５の位
置決めマークＨ₃ を明ける。

【００３４】この動作を繰り返すことにより、被露光部
材５の露光位置３０に正確に露光パターンＡ₁ 、Ａ₂ …
を形成することができ、露光パターン同士の間に隙間が
生じたり、露光パターン同士が重なることはない。つま
り、被露光部材５を露光位置に走行する直前に被露光部
材５に位置決めマーク３６（Ｈ₀ 、Ｈ₁ 、Ｈ₂ 、Ｈ₃…
…）を付し、被露光部材５を露光位置にインデックスし
た後、ガラスマスク７ａに予め付された基準となるマス
クアライメントマーク３８ａ，３８ｂに対する位置決め
マーク３６（Ｈ₀ 、Ｈ₁ 、Ｈ₂ 、Ｈ₃ ……）のずれ量を
ワークアライメントカメラ２８−１，２８−２によって
検出し、そのずれ量を補正して巻取り部３の次の送り量
を設定することにより、ずれ量が累積されることはな
く、巻取りモータ４ａによる高速送りにより次の露光位
置への略正確な位置決めができ、残された僅かな誤差は
アライメント機構９ａ，９ｂによってガラスマスク８
ａ，８ｂをアライメントすることにより行えばよいの
で、高速な位置決めと高精度な位置決めを両立すること
ができる。

【００３５】なお、前記実施形態においては、ワークア
ライメントカメラ２８−２によってマスクアライメント
マーク３８ｂに対する位置決めマーク３６のずれ量ｄ１
を測定し、ずれ量ｄ１をワークアライメントカメラ２８
−２からコントローラ２９を介して巻取り部３に入力し
て送り量の補正がなされるようにしたが、巻取り部３に
よって被露光部材５の送り量を補正する代わりにマスク
アライメントマーク３８ｂのずれ量ｄ１をワークアライ
メントカメラ２８−２からコントローラ２９を介して孔
明け機３０のＸＹテーブル３１の駆動部３７に入力し、
ＸＹテーブル３１はずれ量ｄ１だけＸ方向に微動調整し
た後、孔明け機３０によって被露光部材５の位置決めマ
ークＨ₂ を明けるようにしてもよい。

【００３６】また、第１の実施形態においては、繰出側
送りローラ１０及び巻取側送りローラ１２をガイドレー
ル１１ａ，１１ｂに支持し、ボールねじ等の駆動機構に
よって移動することにより、被露光部材５を幅方向に移
動調整するようにしているが、図６または図７に示すよ
うに構成してもよい。

【００３７】すなわち、図６は第２の実施形態を示し、
繰出側送りローラ１０及び巻取側送りローラ１２がロー
ラ支持枠４０によって支持されている。ローラ支持枠４
０にはボールねじ４１と螺合するナット４２が固定され
ており、ボールねじ４１を正逆回転可能なモータ４３に
よって回転駆動するようにしたものである。

【００３８】また、図７は第３の実施形態を示し、繰出
側送りローラ１０及び巻取側送りローラ１２の軸方向の
両端部が円弧状のガイドレール４４によって支持され、
繰出側送りローラ１０及び巻取側送りローラ１２が水平
面内で傾動自在にしたものである。繰出側送りローラ１
０及び巻取側送りローラ１２を２点鎖線で示すように傾
斜させることにより、被露光部材５を２点鎖線矢印方向
に幅寄せでき、破線で示すように傾斜させることによ
り、被露光部材５を破線矢印方向に幅寄せできる。

【００３９】また、第１の実施形態においては、被露光
部材５の走行方向と直角方向の位置ずれは被露光部材５
の一側部におけるエッジを検出するエッジポジショナ１
４によって検出し、ガラスマスク８ａ，８ｂと被露光部
材５との位置ずれをワークアライメントカメラ２８−
１，２８−２によって検出ているが、被露光部材５の幅
方向は機械原点に常に保ち、ガラスマスク８ａ，８ｂは
その機械原点に保つことができれば、被露光部材５の走
行方向と直角方向の位置ずれの検出は不要であり、被露
光部材５の走行方向のみの位置ずれを考慮すればよい。

【００４０】したがって、図８の第４の実施形態に示す
ように、被露光部材５にその長手方向と直交する方向に
長い長孔からなる位置決めマーク４５を設け、ガラスマ
スク８ａ，８ｂに位置決めマーク４５より狭幅で、長さ
が短い棒状のマスクマーク４６を設け、位置決めマーク
４５とマスクマーク４６を上方または下方からリニアセ
ンサ４７によって検出して被露光部材５の走行方向の位
置ずれを検出するようにしてもよい。このように構成す
ることにより、ワークアライメントカメラ２８−１，２
８−２が不要となる。なお、前記各実施形態において
は、両面露光装置について説明したが、片面露光装置に
おいても適用できること勿論である。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、被露光部材に露光位置に対する位置合せ用の位置合
せマークを付し、露光位置で被露光部材に付された位置
合せマークとマスクに付された基準マークとを読取り手
段によって読取り、読取り情報に基づいてマスクを位置
合せすることにより、被露光部材を高速送りしても被露
光部材に対してマスクを正確に位置合せでき、隣同士の
露光パターンの隙間が開き過ぎたり、重なるのを防止で
きるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施形態を示す両面露光装置
の概略的平面図。

【図２】同実施形態の両面露光装置の概略的側面図。

【図３】同実施形態の孔明け機の側面図。

【図４】同実施形態の制御系のブロック図。

【図５】同実施形態の作用説明図。

【図６】この発明の第２の実施形態を示し、繰出側送り
ローラ及び巻取側送りローラの支持装置の側面図。

【図７】この発明の第３の実施形態を示し、繰出側送り
ローラ及び巻取側送りローラの支持装置の平面図。

【図８】この発明の第４の実施形態を示し、被露光部材
の送り方向の検出手段を示す平面図。

【図９】従来の両面露光装置の概略的平面図。

【図１０】同従来の両面露光装置の概略的側面図。

【図１１】同従来のアライメント機構の斜視図。

【図１２】同従来のアライメント機構の一部断面した側
面図。

【図１３】図１２のＡ部を拡大した断面図。

【図１４】従来の露光パターンの平面図。

【符号の説明】

５…被露光部材 ８ａ，８ｂ…ガラスマスク ２８−１，２８−２…ワークアライメントカメラ ３０…孔明け機 ３６…位置合せマーク ３８ａ，３８ｂ…マスクアライメントマーク

フロントページの続き (72)発明者 岡谷 秀樹 神奈川県藤沢市桐原町12番地 日本精工株 式会社内 Ｆターム(参考） 2H097 KA03 KA13 KA15 KA20 LA10 LA17 5F067 DA16

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 帯状の被露光部材をその長手方向に間欠
   的に走行し、被露光部材を露光位置に順次導き、露光位
   置において被露光部材とマスクとを位置合せする露光装
   置の位置合せ方法において、 前記被露光部材に前記露光位置に対する位置合せ用の位
   置合せマークを前記間欠的な走行の１ピッチ毎に付す第
   １の工程と、 前記露光位置で前記被露光部材に付された位置合せマー
   クのうち、前記露光位置に対応する２つの位置合せマー
   クと前記マスクに付された基準マークとを読取り手段に
   よって読取る第２の工程と、 前記読取り手段の読取り情報に基づいて前記マスクを位
   置合せするとともに、前記間欠的走行の送り方向のずれ
   量から次回の走行の送り量に加えるべき補正量を算出す
   る第３の工程とを具備することを特徴とする露光装置の
   位置合せ方法。